SU890069A2 - Устройство дл измерени виброперемещений - Google Patents
Устройство дл измерени виброперемещений Download PDFInfo
- Publication number
- SU890069A2 SU890069A2 SU792816426A SU2816426A SU890069A2 SU 890069 A2 SU890069 A2 SU 890069A2 SU 792816426 A SU792816426 A SU 792816426A SU 2816426 A SU2816426 A SU 2816426A SU 890069 A2 SU890069 A2 SU 890069A2
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- luminous flux
- cutting
- edge
- slit mask
- vibrational displacements
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
(5) УСТРОЙСТВО дл ИЗМЕРЕНИЯ ВИБРОПЕРЕМЕЦЕНИЙ
I
Изобретение относитс к измерению параметров вибраций и может быть использовано дл измерени виброперемещений в поверочных установках.
Известно устройство дл измерени виброперемещений, содержащее последовательно установленные осветитель, щелевую маску, элемент отсечени светового потока и фоторегистрирующую систему tl.
Недостатком устройства вл етс низка точность измерени , возникающа вследствие наличи посто нной составл ющей светового потока, нелинейности зависимости светового потока от перемещени из-за дифракции на узких щел х и нечеткости границ светового потока после прохождени изделий.
По основному авт. св. № известно устройство дл измерени виброперемещений, содержащеепоследовательно установленные осветитель, щелевую маску, элемент отсечени светового потока, объектив, установленный между элементом отсечени светового потока и щелевой маской, одна из кромок которой скрепл етс с контролируемым объектом, механизм перемещени элемента отсечени , рассеиватель и фоторегистрирующую систему 2}.
Этому устройству присуща недостаточна точность измерени из-за наличи фоновой засветки фотокатода фоторегистрирующей системы.
Целью изобретени вл етс повышение точности.
Указанна цель достигаетс тем, что устройство снабжено дополнительным элементом отсечени светового потока с механизмом его перемещени , установленным симметрично основному .
На чертеже представлена принципиальна схема устройства дл измерени виброперемещений.
Устройство состоит из осветител 1 .с параболическим зеркалом 2, питаемого от источника 3 питани , имеющего регул тор k интенсивности посто н кого светового потока, щелевой маски 5, кромка которой -скрепл етс с контролируемым объектом 6, объектива 7. формирующего увеличенное изображение щелевой маски 5, основного элемента 8 отсечени светового потока с механизмом 9 перемещени ,.дополнительного элемента 10 отсечени светового потока с механизмом 11 перемещени , полупрозрачного зеркала 12, оптического визира 13, рассеивател Н и фоторегистрирующей системы 15.
Все элементы устройства, за исключением кромки щелевой маски 5) скреп ,л чемой с контролируемым объектом 6, расположены на неподвижной плите, имеющей виброизол цию, и закрыты кожухом от попадани посто нного света (не показан).
Устройство работает следуйэщим обр .азом.
Посто нный световой поток осветител 1 направл етс на щелевую маску 5- Кромка основного элемента 8 отсечени светового потока с помощью микрометрического винта механизма 9 перемещени устанавливаетс в такое положение, чтобы в оптический визир 13 была видна только вибрирующй кромка щели.
Кромка дополнительного элемента 10 отсечени светового потока винтом механизма 11 перемещени устанавливаетс с противоположной стороны, так чтобы щель, образуема этой кромкой и кромкой элемента 8 отсечени светового потока, была близка, но не . меньше величины увеличенной объектив 7 виброперемещени кромки щелевой
маски. После этого увеличивают световой поток осветител 1 так, чтобы выходной ток фоторегистрирующей системы 15, соответствующий величине
виброперемещени , не превышал предела линейности , и регистрируют его.
Затем провод т калибровку устройства с помощью калибровочной щели (не показана), расположенной на основном элементе отсечени светового потока , перемеща ее в положение, соответствующее определенной величине, например Ь 1 мкм, перемещени кромки щелевой маски 5, и регистрируют
полученное значение выходного тока 32. .
Величина виброперемещени j определ етс из сравнени полученных выход .ных токов
о -, h
ь- - Jx) Формула изобретени
Устройство дл измерени виброперемещений по авт. св. f , отличающеес тем, что, с целью повышени точности, оно снабжено дополнительным элементом отсечени светового потока с механизмом его перемещени , установленным симметрично основному.
Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе
1.Патент Японии № , кл. 106 С 3, 1975.
2,Авторское свидетельство СССР № 7+2704, кл. G 01 В 11/00, 1977 (прототип).
Claims (1)
- Формула изобретенияУстройство для измерения виброперемещений по авт. св. № 742704, отличающееся тем, что, с целью повышения точности, оно снабжено 30 дополнительным элементом отсечения светового потока с механизмом его (перемещения, установленным симметрично основному.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU792816426A SU890069A2 (ru) | 1979-08-15 | 1979-08-15 | Устройство дл измерени виброперемещений |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU792816426A SU890069A2 (ru) | 1979-08-15 | 1979-08-15 | Устройство дл измерени виброперемещений |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU742704A Addition SU154029A1 (ru) |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU890069A2 true SU890069A2 (ru) | 1981-12-15 |
Family
ID=20849247
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU792816426A SU890069A2 (ru) | 1979-08-15 | 1979-08-15 | Устройство дл измерени виброперемещений |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU890069A2 (ru) |
-
1979
- 1979-08-15 SU SU792816426A patent/SU890069A2/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2546350B2 (ja) | 位置合わせ装置 | |
| SU890069A2 (ru) | Устройство дл измерени виброперемещений | |
| US2394820A (en) | Scale | |
| US1289129A (en) | Method of ascertaining the combination of stops for the production of half-tone dot negatives with a process-camera. | |
| US2731880A (en) | Veighing scale apparatus with light | |
| JPS5612729A (en) | ?alignmening device for ic projection exposure equipment | |
| DE69535479D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur positions- und bewegungsmessung | |
| JPS60214334A (ja) | 投影露光装置及び投影露光方法 | |
| SU896393A1 (ru) | Устройство дл измерени виброперемещений | |
| US4808807A (en) | Optical focus sensor system | |
| JPS55154402A (en) | Shape measuring apparatus | |
| SU1185072A2 (ru) | Устройство дл измерени виброперемещений | |
| US2583690A (en) | Variable reflex optical projection system for weighing scales | |
| EP0072443A2 (en) | Method and apparatus for measuring the illumination uniformity in a ring field projection system | |
| SU742704A1 (ru) | Устройство дл измерени виброперемещений | |
| JPS5612727A (en) | Aligning device for ic projection exposure apparatus | |
| JPS57190202A (en) | Device for reading optical scale | |
| JP2653356B2 (ja) | 投影露光方法 | |
| SU847255A1 (ru) | Способ контрол выравнивани фОТОплЕНОК и уСТРОйСТВО дл ЕгООСущЕСТВлЕНи | |
| SU84115A1 (ru) | Индикатор малых деформаций | |
| SU130696A1 (ru) | Устройство дл записи нескольких электрических величин фотографическим способом | |
| JPS5612728A (en) | Alignmening device for ic projection exposure equipment | |
| SU956979A1 (ru) | Оптическое устройство позиционировани подвижного узла станков | |
| JPS55124002A (en) | Optical position detector | |
| JPS61202432A (ja) | 投影露光装置 |