CS257673B1 - Způsob regenerace vyčerpaných lázní na leptání mědi - Google Patents
Způsob regenerace vyčerpaných lázní na leptání mědi Download PDFInfo
- Publication number
- CS257673B1 CS257673B1 CS861546A CS154686A CS257673B1 CS 257673 B1 CS257673 B1 CS 257673B1 CS 861546 A CS861546 A CS 861546A CS 154686 A CS154686 A CS 154686A CS 257673 B1 CS257673 B1 CS 257673B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- etching
- copper
- bath
- solution
- electrolysis
- Prior art date
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 title claims abstract description 66
- 239000010949 copper Substances 0.000 title claims abstract description 35
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 31
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 31
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 title claims description 3
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 title claims description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims abstract description 7
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract description 7
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 claims description 11
- 230000020477 pH reduction Effects 0.000 abstract description 6
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 abstract description 2
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 abstract description 2
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 abstract 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 33
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- YNJBWRMUSHSURL-UHFFFAOYSA-N trichloroacetic acid Chemical compound OC(=O)C(Cl)(Cl)Cl YNJBWRMUSHSURL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonia chloride Chemical compound [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 6
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000005749 Copper compound Substances 0.000 description 4
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 description 4
- 239000008139 complexing agent Substances 0.000 description 4
- 150000001880 copper compounds Chemical class 0.000 description 4
- ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L copper(II) chloride Chemical compound Cl[Cu]Cl ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 description 3
- 239000002585 base Substances 0.000 description 3
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 3
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000000536 complexating effect Effects 0.000 description 3
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 3
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 3
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JJLJMEJHUUYSSY-UHFFFAOYSA-L Copper hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Cu+2] JJLJMEJHUUYSSY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N Cu2+ Chemical compound [Cu+2] JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000004480 active ingredient Substances 0.000 description 2
- -1 copper (I) ions Chemical class 0.000 description 2
- 229910001431 copper ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- USQNCFXGTTYZNF-UHFFFAOYSA-N 2,2,2-trichloroacetic acid Chemical compound OC(=O)C(Cl)(Cl)Cl.OC(=O)C(Cl)(Cl)Cl USQNCFXGTTYZNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910021591 Copper(I) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021592 Copper(II) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- SAQSTQBVENFSKT-UHFFFAOYSA-M TCA-sodium Chemical compound [Na+].[O-]C(=O)C(Cl)(Cl)Cl SAQSTQBVENFSKT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 239000000908 ammonium hydroxide Substances 0.000 description 1
- 150000003863 ammonium salts Chemical class 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 150000001805 chlorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 150000001879 copper Chemical class 0.000 description 1
- OXBLHERUFWYNTN-UHFFFAOYSA-M copper(I) chloride Chemical compound [Cu]Cl OXBLHERUFWYNTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012074 organic phase Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 230000021962 pH elevation Effects 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000012266 salt solution Substances 0.000 description 1
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 230000001988 toxicity Effects 0.000 description 1
- 231100000419 toxicity Toxicity 0.000 description 1
- 229940066528 trichloroacetate Drugs 0.000 description 1
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/20—Recycling
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
Způsob regenerace vyčerpaných lázní
na leptání mědi, v niohž je měa obsažena
v komplexní formě, založený na elektrolytiokám
snížení obsahu, mědi v lázni na po~
žadovanou hodnotu. Potřebné leptaoí rychlosti
v elektrolyticky zpracované lázni
se dosáhne úpravou, spočívajíoí v okyselení
na hodnotu pH nižěí než 5,5 a následné
alkalizaoi na hodnotu pH vhodnou pro leptání.
Při této úpravě je výhodné provést
okyselení a následnou alkalizaoi přídavkem
kyseliny a zásady obsahující ionty,
které tvoří základ leptaoí lázně.
Description
Vynález se týká způsobu regenerace vyčerpaných lázní na leptání mědi, v nichž je měS obsažena v komplexní formě.
Účinnou složkou leptacích roztoků; používaných například při výrobě elektrických tištěných spojů nebo při chemickém obrábění měděných předmětůj jsou mě3naté ionty, které při leptání reagují s kovovou mědí: .
Cu2+ + Cu —* 2 Cu+
Během procesu se mě 3 né ionty oxidují vzdušným kyslíkem nebo v leptací lázni přítomným oxidovadlem opět na ionty měSnaté.
Protože jsou měSné soli obecně málo rozpustné a navíc se obvykle pracuje v oblastech pH, kdy i z roztoků měčtnatých solí vypadává hydroxid měSnatý Či jiné málo rozpustné sloučeniny, jsou běžnou součástí leptacích roztoků komplexotvorné, látky, které váží jedno- i dvojmocnou mě3 v rozpustné formě. Jako komplexotvorné činidlo se nejčastěji používá amoniak nebo organické aminy. Další složkou roztoku bývají látky schbpné oxidovat jednomocnou měS na dvojmocnou. Během používání lázně roste obsah mědi v leptacím roztoku, případně klesá koncentrace oxidující složky, čímž klesá rychlost leptání a ke konci použitelnosti lázně může docházet i k vylučování sloučenin mědi z roztoku. Použité leptací roztoky nelze vypouštět do odpadu vzhledem k toxicitě mědi a navíc by docházelo ke ztrátám cenné suroviny. Proto byly navrženy různé způsoby pro zpracování použitých leptacích roztoků, jejichž cílem bylo bu3 jen získání mědi v komerčně zužitkovatelné formějnebo získání mědi a současně roztoků opět použitelných k leptání.
Značnou nevýhodou metod první skupiny je skutečnost, Že po odstranění mědi nelze vzniklé roztoky ještě vypouštět do odpadových vod, nebol obsahují zbytkovou koncentraci mědi a mají značně vysokou solnost.
Jednou z metod první skupiny je snížení obsahu mědi v leptacích lázních cementací méně ušlechtilými kovy (například železem nebo hliníkem), tj. přidáním kovových třísek do lázně které vyredukují z roztoku měčL Problémem však zůstává zpraco vání kovové směsi na čistou měů a další zpracování roztoku, který ještě nelze vypouštět do odpadu.
Z metod druhé skupiny je zajímavý postup podle Ger.Offen 2 651 675. Přídavkem HC1 se vyloučí z roztoku nerozpustné sloučeniny mědi, které se odfiltrují a po přídavku amoniaku, případně vody, lze leptací roztoky opět použít. Nevýhodou postupu je obtížná filtrovatelnost vzniklých suspenzí, případně nutnost dalšího zpracování získaných sraženin na čistou měS nebo na jinou komerčně žádanou formu sloučenin mědi.
Podle US pat. 4 083 758 se z vyčerpané leptací lázně obsahující hydroxid a chlorid amonný nejprve «.-hydroxyoximem vyextrahuje měůnatá sůl. Anorganickou fázi lze po přídavku amoniaku opět použít. Z organické fáze se nejprve zředěnou kyselinou sírovou vysráží chlorid měSnatý, který se pak koncentrovanou kyselinou sírovou převede do roztoku, z něhož se elektrolýzou připraví čistá měů.
Obsah mědi v leptacích lázních lze velmi účinně snížit i přímou elektrolýzou.
Tímto postupem lze koncentraci mědi ve vyčerpané leptací lázni snížit z počátečních 100 - 150 g/dnP na hodnotu okolo 5 g/dm , která je obvyklá u čerstvých leptacích lázní. Elektrolýzou vzniklý roztok by po doplnění účinných složek, které se rozložily při leptání a při elektrolýze (oxidující či komplexující látky), bylo možno použít jako čerstvé Reptáci lázně. ·
Při použití takto elektrolyticky regenerované leptací lázně však bylo zjištěno, že rychlost leptání je v tomto roztoku výrazně nižší než v nové leptací lázni. Bylo prokázáno, že.příčinou zpomalení procesu jsou uhličitany, které snižují pH, čímž ve vrstvičce roztoku u leptané mědi snižují rozpustnost komplexních sloučenin mědi. Uhličitany vznikají jednak
- 3 při vlastním leptání a zejména pak při elektrolýze anodickou oxidací organických látek přítomných v lázních jako oxidovadla nebo komplexující látky.
Zvýšení leptacích rychlostí na hodnoty typické pro čerstvé leptací lázné lze dosáhnout postupem podle předloženého vynálezu, jehož předmětem je způsob regenerace vyčerpaných lázní na leptání mědi, v nichž je mě& obsažena v komplexní formě. Podstata vynálezu spočívá v pracovním postupu^ při němž se vyčerpané leptací lázně, v nichž byl obsah mědi snížen elektrolýzou na hodnotu nově připravené leptací lázně, okyselí na pH nižší než 5,5 a poté se zalkalizují na hodnotu pH vhodnou pro leptání. Okyselení a následná alkalizace. roztoku se s výhodou provede přídavkem kyseliny a zásady s ionty tvořícími základ leptací lázně. ’
Okyselením na pH nižší než 5,5 vznikne· z uhličitanů kyselina uhličitá, která se rozloží na vodu a kysličník uhličitý. Kysličník uhličitý se v plynné formě uvolní z roztoku a jen malá Část zůstane rozpuštěna. Roztok se opět uvede do stavu vhodného k leptání přidáním složek, které se rozložily elektrolýzou (oxidující a komplexotvorné látky), případně zředěním vodou a,přidáním alkálií, čímž se jeho pH zvýší na předepsanou hodnotu.
Okyselením elektrolyzované leptací lázně a následující alkalizací se sice poněkud zvýší solnost roztoku, jeho zředěním lze však docílit potřebné koncentrace solí v leptací lázni. V celkové bilanci není vzrůst objemu leptací lázně na závadu, nebož při leptání dochází naopak ke ztrátám roztoku jeho vynášením leptanými deskami.
Pro okyselení a alkalizací leptací lázně je výhodné použít kyselin a zásad obsahujících ionty tvořící základ leptací lázně. Například k úpravě laptacích lázní obsahujících amoniak a chlorid amonný je výhodné použít k okyselení kyseliny chlorovodíkové a k alkalizací amoniak. Pouhým zředěním vodou lze pak získat roztok o vhodné koncentraci soli pro leptání.
Zvláště výhodné je provést okyselení roztoku, přidáním oxidující nebo komplexotvorné složky leptací lázně ve formě kyseliny (například kyseliny trichloroctové místo její soli),
- 4 čímž se připraví účinné leptací lázeň, aniž by se touto operací zvyšovala solnost roztoku.
Výhodou navrženého postupu je také to, že výsledný roztok má po doplnění oxidujících nebo komplexujících složek a případně po doředění vodou stejné složení a tedy i stejnou hustotu jako čerstvá leptací lázeň, takže hustotní čidla v leptacích strojích reagují stejně jako u nově připravené lázně.
Způsob podle vynálezu a jím dosažený účinek je blíže ilustrován v následujících příkladech.
Příklad 1
Čerstvá leptací lázeň byla připravena z chloridu amonného, chloridu měčínatého, tři chlor octanu sodného a amoniaku. Obsahovala 110 g/dmJ chloridů, 5 g/dmJ měSnatých iontů, 140 g/dnP kyseliny trichloroctové a amoniakem byla zalkalizovéna na pH 9,5. V této lázni teplé 50 °C byla provedena leptací zkouška š měděnou smyčkou o průměru 1 cm otáčející se rychlostí 500 ot/min. Rychlost leptání byla během prvních 9 minut v průměru 3,4 ^m/min, přičemž s dobou leptání díky vzrůstu koncentrace měSnatých iontů déle rostla.
Příklad 2 * 3
Vyčerpaná leptací lázeň o pH 8,8 obsahovala 100 g/dm měSnatých iontů, 135 g/dnP chloridů, 58 g/dn? kyseliny trichloroctové, amonné soli a amoniak. V laboratorním elektrolýzám s měděnou vibrující katodou, grafitovými anodami a PVC diafragmami byla provedena elektrolýza uvedené leptací lázně, čímž se obsah mědi snížil na 5,5 g/dn?, obsah chloridů se zvýšil na 144 g/díP a obsah kyseliny trichloroctové poklesl na méně než 2 g/dm\ Rozkladem kyseliny trichloroctové vznikly během leptání a během elektrolýzy uhličitany v množství 50 g/dm^«, Po doplnění tri chlor octanu sodného v množství odpovídajícím 140 g/dnP kyseliny trichloroctové, po zředění vodou na koncentraci chloridů 110 g/dn? a po alkalizaci amoniakem na pH 9,5 byla provedena leptací zkouška ve výše uvedeném experimentálním uspořádání. Rychlost leptání v tomto roztoku byla během prvých 9 min v průměru jen 2,5 ^um/min, tedy o 25 % nižší než v čerstvé leptací lázni.
- 5 Příklad 3
Elektrolýzováná leptací lázeň výše uvedeného složení 3 -3 (5,5 g Cu/dm , 144 g Cl /dm ) bylá okyselena koncentrovanou kyselinou solnou (36 %-ní) až na pH 4,5. Při pH pod 7,5 docházelo přitom k výraznému šumění roztoku způsobenému únikem kysličníku uhličitého. K okyselení 100 cm leptací lázně bylo spotřebováno 8 cm^ kyseliny. Pak byl roztok zředěn vodou na objem 150 cu?, aby se snížila koncentrace chloridů, bylo přidáno 22 g kyseliny trichloroctové ve formě trichloroctanu sodného a pH roztoku bylo přídavkem vodného roztoku amoniaku (26 %-ního) upraveno na 9,5. Výsledný roztok byl prostý uhličitanů a obsahoval stejné množství chloridových a trichloroctanových iontů jako čerstvý leptací roztok. Pouze obsah mědi byl upraven na potřebnou hodnotu přídavkem 0,23 g mědi ve formě CuCl2.2 HgO. Při leptací zkoušce bylo zjištěno, že leptací rychlost byla stejná jako v Čerstvé l.eptací lázni.
Příklad 4
Elektrolyzovaná leptací lázeň stejného složení jako v příkladu 3 byla okyselena přídavkem kyseliny trichloroctové (na 100 cm lázně bylo použito 18,3 g kyseliny), čímž pH lázně pokleslo na 1,3. Přitom došlo k odstranění uhličitanů z roztoku. Pak bylo pH upraveno amoniakem na hodnotu 9,5 a roztok byl doředěn vodou na objem 130 cm^, aby koncentrace chloridů byla stejná jako v čerstvé lázni z příkladu 1. Pro vyrovnání obsahu mědi bylo přidáno ještě 0,1 g mědi ve formě chloridu. Při leptací zkoušce byla zjištěna stejná leptací rychlost jako v příkladech 1 a 3.
Claims (2)
1. Způsob regenerace vyčerpaných lázní na leptání mědi, v nichž je měň obsažena v komplexní formě, při kterém se obsah mědi sníží elektrolýzou na požadovanou hodnotu, vyznačený tím, že se roztok po elektrolýze okyselí na hodnotu pH nižší než 5,5 a poté se zalkalizuje na hodnotu pH vhodnou pro leptání,
2. Způsob podle bodu 1, vyznačený tím, že se roztok okyselí a poté zalkalizuje přídavkem kyseliny a zásady s ionty tvořícími základ leptací lázně.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS861546A CS257673B1 (cs) | 1986-03-06 | 1986-03-06 | Způsob regenerace vyčerpaných lázní na leptání mědi |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS861546A CS257673B1 (cs) | 1986-03-06 | 1986-03-06 | Způsob regenerace vyčerpaných lázní na leptání mědi |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS154686A1 CS154686A1 (en) | 1987-10-15 |
| CS257673B1 true CS257673B1 (cs) | 1988-05-16 |
Family
ID=5350090
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS861546A CS257673B1 (cs) | 1986-03-06 | 1986-03-06 | Způsob regenerace vyčerpaných lázní na leptání mědi |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS257673B1 (cs) |
-
1986
- 1986-03-06 CS CS861546A patent/CS257673B1/cs unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CS154686A1 (en) | 1987-10-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101560704B1 (ko) | 구리를 에칭하고 소모된 에칭 용액을 회수하는 방법 | |
| US4545877A (en) | Method and apparatus for etching copper | |
| US4269678A (en) | Method for regenerating a cupric chloride and/or ferric chloride containing etching solution in an electrolysis cell | |
| JPH0130916B2 (cs) | ||
| EP0349600B1 (en) | Improved copper etchant compositions | |
| RU2119973C1 (ru) | Способ обработки травильного средства (варианты) | |
| WO2013176111A1 (ja) | 塩化銅含有酸性廃液の処理方法及び装置 | |
| JPS6220279B2 (cs) | ||
| KR830009264A (ko) | 막(膜) 전해조 염수 공급액 | |
| CN106637215B (zh) | 一种线路板酸性蚀刻废液资源电解氧化剂回用方法 | |
| JPH0733595B2 (ja) | 過マンガン酸塩へのマンガン酸塩の転化 | |
| CS257673B1 (cs) | Způsob regenerace vyčerpaných lázní na leptání mědi | |
| RU2715836C1 (ru) | Реагентно-электролизный метод регенерации солянокислых медно-хлоридных растворов травления меди | |
| US2845330A (en) | Method of recovering cyanides from waste aqueous solutions containing metal cyanides | |
| JPS5620173A (en) | Preparation of chlorine water | |
| RU2765894C1 (ru) | Способ обработки раствора подтравливания печатных плат | |
| JPS6254850B2 (cs) | ||
| CN109652805B (zh) | 一种去除铜镍镀层的退镀液及其使用方法 | |
| JP2777955B2 (ja) | 脱銀又は銀の回収方法 | |
| JP2698253B2 (ja) | 銅を含む塩化第二鉄エッチング液の処理方法 | |
| RU2132408C1 (ru) | Способ регенерации железо-медно-хлоридного травильного раствора | |
| CS263985B1 (cs) | Způsob zpracování vyčerpaných lázní na leptání mědi | |
| SU1305197A1 (ru) | Способ демеркуризации окисных рутениево-титановых анодов | |
| JPH08199366A (ja) | 無電解ニツケル鍍金廃液の処理方法 | |
| Luke | Etching of copper with sulphuric acid/hydrogen peroxide solutions |