CS265491B1 - Method of object's cross position determination - Google Patents

Description

265491 2

Vynález sa týká spósobu určovania priečnej polohy objektu vhodného najmá pre stanoveniezmien jeho posuvov, ktoré sú zrovnatelné s vlnovou dlžkou optického žiarenia. K doteraz známým spósobom určovania priečnej polohy objektu patří spósob využívajúciparalelný zvázok bieleho alebo monochromatického světla získaného z bodového optického zdrojapomocou kolimátora a merania intenzity žiarenia za objektom pri použití meracej Štrbinys fotodetektorom posuvným v smere určenia polohy objektu a odčítá sa na základe polohy vstupnejštrbiny v momente minimálneho signálu z výstupu fotodetektora. Nedostatkom tohto spósobumerania priečnej polohy je malá rýchlost daná nutnostou postupného mechanického posuvu vstupnejštrbiny s fotodetektorom a tiež nízká přesnost určenia priečnej polohy spósobenej obtiažnymkontrolováním posuvu vstupnej štrbiny' a neostrosti tieňa objektu napríčineným konečným rozmeromzdroja bieleho alebo monochromatického světla. Ďalší známy spósob využívá paralelný zvázokbieleho alebo monochromatického světla získaného z bodového optického zdroja pomocou kolimátoraa přechod světelného toku optického žiarenia za objektom cez masku s lineárnym priebehompriepuscnosti sa meria za pomoci spodnej šošovky a fotodetektora. Priečna poloha objektusa určuje na základe poměru hodnót signálu z fotodetektora s maskou a be2 masky. Jeho nevýhodouje malá přesnost spósobená neostrosfou tieňa objektu a tiež obtiažnost výroby presnej maskys požadovaným lineárnym priebehom priepustnosti optického žiarenia. Znýmy je tiež spósoburčovania priečnej polohy objektu pomocou videokamery, ktorá snímá priebeh intenzity optické-ho tieňa vrhaného meraným objektom umiestneným medzi zdrojom optického žiarenia s optickousústavou a videokamerou. Priečna poloha objektu sa určuje na základe vzájomnej definovanejpolohy priebehu intenzity optického tieňa a jeho elektronicky vyhotoveným zrkadlovým obrazom.Jeho nevýhodou je nutnost mechanického posuvu objektu voči videokameře za účelom získaniadefinovanej polohy priebehu intenzity optického tieňa a jeho elektronicky vyhotoveným zrkadlo-vým obrazom.

Uvedené nedostatky v podstatnej miere odstraňuje spósob určovania priečnej polohy objektupodlá vynálezu, ktorého podstata spočívá v tom, že na meraný objekt, kterého meraný okrajje orientovaný v smere kolmo na směr rozloženia vlnových dlžok polychromatického žiarenia,sa vedie polychromatické žiarenie s vlnovou dlžkou monotónně rozloženou v smere šířky vstup-nej štrbiny, pričom zvyšná část žiarenia po přechode štrbinou sa zavedie do dvojlúčovéhointerferometra s konštantnou diferenciou dlžky ramien, kde vyvolaný rozdiel fáz interferenč-ných obrazcov udává priečnu polohu objektu.

Hlavnou přednostou tohto spósobu určovania priečnej polohy objektu je přesnost, ktoráje rádovo zrovnatelná s relativnou presnostou stability vlnovej dlžky kvantových zdrojovoptického žiarenia. Meranie je nezávislé na uhlovom rozmere zdroja optického Žiarenia, toznamená, že ostrý tieň meraného objektu v rovině vstupnej štrbiny nie je nutnou podmienkoupřesného určenia priečnej polohy. Meranie nevyžaduje presne definovánu vzdialenost medzimeraným objektom a rovinou vstupnej Štrbiny. Příklad

Meraný objekt sa umiestni medzi zdrojom polychromatického žiarenia a vstupné štrbinutak, aby část polychromatického žiarenia, ktorého vlnové dlžky sú monotónně rozložené v smerešířky vstupnej štrbiny, prechádzajúceho vstupnou štrbinou bola meraným okrajom objektu,kolmým na směr rozloženia vlnových dlžok polychromatického žiarenia zatienená. Zvyšná Částžiarenia, ktorého spektrálné zloženie vlnovýcťi dlžok je definované priečňou polohou meranéhoobjektu vzhladom na vstupnú štrbinu je po přechode vstupnou štrbinou zavedená do dvojlúčovéhointerferometra s konštantnou diferenciou dlžky ramien stabilizovanou kvantovým etalónovýmzdrojom optického žiarenia, kde je změna fáz interferenčného obrazea vytvořeného žiarenímprejdeným cez vstupnú štrbinu úměrná zmene priečnej polohy meraného objektu.

Vynález móže nájst uplatnenie v spektroskopii, metrologii a pri optickom spracovaníinformácií.

Claims (1)

1. 3 265491 PREDMET VYNÁLEZU SpSsob určovania priečnej polohy objektu pomocou interferometra s konštantnou diferencioudlžky ramien, vyznačujúci sa tým, že na meraný objekt, ktorého okraj je orientovaný v smerekolmo na směr rozloženia vlnových dlžok polychromatického žiarenia, sa vedie polychromatickéžiarenie s vlnovou dlžkou monotónně rozloženou v smere šířky vstupnej štrbiny a zvyšná částžiarenia po přechode vstupnou štrbinou sa zavedie do dvojlúčového interferometra s konštantnoudiferenciou dlžky ramien, kde vyvolaný rozdiel fáz ínterferenčných obrazcov udává priečnupolohu objektu.