CZ2006607A3 - Aluminová vrstva se zlepšenou texturou - Google Patents

Aluminová vrstva se zlepšenou texturou Download PDF

Info

Publication number
CZ2006607A3
CZ2006607A3 CZ20060607A CZ2006607A CZ2006607A3 CZ 2006607 A3 CZ2006607 A3 CZ 2006607A3 CZ 20060607 A CZ20060607 A CZ 20060607A CZ 2006607 A CZ2006607 A CZ 2006607A CZ 2006607 A3 CZ2006607 A3 CZ 2006607A3
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
layer
hkl
cutting insert
cutting
cutting tools
Prior art date
Application number
CZ20060607A
Other languages
English (en)
Other versions
CZ305851B6 (cs
Inventor
Sakari@Ruppi
Original Assignee
Seco Tools Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seco Tools Ab filed Critical Seco Tools Ab
Publication of CZ2006607A3 publication Critical patent/CZ2006607A3/cs
Publication of CZ305851B6 publication Critical patent/CZ305851B6/cs

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/36—Carbonitrides
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • B23B27/14—Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
    • C04B41/5025—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials with ceramic materials
    • C04B41/5031—Alumina
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81—Coating or impregnation
    • C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
    • C04B41/87—Ceramics
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/40—Oxides
    • C23C16/403—Oxides of aluminium, magnesium or beryllium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24355—Continuous and nonuniform or irregular surface on layer or component [e.g., roofing, etc.]
    • Y10T428/24372—Particulate matter
    • Y10T428/24413—Metal or metal compound
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
    • Y10T428/24967—Absolute thicknesses specified
    • Y10T428/24975—No layer or component greater than 5 mils thick
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/25—Web or sheet containing structurally defined element or component and including a second component containing structurally defined particles
    • Y10T428/252—Glass or ceramic [i.e., fired or glazed clay, cement, etc.] [porcelain, quartz, etc.]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264—Up to 3 mils
    • Y10T428/265—1 mil or less
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/266—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension of base or substrate

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Drilling Tools (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

Nános se skládá z jedné nebo více žáruvzdorných vrstev, z nichž alespon jedna je vrstvou .alfa.-Al.sub.2.n.O.sub.3.n. silne texturovanou ve smeru <001>. Vrstva .alfa.-Al.sub.2.n.O.sub.3 .n.má tlouštku pohybující se mezi 1 a 20 .mi.m a je tvorena sloupcovitými zrny s podílem délky a šírky 2 až 15. Vrstva se vyznacuje silnou difrakcní špickou (006) zmerenou pomocí XRD a nízkou intenzitou difrakcních špicek (012), (104), (113), (024) a (116). Vrstvy .alfa.-Al.sub.2.n.O.sub.3 .n.texturované ve smeru <001> jsou nanášeny v teplotním rozmezí 750-1000.degree.C. Textura je rízena specifickým nukleacním postupem spojeným s použitím legovacích látek s obsahem síry a fluoru.

Description

Vynález se týká pokryté břitové destičky navržené k použití při obrábění kovů. Nános vykazuje výbornou přilnavost k substrátu a pokrývá všechny jeho funkční části. Nános se skládá z jedné nebo více žáruvzdorných vrstev, z nichž alespoň jedna je vrstvou CI-AI2O3 silně texturovanou ve směru <001>.
Dosavadní stav techniky
Techniky nanášení vrstev α-ΑΐζΟβ a K-AI2O3 s celkovou kontrolou nukleace byly uvedeny v průmyslovém měřítku teprve nedávno a jasně se přitom ukázalo, že ve většině aplikací řezání kovů je a-Al2C>3 nejupřednostňovanější fází.
Experimentálně se potvrdilo, že CI-AI2O3 může být nukleován např. na povrchu TÍ2O3, pojících vrstvách (Ti,AI)(C,0) nebo řízením oxidačního potenciálu pomocí směsí CO/CO2. Myšlenkou všech těchto postupů je to, že k nukleaci nesmí dojít na povrchu z TiC, TiN, Ti(C,N) nebo Ti(C,O,N) s plošně centrovanou krychlovou strukturou, jinak se získá K-AI2O3.
Všechny způsoby podle dosavadního stavu techniky používají řízení nukleace k dosažení růstových textur. Jak je popsáno v nedávno vyšlé publikaci (článek S. Ruppihc „Nanášení, mikrostruktura a vlastnosti nátěrů z ct-Al2C>3
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006 • · • · ·· nanášených chemickým rozkladem par s řízením textury v časopise Int. J. Refractory Metals & Hard Materials č. 23 (2005), str. 306-315), může manipulace s nukleačními povrchy vést k získání růstových textur <012>, <104> nebo <003>. Naproti tomu špička (006), která indikuje přítomnost textury <001>, vždy chybí. Dále bylo pozorováno, že optimalizací textury a-Al2O3 je možno dosáhnout zvýšeného výkonu. Je tak možné zvýšit výkon nástroje uzpůsobením textury a-Al2O3 pro různé materiály aplikačního nástroje i obrobku při řezání kovů.
Je-li nukleační proces neúplný, což je případ mnoha výrobku podle dosavadního stavu techniky, byly vyrobené vrstvy a-Al2O3 vytvořeny alespoň zčásti následkem fázové transformace k-A12O3 v a-Al2O3. Tyto druhy vrstev ot-Al2O3 jsou složeny z větších zrn s transformačními trhlinami. Prokazují o mnoho nižší mechanickou pevnost a kujnost než textury z a-Al2O3 složené z vrstev nukleovaného a-Al2O3. Výsledně pak vzniká potřeba vyvinutí technik řízení nukleačního kroku a růstové textury a-Al2O3.
Možnosti řízení polymorfu a-Al2O3 na průmyslové úrovni bylo dosaženo na počátku 90. let u komerčních výrobků založených na U.S. patentu 5 137 774. Pozdější modifikace tohoto patentu byly používány k nanesení a-Al2O3 s upřednostňovanými texturami. V dokumentu U.S. 5 654 035 je zveřejněna aluminová vrstva texturovaná ve směru <012> a v dokumentu U.S. 5 980 988 vrstva texturovaná ve směru <110>. V dokumentu U.S. 5 863 640 je zveřejněn upřednostňovaný růst podél <012>, <104> nebo <110>. U.S. 6 333 103 popisuje modifikovaný způsob řízení nukleace a růstu cc-Al2O3 ve směru <10 (10) >. U.S. 6 869 668 popisuje
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006 ·· ··
způsob, jak na a-Al2O3 dosáhnout silné textury ve směru <300> pomocí činidla pro modifikaci textury (ZrCl4) . Postupy podle dosavadního stavu techniky, jak jsou popsané výše, používají všechny teplotu při nanášení okolo 1000°C.
U.S. 2004/0028951A1 popisuje techniku k dosažení výrazné textury ve směru <012>. Komerční úspěch tohoto druhu výrobku ukazuje důležitost zdokonalování postupu nanášení a-Al2O3 chemickým rozkladem par s orientací na plné řízení textur.
Běžně pozorované difrakční špičky a-Al2O3 jsou (012), (104), (110), (113) a (116) . Difrakční špička (006) vždy chybí v obrazech získaných z difrakční rentgenové analýzy (XRD) texturovaných vrstev a-Al2O3 podle předchozího stavu techniky.
Podle definice použité v Mezinárodních krystalografických tabulkách patří a-Al2O3 do klencové krystalické soustavy, ma romboedricky centrovanou hexagonální krystalovou mřížku a jeho prostorová skupina má symbol R3c. Krystalická struktura a-Al2O3 je často popisována jako složenina z kyslíkových iontů (A, B) v přibližně šesterečném nejtěsnějším uložení (...ABAB...) , přičemž hliníkové anionty zabírají dvě třetiny osmistěnové štěrbiny. Hliníkové kationty mohou zaujmout tři různé vakance v kyslíkové krystalové mřížce s ukládací sekvencí ...αβγαβγ.... Obvykle se označují symboly c“, cP a cx. Jednotková buňka cc-Al2O3 obsahuje šest vrstev O a AI a může být popsána následujícím způsobem: ΑοαΒο^ΑσχΒοαΑο^Βοχ.
Záznam JPDS, k němuž se budeme dále odvolávat, používá
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006 • ···
- 4 hexagonální soustavu, a tedy se používají čtyři osy (hkil), kde i=- (h+k) . Často se index i vypouští, jak je tomu i v tomto případě.
Podstata vynálezu
Předmětem tohoto vynálezu je poskytnout vylepšenou aluminovou vrstvu, kde se fáze a-Al2O3 skládá z nukleovaného a-Al2O3 se silnou, plně řízenou růstovou texturou ve . směru <001>.
Bylo překvapivě zjištěno, že textura ve směru <001> může být nanášena řízeným způsobem. V obraze XRD je charakteristická silnou špičkou 006. Aluminová vrstva se silnou texturou ve směru <001> je efektivnější než náhodné nebo jiné řízené textury podle předchozího stavu techniky. Dále je možné dosáhnout zvýšené pevnosti.
Přehled obrázků na výkresech
Vynález bude blíže vysvětlen prostřednictvím konkrétních příkladů provedení znázorněných na výkresech, na kterých představuje obr. la rastrovací elektronovou mikroskopií (SEM) sejmutý obraz typické povrchové morfologie vrstvy podle tohoto vynálezu při 15000-násobném zvětšení obr. lb tutéž vrstvu v příčném řezu při 15000-násobném zvětšení obr. 2 obraz XRD vrstvy cc-A12C>3 podle tohoto vynálezu
89667 (2789667...CZ.doc) 1.10.2006
pro 2θ=20 °-70 °
Příklady provedení vynálezu
Podle tohoto vynálezu byla poskytnuta pokrytá břitová destička do řezacích nástrojů, která obsahuje substrát a nános k použití v obrábění kovů.
Substrát obsahuje tvrdý materiál jako slinutý karbid, kovová keramika, keramika, vysokorychlostní ocel nebo supertvrdý materiál jako kubický nitrid boru (CBN) nebo diamant, přednostně slinutý karbid nebo CBN. Termínem CBN se zde míní břitová destička do řezacího nástroje, který obsahuje alespoň 40 % obj . CBN. V upřednostňovaném provedení je substrátem slinutý karbid s povrchovou zónou obohacenou o návaznou fázi.
Tvrdý a proti opotřebení odolný nános vykazuje vynikající přilnavost k substrátu, přičemž zakrývá všechny jeho funkční části. Skládá se z jedné nebo více žáruvzdorných vrstev, z nichž alespoň jedna vrstva je silně texturovaný a-Al2O3 nanesený na vazebnou vrstvu z (Ti,AI)(C,O,N) se zvyšujícím se podílem aluminy směrem k vnějšímu povrchu. Vrstva a-Al2O3 má tloušťku 1-45 pm a je složen ze sloupcovitých zrn se silnou texturou ve směru <001>. Poměr délky k šířce aluminových zrn se pohybuje mezi 2 a 15, přednostně více než 5. Vrstva se vyznačuje silnou difrakční špičkou 006 změřenou pomocí XRD a difrakčními špičkami 012, 104, 113, 024 a 116 o nízké intenzitě.
Koeficienty textury (TC) pro vrstvu a-Al2O3 se určí následovně:
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006
TC(hkl) = t(hkl)
Io(hkl)
El(hki) -í Io(hkl)'
kde :
I(hkl) = intenzita odrazu (hkl),
I0(hkl) = standardní intenzita podle záznamu JCPDS č.
46-1212, n - počet odrazů použitých ve výpočtu, použité odrazy (hkl) jsou: (012), (104), (110), (600), (113) a (116) . Odraz (024) , což je odraz druhého řádu (012) je z výpočtů vyňat.
Textura aluminové vrstvy je definována následovně:
TC (006)>1,4, přednostně >3,0 a nejvýhodněji >4,0. Toto je znak silné textury ve směru <001>.
Koeficienty textury pro difrakční špičky (012), (104), (113), (024) a (116) jsou nižší než 0,5, přednostně nižší než 0,2 a nejvýhodněji nižší než 0,1.
Přesněji obsahuje nános první vrstvu sousedící se substrátem z Ti(C,N) (naneseným pomocí CVD, chemického rozkladu par), TiN (CVD), TiC (CVD), Ti(C,N) (naneseným pomocí MTCVD, chemického rozkladu par za středních teplot), Zr(C,N) (MTCVD), Ti(B,C,N) (MTCVD), HfN (CVD) nebo jejich kombinací, přičemž Ti(C,N) má přednostně tloušťku mezi 1 až 20 pm, přednostně mezi 1 a 10 pm. Mezi substrátem a první vrstvou je přednostně mezivrstva TiN o tloušťce menší než 3 μιη, přednostně 0,5-2 pm.
V jednom provedení podle tohoto vynálezu je vrstva CC-AI2O3 nej vyšší vrstvou.
V jiném provedení tohoto vynálezu se nad vrstvou a-Al2O3
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006
nachází vrstva karbidu, nitridu, karbonitridu nebo karboxynitridu jednoho nebo více prvků z množiny Ti, Zr a Hf, a to o tloušťce od cca 0,5 do 3 pm, přednostně 0,5 až
1,5 pm. Alternativně má tato vrstva tloušťku od cca 1 do 20 pm, přednostně 2 až 8 pm.
V dalším provedení tohoto vynálezu nános obsahuje vrstvu K-AI2O3 a/nebo y-AUCb, přednostně nad vrstvou (X-AI2O3, o tloušťce od 0,5 do 10, přednostně od 1 do 5 pm.
Vynález se rovněž týká zdokonaleného způsobu výroby texturovaných vrstev CC-AI2O3 v teplotním rozmezí od 9501000°C, přednostně při 1000°C s řízenou texturou ve směru <001>. Vrstva a-Al2C>3 je nanesena na vazebné vrstvě (Ti,AI)(C,O,N) se stoupajícím obsahem hliníku směrem k vnějšímu povrchu. Na tuto vrstvě je nanášena vrstva Ti(C,O) s řízeným obsahem O. Podobným způsobem, jako se používá v ALD (Atomic Layer Deposition; nanášení atomární vrstvy), se získá velmi tenká vrstva oxidu titanu. Postup je následující: (i) vystavení prekurzoru TÍCI4, přednostně spolu s AICI3, (ii) čištění (N2) , (iii) vystavení druhého prekurzoru (H20) , (iv) čištění (N2) . Doba trvání kroků (i) a (iii) je 1-5 min, přednostně v obojím případě 2 min, a u kroků (ii) a (iv) 2-10 min, přednostně v obojím případě 5 min. Nanášení vrstvy OC-AI2O3 začíná relativně dlouhým, 30- až 120-minutovým, přednostně 60-minutovým, nukleačním krokem bez sloučenin obsahujících síru nebo fluor. C1-AI2O3 roste do požadované tloušťky za použití sloučenin s obsahem síry H2S nebo SO2, přednostně H2S, zároveň se sloučeninami s obsahem fluoru SF6 nebo HF, přednostně SFg. Je-li CI-AI2O3 korektně nukleován, dosáhneme po nanášecím procesu za použití relativně malého množství těchto legovacích látek zároveň se
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006 • ·
směsí plynů CO+CO2 v poměru CO = 2xCO2 silné růstové textury ve směru <001>, a to řízeným způsobem. Důležitý rozdíl oproti dosavadnímu stavu techniky je vedle postupu nukleace právě to, že je textura řízena rovněž během růstu samotného a-Al2O3. Popsané textury není možné dosáhnout, nejsou-li jak nukleace, tak růst korektně řízeny. To je možné vysvětlení pro skutečnost, že textura ve směru <001> [difrakční špička (006)] byla dosud neznámá.
Detailní popis nukleačních kroků:
1. Nanesení vazebné vrstvy o tloušťce 0,1-1 pm ve směsi plynů se 2-3 % TÍCI4 a AICI3 rostoucího od 0,5 do 6 %,
3-10 % CO2, 0,2-10 % CH3CN, 0,2-1,0 %, 2-10 % N2 a za přebytku H2 při cca 750-1000°C, přednostně při 800°C a při tlaku 50-200 mbar.
2. Čištění N2 po dobu 5 min.
3. Vystavení vazebné vrstvy směsi plynů s 5-15 % T1CI4 a
5-20 % CO2 a 10-20 % Ar ve vodíku po dobu 5-15, přednostně 10 minut při min. 950-1000°C, přednostně při 1000°C a při tlaku 50-200 mbar.
4. Čištění N2 po dobu 5 min.
5. Vystavení vazebné vrstvy směsi plynů s 8-15 % T1CI4 a
0,5-2 % AICI3 ve vodíku po dobu 5-15, přednostně 10 minut při min. 950-1000°C, přednostně při 1000°C a při tlaku 50-200 mbar.
6. Vystavení směsi plynů 0,05-0,5 % H2O, přednostně 0,01 % za přebytku H2.
7. Čištění N2 po dobu 5 min.
8. Nukleace aluminové vrstvy při teplotě 950-1000°C na požadovanou tloušťku podle známého postupu nebo nanášení aluminové vrstvy při 950-1000°C bez jakýchkoli katalýzujících prekurzorů.
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006 ·· ·· · ·· ·· ·· ···· ·· · · · · · • · · ··· ····· ·· ·· ······· ··· · · · ··· ·· ···· ··· ·· ·· ··
9. Nanášení aluminové vrstvy při teplotě 950-1000°C na požadovanou tloušťku při teplotě 950-1000°C a při nanášecím tlaku 50-200 mbar za použití 0,01-0,05 % H2S nebo SO2, přednostně H2S, a 0,01-0,02 % SF6 nebo HF, přednostně SFé, jako katalyzátorů. Společně s CO se používá 1,0-4,5 % CO2 jako zdroj kyslíku, přičemž se udržuje poměr CO=2xCO2.
Příklad 1
Břitové destičky ze slinutého karbidu se slitinou 5,9% Co a přebytku WC (tvrdost okolo 1600 HV) byly pokryty vrstvou Ti(C,N) (MTCVD). Šířka vrstvy nanesené pomocí MTCVD byla cca 2 pm. Na tuto vrstvu byla nanesena vrstva a-Al2O3 podle tohoto vynálezu, kterou zde budeme nazývat Nános a) . Následují podrobné údaje o postupu:
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006 • · ····
• · <
Krok 1: Vazebná vrstva 1
Směs plynů TiCl4 CH3CN AICI3 CO CO2 n2 Přebytek: H2 2,8 % 0,7 % Roste 8,8 % 2,2 % 5 % od 0,8 do 5,4 %
Doba trvání 40 min
Teplota 1000°C
Tlak 100 mbar
Krok 2: Čištění n2
Krok 3: Vazebná vrstva 2
Směs plynů TiCl4 8 %
CO 12 %
CO2 1,2 %
Ar 5 %
Přebytek: H2
Doba trvání 10 min
Teplota 1000°C
Tlak 100 mbar
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006 *4 44 ·<
*• 4 4 4 · 4
4 4 4 4444
44« 44 4 • 4 4 4 4 4 4
444 44 «4 «4
Krok 3: (ALD alternativa): a) vystavení TÍCI4,
b) čištění N2, c) vystavení H20, d) čištění N2
a) TiCl4 AICI3 Přebytek: H2 5 min 9 % 1 %
c) H20 Přebytek: H2 2 min 0,1 %
b) , d) n2 5 min 100 %
Teplota Tlak 1000°C 50 mbar
Krok 4: Nukleace
Směs plynů AICI3 1,2 %
HC1 2,0 %
C02 1,5 %
CO 2,4 %
Přebytek: H2
Doba trvání 60 min
Teplota 1000°C
Tlak 50 mbar
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006 • 9 9»
9 9 9
9 ·
9 9 ·
9 9
9· 9999 • ·· • 9 9 ·
9 9
9 9 9
9 9
99· 99
9« ·« · * · ··»
9 9 9
9 9 ·
9«
- 12 Krok 5: Nanášení
Směs plynů A1C13 HC1 CO2 CO H2S sf6 Přebytek: H2 2,8 % 3 % 1,8 % 3,6 % 0,01 % 0,01 %
Doba trvání 630 min
Teplota 1000°C
Tlak 70 mbar
Příklad 2
Nános a) byl zkoumán difrakční rentgenovou analýzou. Byly zjištěny texturové koeficienty vrstev a-Al2O3 a jsou uvedeny v Tab.l. Mikrofotografie získaná SEM nánosu a) v pohledu shora s texturou ve směru <001> je zobrazena na obr. la a v příčném řezu na obr. lb. Vrstva a-Al2O3 se skládala z sloupcovitých zrn. Difrakční rentgenový obraz je zobrazen na obr. 2.
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006 • ·
- 13 Tabulka 1
hkl Nános a)
012 0,01
104 0, 06
110 0,01
006 5,91
113 0,00
116 0,02
Příklad 3
Nánosy, jež budeme označovat Nános b), resp. c) s texturami ve směru <012>, resp. <104> byly nanášeny podle dosavadního stavu techniky (při tloušťce nánosu cca 10 pm) . Nánosy byly zkoumány difrakční rentgenovou analýzou. Byly zjištěny texturové koeficienty vrstev CI-AI2O3 a jsou uvedeny v Tab.2.
Tabulka 2
hkl Nános a), vynález Nános b) Nános c)
012 0,03 5,15 0,16
104 0,06 0,13 4,27
110 0, 01 0,10 0, 08
600 5,88 0,00 0, 09
113 0, 00 0,18 0,66
116 0,02 0,44 0,74
Příklad 4
Nánosy a), b) a c) nanesené na substrátech obohacených Co byly testovány vzhledem k pevnosti při podélném ohýbání
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006
s přerušovanými zářezy.
Pracovní kus: Válcovitá drážkovaná tyč
Materiál: SS1672
Typ destičky: CNMG120408-M3
Řezací rychlost: 140 m/min
Podávání: 0,1, 0,125, 0,16, 0,20, 0,25, 0,315,
0,4, 0,5, 0,63, 0,8 mm/ot. s postupným zvyšováním po 10 mm
délky zářezu
Hloubka zářezu: 2,5 mm
Poznámky: ohýbání za sucha
Kritéria životnosti nástroje: postupně zvyšované podáváni až do porušeni hrany. Bylo testováno 10 hran každé varianty.
Destičky byly zkontrolovány po 2 a 4 minutách řezáni. Jak vyplývá z Tab.3, pevnost hrany se podstatně zlepšila, když byla vrstva vyrobena podle tohoto vynálezu.
Tabulka 3
Pokusný nános Průměrné podávání při porušení (mm/ot.)
Nános a (006), podle tohoto vynálezu 0,50
Nános b (012) 0,22
Nános c (104) 0,36
Výsledky testu ukazuji (Tab.3), že nános podle vynálezu (nános a) vykazoval jasně lepši pevnostní vlastnosti než nános podle dosavadního stavu techniky (nánosy bac).
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006
Příklad 5
Nánosy a), b) a c) byly testovány vzhledem
k odštípávání hrany v podélném ohybu u litého železa.
Pracovní kus: Válcovitá tyč
Materiál: SS0130
Typ destičky: SNUN
Řezací rychlost: 400 m/min
Podávání: 0,4 mm/ot.
Hloubka zářezu: 2,0 mm
Poznámky: ohýbání za sucha
Destičky byly zkontrolovány po 2 a 4 minutách řezání.
Jak vyplývá z Tab.4, pevnost hrany výrobku podle dosavadního stavu techniky byla podstatně vylepšena, když byla vrstva vyrobena podle tohoto vynálezu.
Tabulka 4
Odprýskávání hrany (%) po 2 min Odprýskávání hrany (%) po 6 min
Nános a), vynález 0 15
Nános b) 0 18
Nános c) 5 10
Příklad 6
Destička z kubického nitridu boru (CBN) obsahující aspoň 90 % polykrystalického CBN (PCBN) byla pokryta podle tohoto vynálezu a nánosem b) podle dosavadního stavu techniky. Pokrytá destička z CBN byla porovnána s nepokrytou destičkou z CBN při řezání oceli obsahující ferit. Je známo,
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006
že bor má vysokou afinitu k feritu a při vysokých řezacích rychlostech dochází k difuznímu opotřebení.
Pracovní kus:
Materiál:
Typ destičky: Řezací rychlost: Podávání:
Hloubka zářezu: Poznámky:
Válcovitá tyč SS0130
SNUN
800 m/min 0, 4 mm/ot.
2,5 mm ohýbání za sucha
Tabulka 5
Životnost (min)
Pokrytý CBN, vynález 23
Pokrytý CBN, dosavadní stav, textura ve směru <012> 14
Nepokrytý CBN 9
Jak je zřejmé z Tab.5, nános podle tohoto vynálezu má nad nánosem podle dosavadního stavu techniky převahu.
Příklad 7
Tvrdost a Youngův modul pružnosti nánosů a)-c) zároveň s K-AI2O3 a starší a-Al2O3 podle dosavadního stavu techniky byly změřeny pomocí nanoindentace. Výsledky jsou shrnuty v Tab.6.
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006 • ·
- 17 • ·· · · · · · · ··
Tabulka 6
Tvrdost (GPa) Youngův modul (GPa)
Nános a 28,92 444,42
Nános b 27,31 419,53
Nános c 28,81 441,17
Dosavadní a-Al2O3 (bez textury) 25,79 385,45
K-AI2O3 23, 64 339,51
Nános c) podle tohoto vynálezu hodnoty tvrdosti a modulu pružnosti, následovány hodnotami u nánosu c).
vykazuje nejvyšší které jsou těsně
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006

Claims (10)

1. Břitová destička pro řezací nástroje skládající se ze substrátu alespoň zčásti pokrytého nánosem o celkové tloušťce 5-40 pm, přednostně 5-25 pm skládajícího se z jedné nebo více žáruvzdorných vrstev, z nichž alespoň jedna vrstva je ot-aluminová vrstva, vyznačující se tím, že tato aluminová vrstva je tvořená sloupcovitými zrny C1-AI2O3 s upřednostňovaným směrem růstu <001> s texturovými koeficienty:
a) TC(OO6)>1,4, přednostně >3,0 a nejvýhodněji >4,0, kde texturový koeficient je definován jako:
TC(hkl)
I0(hkl) ‘n k(hkl) kde :
I(hkl) = naměřená intenzita odrazu (hkl),
Io(hkl) = standardní intenzita podle záznamu JCPDS č. 46-1212, n = počet odrazů použitých ve výpočtu, použité odrazy (hkl) jsou: (012), (104), (110), (006), (113) a (116) .
2. Břitová destička pro řezací nástroje podle nároku 1, vyznačující se tím, že aluminová sloupcovitá zrna mají poměr délka/šířka 2 až 15, přednostně 5 až 10.
3. Břitová destička pro řezací nástroje podle
27 89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006 ·· ···· kteréhokoli z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že substrát obsahuje slinutý karbid přednostně s povrchovou zónou obohacenou o vazebnou fázi, CBN nebo sintrovanou slitinou CBN.
4. Břitová destička pro řezací nástroje podle kteréhokoli z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že nános obsahuje první vrstvu přilehlou k základu z Ti(C,N) (naneseným pomocí CVD, chemického rozkladu par), TiN (CVD), TiC (CVD), Ti(C,N) (naneseným pomocí MTCVD, chemického rozkladu par za středních teplot), Zr(C,N) (MTCVD), Ti(B,C,N) (MTCVD), HfN (CVD) nebo jejich kombinací, přičemž Ti(C,N) má tloušťku mezi 1 a 20 pm, přednostně tloušťku mezi 1 až 10 pm a vrstva a-Al2O3 sousedící s první vrstvou má tloušťku od cca 1 do 40 pm, přednostně od 1 do 20 pm, nejvýhodněji od 1 do 10 pm.
5. Břitová destička pro řezací nástroje podle kteréhokoli předcházejícího nároku, vyznačující se tím, že vrstva oc-A1203 je nej vyšší vrstva.
6. Břitová destička pro řezací nástroje podle kteréhokoli z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že se nad vrstvou a-Al2O3 nachází vrstva karbidu, nitridu, karbonitridu nebo karboxynitridu jednoho nebo více prvků z množiny Ti, Zr a Hf, a to o tloušťce cca 0,5 až 3 pm, přednostně 0,5 až 1,5 pm.
7. Břitová destička pro řezací nástroje podle jednoho nebo více z nároků, vyznačující se tím, že se nad vrstvou cc-A12O3 nachází vrstva karbidu, nitridu, karbonitridu nebo karboxynitridu jednoho nebo více prvků z množiny Ti, Zr
27 89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006 a Hf, a to o tloušťce od cca 1 do 20 μιη, přednostně 2 až 8 μιη.
8. Břitová destička pro řezací nástroje podle jednoho nebo více z nároků, vyznačující se tím, že se nad vrstvou OC-AI2O3 nachází vrstva K-AI2O3 a/nebo γ-Αΐ2θ3, přednostně nad vrstvou a-A^Ch, o tloušťce od 0,5 do 10 μιη, přednostně od 1 do 5 μηκ
9. Břitová destička pro řezací nástroje podle jednoho nebo více z nároků, vyznačující se tím, že se mezi substrátem a první vrstvou nachází přednostně mezivrstva TiN o tloušťce menší než 3 μιη, přednostně 0,5-2 μηκ
10. Způsob výroby vrstvy α-Αΐ2θ3 podle nároku 1 v teplotním rozmezí 750-1000°C, vyznačující se tím, že růstu (X-AI2O3 je dosaženo optimalizací jak nukleačního povrchu, tak růstu (X-AI2O3 za použití prekurzorů obsahujících síru a fluor, jako jsou H2S nebo SF6 nebo SO2 nebo SF6.
27 89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006
CZ2006-607A 2005-09-27 2006-09-27 Aluminová vrstva se zlepšenou texturou CZ305851B6 (cs)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0502115A SE529051C2 (sv) 2005-09-27 2005-09-27 Skärverktygsskär belagt med aluminiumoxid

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ2006607A3 true CZ2006607A3 (cs) 2008-02-27
CZ305851B6 CZ305851B6 (cs) 2016-04-13

Family

ID=37930325

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ2006-607A CZ305851B6 (cs) 2005-09-27 2006-09-27 Aluminová vrstva se zlepšenou texturou

Country Status (7)

Country Link
US (2) US7993742B2 (cs)
JP (1) JP2007125686A (cs)
KR (1) KR101314504B1 (cs)
CN (1) CN1939715B (cs)
BR (1) BRPI0603957A (cs)
CZ (1) CZ305851B6 (cs)
SE (1) SE529051C2 (cs)

Families Citing this family (63)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4946333B2 (ja) * 2006-10-10 2012-06-06 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
SE531929C2 (sv) * 2007-07-13 2009-09-08 Seco Tools Ab Belagt hårdmetallskär för svarvning av stål eller rostfritt stål
SE531930C2 (sv) * 2007-02-01 2009-09-08 Seco Tools Ab Belagt skärverktyg för medelgrov till grov svarvn ing av rostfria stål och varmhållfasta legeringar
SE531938C2 (sv) * 2007-02-01 2009-09-15 Seco Tools Ab Belagt skärverktyg för fin till medelgrov svarvning av rostfria stål
SE531670C2 (sv) * 2007-02-01 2009-06-30 Seco Tools Ab Texturerat alfa-aluminiumoxidbelagt skär för metallbearbetning
SE532023C2 (sv) 2007-02-01 2009-09-29 Seco Tools Ab Texturhärdat alfa-aluminiumoxidbelagt skär för metallbearbetning
SE532021C2 (sv) * 2007-09-13 2009-09-29 Seco Tools Ab CVD belagt hårdmetallskär för frästillämpningar och tillverkningssätt
SE532020C2 (sv) * 2007-09-13 2009-09-29 Seco Tools Ab Belagt hårdmetallskär för frästillämpningar och tillverkningssätt
SE532043C2 (sv) * 2007-10-10 2009-10-06 Seco Tools Ab CVD-belagt skär för fräsning samt tillverkningsmetod
GB2455993B (en) * 2007-12-28 2012-09-05 Hauzer Techno Coating Bv A corrosion resistant coated article
US8449992B2 (en) * 2008-02-27 2013-05-28 Kyocera Corporation Surface-coated member and cutting tool
SE532049C2 (sv) 2008-03-07 2009-10-13 Seco Tools Ab Oxidbelagt skärverktygsskär för spånavskiljande bearbetning av stål
SE532047C2 (sv) 2008-03-07 2009-10-13 Seco Tools Ab Oxidbelagt skärverktygsskär för spånavskiljande bearbetning av gjutjärn
SE532050C2 (sv) * 2008-03-07 2009-10-13 Seco Tools Ab Oxidbelagt skärverktygsskär för spånavskiljande bearbetning av stål
SE532048C2 (sv) 2008-03-07 2009-10-13 Seco Tools Ab Oxidbelagt skärverktygsskär för spånavskiljande bearbetning av stål
SE533154C2 (sv) * 2008-12-18 2010-07-06 Seco Tools Ab Förbättrat belagt skär för grov svarvning
SE533972C2 (sv) * 2009-07-27 2011-03-15 Seco Tools Ab Finkornigt belagt hårdmetallskärverktygsskär för svarvning i härdat stål och verktygsstål
JP5427754B2 (ja) * 2009-11-20 2014-02-26 住友化学株式会社 サファイア単結晶製造用αアルミナ
JP5555834B2 (ja) * 2010-03-19 2014-07-23 国立大学法人東京工業大学 耐摩耗性にすぐれたミーリング加工用表面被覆切削工具およびその製造方法
JP5555835B2 (ja) * 2010-03-19 2014-07-23 国立大学法人東京工業大学 耐摩耗性にすぐれたターニング加工用表面被覆切削工具およびその製造方法
EP2395126A1 (en) 2010-06-08 2011-12-14 Seco Tools AB Textured alumina layer
EP2446988A1 (en) 2010-10-29 2012-05-02 Seco Tools AB Cutting tool insert with an alpha-alumina layer having a multi-components texture
WO2012079769A1 (en) 2010-12-17 2012-06-21 Seco Tools Ab Coated cubic boron nitride tool for machining applications
US8507082B2 (en) 2011-03-25 2013-08-13 Kennametal Inc. CVD coated polycrystalline c-BN cutting tools
DE102011053705A1 (de) 2011-09-16 2013-03-21 Walter Ag Schneideinsatz und Verfahren zu dessen Herstellung
ES2567039T5 (es) * 2011-09-16 2019-07-03 Walter Ag Herramienta de corte revestida con alúmina alfa que contiene azufre
EP2570511B1 (en) 2011-09-16 2019-03-20 Walter AG Grain boundary engineered alpha-alumina coated cutting tool
EP2604720A1 (en) 2011-12-14 2013-06-19 Sandvik Intellectual Property Ab Coated cutting tool and method of manufacturing the same
CN103173761B (zh) * 2011-12-23 2015-08-19 株洲钻石切削刀具股份有限公司 改善涂层结构的切削刀具及其制备方法
JP5757232B2 (ja) 2011-12-26 2015-07-29 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具
JP5783061B2 (ja) * 2012-01-23 2015-09-24 三菱マテリアル株式会社 高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具
EP2628822B1 (en) * 2012-02-15 2015-05-20 IHI Hauzer Techno Coating B.V. Current insulated bearing components and bearings
KR20150001680A (ko) 2013-06-27 2015-01-06 산드빅 인터렉츄얼 프로퍼티 에이비 코팅된 절삭 공구
ES2586479T3 (es) 2014-01-30 2016-10-14 Walter Ag Herramienta de corte recubierta con alúmina con límites de grano de alúmina en zigzag
CN105940141A (zh) * 2014-01-30 2016-09-14 山特维克知识产权股份有限公司 氧化铝涂层切削工具
RU2704949C2 (ru) 2014-12-19 2019-10-31 Сандвик Интеллекчуал Проперти Аб Режущий инструмент с хогф-покрытием
KR102216097B1 (ko) * 2015-08-28 2021-02-15 스미또모 덴꼬오 하드메탈 가부시끼가이샤 표면 피복 절삭 공구 및 그 제조 방법
JP6047268B1 (ja) * 2015-10-09 2016-12-21 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
US9849517B2 (en) 2015-10-09 2017-12-26 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Surface-coated cutting tool and method of manufacturing the same
CN106856660B (zh) * 2015-10-09 2019-05-28 住友电工硬质合金株式会社 表面被覆切削工具
KR102107879B1 (ko) * 2015-10-09 2020-05-07 스미또모 덴꼬오 하드메탈 가부시끼가이샤 표면 피복 절삭 공구
US10639724B2 (en) 2016-02-18 2020-05-05 Tungaloy Corporation Coated cutting tool
EP3263743A1 (en) 2016-06-29 2018-01-03 Sandvik Intellectual Property AB Cvd coated cutting tool
CN107557755B (zh) * 2016-07-01 2020-05-01 山特维克知识产权股份有限公司 具有{0 0 1}织构化κ-Al2O3层的CVD涂层切削工具
KR101687142B1 (ko) 2016-07-20 2016-12-15 한국야금 주식회사 절삭공구용 경질피막
JP6635340B2 (ja) * 2016-08-24 2020-01-22 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具およびその製造方法
JP6210346B1 (ja) * 2016-11-02 2017-10-11 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
JP6210347B1 (ja) * 2016-11-04 2017-10-11 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
JP6210348B1 (ja) * 2016-11-08 2017-10-11 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
JP7101178B2 (ja) * 2017-01-26 2022-07-14 ヴァルター アーゲー コーティング付き切削工具
US10865476B2 (en) * 2017-03-23 2020-12-15 Kennametal Inc. Control and characterization of texture in CVD α-Al2O3 coatings
JP6999383B2 (ja) * 2017-11-29 2022-01-18 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
CN108411279B (zh) * 2018-03-30 2019-07-09 华中科技大学 一种高速钢刀具保护涂层的制备方法
EP3814547A1 (en) * 2018-06-28 2021-05-05 AB Sandvik Coromant Coated cutting tool
JP6999585B2 (ja) 2019-01-18 2022-01-18 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
JP7055761B2 (ja) 2019-02-15 2022-04-18 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
JP6876278B2 (ja) * 2019-05-14 2021-05-26 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
US20220235487A1 (en) * 2019-05-21 2022-07-28 Kennametal Inc. Quantitative textured polycrystalline coatings
CN110541102A (zh) * 2019-08-30 2019-12-06 广东技术师范大学 一种直接涂覆cbn涂层的涂层梯度硬质合金刀具及其制备方法
EP3848484A3 (en) 2020-01-10 2021-09-15 Sakari Ruppi Improved alumina layer deposited at low temperature
EP3848485A1 (en) 2020-01-10 2021-07-14 Sakari Ruppi Improved alpha alumina layer deposited with controlled textures
CN114289745B (zh) * 2021-12-29 2023-08-08 厦门钨业股份有限公司 一种切削工具
KR102425215B1 (ko) 2022-03-08 2022-07-27 주식회사 와이지-원 피복 절삭공구 및 그 코팅층 형성방법

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69007885T2 (de) * 1989-07-13 1994-07-28 Seco Tools Ab Mit mehreren Oxiden beschichteter Karbidkörper und Verfahren zu seiner Herstellung.
DE4110005A1 (de) * 1991-03-27 1992-10-01 Krupp Widia Gmbh Verbundkoerper, verwendung des verbundkoerpers und verfahren zu seiner herstellung
US5275882A (en) * 1992-02-03 1994-01-04 General Electric Company Method for improving adhesion of aluminum layers to thermoplastics and article
SE501527C2 (sv) * 1992-12-18 1995-03-06 Sandvik Ab Sätt och alster vid beläggning av ett skärande verktyg med ett aluminiumoxidskikt
SE502174C2 (sv) * 1993-12-23 1995-09-04 Sandvik Ab Sätt och alster vid beläggning av ett skärande verktyg med ett aluminiumoxidskikt
SE504968C2 (sv) * 1994-11-15 1997-06-02 Sandvik Ab Metod att belägga ett skärverktyg med ett skikt av alfa-Al2O3
SE514181C2 (sv) * 1995-04-05 2001-01-15 Sandvik Ab Belagt hårmetallskär för fräsning av gjutjärn
SE509560C2 (sv) * 1996-09-06 1999-02-08 Sandvik Ab Belagt hårdmetallskär för bearbetning av gjutjärn
JP3678924B2 (ja) * 1998-11-05 2005-08-03 日立ツール株式会社 酸化アルミニウム被覆工具
US6139922A (en) * 1999-05-18 2000-10-31 Gelest, Inc. Tantalum and tantalum-based films formed using fluorine-containing source precursors and methods of making the same
SE519339C2 (sv) * 2000-11-22 2003-02-18 Sandvik Ab Skärverktyg belagt med aluminiumoxid och sätt att tillverka detsamma
SE522736C2 (sv) * 2001-02-16 2004-03-02 Sandvik Ab Aluminiumoxidbelagt skärverktyg och metod för att framställa detsamma
US6733874B2 (en) * 2001-08-31 2004-05-11 Mitsubishi Materials Corporation Surface-coated carbide alloy cutting tool
SE525581C2 (sv) * 2002-05-08 2005-03-15 Seco Tools Ab Skär belagt med aluminiumoxid framställt med CVD
JP2004188500A (ja) * 2002-06-28 2004-07-08 Mitsubishi Materials Corp 硬質被覆層がすぐれた耐熱衝撃性を有する表面被覆サーメット製切削工具
WO2004015170A1 (ja) * 2002-08-08 2004-02-19 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho α型結晶構造主体のアルミナ皮膜の製造方法、α型結晶構造主体のアルミナ皮膜と該アルミナ皮膜を含む積層皮膜、該アルミナ皮膜または該積層皮膜で被覆された部材とその製造方法、および物理的蒸着装置
JP2004284003A (ja) * 2003-02-28 2004-10-14 Mitsubishi Materials Corp 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具
JP2004299021A (ja) * 2003-04-01 2004-10-28 Mitsubishi Materials Corp 硬質被覆層がすぐれた耐熱衝撃性を有する表面被覆サーメット製切削工具
SE526526C3 (sv) * 2003-04-01 2005-10-26 Sandvik Intellectual Property Sätt att belägga skär med A1203 samt ett med A1203 belagt skärverktyg
EP1477581A1 (en) * 2003-05-10 2004-11-17 Seco Tools Ab Enhanced alumina layer produced by CVD
SE526602C2 (sv) * 2003-10-27 2005-10-18 Seco Tools Ab Belagt skär för grovsvarvning
JP2005238437A (ja) * 2004-01-27 2005-09-08 Mitsubishi Materials Corp 硬質被覆層が高速切削ですぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具
JP2005313242A (ja) * 2004-04-27 2005-11-10 Mitsubishi Materials Corp 硬質被覆層がすぐれた耐熱衝撃性を有する表面被覆サーメット製切削工具

Also Published As

Publication number Publication date
SE0502115L (sv) 2007-03-28
BRPI0603957A (pt) 2007-08-21
US7993742B2 (en) 2011-08-09
JP2007125686A (ja) 2007-05-24
US20120015148A1 (en) 2012-01-19
SE529051C2 (sv) 2007-04-17
KR101314504B1 (ko) 2013-10-07
CZ305851B6 (cs) 2016-04-13
CN1939715A (zh) 2007-04-04
CN1939715B (zh) 2010-06-23
KR20070035454A (ko) 2007-03-30
US20070104945A1 (en) 2007-05-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CZ2006607A3 (cs) Aluminová vrstva se zlepšenou texturou
US7396581B2 (en) Enhanced alumina layer produced by CVD
EP1905870A2 (en) Alumina layer with enhanced texture
US7455900B2 (en) Alumina layer with enhanced texture
EP1953258B1 (en) Texture-hardened alpha-alumina coated tool
US7442431B2 (en) Enhanced alumina layer with texture
KR101260694B1 (ko) 산화물로 피복된 절삭 공구
EP1655388B2 (en) Alumina layer with controlled texture
US5674564A (en) Alumina-coated sintered body
US7011867B2 (en) α-alumina coated cutting tool
EP1471166A2 (en) Layer with controlled grain size and morphology for enhanced wear resistance
KR101104493B1 (ko) 절삭공구 또는 내마모성 공구용 표면 피복 박막
WO1994028191A1 (fr) Outil coupant revetu et son procede de production
JP2001234344A (ja) 切刃の靭性の改良及び摩擦の減少のための、ナノ結晶質ｃｖｄコーティングを有するコーティングされた物品
US20070148498A1 (en) Coating materials for a cutting tool / an abrasion resistance tool
US7820308B2 (en) Surface-coated hard material for cutting tools or wear-resistant tools
EP1477581A1 (en) Enhanced alumina layer produced by CVD
IL149884A (en) Oxide coated cutting tool
JP2002273607A (ja) 多層被覆工具
KR100991355B1 (ko) 절삭공구 / 내마모성 공구용 표면 피복부재용 박막
JP4480090B2 (ja) 被覆工具