CS265491B1 - Method of object's cross position determination - Google Patents

Method of object's cross position determination Download PDF

Info

Publication number
CS265491B1
CS265491B1 CS872001A CS200187A CS265491B1 CS 265491 B1 CS265491 B1 CS 265491B1 CS 872001 A CS872001 A CS 872001A CS 200187 A CS200187 A CS 200187A CS 265491 B1 CS265491 B1 CS 265491B1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
radiation
transverse position
determining
optical
accuracy
Prior art date
Application number
CS872001A
Other languages
English (en)
Slovak (sk)
Other versions
CS200187A1 (en
Inventor
Nikolaj P Ceragin
Vladimir Ing Kollar
Ilja E Kozevatov
Milan Ing Csc Minarovjech
Original Assignee
Nikolaj P Ceragin
Vladimir Ing Kollar
Ilja E Kozevatov
Milan Ing Csc Minarovjech
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikolaj P Ceragin, Vladimir Ing Kollar, Ilja E Kozevatov, Milan Ing Csc Minarovjech filed Critical Nikolaj P Ceragin
Priority to CS872001A priority Critical patent/CS265491B1/cs
Publication of CS200187A1 publication Critical patent/CS200187A1/cs
Publication of CS265491B1 publication Critical patent/CS265491B1/cs

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

265491 2
Vynález sa týká spósobu určovania priečnej polohy objektu vhodného najmá pre stanoveniezmien jeho posuvov, ktoré sú zrovnatelné s vlnovou dlžkou optického žiarenia. K doteraz známým spósobom určovania priečnej polohy objektu patří spósob využívajúciparalelný zvázok bieleho alebo monochromatického světla získaného z bodového optického zdrojapomocou kolimátora a merania intenzity žiarenia za objektom pri použití meracej Štrbinys fotodetektorom posuvným v smere určenia polohy objektu a odčítá sa na základe polohy vstupnejštrbiny v momente minimálneho signálu z výstupu fotodetektora. Nedostatkom tohto spósobumerania priečnej polohy je malá rýchlost daná nutnostou postupného mechanického posuvu vstupnejštrbiny s fotodetektorom a tiež nízká přesnost určenia priečnej polohy spósobenej obtiažnymkontrolováním posuvu vstupnej štrbiny' a neostrosti tieňa objektu napríčineným konečným rozmeromzdroja bieleho alebo monochromatického světla. Ďalší známy spósob využívá paralelný zvázokbieleho alebo monochromatického světla získaného z bodového optického zdroja pomocou kolimátoraa přechod světelného toku optického žiarenia za objektom cez masku s lineárnym priebehompriepuscnosti sa meria za pomoci spodnej šošovky a fotodetektora. Priečna poloha objektusa určuje na základe poměru hodnót signálu z fotodetektora s maskou a be2 masky. Jeho nevýhodouje malá přesnost spósobená neostrosfou tieňa objektu a tiež obtiažnost výroby presnej maskys požadovaným lineárnym priebehom priepustnosti optického žiarenia. Znýmy je tiež spósoburčovania priečnej polohy objektu pomocou videokamery, ktorá snímá priebeh intenzity optické-ho tieňa vrhaného meraným objektom umiestneným medzi zdrojom optického žiarenia s optickousústavou a videokamerou. Priečna poloha objektu sa určuje na základe vzájomnej definovanejpolohy priebehu intenzity optického tieňa a jeho elektronicky vyhotoveným zrkadlovým obrazom.Jeho nevýhodou je nutnost mechanického posuvu objektu voči videokameře za účelom získaniadefinovanej polohy priebehu intenzity optického tieňa a jeho elektronicky vyhotoveným zrkadlo-vým obrazom.
Uvedené nedostatky v podstatnej miere odstraňuje spósob určovania priečnej polohy objektupodlá vynálezu, ktorého podstata spočívá v tom, že na meraný objekt, kterého meraný okrajje orientovaný v smere kolmo na směr rozloženia vlnových dlžok polychromatického žiarenia,sa vedie polychromatické žiarenie s vlnovou dlžkou monotónně rozloženou v smere šířky vstup-nej štrbiny, pričom zvyšná část žiarenia po přechode štrbinou sa zavedie do dvojlúčovéhointerferometra s konštantnou diferenciou dlžky ramien, kde vyvolaný rozdiel fáz interferenč-ných obrazcov udává priečnu polohu objektu.
Hlavnou přednostou tohto spósobu určovania priečnej polohy objektu je přesnost, ktoráje rádovo zrovnatelná s relativnou presnostou stability vlnovej dlžky kvantových zdrojovoptického žiarenia. Meranie je nezávislé na uhlovom rozmere zdroja optického Žiarenia, toznamená, že ostrý tieň meraného objektu v rovině vstupnej štrbiny nie je nutnou podmienkoupřesného určenia priečnej polohy. Meranie nevyžaduje presne definovánu vzdialenost medzimeraným objektom a rovinou vstupnej Štrbiny. Příklad
Meraný objekt sa umiestni medzi zdrojom polychromatického žiarenia a vstupné štrbinutak, aby část polychromatického žiarenia, ktorého vlnové dlžky sú monotónně rozložené v smerešířky vstupnej štrbiny, prechádzajúceho vstupnou štrbinou bola meraným okrajom objektu,kolmým na směr rozloženia vlnových dlžok polychromatického žiarenia zatienená. Zvyšná Částžiarenia, ktorého spektrálné zloženie vlnovýcťi dlžok je definované priečňou polohou meranéhoobjektu vzhladom na vstupnú štrbinu je po přechode vstupnou štrbinou zavedená do dvojlúčovéhointerferometra s konštantnou diferenciou dlžky ramien stabilizovanou kvantovým etalónovýmzdrojom optického žiarenia, kde je změna fáz interferenčného obrazea vytvořeného žiarenímprejdeným cez vstupnú štrbinu úměrná zmene priečnej polohy meraného objektu.
Vynález móže nájst uplatnenie v spektroskopii, metrologii a pri optickom spracovaníinformácií.

Claims (1)

  1. 3 265491 PREDMET VYNÁLEZU SpSsob určovania priečnej polohy objektu pomocou interferometra s konštantnou diferencioudlžky ramien, vyznačujúci sa tým, že na meraný objekt, ktorého okraj je orientovaný v smerekolmo na směr rozloženia vlnových dlžok polychromatického žiarenia, sa vedie polychromatickéžiarenie s vlnovou dlžkou monotónně rozloženou v smere šířky vstupnej štrbiny a zvyšná částžiarenia po přechode vstupnou štrbinou sa zavedie do dvojlúčového interferometra s konštantnoudiferenciou dlžky ramien, kde vyvolaný rozdiel fáz ínterferenčných obrazcov udává priečnupolohu objektu.
CS872001A 1987-03-25 1987-03-25 Method of object's cross position determination CS265491B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS872001A CS265491B1 (en) 1987-03-25 1987-03-25 Method of object's cross position determination

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS872001A CS265491B1 (en) 1987-03-25 1987-03-25 Method of object's cross position determination

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CS200187A1 CS200187A1 (en) 1989-03-14
CS265491B1 true CS265491B1 (en) 1989-10-13

Family

ID=5355832

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS872001A CS265491B1 (en) 1987-03-25 1987-03-25 Method of object's cross position determination

Country Status (1)

Country Link
CS (1) CS265491B1 (cs)

Also Published As

Publication number Publication date
CS200187A1 (en) 1989-03-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2755757B2 (ja) 変位及び角度の測定方法
JPH0465325B2 (cs)
GB1366366A (en) Transparency measurements
US3055263A (en) Optical apparatus for determining the position of an object
CS265491B1 (en) Method of object's cross position determination
JPH02206745A (ja) 屈折率測定用高安定性干渉計
JPS6338102A (ja) 微小変位測定方法および微小変位測定装置
US5416587A (en) Index interferometric instrument including both a broad band and narrow band source
US3819274A (en) Method of reading and interpolation for a precision rule and apparatus for carrying it out
DE3918812A1 (de) Entfernungsmessendes heterodynes interferometer
JP2500754B2 (ja) 位相差測定装置
DE3825606A1 (de) Kompakter aufbau eines michelson-interferomaters zur messung von laengen- und brechzahlaenderungen
SU932220A1 (ru) Устройство дл регистрации смещени объекта
CN107560555A (zh) 激光干涉游标卡尺
JP3013467B2 (ja) レーザ干渉式エンコーダ
JP3315231B2 (ja) 位置検出装置
JPS61116837A (ja) 回折格子によるギヤツプ・位置合せ制御法
JPH0566226A (ja) 変位情報検出装置及び速度計
SU890069A2 (ru) Устройство дл измерени виброперемещений
RU2159406C2 (ru) Многолучевой интерферометр для измерения параметров сферической оболочки
RU2087878C1 (ru) Интерферометр атмосферной когерентности
SU267083A1 (ru) Способ измерения параметров движения кареток высокоточных измерительных приборов
SU418453A1 (cs)
JPH0518982A (ja) 変位情報検出装置及び速度計
SU1518663A1 (ru) Интерферометр дл измерени поперечных перемещений