DD152657A1 - Gasentladungs-sichtanzeigevorrichtung - Google Patents

Abstract

Ziel der Erfindung ist es, die Qualitaet von Gasentladungs-Sichtanzeigevorrichtungen zu verbessern. Diese Aufgabe wird dadurch geloest, dass die beim Verschliessen des Bauelementes freiwerdenden Verunreinigungen daran gehindert werden, den Entladungsraum zu erreichen. Erfindungsgemaess wird dazu in das Pumpenroehrchen der Sichtanzeigevorrichtung ein Gettermaterial so eingefuehrt, dass ein Gasaustausch zwischen Entladungsraum und Verschluszstelle nur ueber sehr enge Kanaele stattfinden kann.

Description

-Nickis entladungs-Sicht anzeigevorrichtung

Anwendungsgebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft planare Gasentladungs-Sichtanzeigevorrichtungen, die zur elektronisch gesteuerten Darstellung von Symbolen und Graphiken benutzt werden und zwischen ihren Elektrodensystemen einen sehr flachen, ebenen Gasraum besitzen,

Charakteristik der bekannten technischen Lösungen

Die modernen Plasma-Sichtanzeigevorrichtungen haben planare Struktur, ihre Elektrodensysteme sind mit Hilfe bekannter Dick- lind Dünnschichtmethoden auf ebenen Substraten hergestellt und begrenzen Entladungs-Gasräume von nur wenigen Zehntel mm Dicke, deren Fülldruck im Mitteldruckgebiet bei etwa 1-100 kPa liegt.

PUr die Punktionstuchtigkeit derartiger Vorrichtungen ist unbedingte Voraussetzung, daß die elektrischen und optischen Parameter der z.B. in Punktrasterform angeordneten Entladungen auf der gesamten aktiven Pläche untereinander gleich sind und bleiben.

Dies wird erreicht durch Gleichmäßigkeit im Herstellungsgang der Elektrodensysteme, extreme Sauberkeit der aktiven Oberflächen und der Gasfüllung, möglichst weitgehende Vermeidung von Katodenzerstäubungseffekten durch optimale Wahl von

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Material und Entladungsbedingungen und durch Wahl von katodischen Oberflächen mit hohen SE-Xoeffizienten und Penninggemischen als Arbeitsgas zur Spannungsabsenkung.

Nach der Montage des Bauelementes aus zwei Substratplatten, die in vorangegangenen Verfahrensschritten mit Elektroden, Dichtrahmen und Abstandhaltern, Isolier- und Schutzschicht versehen wurden und von denen eine ein Pumpröhrchen trägt, wird das Bauelement entgast (Desorption und Entfernen adsorbierter Gase und Dämpfe durch Heizen bei gleichzeitigem Pumpen bzw· Spülen mit Füllgas), mit dem Füllgas gefüllt und verschlossen. Die sehr empfindliche Penning-Gasfüllung und die ebenso empfindlichen aktiven Oberflächen können besonders beim Verschlußprozeß nachträglich verunreinigt werden, denn alle bekannten Verfahren des Verschließens Abschmelzen, Zuschmelzen mit Lötglas, Kaltvers chweißung durch Abquetschen - sind mit einer Abgabe gasförmiger Verunreinigungen an das Innere des Pumpröhrchens und damit an den Gasraum verbunden· Da das Gasv ο lumen sehr klein ist, kann diese Verunreinigung des Gasraumes zur Qualitätsminderung des Bauelementes führen· Zur Verminderung von Gasraumverunreinigungen durch Fremdgase, die beim Verschließen des Pumpstengels entstehen, wurde bisher empfohlen, die Verschlußstelle besonders gut zu entgasen· In IBM J· Res, Develop. 2£ (1978) 6, 596 wird vorgeschlagen, ein zusätzliches Volumen, etwa in Form einer Verdickung des Pumpröhrchens in Gefäßnähe, anzubringen, wodurch das Fremdgas stärker verdünnt wird. In allen Fällen wird jedoch die Eindiffusion der Fremdgase in den Entladungsraum nicht behindert·

Bei Vakuumgeräten, z.B. Elektronenröhren, wird zur Beseitigung der durch den Äbschmelzprozeß entstandenen Verunreinigungen meist in der V/eise verfahren, daß das Pumpröhrchen bei wirksamen Pumpen langsam verschlossen wird und nach dem Verschluß und Abtrennen mittels Getterung im Gefäßinneren weiter gepumpt wird. Bei gasgefüllten Gefäßen ist das Pumpen bis zum Verschluß prinzipiell nicht möglbh·

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Auch das Gettern im bisherigen Sinne ist wenig sinnvoll, da wegen der hohen Gasdichte die mittlere freie Weglänge der Fremdgasteilchen sehr klein ist und bei der sehr flachen, aber langgestreckten Gasraumgeometrie und dem großen Verhältnis aktive Oberfläche zu möglicher Getteroberfläche die Wahrscheinlichkeit, daß ein Fremdgasteilchen von der Getteroberfläche und nicht von der aktiven Oberfläche festgehalten wird, sehr klein wird· Außerdem wären zum Anbringen getternder Mittel starke lokale Erwärmungen in dem flachen Glasgefäß notwendig, die nur schwer vertragen werden und/oder der sich ausbreitende Verdampfungsgetter gefährdet bei seiner Erzeugung die empfindlichen aktiven Oberflächen·

Ziel der Erfindung

Ziel der Erfindung ist, die Qualität und die Lebensdauer von Gasentladungs-Sichtanzeigevorrichtungen zu verbessern.

Darlegung des Wesens der Erfindung

Technische Ursache für die Mängel der bisher verwendeten Herstellungsverfahren ist die Möglichkeit einer ungehinderten Eindiffusion von Verunreinigungsteilchen aus dem Gebiet der Verschlußstelle des Pumpröhrchens in den Entladungsraum. Diese Diffusion noch in dem am Gefäß verbleibenden verschlossenen Best des Pumpröhrchens in den Entladungsraum zu unterbinden, ist Aufgabe der Erfindung. Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß ein möglichst großer Abschnitt des am Entladungsgefäß verbleibenden Pumpröhrchenteils, der beim Verschlußprozeß nicht mit erhitzt und/oder deformiert wird, ausgefüllt wird durch ein Material mit getternder» Oberfläche, so daß nur über sehr enge Kanäle ein Gasaustausch zwischen Verschlußstelle und Entladungsraum möglich bleibt und die mit kleiner mittlerer freier Weglänge diffundierenden Fremdgasteilchen in diesen Kanälen mit stark erhöhter Wahrscheinlichkeit von den getternden Wänden absorbiert werden. Die Form des oder der getternden Füllkörper(s) ist nicht wesentlich. So sind z.B. Stab, Stabbündel, Tablettenstapel,

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Schüttung aus Kugeln, Tollzylindern, unregelmäßig geformten Körnern usw. möglich. Die Abmessungen müssen jedoch so gehalten sein, daß lange enge Kanäle gebildet werden und die Füllkörper nicht vollständig durch die Pumpröhrchenmündung in den Entladungsraum fallen können. Sie ragen aus der Pumpröhrchenmündung in den Entladungsraum hinein, werden aber von der gegenüberliegenden Glaswand in dieser Lage gehalten. In beschränktem Maße wirken sie ebenfalls getterad für Fremdteilchen des Entladungsraumes.

Ausführüngsbeispiel

In einer Ausführung (Fig· 1) hat die aus zwei 5 mm starken Glasplatten 1 mit Elektrodensystemen bestehende Plasma-Sichtanseigevorrichtung eine Gasraumdicke von 0,15 mm, das Pumpröhrchen 2 mit 3 mm Innendurchmesser ist in eine Bohrung der einen Glasplatte eingelötet. Es enthält eine etwa 1,5 cm hohe Schüttung aus Glaskugeln 3 mit 0,25 bis 0,35 mm Durchmesser und ist etwa 1,5 cm darüber abgeschmolzen· Die Oberfläche der Kugel trägt eine Schicht aus Verdampfungsgetterstoffen der bei Elektronenröhren üblichen Zusammensetzung und Auftragsweise·

Claims (3)

223 2 Erfindungsanspruch

1. Gasentladungs-Sichtanzeigevorrichtung, bestehend aus zwei mit Elektroden versehenen Substratplatten, die einen schmalen Gasraum begrenzen und von denen eine mit einem Pumpröhrehen
versehen ist, gekennzeichnet dadurch, daß sich in einem Teil des Pumpröhrchens getterndes Material befindet·

2« Vorrichtung nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß das getterade Material auf Trägerkörpern aufgebracht ist,

3· Vorrichtung nach Punkt 2, gekennzeichnet dadurch, daß die Trägerkörper so dicht liegen, daß ein Gasaustausch nur durch Diffusionskanäle stattfinden kann.

Hierzu A Seite Zeichnung _