DD244517A1

DD244517A1 - Vorrichtung zum regenerieren von diamantprofilscheiben

Info

Publication number: DD244517A1
Application number: DD28470385A
Authority: DD
Inventors: Klaus Franke; Udo Neubert; Rainer Wenzek
Original assignee: Liebknecht Mikroelektron
Priority date: 1985-12-19
Filing date: 1985-12-19
Publication date: 1987-04-08

Abstract

Vorrichtung zum Regenerieren von Diamantprofilscheiben, die in der Glasindustrie, im Werkzeugbau und in der Halbleitertechnik angewandt werden kann. Ziel der Erfindung ist es, abgenutzte Diamantprofilscheiben wieder verwendbar zu machen. Daraus ergibt sich die technische Aufgabe, eine-Vorrichtung zu schaffen, mit der bei Diamantprofilscheiben mit radialer Abschrägung der Anschrägwinkel und die Stirnbreite exakt wiederhergestellt werden können. Zur Lösung dieser Aufgabe wird die abgenutzte Scheibe auf einer umlaufenden Welle (300...500 U/min) befestigt. Von unten wird eine aus zwei Hälften bestehende Läppleiste mit Anschrägungen, die dem Anschrägungswinkel der Diamantprofilscheiben entsprechen, horizontal und vertikal beweglich angeordnet. Die Bewegungen werden durch einen Support mit Schraubentrieb realisiert.

Description

1 ...5cm/sec bewegt. Die Vorrichtung hat gegenüber einer Profilschleifvorrichtung mit einer Schleifform den Vorteil, daß der Schleif prozeß laufend optisch kontrolliert werden kann, indem ein Meßmikroskop direkt an der Vorrichtung montiert wird. Die zu bearbeitende Diamantprofilscheibe muß nicht für die Messung aus der Vorrichtung entnommen werden.

Ein weiterer Vorteil der Vorrichtung ist die gleichzeitige Bearbeitung beider angeschrägter Seiten. Dadurch ergibt sich eine erhebliche Erhöhung der Arbeitsproduktivität gegenüber dem Schleifen in Schleifformen.

Bei vorliegender Vorrichtung ist es für einzeln arbeitende Diamantprofilscheiben vorteilhaft, daß kein einheitlicher Durchmesser erforderlich ist. Ein Abrichten mittels einer Diamantflachscheibe ist lediglich für im Gatter arbeitende Diamantprofilscheiben notwendig. Bei Gattern ist es außerdem möglich, mehrere Läppleisten parallel anzuordnen und das Verfahren dadurch zu rationalisieren.

Ausführungsbeispiel

Auf eine horizontale Welle wird eine abgenutzte Diamantprofilscheibe aufgespannt, deren Stirnbreite von 50μ.ιη im ungebrauchten Zustand auf 100/^m durch Verschleiß zugenommen hat. Es wird eine Läppleiste benutzt, die eine Länge von 100mm und eine Breite von 15 mm hat. Die Läppleiste wird für den Läppvorgang genau justiert, so daß die Kanten parallel zur Scheibenebene liegen und die Scheibenmitte genau über der Trennfuge steht. Durch eineZwischenlage wird der Abstand der beiden Hälften der Läppleiste entsprechend der geforderten Stirnbreite der Diamantprofilscheibe eingestellt. Nach der Mittenjustierung wird die Diamantprofilscheibe in Bewegung gesetzt. Die Drehgeschwindigkeit beträgt 400U/min. Anschließend wird auch die Läppleiste in Bewegung gesetzt — in horizontaler Richtung reversierend mit einer Geschwindigkeit von 2CmS"¹ — in vertikaler Richtung manuell mittels Feinsttrieb, abhängig vom Abnutzungsgrad der Diamantprofilscheibe. Durch ein auf die Stirnfläche gerichtetes Mikroskop wird der Läppvorgang an der Diamantprofilscheibe laufend beobachtet. Vor dem Berühren der zu schleifenden Flächen wird das Läppmittel SiC F 320/29 in wäßriger Suspension in bekannter Weise auf die Läppleiste gebracht.

Claims

Erfindungsanspruch:

1. Vorrichtung zum Regenerieren von Diamantprofilscheiben, dadurch gekennzeichnet, daß die Diamantprofilscheibe (2) auf einer mit 300...500U/min umlaufenden Welle befestigt ist und eine Läppleiste (1), die mit dem geforderten Anschrägungswinkel versehen ist, auf einem vertikal und horizontal beweglichen Kreuztisch unter der Diamantprofilscheibe angeordnet ist.
2. Vorrichtung nach Pkt. 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Läppleiste (1) aus zwei Hälften besteht, die beide mit dem geforderten Anschrängungswinkel versehen sind und durch eine Zwischenlage zwischen den beiden Hälften die Stirnbreite der Diamantprofilscheibe (2) eingestellt wird.
3. Vorrichtung nach Pkt. 1 und Pkt. 2, dadurch gekennzeichnet, daß unter den aufgespannten Diamantprofilscheiben (2), die einen einheitlichen Durchmesser besitzen, zwei oder mehr Läppleisten (1)auf einem vertikal und horizontal beweglichen Kreuztisch parallel angeordnet sind.

Hierzu 1 Seite Zeichnungen

Anwendungsgebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Regenerieren von Diamantprofilscheiben, wie sie in der Glasindustrie, der Werkzeugherstellung und in der Halbleitertechnik verwendet werden und dort auch regeneriert werden können.

Charakteristik der bekannten technischen Lösungen

Das Trennen von spröden und/oder harten Stoffen mittels schnell umlaufender Trennschleifscheiben ist allgemein bekannt. In der DE-OS 3 246168 wird eine Schleifmaschine beschrieben, die aus einer in y-Richtung verschiebbaren Schleifspindel mit einer oder mehreren Schleifscheiben sowie einem in z-Richtung verschiebbaren Werkstückträger besteht. Ein Schleifscheibenmagazin enthält für jede bereitzustellende Schleifscheibe eine Schleifscheibenhalterung. Es sind Mittel zur automatischen Aufnahme einer Schleifscheibe vorhanden. Außerdem ist eine Abrichtvorrichtung angebracht, mit der alle Scheiben auf gleiche Durchmesser gebracht werden können. Es handelt sich jedoch nicht um Diamantprofilscheiben. In der US-PS 3704554 ist eine Linsenschleifmaschine mit einer beweglichen Linsenschleifform dargestellt. Abhängig von der Schleifform können damit verschieden geformte Linsenprofile geschliffen und poliert werden. Femer wird in der DE-PS 3322595 eine Trennschleifscheibe mit diamantbesetzten Schneidsegmenten beschrieben, bei der ein Regenerieren der Scheibe durch Auswechseln der Schneidsegmente erfolgen kann.

Ziel der Erfindung

Ziel der Erfindung ist, unterschiedlich abgenutzte Diamantprofilscheiben wieder verwendbar zu machen.

Darlegung des Wesens der Erfindung

Ausgehend vom Ziel der Erfindung stellt sich die technische Aufgabe, eine Vorrichtung zum Regenerieren von Diamantprofilscheiben mit radialer Abschrägung zu schaffen, mit welcher der Anschrägungswinkel und die Stirnbreite der Diamantprofilscheiben exakt wieder hergestellt werden können. Erfindungsgemäß wird zu diesem Zweck die zu bearbeitende Diamantprofilscheibe auf eine horizontale Welle gespannt, die eine Umdrehungsgeschwindigkeit von etwa 300... 500 U/min besitzt. Weiter wird auf einem Support eine Läppleiste montiert, die eine dem Anschrängungswinkel der Diamantprofilscheibe entsprechende Anschrägung ihrer Arbeitsflächen aufweist.

Fig. 1 a zeigt eine Querschnitt durch die Vorrichtung.
Fig. 1 b zeigt einen Längsschnitt durch die Vorrichtung.

Die Läppleiste ist zweiteilig ausgeführt. Die beiden Teile bilden, seitlich eng zusammengefügt, eine Dreiecksnut, in deren Mitte die Trennfuge verläuft. Die Läppleiste ist aus Messing oder Stahl hergestellt. Als Läppmittel wird eine wäßrige Aufschlämmung von Siliziumkarbid in bekannter Weise laufend zugeführt. Der-vorteil der Erfindung liegt in der Möglichkeit, zur Regenerierung von Diamantprofilscheiben Siliziumkarbid in loser Körnung zu verwenden. Durch das rollende Korn wird die Bindung der Diamantprofilscheibe relativ schnell herausgerissen. Die freiliegenden Diamantkörner an der Oberfläche fallen heraus und tragen in der Suspension zur weiteren Abtragung bei. Die gleichmäßige Abtragung der Bindung um die herausragenden Diamantkörnei*in der Diamantprofilscheibe erübrigt die Beachtung der Drehrichtung beim Einsatz derselben. Um nicht an einer Stelle der Läppleiste Schleifriefen zu erzeugen, wird diese während des Schleifprozesses in Längsrichtung mit einer Geschwindigkeit von