CS265491B1 - Spósob určovania priečnej polohy objektu - Google Patents
Spósob určovania priečnej polohy objektu Download PDFInfo
- Publication number
- CS265491B1 CS265491B1 CS872001A CS200187A CS265491B1 CS 265491 B1 CS265491 B1 CS 265491B1 CS 872001 A CS872001 A CS 872001A CS 200187 A CS200187 A CS 200187A CS 265491 B1 CS265491 B1 CS 265491B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- radiation
- transverse position
- determining
- optical
- accuracy
- Prior art date
Links
Abstract
Riešenie umožňuje určenie priečnej
polohy objektu s presnostou rádovo zrovnatelnou
s relativnou presnostou stability
kvantových zdrojov optického žiarenia. Na
meraný objekt, ktorého okraj je orientovaný
v smere kolmom na směr rozloženia vlnových
dlžok polychromatického žiarenia sa vedie
polychromatické žiarenie s vlnovou dlžkou
monotónně rozloženou v smere šířky vstupnej
štrbiny. Zvyšná časť žiarenia po přechode
vstupnou štrbinou sa zavedie do dvojlúčového
interferometra s konštantnou diferenciou
dlžky ramien. Vyvolaný rozdiel fáz interferenčných
obrazcov údáva priečnu polohu
objektu. Spósob určovania priečnej polohy
objektu móže nájsť uplatnenie v spektroskopii,
metrologii a pri optickom spracovaní
informácií.
Description
Vynález sa týká spósobu určovania priečnej polohy objektu vhodného najmá pre stanovenie zmien jeho posuvov, ktoré sú zrovnatelné s vlnovou dížkou optického žiarenia.
K doteraz známým spósobom určovania priečnej polohy objektu patří spósob využívajúci paralelný zvázok bieleho alebo monochromatického světla získaného z bodového optického zdroja pomocou kolimátora a merania intenzity žiarenia za objektom pri použití meracej Štrbiny s fotodetektorom posuvným v smere určenia polohy objektu a odčítá sa na základe polohy vstupnej štrbiny v momente minimálneho signálu z výstupu fotodetektora. Nedostatkom tohto spósobu merania priečnej polohy je malá rýchlosť. daná nutnosťou postupného mechanického posuvu vstupnej štrbiny s fotodetektorom a tiež nízká presnosť určenia priečnej polohy spósobenej obtiažnym kontrolováním posuvu vstupnej štrbiny' a neostrosti tieňa objektu napríčineným konečným rozmerom zdroja bieleho alebo monochromatického světla. Ďalší známy spósob využívá paralelný zvázok bieleho alebo monochromatického světla získaného z bodového optického zdroja pomocou kolimátora a přechod světelného toku optického žiarenia za objektom cez masku s lineárnym priebehom priepuscnosti sa meria za pomoci spodnej šošovky a fotodetektora. Priečna poloha objektu sa určuje na základe poměru hodnót signálu z fotodetektora s maskou a be2 masky. Jeho nevýhodou je malá presnosť spósobená neostrosťou tieňa objektu a tiež obtiažnosť výroby presnej masky s požadovaným lineárnym priebehom priepustnosti optického žiarenia. Znýmy je tiež spósob určovania priečnej polohy objektu pomocou videokamery, ktorá snímá priebeh intenzity optického tieňa vrhaného meraným objektom umiestneným medzi zdrojom optického žiarenia s optickou sústavou a videokamerou. Priečna poloha objektu sa určuje na základe vzájomnej definovanej polohy priebehu intenzity optického tieňa a jeho elektronicky vyhotoveným zrkadlovým obrazom. Jeho nevýhodou je nutnosť mechanického posuvu objektu voči videokameře za účelom získania definovanej polohy priebehu intenzity optického tieňa a jeho elektronicky vyhotoveným zrkadlovým obrazom.
Uvedené nedostatky v podstatnej miere odstraňuje spósob určovania priečnej polohy objektu podía vynálezu, ktorého podstata spočívá v tom, že na meraný objekt, ktorého meraný okraj je orientovaný v smere kolmo na směr rozloženia vlnových dlžok polychromatického žiarenia, sa vedie polychromatické žiarenie s vlnovou dížkou monotónně rozloženou v smere šířky vstupnej štrbiny, pričom zvyšná časť žiarenia po přechode štrbinou sa zavedie do dvojlúčového interferometra s konštantnou diferenciou dlžky ramien, kde vyvolaný rozdiel fáz interferenčných obrazcov udává priečnu polohu objektu.
Hlavnou prednosťou tohto spósobu určovania priečnej polohy objektu je presnosť, ktorá je rádovo zrovnatelná s relativnou presnosťou stability vlnovej dlžky kvantových zdrojov optického žiarenia. Meranie je nezávislé na uhlovom rozmere zdroja optického Žiarenia, to znamená, že ostrý tieň meraného objektu v rovině vstupnej štrbiny nie je nutnou podmienkou přesného určenia priečnej polohy. Meranie nevyžaduje presne definovaná vzdialenosť medzi meraným objektom a rovinou vstupnej Štrbiny.
Příklad
Meraný objekt sa umiestni medzi zdrojom polychromatického žiarenia a vstupnú štrbinu tak, aby časť polychromatického žiarenia, ktorého vlnové dlžky sú monotónně rozložené v smere šířky vstupnej štrbiny, prechádzajúceho vstupnou štrbinou bola meraným okrajom objektu, kolmým na směr rozloženia vlnových dlžok polychromatického žiarenia zatienená. Zvyšná Časť žiarenia, ktorého spektrálné zloženie vlnovýcťi dlžok je definované priečnou polohou meraného objektu vzhladom na vstupnú štrbinu je po přechode vstupnou štrbinou zavedená do dvojlúčového interferometra s konštantnou diferenciou dlžky ramien stabilizovanou kvantovým etalónovým zdrojom optického žiarenia, kde je změna fáz interferenčného obrazca vytvořeného žiarením prejdeným cez vstupnú štrbinu úměrná zmene priečnej polohy meraného objektu.
Vynález móže nájsť uplatnenie v spektroskopii, metrologii a pri optickom spracovaní informácií.
Claims (1)
- PREDMET VYNÁLEZUSpósob určovania priečnej polohy objektu pomocou ínterferometra s konštantnou diferenciou dlžky ramien, vyznačujúci sa tým, že na meraný objekt, ktorého okraj je orientovaný v smere kolmo na směr rozloženia vlnových dlžok polychromatického žiarenia, sa vedie polyohromatické žiarenie s vlnovou dlžkou monotónně rozloženou v smere šířky vstupnej štrbiny a zvyšná část žiarenia po přechode vstupnou štrbinou sa zavedie do dvojlúčového interferometra s konštantnou diferenciou dlžky ramien, kde vyvolaný rozdiel fáz ínterferenčných obrazcov udává priečnu polohu objektu.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CS872001A CS265491B1 (sk) | 1987-03-25 | 1987-03-25 | Spósob určovania priečnej polohy objektu |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CS872001A CS265491B1 (sk) | 1987-03-25 | 1987-03-25 | Spósob určovania priečnej polohy objektu |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CS200187A1 CS200187A1 (en) | 1989-03-14 |
CS265491B1 true CS265491B1 (sk) | 1989-10-13 |
Family
ID=5355832
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CS872001A CS265491B1 (sk) | 1987-03-25 | 1987-03-25 | Spósob určovania priečnej polohy objektu |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CS (1) | CS265491B1 (sk) |
-
1987
- 1987-03-25 CS CS872001A patent/CS265491B1/sk unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CS200187A1 (en) | 1989-03-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2755757B2 (ja) | 変位及び角度の測定方法 | |
JPH0465325B2 (sk) | ||
GB1366366A (en) | Transparency measurements | |
US3055263A (en) | Optical apparatus for determining the position of an object | |
CS265491B1 (sk) | Spósob určovania priečnej polohy objektu | |
JPH02206745A (ja) | 屈折率測定用高安定性干渉計 | |
JPS6338102A (ja) | 微小変位測定方法および微小変位測定装置 | |
US5416587A (en) | Index interferometric instrument including both a broad band and narrow band source | |
US3819274A (en) | Method of reading and interpolation for a precision rule and apparatus for carrying it out | |
DE3918812A1 (de) | Entfernungsmessendes heterodynes interferometer | |
JP2500754B2 (ja) | 位相差測定装置 | |
DE3825606A1 (de) | Kompakter aufbau eines michelson-interferomaters zur messung von laengen- und brechzahlaenderungen | |
SU932220A1 (ru) | Устройство дл регистрации смещени объекта | |
CN107560555A (zh) | 激光干涉游标卡尺 | |
JP3013467B2 (ja) | レーザ干渉式エンコーダ | |
JP3315231B2 (ja) | 位置検出装置 | |
JPS61116837A (ja) | 回折格子によるギヤツプ・位置合せ制御法 | |
JPH0566226A (ja) | 変位情報検出装置及び速度計 | |
SU890069A2 (ru) | Устройство дл измерени виброперемещений | |
RU2159406C2 (ru) | Многолучевой интерферометр для измерения параметров сферической оболочки | |
RU2087878C1 (ru) | Интерферометр атмосферной когерентности | |
SU267083A1 (ru) | Способ измерения параметров движения кареток высокоточных измерительных приборов | |
SU418453A1 (sk) | ||
JPH0518982A (ja) | 変位情報検出装置及び速度計 | |
SU1518663A1 (ru) | Интерферометр дл измерени поперечных перемещений |