DD148492A1 - Verfahren zur reinigung der waessrigen loesung eines gasfoermigen stoffes von beimengungen - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Reinigung der waeszrigen Loesung eines gasfoermigen Stoffes, beispielsweise Hydrogenfluorid, Hydrogenchlorid, Ammoniak, von Beimengungen. Ziel der Erfindung ist ein einfaches und wirtschaftliches Verfahren zur Gewinnung von Produkten hoher Konzentration und hohen Reinheitsgrades. Das Verfahren schlieszt eine Desorption der ueberschuessigen Menge des gasfoermigen Stoffes, der in der waeszrigen Ausgangsloesung enthalten ist, eine Destillation der nach der Desorption gebliebenen Fluessigkeit, die ohne Aenderung der Zusammensetzung siedet, und eine Saettigung des Destillats mit dem desorbierten gasfoermigen Stoff ein. Erfindungsgemaesz erfolgt die Desorption der ueberschuessigen Menge des gasfoermigen Stoffes aus der waeszrigen Ausgangsloesung durch Erwaermung dieser Loesung von einer Temperatur, die die Desorption nicht weniger als 95 % von der ueberschuessigen Menge des gasfoermigen Stoffes, der in der waeszrigen Ausgangsloesung enthalten ist, sichert, bis auf eine Temper., die 1 Grad C unter der Siedetemperatur der ohne Aenderung der Zusammensetzung siedenden Fluessigkeit liegt.

Description

Verfahren zur Reinigung der Lösung eines gasförmigen Stoffes Anwendungsgebiet der Erfindung;

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Reinigung der wäßrigen Lösung eines gasförmigen Stoffes von Beimengungen.

Die gereinigten wäßrigen Lösungen gasförmiger Stoffe, z. B. Hydrogenfluorid, Hydrogenchlorid, Ammoniak, finden bei der Herstellung der Halbleitergeräte mit hohen elektrophysikalischen Kenngrößen breite Anwendung,

In Abhängigkeit von dem Verfahren zur Gewinnung dar wäßrigen Ausgangslösungen gasförmiger Stoffe können diese verschiedene Beimengungen organischer und anorganischer Herkunft enthalten,

Mittelwerte des Gehaltes an Beimengungen in den wäßrigen Auägangslösungen gasförmiger Stoffe sind in der Tabelle angeführt (%);

Benennung von Bei~ mengungen

wäßrige Lösung von Hydrogenfluorid

wäßrige Lösung von Hydrogenchlorid

wäßrige Lösung von Ammoniak

Al Fe Ca Mg Cu Pb Mn Zn K

2.10

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1.10

-3

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Benennung von Beimengungen

wäßrige Lösung von Hydrogenfluorid

wäßrige Lösung von Hydrogenchlorid

wäßrige Lösung von Ammoniak

Na As P

5.10

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Organische . ^ Beimengungen 3 »10""

3.10

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Aus der Tabelle ist es zu ersehen, daß die wäßrigen Aus~ gangslösungen gasförmiger Stoffe (technische Produkte) mit Beimengungen von Schwer-, Alkali- und Erdalkalimetallen sowie mit Arsen, Phosphor u«a_e verunreinigt sind. Infolgedessen ist es zur Gewinnung von Produkten hohen Reinheitsgrades erforderlich, wirksame Reinigungsverfahren für Ausgangsrohstoffe zu verwenden.

Charakteristik der bekannt e_n_t ethnische η Lösungen

Es sind verschiedene Verfahren zur Reinigung der wäßrigen Lösungen gasförmiger Stoffe von Beimengungen bekannt. Es werden z_o B₄ zur Reinigung der Halogenwasserstoffsäuren weitgehend Verfahren angewandt, die auf dem Ionenaustausch beruhen (s, E« I. Kasanzew u· a« . Die Veröffentlichungen des Polytechnischen Uralinstituts), In diesem Falle erfolgt die Reinigung dieser wäßrigen Lösungen dadurch, daß die Austauscherharze befähigt sind, komplexe Ionen zu sorbieren. Die Entfernung einer großen Anzahl von Elementen bis auf eine Konzentration von 10 bis 10 ^ ist jedoch nur dann möglich, wenn die Lösungen verdünnt sind.

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Am weitesten verbreitet sind Verfahren, die auf dem Prinzip der Destillation beruhen (s. SU-Urheberschein Nr · 379 533» US-PS Nr. 3 199 642). Die Ausnutzung dieses Prinzips für Gas-Flüssigkeitsgemische vjird dadurch bedingt, daß einerseits gasförmige Stoffe befähigt sind, mit Flüssigkeiten AzGotropgemische zu bilden, d_o h. Lösungen, die ohne Änderung der Zusammensetzung sieden können, und daß andererseits die Flüchtigkeit der Beimengungen in den wäßrigen Lösungen gasförmiger Stoffe in bezug auf das Azeotrop unterschiedlich "ist. In der Regel trennen sich schwerflüchtige Beimengungen leichter als leichtflüchtige, wenn auch der Unterschied der Dampfspannungen nicht groß ist«

Die Möglichkeiten der Anwendung des Destillationsverfahrens zur Reinigung von leichtflüchtigen Beimengungen können durch Verwendung aktiver chemischer Zusätze bedeutend erweitert werden, weil sich die Flüchtigkeiten dieser Beimengungen dabei ändern und somit der Fraktionierfaktor vergrößert wird (s* JP-PS Nr. 16407 15B34, PL-PS Nr. 49615). Die Reinigung der wäßrigen Lösungen von Hydrogenfluorid, Hydrogenchlorid durch Destillation in Gegenwart chemischer aktiver Zusätze sowie die Reinigung der wäßrigen Lösung von Ammoniak unter Druck (DB-PS Nr₀ 8^8 894 und Nr. 1 467 198) ermöglichen es, Produkte hohen Reinheitsgrades mit einem Gehalt an Metallbeimengungen von 10 bis 10 %_%

6 ft *7

an Arsen von 10 bis 10 %, an Phosphor von 5.10"' % zu erhalten. Bei Verwirklichung dieser Reinigungsverfahren ist es jedoch unmöglich, konzentrierte Endprodukte zu gewinnen. .

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Is ißt weiterhin ein Verfahren zur Eeinigung der wäßrigen Lösung von Hydrogenchlorid bekannt, das ebenfalls auf dem· Destillationsprinzip beruht; es sieht aber auch eine Desorption der überschüssigen Menge an "gasförmigem Stoff vor, der in der wäßrigen Ausgangslösung über die azeotrope Zusammensetzung hinaus enthalten ist (s. Chemical processing vol. XIII, Nr, 11, 196?)« Das Verfahren besteht darin, daß die Ausgangslösung mit einer Konzentration von 36 % und mit einer Geschwindigkeit von 1 kg/h in die Blase einer Füllkörpersäule geleitet wird. Die Blase der Füllkörpersäule wird mit einem UmIaufwärmeträger beheizt. Die Ausgangslösung wird zum Sieden gebrachte Unter diesen Bedingungen entwickelt sich heftig das Hydrogenchlorid, das in der Ausgangslösung über die azeotrope Zusammensetzung Wasser-Wasserstoffchlorid hinaus enthalten ist, in einer Menge von 0*16 kg/h, und es bilden sich intensiv die Dämpfe der Säure azeotroper Zusammensetzung durch Destillation des Azeotrops (Flüssigkeit, die ohne Änderung der Zusammensetzung siedet) in einer Menge von 0,74- kg/h.

Die Dämpfe der Säure azeotroper Zusammensetzung und das desorbierte Hydrogenchlorid steigen in der Eüllkörpersäure ., auf. Die Säuredämpfe werden einem Kühlkondensator zugeleitet, wo sie in einer Menge von 0*74- kg/h kondensiert werden, und das desorbierte Hydrogenchlorid wird einem Absorber zugeführt» Infolge der Kondensation wird die Salzsäure mit einer Konzentration von 20 % gewonnen, welche dann dem Absorber zur Berieselung zugeleitet wird. Aus dem Absorber fließt eine 35%ige Salzsäure mit einer Geschwindigkeit von 0,9 kg/h aus. Der Gehalt an Beimengungen in der erhaltenen Säure beträgt 1.1(T⁴ bis 1.1 Cf*⁵ %. Solch eine relativ

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niedrige Qualität des Fertigproduktes ist dadurch verursacht, daß das Aufkochen der zu reinigenden wäßrigen Ausgangslösung und die stattfindende heftige Entwicklung von gelöstem Hydrogenchlorid, das im Verhältnis zur Zusammensetzung des Azeotropgemisches überschüssig ist, von einem bedeutenden Spritzmasse!¹- und Nebelmitreißen begleitet wird und durch dieses Mitreißen das Gas und die kondensierte Säure verunreinigt werden. Dies geht deshalb vor sich, weil beim Sieden der Flüssigkeit die Gasbiase, indem sie an die Oberfläche gelangt, aber ehe sie groß wird, platzt, weil der Flüssigkeitsfilm Defektstellen hat« Dabei wird eine großo Anzahl sehr kleiner Wassertröpfchen (Nebel) - beständige Aerosolphase - gebildete Solcher Nobel schlüpft zusammen mit der Dampfphase durch die Säulen des Apparates mit minimalem Abscheiden hindurch«

Ziel der Erfindung

Ziel der Erfindung ist die Bereitstellung eines einfachen und wirtschaftlichen Verfahrens zur Reinigung der wäßrigen Lösungen eines gasförmigen Stoffes, beispielsweise Hydrogenfluorid, Hydrogenchlorid, Ammoniak, von Beimengungen zur Erzeugung von Produkten hoher Konzentration mit hohem Reinheitsgrad.

Darlegung des Wesens der Erfindung '

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Bedingungen im Verfahren zur Reinigung der wäßrigen Lösung eines gasförmigen Stoffes von Beimengungen derart zu ändern, um Produkte hohen Reinheitsgrades durch maximale Beseitigung des Spritzwasser- und Nebelmitreißens zu erhalten.

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Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß im vorgeschlagenen Verfahren zur Reinigung der wäßrigen Lösung eines gasförmigen Stoffes von Beimengungen, das eine Desorption der überschüssigen Menge des in der wäßrigen Ausgangslösung enthaltenen gasförmigen Stoffes, eine Destillation der nach der Desorption gebliebenen Flüssigkeit, die ohne Änderung der Zusammensetzung siedet, und eine Sättigung des Destillats mit desorbiertem gasförmigem Stoff einschließt, erfindungsgemäß die Desorption der überschüssigen Menge an gasförmigem Stoff aus der wäßrigen Aus gangs lösung durch Erwärmung dieser Lösung von einer Temperatur, die die Desorption nicht -weniger als 95 % von der überschüssigen Menge an gasförmigem Stoff, der in der wäßrigen Aus gangs lösung enthalten ist, sichert, bis auf eine Temperatur, die 1 ⁰C unter der Siedetemperatur der ohne Änderung der Zusammensetzung siedenden Flüssigkeit liegt, durchgeführt wird.

Wäßrige Ausgangslösungen gasförmiger Stoffe sind z„ B. vääßrige Lösungen von Mineralsäure η (HF, HCl, H₂SO₂^) sowie die viäßrige Lösung von Ammoniak, Diese wäßrigen Lösungen sind entweder Säuren azeotroper Zusammensetzung, die den entsprechenden gasförmigen Stoff (über die azeotrope Zusammensetzung hinaus enthalten, oder eine viäßrige Lösung von Ammoniak, die 25 bis 27 % gelöstes Gas enthält. Nach der Desorption der überschüssigen Menge des in der wäßrigen Ausgangslösung enthaltenen gasförmigen Stoffes bilden sich in beiden Fällen Flüssigkeiten, die ohne Änderung der Zusammensetzung sieden, und zwar die Säure azeotroper Zusammensetzung bzva. Wasser mit einem Gehalt an Ammoniak von 3 bis 5 %.

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In Übereinstimmung mit dem erfindungsgemäßen Verfahren wird die Desorption der überschüssigen Menge des in der wäßrigen Ausgangslösung enthaltenen gasförmigen Stoffes bei der Temperaturführung "untererwärmten Siedens" durchgeführt, dabei tritt das Gas aus der Flüssigkeit ruhig aus. Die Erwärmung der wäßrigen Lösungen gasförmiger Stoffe auf Temperaturen, die den Siedetemperaturen nahe liegen, bzw* auf die Siedetemperaturen, wird von einer wesentlichen Druckste ige j?ung vom gelösten Gas begleitet« Wenn die Flüssigkeit nicht zum Sieden gebracht worden ist, weist der Gasblasenfilm keine Defektstellen auf« Er dehnt sich aus, verdünnt sich und wird mit dem Austreten des Gases an die Oberfläche sowie der Bildung eines großen Flüssigkeitstropfens zerstört.

Im erfindungsgemäßeη Verfahren wird die Temporaturführung "untererviärmten Siedens" dadurch gewährleistet, daß, wie oben beschrieben, die Desorption der überschüssigen Menge an gasförmigem Stoff aus der wäßrigen Ausgangslösung bei einer Temperatur, die die Desorption nicht weniger als 95 % von der überschüssigen Menge an gasförmigem Stoff, der in der wäßrigen Ausgangslösung enthalten ist, sichert, bis auf eine Temperatur, die 1 ⁰C unter der Siedetemperatur der ohne Änderung der Zusammensetzung siedenden Flüssigkeit liegt, durchgeführt wird.

Das erfindungsgemäße Verfahren zur !Reinigung der wäßrigen Lösungen gasförmiger Stoffe macht es möglich, eine Hochrei-nigung der genannten Lösungen von Beimengungen durchzuführen und Mineralsäuren, z, B_e Fluorwasserstoffsäure, Salzsäure, Schwefelsäure sowie wäßrige Ammoniaklösung hohen Eeinheits-

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grades mit. einem Gehalt an Ferrum, Schviermetallen, Phosphor, Arsen von 10 bis 10""' % zu erhalten. Die gewonnenen Stoffe sind hochkonzentrierte Produkte, und zwar hat die Fluorwasserstoffsäure eine Konzentration von nicht weniger als 50 %, die Salzsäure nicht weniger als 36 bis 38 %, die Schwefelsäure nicht weniger als 95,6 %, das Ammoniakwasser nicht weniger als 25 %«

Das.Verfahren ist in der technologischen Durchführung einfach und wird wie folgt realisiertί

Dem Oberteil eines Dünnschicht-Kolonnenapparates mit einer Wärmeaustauschfläche von 1 bis 1,8 m wird unter Atmosphärendruck in kontinuierlichem Strom die wäßrige Ausgangslösung eines gasförmigen Stoffes zugeführt. Die Turmblase ist mit einer Heiavorrichtung ausgestattet. Die Ausgangslösung wird bis auf eine Temperatur, die um 1 ⁰C niedriger als die Temperatur der jeweiligen ohne Änderung der Zusammensetzung siedenden Flüssigkeit ist, erwärmt. Durch Erwärmung erfolgt eine Desorption des gasförmigen Stoffes, welcher dann dem Unterteil eines Absorbers zugeleitet wird. Die entgaste Flüssigkeit, die ohne Änderung der Zusammensetzung siedet, wird dem Unterteil des Apparates entnommen und in einem Sammelbehälter gesammelt, aus welchem sie einer Rektifiziersäule zur Destillation zugeführt wird.

Durch Destillieren wird das gereinigte Produkt (Destillat) entnommen, das zur Berieselung dem Oberteil des Absorbers zugeleitet wird. Aus dem Absorber fließt das konzentrierte Produkt hohen Reinheitsgrades aus.

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Ausführungsbeispiel

Die Erfindung wird nachstehend an einigen Ausführungsbeispielen näher erläutert«,

Beispiel 1

Dem Oberteil eines Dünnschicht-Kolonnenapparates mit einer

WärmeaastauechfIache von 1 m wird unter Atmosphärendruck in kontinuierlichem Strom mit einer Geschwindigkeit von 50 kg/h 36%ige rohe Salzsäure zugeführt, deren Temperatur in der Turmblase in einem Bereich von 107 bis 109 ⁰C aufrechterhalten wird« Unter diesen Bedingungen entwickelt eich aus der Flüssigkeit gasförmiges Hydrogenchlorid in einer Menge von 7»6 kg/h (Desorption), das einem Absorber zugeleitet wird.

Aus dem Unterteil des Apparates fließt die Salzsäure in einer Menge von 4-2,5 kg/h mit einem Gehalt an Hydrogen-Chlorid von 25 % (Säure azeotroper Zusammensetzung) aus_e Die Säure gelangt in einen Sammelbehälter, aus welchem sie zur Destillierung geleitet wird« Zu diesem Zweck wird der Blase einer Eektifizieranlage aus dem Sammelbehälter in kontinuierlichem Strom 4-2,5 kg/h 25%ige Salzsäure zugeleitet» Der Destillationsprozeß wird mit dem Rücklauf verhältnis gleich 1 durchgeführt. Dabei werden jede Stunde etwa 10 % von der Ausgangsfüllmenge der Blasenflüssigkeit abgeworfen. Der Dampfdruck wird in der Blase in einem Bereich von 50 bis 100 mm V/S aufrechterhalten» Nach der Destillation wird 38 kg/h gereinigte Säure (Destillat) entnommen, die zur Berieselung einem Bodenabsorber zugeleitet und mit gereinigtem gasförmigem Hydrogenchlorid bis auf eine

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Konzentration von 36 bis 38 % gesättigt -wird· Im Ergebnis des Auflösens von Hydrogenchlorid -wird eine große Wärmemenge entwickelt, die durch austragbare "wassergekühlte Wärmeaustauscher abgeführt wird«

Die gewonnene Salzsäure (45,6 kg/h) hat eine Konzentration von 36 bis 38 % und ist ein Produkt hohen Eeinheitsgrades» Der Gehalt an jeder der zu begrenzenden Beimengungen liegt darin in einem Bereich von 10 ' bis 10 %.

Beispiel 2

Dem Oberteil eines Dünnschicht-Kolonnenapparates mit einer Wärmeaustauschfläche von 1,8m wird unter Atmosphärendruck in kontinuierlichem Strom mit einer Geschwindigkeit von 25 kg/h rohe Fluorwasserstoffsäure mit einem gesamten Gehalt an Hydrogenfluorid von 70 % zugeführt, deren Temperatur in einem Bereich von 108 bis 109 ⁰C aufrechterhalten wird. Unter diesen Bedingungen wird aus der Flüssigkeit gasförmiges Hydrogenfluorid in einer Menge von 11 kg/h entwickelt (Desorption), das einem Absorber zugeleitet wird» Aus dem Unterteil des Kolonnenapparates fließt 14 kg/h Fluorwasserstoffsäure mit einem Gehalt an Hydrogenfluorid von 40 bis 41 % (Säure azeotroper Zusammensetzung) aus» Die Säure wird in einem Sammelbehälter gesammelt und weiter zur Destillation geleitet. Zu diesem Zweck wird der Blase einer Eektifisieranlage in kontinuierlichem Strom aus dem Sammelbehälter 14 kg/h 40 bis 41%ige Fluorwasserstoffsäure zugeführt. Die Destillation wird mit einem Rücklaufverhältnis gleich 1 durchgeführt. Dabei werden ;jede Stunde etwa 10 % von der

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Ausgangsfüllmenge der Blasenflüssigkeit abgeworfen. Der Dampfdruck wird in der Blase in einem Bereich von 100 bis 150 mm WS aufrechterhalten.

Nach der Destillation werden 12 kg/h gereinigte Säure (Destillat) entnommen, die zur Berieselung dem Bodenabsorber zugeleitet und mit gereinigtem gasförmigem Hydrogenfluorid bis auf 70 bis 72 % gesättigt wird. Nach der Lösung von.Hydrogenfluorid wird eine große Wärmemenge entwickelt, die durch wassergekühlte Austragswärmeaustauscher abgeführt wird.

Die gewonnene Fluorwasserstoffsäure (23 kg/h) hat eine Konzentration von 70 bis 72 % und ist ein Produkt hohen Reinheitsgrades_Φ Der Gehalt an jeder der zu begrenzenden Beimengungen darin liegt in einem Bereich von 10 ' bis 10~⁸ %.

Beispiel 3

Einem Verdampfer wird unter Atmosphärendruck in kontinuierlichem Strom 1 kg rohes oder reaktives Oleum mit einem Gehalt an freiem Schwefelsäureanhydrid von 65 % zugeführt. Bei Verdampfung von Oleum wird eine Temperatur von 280 ⁰C aufrechterhalten. Unter diesen Bedingungen wird 0,61 kg/h Schwefelsäureanhydrid entwickelt, das einem Absorber zugeleitet wird»

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Aus dem Unterteil des Verdampfers fließt 0,39 kg/h Schwefeleäure mit einem spezifischen Gewicht von 1,870 aus, die 4,13 % frei gelöstes Schwefelsäureanhydrid enthält (der Gesamtgehalt an SO- beträgt 82,6 %). Die Säure gelangt in einen Sammelbehälter, wo sie mit 1 Gew.-% Chromoxyd zur Oxydierung organischer Verbindungen, die im Ausgangsprodukt enthalten sind, behandelt wird, und dann zur Destillation geleitet. Zu diesem Zweck wird der Blase einer Rektifizieranlage in kontinuierlichem Strom 0,39 kg/h Säure zugeleitet. Die Destillation wird mit dem Rücklaufverhältnis gleich durchgeführte Dabei werden jede Stunde etwa 10 % von der Ausgangsfüllmenge der Blasenflüssigkeit abgeworfen.

Nach der Destillation wird 0,35 kg/h gereinigte Säure entnommen, die zur Berieselung dem Absorber zugeleitet und mit gereinigtem Schwefelsäuraanhydrid bis auf 66 % gesättigt wird»

Nach der Lösung von Schwefelsäureanhydrid in der Schwefelsäure wird Wärme entwickelt, die durch wassergekühlte Austragswärmeaustauscher abgeführt wird.

Das erhaltene Oleum (0,95 kg/h) hat eine Konzentration von 66 % und ist ein Produkt hohen Reinheitsgrades. Der Gehalt an.jeder der zu begrenzenden Beimengungen darin beträgt 10""' bis ΙΟ"*⁸ %,

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Beispiel 4-

Dem Oberteil eines Dünnschicbt-Kolonnenapparates mit einer

ρ Wärmeaustauschfläche von 1,8 m wird unter Atmospharendruck in kontinuierlichem Strom mit einer Geschwindigkeit von 20 kg/h 25 bis 27%iges rohes Ammoniakwasser zugeleitet, dessen Temperatur in der Turmblase auf 97 ⁰C aufrechterhalten wird. Unter diesen Bedingungen wird aus dem Wasser gasförmiges Ammoniak -in einer Menge von 4,5 kg/h entwickelt (Desorption), das in einen Absorber gelangt. Aus dem Unterteil des Apparates fließt 15?5 kg/h Ammoniakwasser mit einem Gehalt an Ammoniak von 3 % aus (das genannte Ammoniak«asser ist eine Flüssigkeit, die ohne Änderung der Zusammensetzung siedet)* Das Ammoniakwasser wird in einen Sammo!behälter und weiter zur Destillation geleitet. Dazu wird 3%igss Ammoniakwasser aus dem Sammelbehälter der Blase einer Eektifiziersäule in kontinuierlichem Strom in einer Menge von 15,5 kg/h zugeleitet.

Die Destillation wird mit dem Rücklaufverhältnis gleich 1 durchgeführt. Dabei werden jede Stunde etwa 10 % von der Ausgangsfüllmenge der Blasenflüssigkeit abgeworfen« Der Dampfdruck in der Blase wird in einem Bereich von j?0 bis 70 mm WS aufrechterhalten. Nach der Destillation wird 18 kg/h gereinigtes 0,5 bis 1 % Ammoniak enthaltendes Wasser entnommen, das zur Berieselung dem Bodenabsrober zugeleitet und mit gereinigtem Ammoniak bis auf 26 bis 27 % gesättigt wird*

Das erhaltene Ammoniakwasser (18 kg/h) hat eine Konzentration von 25 bis 27 % und ist ein Produkt hohen Reinheitsgrades« Der Gehalt an jeder der zu begrenzenden Beimengungen darin gleicht ca« 10""⁷ %,'

Claims (1)

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   Erfindungsanspruch

   Verfahren zur Reinigung der wäßrigen Lösung eines gasförmigen Stoffes von Beimengungen, das eine Desorption der überschüssigen Menge des gasförmigen Stoffes, der in der wäßrigen Ausgangslösung enthalten ist, eine Destillation der nach der Desorption gebliebenen Flüssigkeit, die ohne Änderung der Zusammensetzung siedet, und eine Sättigung des Destillats mit dem desorbierten gasförmigen Stoff einschließt, gekennzeichnet dadurch, daß die Desorption der überschüssigen Menge des gasförmigen Stoffes aus der wäßrigen Ausgangslösung durch Erwärmung dieser Lösung von einer Temperatur, die die Desorption von nicht weniger als 95 % der überschüssigen Menge des gasförmigen Stoffes, der in der wäßrigen Ausgangslösung enthalten ist, sichert, bis auf eine Temperatur, die 1 ⁰C unter der Siedetemperatur der ohne Änderung der Zusammensetzung siedenden Flüssigkeit liegt, durchgeführt wird.