DD247054A1

DD247054A1 - LUMINAIRE FOR GENERAL AND WORK PLATFORM LIGHTING WITH INTEGRATED SPECTRAL RADIATION

Info

Publication number: DD247054A1
Application number: DD28592986A
Authority: DD
Inventors: Berndt Wagner; Dietrich Gall; Joachim Noetzoldt
Original assignee: Erfurt Mikroelektronik
Priority date: 1986-01-06
Filing date: 1986-01-06
Publication date: 1987-06-24

Abstract

Ziel der Erfindung ist es, die Allgemein- und Arbeitsplatzbeleuchtung in Produktionsraeumen zu verbessern, in denen lichtempfindliches Material verarbeitet wird. Aufgabe der Erfindung ist es, eine Leuchte anzugeben, deren spektrale Strahlungsverteilung keine schaedlichen Auswirkungen auf das lichtempfindliche Material hat, die weiterhin einen hohen Leuchtenwirkungsgrad aufweist. Die Aufgabe wird dadurch geloest, dass als Lichtquelle beispielsweise eine Natriumdampf-Hochdrucklampe eingesetzt wird, deren spektrale Strahlungsverteilung durch ein Filter eingeengt wird. Der Transmissionsgrad des Filters ist so gewaehlt, dass Strahlung mit Wellenlaengen kleiner 500 nm absorbiert wird. Die Leuchte, bestehend aus Natriumdampf-Hochdrucklampe und Filter, ist damit besonders geeignet zur Allgemein- und Arbeitsplatzbeleuchtung von Fertigungsabschnitten, in denen lichtempfindliche Materialien verarbeitet werden, beispielsweise im Fotolithografieprozess bei der Herstellung mikroelektronischer Bauelemente oder in der Druckindustrie.The aim of the invention is to improve the general and workplace lighting in production areas in which photosensitive material is processed. The object of the invention is to provide a luminaire whose spectral radiation distribution has no harmful effects on the photosensitive material, which further has a high luminaire efficiency. The object is achieved in that, for example, a high-pressure sodium vapor lamp whose spectral radiation distribution is concentrated by a filter is used as the light source. The transmittance of the filter is chosen so that radiation with wavelengths less than 500 nm is absorbed. The lamp, consisting of high-pressure sodium vapor lamp and filter, is thus particularly suitable for general and workplace lighting of manufacturing sections in which photosensitive materials are processed, for example in the photolithography process in the manufacture of microelectronic devices or in the printing industry.

Description

Field of application of the invention

Die Erfindung betrifft eine Leuchte, die für die Bestückung mit einer Natriumdampf-Hochdrucklampe vorgesehen ist. Sie dient insbesondere im Zusammenhang mit einem Filter zur Allgemein- und Arbeitsplatzbeleuchtung von Fertigungsabschnitten, in denen lichtempfindliche Materialien verarbeitet werden, beispielsweise im Fotolithografieprozeß bei der Herstellung mikroelektronischer Bauelemente oder in der Druckindustrie.The invention relates to a luminaire, which is provided for the assembly with a high-pressure sodium vapor lamp. It is used in particular in connection with a filter for general and workplace lighting of manufacturing sections in which photosensitive materials are processed, for example in the photolithographic process in the manufacture of microelectronic components or in the printing industry.

Characteristic of the known technical solutions

Bei der Verarbeitung lichtempfindlicher Lacke bei fotolithografischen Prozessen werden Forderungen an die spektrale Zusammensetzung des Lichtes für die Allgemein-und Arbeitsplatzbeleuchtung gestellt.In the processing of photosensitive coatings in photolithographic processes, demands are placed on the spectral composition of the light for the general and workplace lighting.

Bekannt sind Leuchten, bestückt mit Leuchtstofflampen in Verbindung mit ORWO-Lichtschutzfolie und Reinraumleuchten mit gelber Piacrylwanne, mit dem Nachteil, daß ein hoher Anteil der spektralen Strahlungsleistung durch das Filter absorbiert und damit für die Beleuchtung der Sehaufgabe unwirksam wird.Are known lamps equipped with fluorescent lamps in conjunction with ORWO light protection film and clean room lights with yellow Piacrylwanne, with the disadvantage that a high proportion of the spectral radiant power absorbed by the filter and thus becomes ineffective for the illumination of the visual task.

Weiterhin sind Leuchten bekannt, bestückt mit Natriumdampf-Hochdrucklampen, mit dem Nachteil, daß der Anteil der spektralen Strahlungsleistung kleiner500nm schädliche Auswirkungen auf den Fertigungsprozeß hat, weUkein Fi lter eingesetzt wurde, der das Spektrum scharfkantig eingrenzt.Furthermore, luminaires are known, equipped with high pressure sodium vapor lamps, with the disadvantage that the proportion of the spectral radiation power kleiner500nm harmful effects on the manufacturing process, weUkein fi lter was used, which limits the spectrum sharp edged.

Object of the invention

Ziel der Erfindung ist es, die Allgemein- und Arbeitsplatzbeleuchtung in Produktionsräumen zu verbessern, in denen lichtempfindliches Material verarbeitet wird.The aim of the invention is to improve the general and workplace lighting in production areas in which photosensitive material is processed.

Explanation of the essence of the invention

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Leuchte anzugeben, deren Strahlung keine Auswirkungen auf lichtempfindliches Material hatThe object of the invention is to provide a lamp whose radiation has no effect on photosensitive material

und die weiterhin einenhohen Leuchtenwirkungsgrad auf lichtempfindliches Material hat und die weiterhin einen hohen Leuchtenwirkungsgrad aufweist.and which further has a high luminous efficiency on photosensitive material and which further has a high luminaire efficiency.

Erfindungsgemäß ist die Aufgabe eine Leuchte zu schaffen, die bei einem hohen Wirkungsgrad geeignet ist für die Allgemein-The object of the invention is to provide a luminaire which is suitable for the general

und Arbeitsplatzbeleuchtung in Produktionsstätten, in denen lichtempfindliches Material verarbeitet wird, dadurch gelöst, daßand workplace lighting in factories where photosensitive material is processed, achieved by:

als Lichtquelle beispielsweise eine Natriumdampf-Hochdrucklampe eingesetzt wird, deren spektrale Strahlungsverteilung durch ein Filter eingegrenzt wird.As a light source, for example, a high pressure sodium vapor lamp is used, the spectral radiation distribution is limited by a filter.

Es ist zweckmäßig, daß als Lichtquelle beispielsweise eine Natriumdampf-Hochdrucklampe eingesetzt wird, weil diese Lampe eine hohe Strahlungsausbeute aufweist und im Wellenlängenbereich kleiner 500nm nur eine geringe StrahlungsleistungIt is expedient that a high-pressure sodium vapor lamp is used as the light source, for example, because this lamp has a high radiation efficiency and only a low radiation power in the wavelength range less than 500 nm

abgibt. , emits. .

Es ist weiterhin zweckmäßig, einen Filter so anzuordnen, daß die Strahlungsleistung kleiner 500 nm absorbiert wird und somit keine schädlichen Auswirkungen auf das lichtempfindliche Material hervorgerufen werden.It is also appropriate to arrange a filter so that the radiation power less than 500 nm is absorbed and thus no detrimental effects on the photosensitive material are caused.

Es ist femer zweckmäßig, daß durch Abstimmung der spektralen Strahlungsverteilung der Lampe und des spektralen Transmissionsgrades des Filters geringe Absorbtionsverluste entstehen.It is furthermore expedient that small absorption losses occur by matching the spectral radiation distribution of the lamp and the spectral transmittance of the filter.

Ausführungsbeispie! . ·Ausführungsbeispie! , ·

Die Erfindung soll nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispieles näher erläutert werden. Die zugehörige Zeichnung zeigt die schematische Darstellung einer Leuchte.The invention will be explained in more detail with reference to an embodiment. The accompanying drawing shows the schematic representation of a lamp.

Die Leuchte besteht aus einem Leuchtengehäuse 1, das als Träger der lichttechnischen Bauelemente dient. Im Leuchtengehäuse 1 ist eine Fassung 3 für eine Natriumdampf-Hochdrucklampe 2 als Lichtquelle angebracht, wobei einer waagerechten bis senkrechten Brennsteilung mit Sockel nach unten der Vorzug zu geben ist. Nach vorn wird die Leuchte durch einen Filter 4 abgeschlossen. Der spektrale Transmissionsgrad des Filters 4 ist so gewählt, daß der Strahlungsanteil der Lichtquelle 2 kleiner 500 nm absorbiert wird. Zur Wärmeabführung ist das Leuchtengehäuse 1 mit Belüftungsöffnungen 5 versehen. Das nicht dargestellte Zündgerät wird in einem separaten Gehäuse in der Nähe der Leuchte installiert, um die Wärmeeinwirkung durch die Lichtquelle 2 gering zu halten. Das nichtdargestellte Vorschaltgerät (z.Z. Drossel) kann in der Nähe der Leuchte oder zur Verrriinderung der Wärmeiast außerhalb des Produktionsraumes installiert werden.The luminaire consists of a luminaire housing 1, which serves as a carrier of the lighting components. In the luminaire housing 1, a version 3 is mounted for a high-pressure sodium vapor lamp 2 as a light source, with a horizontal to vertical firing division with base down to give preference. Forward the lamp is completed by a filter 4. The spectral transmittance of the filter 4 is chosen so that the radiation fraction of the light source 2 is less than 500 nm absorbed. For heat dissipation, the luminaire housing 1 is provided with ventilation openings 5. The ignitor, not shown, is installed in a separate housing in the vicinity of the lamp to keep the heat from the light source 2 low. The ballast not shown (eg choke) can be installed near the luminaire or to reduce heat input outside the production area.

Claims

Claim of invention:

1. luminaire for general and workplace lighting with narrowed spectral emittance, characterized in that a filter 4 is arranged in front of a high-pressure sodium vapor lamp 2.

2. Light according to item 1, dadurch.gekennzeichnet that the filter 4 forms the front end of the lamp.

3. Light according to item 1 and 2, characterized in that the filter 4 is transparent to wavelengths greater than 500 nm.

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