DD247054A1

DD247054A1 - Leuchte fuer allgemein- und arbeitsplatzbeleuchtung mit eingeengter spektraler ausstrahlung

Info

Publication number: DD247054A1
Application number: DD28592986A
Authority: DD
Inventors: Berndt Wagner; Dietrich Gall; Joachim Noetzoldt
Original assignee: Erfurt Mikroelektronik
Priority date: 1986-01-06
Filing date: 1986-01-06
Publication date: 1987-06-24

Abstract

Ziel der Erfindung ist es, die Allgemein- und Arbeitsplatzbeleuchtung in Produktionsraeumen zu verbessern, in denen lichtempfindliches Material verarbeitet wird. Aufgabe der Erfindung ist es, eine Leuchte anzugeben, deren spektrale Strahlungsverteilung keine schaedlichen Auswirkungen auf das lichtempfindliche Material hat, die weiterhin einen hohen Leuchtenwirkungsgrad aufweist. Die Aufgabe wird dadurch geloest, dass als Lichtquelle beispielsweise eine Natriumdampf-Hochdrucklampe eingesetzt wird, deren spektrale Strahlungsverteilung durch ein Filter eingeengt wird. Der Transmissionsgrad des Filters ist so gewaehlt, dass Strahlung mit Wellenlaengen kleiner 500 nm absorbiert wird. Die Leuchte, bestehend aus Natriumdampf-Hochdrucklampe und Filter, ist damit besonders geeignet zur Allgemein- und Arbeitsplatzbeleuchtung von Fertigungsabschnitten, in denen lichtempfindliche Materialien verarbeitet werden, beispielsweise im Fotolithografieprozess bei der Herstellung mikroelektronischer Bauelemente oder in der Druckindustrie.

Description

Anwendungsgebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft eine Leuchte, die für die Bestückung mit einer Natriumdampf-Hochdrucklampe vorgesehen ist. Sie dient insbesondere im Zusammenhang mit einem Filter zur Allgemein- und Arbeitsplatzbeleuchtung von Fertigungsabschnitten, in denen lichtempfindliche Materialien verarbeitet werden, beispielsweise im Fotolithografieprozeß bei der Herstellung mikroelektronischer Bauelemente oder in der Druckindustrie.

Charakteristik der bekannten technischen Lösungen

Bei der Verarbeitung lichtempfindlicher Lacke bei fotolithografischen Prozessen werden Forderungen an die spektrale Zusammensetzung des Lichtes für die Allgemein-und Arbeitsplatzbeleuchtung gestellt.

Bekannt sind Leuchten, bestückt mit Leuchtstofflampen in Verbindung mit ORWO-Lichtschutzfolie und Reinraumleuchten mit gelber Piacrylwanne, mit dem Nachteil, daß ein hoher Anteil der spektralen Strahlungsleistung durch das Filter absorbiert und damit für die Beleuchtung der Sehaufgabe unwirksam wird.

Weiterhin sind Leuchten bekannt, bestückt mit Natriumdampf-Hochdrucklampen, mit dem Nachteil, daß der Anteil der spektralen Strahlungsleistung kleiner500nm schädliche Auswirkungen auf den Fertigungsprozeß hat, weUkein Fi lter eingesetzt wurde, der das Spektrum scharfkantig eingrenzt.

Ziel der Erfindung

Ziel der Erfindung ist es, die Allgemein- und Arbeitsplatzbeleuchtung in Produktionsräumen zu verbessern, in denen lichtempfindliches Material verarbeitet wird.

Darlegung des Wesens der Erfindung

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Leuchte anzugeben, deren Strahlung keine Auswirkungen auf lichtempfindliches Material hat

und die weiterhin einenhohen Leuchtenwirkungsgrad auf lichtempfindliches Material hat und die weiterhin einen hohen Leuchtenwirkungsgrad aufweist.

Erfindungsgemäß ist die Aufgabe eine Leuchte zu schaffen, die bei einem hohen Wirkungsgrad geeignet ist für die Allgemein-

und Arbeitsplatzbeleuchtung in Produktionsstätten, in denen lichtempfindliches Material verarbeitet wird, dadurch gelöst, daß

als Lichtquelle beispielsweise eine Natriumdampf-Hochdrucklampe eingesetzt wird, deren spektrale Strahlungsverteilung durch ein Filter eingegrenzt wird.

Es ist zweckmäßig, daß als Lichtquelle beispielsweise eine Natriumdampf-Hochdrucklampe eingesetzt wird, weil diese Lampe eine hohe Strahlungsausbeute aufweist und im Wellenlängenbereich kleiner 500nm nur eine geringe Strahlungsleistung

abgibt. ,

Es ist weiterhin zweckmäßig, einen Filter so anzuordnen, daß die Strahlungsleistung kleiner 500 nm absorbiert wird und somit keine schädlichen Auswirkungen auf das lichtempfindliche Material hervorgerufen werden.

Es ist femer zweckmäßig, daß durch Abstimmung der spektralen Strahlungsverteilung der Lampe und des spektralen Transmissionsgrades des Filters geringe Absorbtionsverluste entstehen.

Ausführungsbeispie! . ·

Die Erfindung soll nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispieles näher erläutert werden. Die zugehörige Zeichnung zeigt die schematische Darstellung einer Leuchte.

Die Leuchte besteht aus einem Leuchtengehäuse 1, das als Träger der lichttechnischen Bauelemente dient. Im Leuchtengehäuse 1 ist eine Fassung 3 für eine Natriumdampf-Hochdrucklampe 2 als Lichtquelle angebracht, wobei einer waagerechten bis senkrechten Brennsteilung mit Sockel nach unten der Vorzug zu geben ist. Nach vorn wird die Leuchte durch einen Filter 4 abgeschlossen. Der spektrale Transmissionsgrad des Filters 4 ist so gewählt, daß der Strahlungsanteil der Lichtquelle 2 kleiner 500 nm absorbiert wird. Zur Wärmeabführung ist das Leuchtengehäuse 1 mit Belüftungsöffnungen 5 versehen. Das nicht dargestellte Zündgerät wird in einem separaten Gehäuse in der Nähe der Leuchte installiert, um die Wärmeeinwirkung durch die Lichtquelle 2 gering zu halten. Das nichtdargestellte Vorschaltgerät (z.Z. Drossel) kann in der Nähe der Leuchte oder zur Verrriinderung der Wärmeiast außerhalb des Produktionsraumes installiert werden.

Claims

Erfindungsanspruch: ·

1. Leuchte für Allgemein-und Arbeitsplatzbeleuchtung mit eingeengter spektraler Ausstrahlung, dadurch gekennzeichnet, daß vor einer Natriumdampf-Hochdrucklampe 2 ein Filter 4 angeordnet ist.

2. Leuchte nach Punkt 1, dadurch.gekennzeichnet, daß der Filter 4 den vorderen Abschluß der Leuchte bildet.

3. Leuchte nach Punkt 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Filter 4 für Wellenlängen größer 500 nm durchlässig ist.

Hierzu 1 Seite Zeichnung