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Eine
Klemmhalterung zum Halten und Ausrichten von Gegenständen ist
z. B. aus der
DE 38
41 744 A1 bekannt. Hierbei ist eine Arbeitsplatte zur Aufnahme
der auszurichtenden Gegenstände
mit einer Kugel verbunden, die in einem Klemmkäfig drehbar gelagert ist. Dabei
weist der Klemmkäfig
ein Oberteil sowie einen Klemmkolben auf, wobei der Klemmkolben
zur Arretierung der Kugel – und
damit der Arbeitsplatte – durch
Einwirkung einer Feder oder eines weiteren Druckmittels gegen das
Oberteil gedrückt wird.
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Häufig besteht
die Aufgabe, kleine Teile aufzunehmen und zu halten und beispielsweise
bezüglich
einer Referenzfläche
parallel auszurichten. Ein Anwendungsbeispiel ist das Aufnehmen
und Halten eines eine Mikrolinse halternden Trägerkörpers und Ausrichten des Trägerkörpers bezüglich einer
Referenzfläche
eines Montageklötzchens
in einem Halbleiterlasermodul, um die Linse bezüglich des Lasers justieren
und danach die Teile beispielsweise durch Schweißen, Löten oder Kleben verbinden zu
können.
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Typische
Abmessungen eines derartigen, eine Mikrolinse halternden Trägerkörpers sind
beispielsweise 1 × 2 × 0,5 mm3 und die des Montageklötzchens 1 ×1 × 1 mm3.
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Aufgabe
der Erfindung ist es, eine Vorrichtung zum Aufnehmen und Halten
eines kleinen Teils zu insbesondere Justierzwecken bereitzustellen.
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Diese
Aufgabe wird durch eine Vorrichtung der eingangs genannten Art gelöst, welche
die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 angegebenen Merkmale
aufweist.
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Die
erfindungsgemäße Vorrichtung
ist vorteilhafterweise für
kleine Teile mit Abmessungen in der Größenordnung der vorstehend angegebenen Abmessungen
für Mikrolinsen
halternde Trägerkörper und
Montageklötzchen
geeignet, kann aber auch bei größeren Teilen
verwendet werden. Sie erfüllt
vorteilhafterweise in Kombination die Funktion eines Haltens eines
kleinen Teils und die Funktion eines Ausrichtens des Teils an einer
Referenzfläche.
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Insbesondere
ist die erfindungsgemäße Vorrichtung
vorteilhaft zum Aufnehmen und Halten eines eine Mikrolinse halternden
Trägerkörpers geeignet, der
zum Justieren der Mikrolinse an einer Referenzfläche auszurichten ist.
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Ein
besonderer Vorteil der erfindungsgemäßen Vorrichtung besteht darin,
daß eine
für ein
Verbinden des aufgenommenen und gehaltenen Teils mit einem anderen
Körper
erforderliche Energiezufuhr ermöglicht
ist. Eine solche Energiezufuhr ist beispielsweise erforderlich beim
Verbinden durch Schweißen
und/oder Löten
und/oder zum Aushärten eines
Klebers.
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Eine
bevorzugte Ausgestaltung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, die eine derartige
Energiezufuhr ermöglicht,
ist im Anspruch 13 angegeben.
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Durch
die erfindungsgemäße Vorrichtung
ist ein für
Mikromontagen hervorragend geeignetes Werkzeug geschaffen.
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Weitere
bevorzugte und vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Vorrichtung
gehen aus den übrigen
Ansprüchen
hervor.
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Die
Erfindung wird in der nachfolgenden Beschreibung anhand der Figuren
beispielhaft näher
erläutert.
Es zeigen:
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1 einen
ausschnitthaften Querschnitt durch ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung,
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2 einen
ausschnitthaften Querschnitt durch ein zweites Ausführungsbeispiel
der erfindungsgemäßen Vorrichtung,
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3 eine
Draufsicht auf das Beispiel nach 2,
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4 eine
Draufsicht auf eine Substratoberfläche, auf der eine Laserdiode
und ein Montageklötzchen
mit einer Referenzfläche
angeordnet sind, an der ein eine zu justierende Mikrolinse halternder Trägerkörper mit
Hilfe einer erfindungsgemäßen Vorrichtung
auszurichten ist, und
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5 eine
Seitenansicht der Anordnung nach 4, die einer
Draufsicht auf die untere Kante A der Substratoberfläche in 4 entspricht.
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Das
in 1 dargestellte Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung
zum Aufnehmen und Halten eines Teils 1 besteht im wesentlichen
aus einem eine Anbringungseinrichtung 20 zum Anbringen
des Teils 1 aufweisenden Halterungskörper 2, einem Aufnahmekörper 3 mit
einem Sitz 30 zur drehbaren Aufnahme des Halterungskörpers 2 und
einer Einrichtung 4 zum drehbaren Halten des Halterungskörpers 2 auf
dem Sitz 30.
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Der
Halterungskörper 2 ist
auf dem Sitz 30 vorzugsweise nach allen Richtungen verdrehbar,
insbesondere auch im gehaltenen Zustand. Um eine solche Verdrehung
zu ermöglichen,
weist der Halterungskörper 2 einen
konvexen, vorzugsweise spährischen
Oberflächenabschnitt 21 auf,
der eine konkave, vorzugsweise konische und/oder sphärische Sitzfläche 31 des
Sitzes 30 des Aufnahmekörpers 3 kontaktiert.
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Die
Anbringungseinrichtung 20 muß bei dem auf dem Sitz 30 sitzenden
Halterungskörper 2 frei
zugänglich
sein, so daß das
jeweilige Teil 1 von der Anbringungseinrichtung 20 aufgenommen
werden kann. Dies kann gewährleistet
werden, wenn die Anbringungseinrichtung 20 auf der vom
Sitz 30 abgekehrten Seite des auf diesem Sitz 30 sitzenden
Halterungskörpers 2 angeordnet
ist, so, wie es in der 1 dargestellt ist.
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Die
Einrichtung 4 zum drehbaren Halten des Halterungskörpers 2 auf
dem Sitz 30 hat dafür
zu sorgen, daß der
Halterungskörper 2 während einer
Manipulation mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung auf dem Sitz 30 bleibt
und sich nicht von diesem löst und
entfernt, beispielsweise abfällt.
Eine bevorzugte Ausgestaltung dieser Einrichtung 4 ist
so ausgebildet, daß sie
eine gegen den Sitz 30 drückende Kraft F erzeugt.
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Eine
Ausführungsform
der Einrichtung 4 zum Erzeugen der den Halterungskörper 2 gegen
den Sitz 30 drückenden
Kraft F weist eine pneumatische Saugeinrichtung 40 zum
Ansaugen des Halterungskörpers 2 an
den Sitz 30 des Aufnahmekörpers 3 auf, wobei
zusätzlich
zur pneumatischen Einrichtung eine magnetische Einrichtung verwendet
werden kann.
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Eine
bevorzugte Ausführungsform
einer solchen zusätzlichen
Einrichtung zum magnetischen Anhaftenlassen des Halterungskörpers 2 am
Sitz 30 des Aufnahmekörpers 3 kann
darin bestehen, daß der
Halterungskörper 2 und
der Aufnahmekörper 3 jeweils
aus magnetisierbarem Material bestehen und daß zur Bildung der Einrichtung
zum magnetischen Anhaftenlassen des Halterungskörpers 2 am Sitz 30 des
Aufnahmekörpers 3 der
Halterungskörper 2 und/oder
der Aufnahmekörper 3 magnetisiert
sind/ist.
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Zum
Aufnehmen und Halten des jeweiligen Teils 1 ist es zweckmäßig, wenn
die Anbringungseinrichtung 20 eine Einrichtung zum Erzeugen
einer das Teil 1 gegen den Halterungskörper 2 drückenden Kraft
F1 aufweist. Bevorzugterweise weist in diesem Fall die Anbringungseinrichtung 20 einen
ebenen Oberflächenabschnitt 23 des
Halterungskörpers 2 auf,
gegen den das Teil 1 von der erzeugten Kraft F1 gedrückt ist.
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Die
Einrichtung zum Erzeugen der das Teil 1 gegen den Halterungskörper 2 drückenden
Kraft F1 weist vorzugsweise ein pneumatische Saugeinrichtung zum
Ansaugen des Teils 1 an den Halterungskörper 2 auf, die vorteilhafterweise
zugleich die pneumatische Saugeinrichtung 40 zum Ansaugen
des Halterungskörpers 2 an
den Sitz 30 des Aufnahmekörpers 3 sein kann.
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Die
Einrichtung zum Erzeugen der das Teil 1 gegen den Halterungskörper 2 drückenden
Kraft F1 kann in dem Fall, daß das
Teil 1 aus magnetischem Material besteht, auch eine magnetische
Einrichtung sein. Die pneumatische Einrichtung hat gegenüber der
magnetischen Einrichtung den Vorteil, daß sie unabhängig von dem Material wirksam
ist, aus dem das Teil 1 besteht.
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Die
Saugeinrichtung 40 weist vorzugsweise eine im Halterungskörper 2 im
Bereich der Anbringungseinrichtung 20 ausgebildete Öffnung 22 auf, durch
die das an der Anbringungseinrichtung 20 anzubringende
Teil 1 an die Anbringungseinrichtung 20 ansaugbar
ist. Das mit der Saugkraft F1 an die Anbringungseinrichtung 20 angesaugte
Teil 1 drückt
in diesem Fall mit der gleichen Kraft den Halterungskörper 2 gegen
den Sitz 30, so daß F1
= F gilt.
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Die
im Bereich der Anbringungseinrichtung 20 ausgebildete Öffnung 22 ist
vorteilhafterweise eine Öffnung
eines im Halterungskörper 2 ausgebildeten
und neben dieser Öffnung 22 mindestens
eine weitere Öffnung 24 aufweisenden
Hohlraums 25.
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In
mehrfacher Hinsicht ist es zweckmäßig, wenn ein sich von der
Anbringungseinrichtung 20 des auf dem Sitz 30 des
Aufnahmekörpers 3 sitzenden Halterungskörpers 2 durch
diesen Halterungskörper 2 und
den Aufnahmekörper 3 erstreckender
lichtdurchlässiger
Kanal 6 vorgesehen ist. Dieser lichtdurchlässige Kanal 6 ist
beispielsweise vorteilhaft beim Justieren einer Mikrolinse, ermöglicht aber auch
vorteilhafterweise die oben erwähnte
Energiezufuhr zum Verbinden des Teils 1 mit einem anderen Körper, beispielsweise
mit einer Laserdiode. Zu letztgenanntem Zweck ist der lichtdurchlässige Kanal 6 vorzugsweise
für Laserlicht
einer Leistung von mindestens 1 W durchlässig. Der im Halterungskörper 2 ausgebildete
Hohlraum 25 ist vorzugsweise Teil des lichtdurchlässigen Kanals 6.
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Beim
Ausführungsbeispiel
nach 1 besteht der Lichtdurchlässige Kanal 6 lediglich
aus einem sich von der im Bereich der Anbringungseinrichtung 20 ausgebildeten Öffnung 22 des
Halterungskörpers 2 bis
zu einer Öffnung 35 in
einem vom Halterungskörper 2 abgekehrten
Oberflächenabschnitt 34 des
Aufnahmekörpers 3 erstreckenden
Hohlraum, von dem der Hohlraum 25 des Halterungskörpers 2 ein
Teil ist.
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Damit
die Saugeinrichtung 40 wirksam werden kann, ist die Öffnung 35 durch
einen lichtdurchlässigen
Körper 36 abgedichtet,
der auch gegen ein Eindringen von Schmutz durch diese Öffnung 35 in den
Kanal 6 schützt.
Der Körper 36 kann
beispielsweise eine Platte aus lichtdurchlässigem Material, beispielsweise
Quarzglas oder Saphir, oder eine Linse aus einem solchen Material
sein.
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Das
Ansaugen des Teils 1 an den Halterungskörper 2, des Halterungskörpers 2 an
den Sitz 30 des Aufnahmekörpers 3 und ggf. des
Körpers 36 an
den Aufnahmekörpers 3 erfolgt
beispielsweise durch einen im Aufnahmekörper 3 ausgebildeten
und seitlich in den Hohlraum 6 bei einer Öffnung 26 mündenden
Saugkanal 27, der an eine nicht dargestellte Saugpumpe,
beispielsweise eine Vakuumpumpe anschließbar ist.
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Das
Ausführungsbeispiel
nach den 2 und 3 unterscheidet
sich vom Beispiel nach 1 im wesentlichen nur dadurch,
daß der
lichtdurchlässige
Kanal 6 einen optischen Wellenleiter 60 aufweist,
der vorzugsweise aus einer Dickkernfaser mit beispielsweise einem
Durchmesser des lichtführenden
Kerns von 200 μm
besteht, und daß eine Sperreinrichtung 5 zum
Sperren des Halterungskörpers 2 gegen
eine Entfernung vom Aufnahmekörper 3 vorgesehen
ist. Alle übrigen
Teile des Ausführungsbeispiels
nach 2, die mit denen des Ausführungsbeispiels nach 1 übereinstimmen,
sind in den 2 und 3 mit den
gleichen Bezugszeichen wie in 1 bezeichnet
und werden nicht erneut beschrieben.
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Insbesondere
bei der pneumatischen Einrichtung 4 zum drehbaren Halten
des Halterungskörpers 2 auf
dem Sitz 30 ist es zweckmäßig, wenn die Sperreinrichtung 5 zum
Sperren des Halterungskörpers 2 gegen
eine Entfernung vom Aufnahmekörper 3 vorgesehen
ist, die gewährleistet,
daß der
Halterungskörper 2 stets
mit dem Aufnahmekörper 3 verbunden
bleibt und sich nicht von diesem trennen kann. Es reicht dabei aus,
wenn die Sperreinrichtung 5 den Halterungskörper 2 lose
am Aufnahmekörper 3 festhält.
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Im
Hinblick auf diese Sperreinrichtung 5 ist es zweckmäßig, wenn
der Wellenleiter 60 im lichtdurchlässigen Kanal 6 befestigt
ist und eine im Inneren des Hohlraums 25 des Halterungskörpers 2 befindliche
Stirnfläche 61 aufweist,
und wenn die Sperreinrichtung 5 aus einer in das Innere
des Hohlraums 25 ragenden Schulter 27 des Halterungskörpers 2 und
einem seitlich über
die Stirnfläche 61 des
im Aufnahmekörper 3 befestigten
Wellenleiters 60 hinausragenden und der Schulter 27 des
Halterungskörpers 2 gegenüberliegenden
Flächenabschnitt 71 eines fest
auf der Stirnfläche 61 befestigten
Abschlußkörpers 7 aus
lichtdurchlässigem
Material besteht.
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Wird
der Halterungskörper 2 vom
Aufnahmekörper 3 fortbewegt,
kommen der Flächenabschnitt 71 des
Abschlußkörpers 7 und
die Schulter 27 des Halterungskörpers 2 in Kontakt
miteinander, wodurch eine weitere Bewegung des Halterungskörpers 2 vom
Aufnahmekörper 3 fort
gehemmt wird.
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Beispielsweise
besteht der Abschlußkörper 7 aus
einem quadratischen Plättchen,
das mit seinen vier Ecken die beispielsweise kreisringförmige Schulter 27 des
Hohlraums 25 mit z.B. kreisförmigem Querschnitt übergreift.
Beim dargestellten Beispiel ist die Schulter 27 eine nach
oben gekehrte konische Fläche
und jeder an ein übergreifendes
Eck grenzende Flächenabschnitt
der nach unten gekehrten und auf der Stirnfläche 61 des Wellenleiters 60 aufliegenden
Fläche 70 des
Abschlußkör pers 7 bildet
einen mit der Schulter 27 in Kontakt kommenden Flächenabschnitt 71 des
Abschlußkörpers 7.
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Die
Befestigung des Wellenleiters 60 im Hohlraum des lichtdurchlässigen Kanals 6 kann
beispielweise mittels eines Klebers 63 bewerkstelligt sein,
der eine äußere Umfangsfläche 601 des
Wellenleiters 60 mit einer inneren Umfangsfläche 600 des
Hohlraums des lichtdurchlässigen
Kanals 6 verbindet.
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Bei
dem in den 2 und 3 dargestellten
Beispiel weist der Wellenleiter 60 einen Schutzmantel 65,
auf der den verklebten und sich bis zur Stirnfläche 61 sich erstreckenden
Abschnitt des Wellenleiters 60 freiläßt und beispielsweise mit einem Endabschnitt
in einer Erweiterung 66 des Hohlraums des lichtdurchlässigen Kanals 6 aufgenommen
ist, in welchem dieser Endabschnitt beispielsweise mittels einer
Vergußmasse 67 fixiert
ist.
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Bei
einer konkreten Ausführung
des Beispiels nach 1 oder den 2 und 3 besteht der
Halterungskörper 2 aus
einem eben angeschliffenen und mit einem Hohlraum 25 in
Form einer Bohrung versehenen Kugelteil. Derartige Kugelteile können selbst
mit Durchmessern unter 1 mm sehr präzise gefertigt werden, so daß eine erfindungsgemäße Vorrichtung
auch für
sehr kleine Teile, welche die oben angegebenen Abmessungen unterbieten,
herstellbar und geeignet ist. Gängige
Materialien für kommerziell
erhältlich
Präzisionskugeln
sind beispielsweise Hartmetall (z.B. Wolframkarbid, Stahl, rostfreier
Stahl , Saphir, keramische Werkstoffe oder auch verschiedene Gläser.
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Zur
Aufnahme und zum Halten des Teils 1, beispielsweise des
die Mikrolinse halternden Trägerkörpers, wird
dieses Teil 1 bei eingeschalteter Saugeinrichtung 40 mit
einer planen Fläche 11 gegen
die durch einen ebenen Oberflächenabschnitt 23 des Halterungskörpers 2 realisierte
Anbringungseinrichtung 20 gedrückt. Dabei wird die im ebenen
Oberflächenabschnitt 23 ausgebildete Öffnung 22 des
Hohlraums 25 im Halterungskörper 2 abgedichtet
und der Halterungskörper 2 samt
auszurichtendem Teil 1 an den Sitz 30 angesaugt
und in dieser Position gehalten.
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Beim
Anlegen des Teils 1 an eine Referenzfläche, beispielsweise an eine
ebene Anlagefläche eines
Montageklötzchens,
erfolgt eine selbsttätige Ausrichtung
des Teils 1 und diese Lage wird auch gehalten.
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Besteht
die Einrichtung 4 zum Erzeugen der den Halterungskörper 2 gegen
den Sitz 3 drückenden Kraft
F aus einer magnetischen Einrichtung oder einer Kombination aus
einer magnetischen und pneumatischen Einrichtung, kann das Ausrichtmoment vergrößert werden,
so daß auch
schwerere Teile aufgenommen werden können, ohne dabei die Funktion der
Selbstausrichtung beim Andrücken
des aufgenommenen und gehaltenen Teils 1 an eine Referenzfläche zu beeinträchtigen.
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Ein
auf der Stirnfläche 61 des
Wellenleiters 60 befestigter Abschlußkörper 7 besteht vorzugsweise
aus einem dünnen
Plättchen
aus lichtdurchlässigem
Material, das beispielsweise durch Kleben auf der Stirnfläche 61 befestigt
ist. Das Material des Plättchens
muß für die zum
Justieren und/oder Befestigen des Teils 1 an einem Körper verwendete Lichtwellenlänge transparent
sein und kann beispielsweise aus Quarzglas oder Saphir bestehen.
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Für eine einwandfreie
Funktion der erfindungsgemäßen Vorrichtung
ist die richtige Dimensionierung dieses Halterungskörpers 2 wesentlich.
Dies sei am Beispiel eines Halterungskörpers 2 erläutert, der
einen an einer kreisförmigen
konischen Sitzfläche 31 des
Sitzes 30 anliegenden sphärischen konvexen Oberflächenabschnitt 21 und
einen ebenen Oberflächenabschnitt 23 aufweist,
der die Anbringungseinrichtung 20 bildet und in dem eine
beispielsweise kreisförmige Öffnung 22 eines
beispielsweise zylindrischen Hohlraums 25 dieses Halte rungskörpers 2 ausgebildet
ist, so daß der
ebene Oberflächenabschnitt 23 ringförmig ist.
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Bei
den in den 1 bis 3 dargestellten Ausführungsbeispielen
liegen diese Verhältnisse
vor und in der 1 sind die für eine Dimensionierung wesentlichen
Bestimmungsstücke
kenntlich gemacht.
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In
der 1 ist eine zentrale Achse oder Symmetrieachse
der kreisförmigen
konischen Sitzfläche 31 mit
B bezeichnet. Auf der Achse B liegt der mit M bezeichnete Mittelpunkt
des längs
einer Kreislinie K mit der konischen Sitzfläche 31 in Kontakt
stehenden sphärischen
konvexen Oberflächenabschnitts 21 des
Halterungskörpers 2.
Der Radius des sphärischen
konvexen Oberflächenabschnitts 21 ist mit
R bezeichnet. Mit r ist der Radius der Kreislinie K bezeichnet,
deren zentrale Achse die Achse B der konischen Sitzfläche 31 ist.
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Der
Halterungskörper 2 ist
beispielsweise so dargestellt, daß eine durch den Mittelpunkt
M des sphärischen
konvexen Oberflächenabschnitts 21 und durch
ein Zentrum Z der kreisförmigen Öffnung 22 gehende
und senkrecht zum ebenen Oberflächenabschnitt
stehende zentrale Achse des Halterungskörpers 2, mit der Achse
B der konischen Sitzfläche 31 zusammenfällt. In
der Regel ist jedoch der Halterungskörper 2 aus dieser
Lage um den Mittelpunkt M verdreht und die beispielsweise zugleich
eine zentrale Längsachse
des zylindrischen Hohlraums 25 bildende zentrale Achse
des Halterungskörpers 2 ist gegen
die Achse B verkippt.
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Damit
unter diesen Verhältnissen
eine Selbstausrichtung des Halterungskörpers
2 beim Anlegen
an eine Referenzfläche
stattfindet, muß das Ausrichtmoment
größer als
das Reibungsmoment des Halterungskörpers
2 auf dem Sitz
30 sein.
Für einen
gegebenen Reibungskoeffizienten μ gilt
deshalb die Bedingung
wobei der ungünstige Fall
angenommen ist, daß die zur
Selbstausrichtung wirkende Kraft P im kleinsten möglichen
Abstand ρ von
der durch M und Z gehenden zentralen Achse Halterungskörpers
2 angreift. Bei
dem in
1 dargestellten Beispiel ist ρ gleichbedeutend mit dem Durchmesser
der im ebenen Oberflächenabschnitt
23 ausgebildeten
kreisförmigen Öffnung
22 des
Hohlraums
25, denn diese Öffnung
22 muß zum Ansaugen
des Teils
1 vollständig mit
diesem Teil
1 abgedeckt werden. Dies ist nur möglich, wenn
jede Kante des Teils
1, beispielsweise die Kante
13 in
1,
mindestens den Abstand ρ von der
durch M
– und
Z gehenden zentralen Achse des Halterungskörpers
2 hat.
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Mit
der Beziehung r/R = cos ε ergibt
sich der maximal erlaubte Reibungskoeffizient μ für Selbstausrichtung des Halterungskörpers
2 zu
wobei ε den Winkel der konischen konkaven
Sitzfläche
31 zur
zentralen Achse B dieser Fläche
31 bedeutet.
Praktische Werte für ε sind beispielsweise
30° ≤ ε ≤ 50°.
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Ein
hoher zulässiger
Reibungskoeffizient wird durch Wahl eines hohen Wertes für ρ/R, beispielsweise
eines Wertes nahe 1, und eines möglichst
großen
Winkels ε erreicht.
Das erforderliche Ausrichtmoment und damit das Haltemoment läßt sich
durch die Größen ρ/R, ε, μ und/oder
durch die Stärke
der magnetischen Kräfte
beeinflussen. Günstig
für die
Ausrichtung ist zusätzlich
ein möglichst kleiner
Wert für
den Abstand d einer vom ebenen Oberflächenabschnitt 23 des
Halterungskörpers 2 abgekehrten
und der Referenzfläche
zugekehrten Fläche 12 des
aufgenommenen und am ebenen Oberflächenabschnitt 23 gehaltenen
Teils 1 vom Mittelpunkt M des sphärisch konvexen Oberflächenabschnitts 21 des
Halterungskörpers 2.
Ideal wäre
d = 0.
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Ein
Anwendungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird anhand
der 4 und 5 näher erläutert. Bei diesem Anwendungsbeispiel
wird eine Mikrolinse 10 in Bezug auf eine auf der Oberfläche 101 eines
Substrats 100 ausgebildeten Laserdiode 110 justiert.
Die Linse 10 hat die Aufgabe, den von der Laserdiode 110 ausgehenden,
stark divergenten Laserstrahl 111 zu kollimieren, wobei
die optische Achse des kollimierten Strahls üblicherweise mit einer Genauigkeit
von typisch besser als 1° bezüglich einer
vorgegebenen Richtung, beispielsweise in Richtung senkrecht zu der
Referenzfläche
eingehalten eingehalten werden muß. Dazu muß die Linse 10 in
Richtung z einer zentralen Achse 112 des divergenten Laserstrahls 111 mit
einer Genauigkeit von ± 2 μm und in
zwei Richtungen x und y senkrecht zu dieser Achse 112 mit
einer Genauigkeit von ± 0,5 μm justiert
und fixiert werden.
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Die
Linse 10 ist auf einem Trägerkörper gehaltert, der das Teil 1 bildet,
das von einer erfindungsgemäßen Vorrichtung
aufzunehmen und zu halten ist. Das Teil 1 besteht beispielsweise
aus einem Plättchen
mit zwei voneinander abgekehrten ebenen Flächen 11 und 12.
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Zum
Aufnehmen wird das Teil 1 beispielsweise an seiner Fläche 11 von
der erfindungsgemäßen Vorrichtung
aufgenommen und gehalten. Dazu wird beispielsweise die Fläche 11 gegen
die Anbringungseinrichtung 20 des Halterungskörpers 2 der
erfindungsgemäßen Vorrichtung
gedrückt
und an die Anbringungseinrichtung 20 angesaugt.
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Zum
Justieren wird auf die Oberfläche 101 des
Substrats 100 ein Montageklötzchen 130 mit einer
zur Oberfläche 101 des
Substrats 100 und zur zentralen Achse 112 des
divergenten Laserstrahls 111 senkrechten Anlagefläche 131,
die eine Refe renzfläche
bildet, auf der Oberfläche 101 des
Substrats 100 aufgesetzt und niedergehalten.
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An
die Anlagefläche 131 des
Montageklötzchens 130 wird
mit Hilfe der erfindungsgemäßen Vorrichtung
das daran gehaltene Teil 1 so herangebracht, daß dessen
Fläche 12 der
Anlagefläche 131 gegenüberliegt.
Aufgrund der günstigen
Ausrichtungseigenschaften der erfindungsgemäßen Vorrichtung kann die Fläche 12 parallel
zur Anlagefläche 131 ausgerichtet
werden.
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Nach
dem Ausrichten wird das Montageklötzchen 130 freigegeben
und die Linse 10 unter Beibehaltung der Ausrichtung der
Fläche 12 des
Teils 1 in Richtung z der Achse 112 des divergenten
Laserstrahls 111 optimal justiert.
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Nach
Vollendung dieser Justage wird das beispielsweise aus Glas bestehende
Montageklötzchen 130 mit
seiner Anlagefläche
131 wieder an die Fläche 12 herangeschoben
und auf der Oberfläche 101 des
Substrats 100, z.B. durch Löten, Schweißen oder Kleben fixiert. Damit
ist die Position der Linse 10 in der Richtung 112 des
Laserstrahls 111 festgelegt.
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Das
an der erfindungsgemäßen Vorrichtung gehaltene
Teil 1 wird nunmehr noch einmal mit seiner Fläche 12 parallel
zur Anlagefläche 131 des
fixierten Montageklötzchens 130 ausgerichtet
und die Linse 10 optimal in den beiden in der Ebene der
Anlagefläche 131 und
damit zur Achse 112 senkrechten Richtungen x und y optimal
justiert.
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Nach
dieser Justage wird das Teil 1 in dieser justierten Position
mit seiner Fläche 12 an
die Anlagefläche 131 angedrückt und
beispielsweise durch Schweißen,
Löten oder
Kleben an dieser Anlagefläche 131 fixiert.
Diese Fixierung kann vorteilhafterweise von der erfindungsgemäßen Vorrichtung
aus mit Hilfe eines Laserstrahls erfolgen.
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Typische
Abmessungen des Teils 1 sind beispielsweise 1 × 2 × 0,5 mm3 und die des Montageklötzchens 131 gleich
1 × 1 × 1 mm3.
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Das
beschriebene Anwendungsbeispiel ist nur eines von vielen denkbaren
Anwendungen der erfindungsgemäßen Vorrichtung.