DD225237A1

DD225237A1 - Einrichtung zum abgleich des abbiildungsmassstabes

Info

Publication number: DD225237A1
Application number: DD26478884A
Authority: DD
Inventors: Manfred Heinze; Joerg Schmidt; Christian Tradel; Eberhardt Degenkolbe
Original assignee: Zeiss Jena Veb Carl
Priority date: 1984-07-02
Filing date: 1984-07-02
Publication date: 1985-07-24

Abstract

DIE ERFINDUNG BETRIFFT EINE EINRICHTUNG ZUM ABGLEICH DES ABBILDUNGSMASSSTABES VON PAARWEISE ANGEORDNETEN OPTISCHEN ABBILDUNGSSYSTEMEN UND IST VORZUGSWEISE ZUM BILDVERGLEICH ZWEIER AN SICH IDENTISCHER BILDINHALTE, BESONDERS ZUR DEFEKTKONTROLLE VON FOTOSCHABLONEN UND WAFERN IN DER HALBLEITERINDUSTRIE ANWENDBAR. ES WURDE EINE EINRICTUNG GESCHAFFEN, MIT WELCHER BEIM WECHSEL VON OBJEKTIVPAAREN EIN ABGLEICH DES ABBILDUNGSMASSSTABES INNERHALB EINES OBJEKTIVPAARES ERZIELBAR IST, WOBEI DIESER ABGLEICH MIT GERINGEM AUFWAND UND HOHER GENAUIGKEIT ERFOLGEN SOLL. ES SIND KOPPELMITTEL VORGESEHEN, PNEUMATISCHE ODER ELEKTRISCHE, DIE MIT DEM OBJEKTIVSCHLITTEN UND DEM TUBUSSYSTEM MIT VERAENDERBARER BRENNWEITE VERBUNDEN SIND, DERART, DASS BEIM VERSCHIEBEN DES SCHLITTENS UND DAMIT BEIM WECHSEL DER OBJEKTIVPAARE EINE ENTSPRECHEND DEM JEWEILS VERWENDETEN OBJEKTIVPAAR VORHER EINJUSTIERTE BRENNWEITENVERAENDERUNG DES ZWEITEN TUBUSSYSTEMS ZUR ABSTIMMUNG DES ABBILDUNGSMASSSTABES ERZIELBAR IST. DIE ANWENDUNG DER ERFINDUNG IST UEBERALL DORT GEGEBEN, WO EIN BILDVERGLEICH MITTELS ZWEIER OPTISCHER ABBILDUNGSSYSTEME BEI WAEHLBARER OBJEKTIVVERGROESSERUNG DURCHGEFUEHRT WIRD.

Description

Hierzu 2 Seiten Zeichnungen

Anwendungsgebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Abgleich des Abbildungsmaßstabes von paarweise angeordneten optischen Abbildungssystemen, vorzugsweise anwendbar zum Bildvergleich zweier an sich identischer Bildinhalte, besonders zur Defektkontrolle von Fotoschablonen und Wafern in der Halbleiterindustrie.

Charakteristik der bekannten technischen Lösungen

Es ist bekannt, bei Abbildungssystemen mit veränderbarer Brennweite, die aus feststehenden und mindestens zwei verschiebbar angeordneten optischen Wirkungsgruppen zusammengesetzt sind, durch Änderung des Abstandes der Wirkungsgruppen in Richtung der optischen Achse die Vergrößerung zu variieren.

In der DE-OS 2925906 wird beschrieben, daß eine motorische Einstellvorrichtung insbesondere für Zoomobjektive für fotografische Kameras, die an mindestens eine Linsengruppe angereift und diese unabhängig von den anderen verstellen kann, benutzt wird.

Weiterhin verwendet man bei Vergleichsmikroskopen zwei identische, meist parallel zueinander verlaufende Tuben mit je einem Objektiv (Brockhaus: ABC der Optik). Dazu müssen hinsichtlich des Abbildungsmaßstabes gleiche Objektive mit hohem technischem Aufwand hergestellt und ausgewählt werden.

Ziel der Erfindung

Die Nachteile des Standes der Technik zu beseitigen und mit geringem Aufwand mit hoher Genauigkeit eine Übereinstimmung des Abbildungsmaßstabes der Abbildungssysteme zu erzielen.

Darlegung des Wesens der Erfindung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung zu schaffen, mit welcher beim Wechsel von Objektivpaaren ein Abgleich des Abbildungsmaßstabes innerhalb eines Objektivpaares erziel bar ist.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einer derartigen Einrichtung zum Abgleich des Abbildungsmaßstabes von paarweise angeordneten optischen Abbildungssystemen, welche jeweils aus einem wechselbaren Objektiv mit unendlicher Bildweite und einem nicht wechselbaren Tubussystem bestehen, wobei die Objektive der Abbildungssysteme auf einem verschiebbaren Schlitten konstante und ein zweites Tubussystem eine durch axiales Verschieben von Linsen oder Linsengruppen veränderbare Brennweite besitzen, dadurch gelöst, daß Koppelmittel vorgesehen sind, die mit dem Objektivschlitten und dem in der Brennweite veränderbaren zweiten Tubussystem verbunden sind, derart, daß beim Verschieben des Schlittens und damit beim Wechsel der Objektivpaare eine entsprechende dem jeweils verwendeten Objektivpaar vorher einjustierte Brennweiteveränderung des zweiten Tubussystems zur Abstimmung des Abbildungsmaßstabes erzielbar ist.

Dabei ist es vorteilhaft, daß das zweite Tubussystem zwischen zwei Anschlägen verschiebbare Linsengruppen umfaßt, die in Abhängigkeit von der zu erzielenden Vergrößerung einjustiert sind.

Vorteilhaft ist femer, daß pneumatische oder elektrische Koppelmittel vorgesehen sind.

Besonders vorteilhaft wird durch die Erfindung das Problem gelöst, Abbildungssysteme mit herstellungsbedingten Brennweitentoleranzen zu verwenden, indem durch ein verstellbares Tubussystem ein automatischer Abbildungsmaßstabsabgleich des jeweils eingesetzten Paares erfolgt und somit ein erheblicher ökonomischer Nutzen erzielt wird. So kann der hohe Aufwand, der zur Auswahl von Abbildungssystemen exakt gleicher Brennweite notwendig wäre, entscheidend verringert werden. Außerdem wird eine hohe Genauigkeit der Abbildung erreicht. Weiterhin ist besonders vorteilhaft, daß zur Feststellung kleinster Differenzen beim Bildvergleich mit hoher Objektivvergrößerung gearbeitet werden kann, während bei der Forderung nach hoher Abtastgeschwindigkeit eine niedrige Objektivvergrößerung Anwendung findet.

Ausführungsbeispiel ,<

Die Erfindung soll an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden. In den zugehörigen Zeichnungen zeigen:

Fig. 1 schematisch den Aufbau der Einrichtung zum Abgleich des Abbildungsmaßstabes, Fig. 2 einen Schnitt durch das Tubussystem mit veränderbarer Brennweite.

Fig. 1: Die von Beleuchtungseinrichtungen 1 und 2, die aus Lichtquelle und Kondensator bestehen, ausgeleuchteten Objektfelder 3 und 4 der Objektivebene 5 werden durch das jeweils eingesetzte Objektivpaar 6; 7 oder 8; 9, wobei beide Objekti vpaare auf einem Objektivschlitten 10 angeordnet sind, und die dazugehörigen Tubussysteme 11und12ineine Bildebene 13 abgebildet.

Mittels Auswerteeinrichtungen 14 und 15, die unter anderem CCD-Zeilen umfassen, und eines Rechners 16 wird die Auswertung und der Vergleich der Bildinhalte durchgeführt. Wird eine Änderung der Vergrößerung notwendig, um entweder die Erkennbarkeit minimaler Differenzen beim Bildvergleich oder aber die Abtastgeschwindigkeit zu erhöhen, so erfolgt durch Eingabe einer Information in den Rechner 16 über eine pneumatische Steuereinheit 17 der Wechsel der Objektivpaare 6; 7 und

8; 9 durch Verschieben des Objektivschlittens 10 und gleichzeitig der Abgleich des Abbildungsmaßstabes des jeweils eingesetzten Objektivpaares 6; 7 bzw. 8; 9 durch Verstellen der gekitteten Linsengruppe 18 und der Einzellinse 19 des Tubussystems mit veränderbarer Brennweite 11 zwischen einjustierten Anschlägen 20; 22 und 21; 23. Das in Fig. 2 dargestellte Tubussystem mit veränderbarer Brennweite 11 ermöglicht eine Verschiebung der gekitteten Linsengruppe 18 und der Einzellinse 19 in entgegengesetzter Richtung zwischen exakt einjustierten Anschlägen 20; 22 und 21; 23, die so eingestellt sind, daß die Gleichheit des Abbildungsmaßstabes des jeweils eingesetzten Objektivpaares gewährleistet ist. Als Anschläge werden Gewinderinge benutzt, deren Lagefixierung durch Konterringe 24 erfolgt. Die über Pneumatikanschlüsse 25 und 26 zugeführte Druckluft verschiebt die gekittete Linsengruppe 18 und die Einzellinse 19 gegen die Federkraft von Rückstellfedern 27 und 28 bis an die Anschläge 20; 21. Bei Wegnahme der Druckluft werden mit Hilfe der Rückstellfedern 27 und 28 die Anschläge 22; 23 wirksam.

Durch die Erfindung kann bei Bildvergleichs-Geräten die Objektivvergrößerung optimal an den jeweiligen Anwendungsfall angepaßt werden, wobei die Forderung nach Gleichheit der Abbildungsmaßstäbe der beiden Objektive des jeweils eingesetzten Objektivpaares 6; 7 oder 8; 9 durch automatische Verstellung der Brennweite des Tubussystems mit veränderbarer Brennweite 11 erfüllt wird. Die Erfindung hat große Bedeutung bei der Defektkontrolle von Fotoschablonen und Wafern in der Halbleiterindustrie.

Claims

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Erfindungsansprüche:

1. Einrichtung zum Abgleich des Abbildungsmaßstabes von paarweise angeordneten Abbildungssystemen, welche jeweils aus einem wechselbaren Objektiv mit unendlicher Bildweite und einem nicht wechselbaren Tubussystem bestehen, wobei die Objektive der Abbildungssysteme auf einem verschiebbaren Schlitten angeordnet sind und ein erstes Tubussystem eine konstante und ein zweites Tubussystem eine durch axiales Verschieben von Linsen oder Linsengruppen veränderbare Brennweite besitzen, dadurch gekennzeichnet, daß Koppelmittel vorgesehen sind, die mit dem Objektivschlitten und dem in der Brennweite veränderbaren zweiten Tubussystem verbunden sind, derart, daß beim Verschieben des Schlittens und damit beim Wechsel der Objektivpaare eine entsprechend dem jeweils verwendeten Objektivpaar vorher einjustierte Brennweitenveränderung des zweiten Tubussystems zur Abstimmung des Abbildungsmaßstabes erzielbar ist.
2. Einrichtung nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Tubussystem zwischen zwei Anschlägen verschiebbare Linsengruppen umfaßt, die in Abhängigkeit von der zu erzielenden Vergrößerung einjustiert sind.
3. Einrichtung nach Anspruch 1 und 2 dadurch gekennzeichnet, daß pneumatische oder elektrische Koppelmittel vorgesehen sind.