CS257673B1 - A method of regenerating spent copper etching baths - Google Patents

A method of regenerating spent copper etching baths Download PDF

Info

Publication number
CS257673B1
CS257673B1 CS861546A CS154686A CS257673B1 CS 257673 B1 CS257673 B1 CS 257673B1 CS 861546 A CS861546 A CS 861546A CS 154686 A CS154686 A CS 154686A CS 257673 B1 CS257673 B1 CS 257673B1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
etching
copper
bath
solution
baths
Prior art date
Application number
CS861546A
Other languages
Czech (cs)
Other versions
CS154686A1 (en
Inventor
Otomar Spalek
Ivo Paseka
Milada Thumova
Original Assignee
Otomar Spalek
Ivo Paseka
Milada Thumova
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Otomar Spalek, Ivo Paseka, Milada Thumova filed Critical Otomar Spalek
Priority to CS861546A priority Critical patent/CS257673B1/en
Publication of CS154686A1 publication Critical patent/CS154686A1/en
Publication of CS257673B1 publication Critical patent/CS257673B1/en

Links

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P10/00Technologies related to metal processing
    • Y02P10/20Recycling

Landscapes

  • ing And Chemical Polishing (AREA)

Abstract

Způsob regenerace vyčerpaných lázní na leptání mědi, v niohž je měa obsažena v komplexní formě, založený na elektrolytiokám snížení obsahu, mědi v lázni na po~ žadovanou hodnotu. Potřebné leptaoí rychlosti v elektrolyticky zpracované lázni se dosáhne úpravou, spočívajíoí v okyselení na hodnotu pH nižěí než 5,5 a následné alkalizaoi na hodnotu pH vhodnou pro leptání. Při této úpravě je výhodné provést okyselení a následnou alkalizaoi přídavkem kyseliny a zásady obsahující ionty, které tvoří základ leptaoí lázně.A method of regenerating spent copper etching baths containing copper in a complex form, based on the electrolytic reduction of the copper content in the bath to the required value. The required etching rate in the electrolytically processed bath is achieved by treatment consisting of acidification to a pH value lower than 5.5 and subsequent alkalization to a pH value suitable for etching. In this treatment, it is advantageous to carry out acidification and subsequent alkalization by adding an acid and a base containing ions that form the basis of the etching bath.

Description

Vynález se týká způsobu regenerace vyčerpaných lázní na leptání mědi, v nichž je měS obsažena v komplexní formě.The invention relates to a process for the regeneration of depleted copper etching baths in which the copper is contained in a complex form.

Účinnou složkou leptacích roztoků; používaných například při výrobě elektrických tištěných spojů nebo při chemickém obrábění měděných předmětůj jsou mě3naté ionty, které při leptání reagují s kovovou mědí: .The active ingredient of etching solutions; used, for example, in the manufacture of electrical printed circuits or in the chemical machining of copper articles are copper ions which, when etched, react with copper metal:.

Cu2+ + Cu —* 2 Cu+ Cu + 2 + Cu - * 2 Cu +

Během procesu se mě 3 né ionty oxidují vzdušným kyslíkem nebo v leptací lázni přítomným oxidovadlem opět na ionty měSnaté.During the process, the ionic ions are oxidized again to copper (I) ions by air oxygen or by an etching agent present in the etching bath.

Protože jsou měSné soli obecně málo rozpustné a navíc se obvykle pracuje v oblastech pH, kdy i z roztoků měčtnatých solí vypadává hydroxid měSnatý Či jiné málo rozpustné sloučeniny, jsou běžnou součástí leptacích roztoků komplexotvorné, látky, které váží jedno- i dvojmocnou mě3 v rozpustné formě. Jako komplexotvorné činidlo se nejčastěji používá amoniak nebo organické aminy. Další složkou roztoku bývají látky schbpné oxidovat jednomocnou měS na dvojmocnou. Během používání lázně roste obsah mědi v leptacím roztoku, případně klesá koncentrace oxidující složky, čímž klesá rychlost leptání a ke konci použitelnosti lázně může docházet i k vylučování sloučenin mědi z roztoku. Použité leptací roztoky nelze vypouštět do odpadu vzhledem k toxicitě mědi a navíc by docházelo ke ztrátám cenné suroviny. Proto byly navrženy různé způsoby pro zpracování použitých leptacích roztoků, jejichž cílem bylo bu3 jen získání mědi v komerčně zužitkovatelné formějnebo získání mědi a současně roztoků opět použitelných k leptání.Since the cuprous salts are generally poorly soluble, and moreover, they are usually operated in pH ranges where cupric hydroxide or other sparingly soluble compounds are also precipitated from the cuprous salt solutions, complexing agents which bind mono- and divalent me3 in soluble form are common components of the etching solutions. Ammonium or organic amines are most commonly used as the complexing agent. Substances which are capable of oxidizing monovalent to bivalent are also a further component of the solution. During use of the bath, the copper content of the etching solution increases, or the concentration of the oxidizing component decreases, thereby decreasing the etching rate and, at the end of the bath's usability, the copper compounds may also be separated from the solution. The etching solutions used cannot be discharged into the waste due to the toxicity of the copper and, moreover, valuable raw materials would be lost. Therefore, various methods have been proposed for the treatment of the etching solutions used, with the aim of either merely obtaining copper in a commercially viable form or obtaining copper and at the same time reusable solutions for etching.

Značnou nevýhodou metod první skupiny je skutečnost, Že po odstranění mědi nelze vzniklé roztoky ještě vypouštět do odpadových vod, nebol obsahují zbytkovou koncentraci mědi a mají značně vysokou solnost.A considerable disadvantage of the methods of the first group is that after removal of the copper, the resulting solutions cannot be discharged into the waste water because they contain a residual copper concentration and have a considerably high salinity.

Jednou z metod první skupiny je snížení obsahu mědi v leptacích lázních cementací méně ušlechtilými kovy (například železem nebo hliníkem), tj. přidáním kovových třísek do lázně které vyredukují z roztoku měčL Problémem však zůstává zpraco vání kovové směsi na čistou měů a další zpracování roztoku, který ještě nelze vypouštět do odpadu.One method of the first group is to reduce the copper content of the etching bath by cementing with less noble metals (such as iron or aluminum), i.e. by adding metal chips to the bath which will reduce the copper solution. which cannot yet be discharged into waste.

Z metod druhé skupiny je zajímavý postup podle Ger.Offen 2 651 675. Přídavkem HC1 se vyloučí z roztoku nerozpustné sloučeniny mědi, které se odfiltrují a po přídavku amoniaku, případně vody, lze leptací roztoky opět použít. Nevýhodou postupu je obtížná filtrovatelnost vzniklých suspenzí, případně nutnost dalšího zpracování získaných sraženin na čistou měS nebo na jinou komerčně žádanou formu sloučenin mědi.Among the methods of the second group, the procedure of Ger.Offen 2,651,675 is of interest. The addition of HCl precipitates insoluble copper compounds from the solution, which are filtered off and, after addition of ammonia or water, the etching solutions can be reused. The disadvantage of the process is the difficulty of filtering the resulting suspensions or the need for further processing of the obtained precipitates to pure copper or to another commercially desired form of copper compounds.

Podle US pat. 4 083 758 se z vyčerpané leptací lázně obsahující hydroxid a chlorid amonný nejprve «.-hydroxyoximem vyextrahuje měůnatá sůl. Anorganickou fázi lze po přídavku amoniaku opět použít. Z organické fáze se nejprve zředěnou kyselinou sírovou vysráží chlorid měSnatý, který se pak koncentrovanou kyselinou sírovou převede do roztoku, z něhož se elektrolýzou připraví čistá měů.According to US Pat. No. 4,083,758, the copper salt is extracted from the spent etching bath containing ammonium hydroxide and ammonium chloride first. The inorganic phase can be reused after the addition of ammonia. Copper (II) chloride is precipitated from the organic phase with dilute sulfuric acid, which is then converted into a solution from concentrated sulfuric acid from which pure copper is prepared by electrolysis.

Obsah mědi v leptacích lázních lze velmi účinně snížit i přímou elektrolýzou.The copper content of the etching baths can also be very effectively reduced by direct electrolysis.

Tímto postupem lze koncentraci mědi ve vyčerpané leptací lázni snížit z počátečních 100 - 150 g/dnP na hodnotu okolo 5 g/dm , která je obvyklá u čerstvých leptacích lázní. Elektrolýzou vzniklý roztok by po doplnění účinných složek, které se rozložily při leptání a při elektrolýze (oxidující či komplexující látky), bylo možno použít jako čerstvé Reptáci lázně. ·By this procedure, the copper concentration in the exhausted etching bath can be reduced from an initial 100-150 g / dP to a value of about 5 g / dm, which is common in fresh etching baths. The solution obtained by electrolysis could be used as a fresh Reptace bath after the addition of active ingredients which have decomposed upon etching and electrolysis (oxidizing or complexing agents). ·

Při použití takto elektrolyticky regenerované leptací lázně však bylo zjištěno, že rychlost leptání je v tomto roztoku výrazně nižší než v nové leptací lázni. Bylo prokázáno, že.příčinou zpomalení procesu jsou uhličitany, které snižují pH, čímž ve vrstvičce roztoku u leptané mědi snižují rozpustnost komplexních sloučenin mědi. Uhličitany vznikají jednakHowever, using an electrolytically regenerated etching bath, it was found that the etching rate in this solution was significantly lower than in the new etching bath. It has been shown that the carbonate is the cause of the process slowing down, thereby reducing the solubility of complex copper compounds in the etched copper layer of solution. Carbonates arise both

- 3 při vlastním leptání a zejména pak při elektrolýze anodickou oxidací organických látek přítomných v lázních jako oxidovadla nebo komplexující látky.- 3 in the etching itself and in particular in the electrolysis by the anodic oxidation of the organic substances present in the baths as oxidizing agents or complexing substances.

Zvýšení leptacích rychlostí na hodnoty typické pro čerstvé leptací lázné lze dosáhnout postupem podle předloženého vynálezu, jehož předmětem je způsob regenerace vyčerpaných lázní na leptání mědi, v nichž je mě& obsažena v komplexní formě. Podstata vynálezu spočívá v pracovním postupu^ při němž se vyčerpané leptací lázně, v nichž byl obsah mědi snížen elektrolýzou na hodnotu nově připravené leptací lázně, okyselí na pH nižší než 5,5 a poté se zalkalizují na hodnotu pH vhodnou pro leptání. Okyselení a následná alkalizace. roztoku se s výhodou provede přídavkem kyseliny a zásady s ionty tvořícími základ leptací lázně. ’Increasing the etching rates to the values typical of fresh etching baths can be achieved by the process of the present invention, which relates to a method of regenerating depleted copper etching baths in which it is contained in a complex form. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a process in which exhausted etching baths in which the copper content has been reduced by electrolysis to the value of the newly prepared etching bath are acidified to a pH lower than 5.5 and then basified to a pH suitable for etching. Acidification and subsequent alkalization. of the solution is preferably carried out by the addition of an acid and a base with the ions forming the base of the etching bath. ’

Okyselením na pH nižší než 5,5 vznikne· z uhličitanů kyselina uhličitá, která se rozloží na vodu a kysličník uhličitý. Kysličník uhličitý se v plynné formě uvolní z roztoku a jen malá Část zůstane rozpuštěna. Roztok se opět uvede do stavu vhodného k leptání přidáním složek, které se rozložily elektrolýzou (oxidující a komplexotvorné látky), případně zředěním vodou a,přidáním alkálií, čímž se jeho pH zvýší na předepsanou hodnotu.Acidification to a pH of less than 5.5 produces carbonates from carbonates, which decompose into water and carbon dioxide. The carbon dioxide is released from the solution in gaseous form and only a small portion remains dissolved. The solution is again brought to a state suitable for etching by addition of components which have been decomposed by electrolysis (oxidizing and complexing agents), optionally by dilution with water, and by addition of alkali, thereby raising its pH to the prescribed value.

Okyselením elektrolyzované leptací lázně a následující alkalizací se sice poněkud zvýší solnost roztoku, jeho zředěním lze však docílit potřebné koncentrace solí v leptací lázni. V celkové bilanci není vzrůst objemu leptací lázně na závadu, nebož při leptání dochází naopak ke ztrátám roztoku jeho vynášením leptanými deskami.Acidification of the electrolyzed etching bath and subsequent alkalinization slightly increases the salinity of the solution, but by diluting it it is possible to achieve the required salt concentration in the etching bath. There is no defect in the volume of the etching bath in the overall balance, because on the contrary the solution is lost by etching boards during etching.

Pro okyselení a alkalizací leptací lázně je výhodné použít kyselin a zásad obsahujících ionty tvořící základ leptací lázně. Například k úpravě laptacích lázní obsahujících amoniak a chlorid amonný je výhodné použít k okyselení kyseliny chlorovodíkové a k alkalizací amoniak. Pouhým zředěním vodou lze pak získat roztok o vhodné koncentraci soli pro leptání.For acidification and alkalization of the etching bath, it is preferable to use acids and bases containing ions forming the basis of the etching bath. For example, to treat laptops of baths containing ammonia and ammonium chloride, it is preferred to use ammonia to acidify the hydrochloric acid and to alkalinize. By simply diluting with water, a solution with a suitable salt concentration for etching can then be obtained.

Zvláště výhodné je provést okyselení roztoku, přidáním oxidující nebo komplexotvorné složky leptací lázně ve formě kyseliny (například kyseliny trichloroctové místo její soli),It is particularly preferred to acidify the solution by adding an oxidizing or complexing component of the acid etching bath (e.g., trichloroacetic acid instead of its salt),

- 4 čímž se připraví účinné leptací lázeň, aniž by se touto operací zvyšovala solnost roztoku.Thereby producing an effective etching bath without increasing the salinity of the solution.

Výhodou navrženého postupu je také to, že výsledný roztok má po doplnění oxidujících nebo komplexujících složek a případně po doředění vodou stejné složení a tedy i stejnou hustotu jako čerstvá leptací lázeň, takže hustotní čidla v leptacích strojích reagují stejně jako u nově připravené lázně.An advantage of the proposed process is also that the resulting solution has the same composition and therefore the same density as the fresh etching bath after the addition of oxidizing or complexing components and optionally after dilution with water, so that the density sensors in the etching machines react as well as the newly prepared bath.

Způsob podle vynálezu a jím dosažený účinek je blíže ilustrován v následujících příkladech.The process according to the invention and the effect achieved by it are illustrated in more detail in the following examples.

Příklad 1Example 1

Čerstvá leptací lázeň byla připravena z chloridu amonného, chloridu měčínatého, tři chlor octanu sodného a amoniaku. Obsahovala 110 g/dmJ chloridů, 5 g/dmJ měSnatých iontů, 140 g/dnP kyseliny trichloroctové a amoniakem byla zalkalizovéna na pH 9,5. V této lázni teplé 50 °C byla provedena leptací zkouška š měděnou smyčkou o průměru 1 cm otáčející se rychlostí 500 ot/min. Rychlost leptání byla během prvních 9 minut v průměru 3,4 ^m/min, přičemž s dobou leptání díky vzrůstu koncentrace měSnatých iontů déle rostla.A fresh etching bath was prepared from ammonium chloride, copper chloride, three sodium chloride, and ammonia. It contained 110 g / dm J of chloride, 5 g / dm J of cupric ions, 140 g / dp of trichloroacetic acid and was basified to pH 9.5 with ammonia. In this 50 ° C bath, a 1 cm copper loop etching test was performed at a speed of 500 rpm. The etching rate averaged 3.4 µm / min during the first 9 minutes, and increased with the etching time due to the increase in the copper ion concentration.

Příklad 2 * 3Example 2 * 3

Vyčerpaná leptací lázeň o pH 8,8 obsahovala 100 g/dm měSnatých iontů, 135 g/dnP chloridů, 58 g/dn? kyseliny trichloroctové, amonné soli a amoniak. V laboratorním elektrolýzám s měděnou vibrující katodou, grafitovými anodami a PVC diafragmami byla provedena elektrolýza uvedené leptací lázně, čímž se obsah mědi snížil na 5,5 g/dn?, obsah chloridů se zvýšil na 144 g/díP a obsah kyseliny trichloroctové poklesl na méně než 2 g/dm\ Rozkladem kyseliny trichloroctové vznikly během leptání a během elektrolýzy uhličitany v množství 50 g/dm^«, Po doplnění tri chlor octanu sodného v množství odpovídajícím 140 g/dnP kyseliny trichloroctové, po zředění vodou na koncentraci chloridů 110 g/dn? a po alkalizaci amoniakem na pH 9,5 byla provedena leptací zkouška ve výše uvedeném experimentálním uspořádání. Rychlost leptání v tomto roztoku byla během prvých 9 min v průměru jen 2,5 ^um/min, tedy o 25 % nižší než v čerstvé leptací lázni.A depleted etching bath of pH 8.8 contained 100 g / dm of cuprous ions, 135 g / dd of chlorides, 58 g / dd. trichloroacetic acids, ammonium salts and ammonia. Laboratory electrolysis with a copper vibrating cathode, graphite anodes and PVC diaphragms electrolysed the etching bath, reducing the copper content to 5.5 g / day, the chloride content to 144 g / day and the trichloroacetic acid content to less Trichloroacetic acid decomposed during etching and electrolysis at 50 g / dm < 3 >. After addition of trichloroacetic acid trichloroacetic acid, after dilution with water to a chloride concentration of 110 g / day dn? and after alkalization with ammonia to pH 9.5, an etching test was carried out in the above experimental setup. The etching rate in this solution was on average only 2.5 µm / min during the first 9 min, ie 25% lower than in a fresh etching bath.

- 5 Příklad 3- 5 Example 3

Elektrolýzováná leptací lázeň výše uvedeného složení 3 -3 (5,5 g Cu/dm , 144 g Cl /dm ) bylá okyselena koncentrovanou kyselinou solnou (36 %-ní) až na pH 4,5. Při pH pod 7,5 docházelo přitom k výraznému šumění roztoku způsobenému únikem kysličníku uhličitého. K okyselení 100 cm leptací lázně bylo spotřebováno 8 cm^ kyseliny. Pak byl roztok zředěn vodou na objem 150 cu?, aby se snížila koncentrace chloridů, bylo přidáno 22 g kyseliny trichloroctové ve formě trichloroctanu sodného a pH roztoku bylo přídavkem vodného roztoku amoniaku (26 %-ního) upraveno na 9,5. Výsledný roztok byl prostý uhličitanů a obsahoval stejné množství chloridových a trichloroctanových iontů jako čerstvý leptací roztok. Pouze obsah mědi byl upraven na potřebnou hodnotu přídavkem 0,23 g mědi ve formě CuCl2.2 HgO. Při leptací zkoušce bylo zjištěno, že leptací rychlost byla stejná jako v Čerstvé l.eptací lázni.The electrolyzed etching bath of composition 3 -3 above (5.5 g Cu / dm, 144 g Cl / dm) was acidified with concentrated hydrochloric acid (36%) to pH 4.5. At pH below 7.5, there was a significant effervescence of the solution caused by the release of carbon dioxide. 8 cm @ 3 of acid were consumed to acidify the 100 cm etching bath. Then the solution was diluted with water to 150 cu cu to reduce the chloride concentration, 22 g of trichloroacetic acid in the form of sodium trichloroacetate was added and the pH of the solution was adjusted to 9.5 by the addition of aqueous ammonia (26%). The resulting solution was carbonate-free and contained the same amount of chloride and trichloroacetate ions as the fresh etching solution. Only the copper content was adjusted to the desired pH by adding 0.23 g of copper in the form of CuCl 2 .2 HgO. In the etching test, the etching rate was found to be the same as in the fresh etching bath.

Příklad 4Example 4

Elektrolyzovaná leptací lázeň stejného složení jako v příkladu 3 byla okyselena přídavkem kyseliny trichloroctové (na 100 cm lázně bylo použito 18,3 g kyseliny), čímž pH lázně pokleslo na 1,3. Přitom došlo k odstranění uhličitanů z roztoku. Pak bylo pH upraveno amoniakem na hodnotu 9,5 a roztok byl doředěn vodou na objem 130 cm^, aby koncentrace chloridů byla stejná jako v čerstvé lázni z příkladu 1. Pro vyrovnání obsahu mědi bylo přidáno ještě 0,1 g mědi ve formě chloridu. Při leptací zkoušce byla zjištěna stejná leptací rychlost jako v příkladech 1 a 3.The electrolyzed etching bath of the same composition as in Example 3 was acidified by the addition of trichloroacetic acid (18.3 g of acid was used per 100 cm bath), bringing the pH of the bath to 1.3. The carbonates were removed from the solution. The pH was then adjusted to 9.5 with ammonia, and the solution was diluted with water to a volume of 130 cm @ 3 to maintain the chloride concentration as in the fresh bath of Example 1. 0.1 g of copper chloride was added to equalize the copper content. The etching rate showed the same etching rate as in Examples 1 and 3.

Claims (2)

1. Způsob regenerace vyčerpaných lázní na leptání mědi, v nichž je měň obsažena v komplexní formě, při kterém se obsah mědi sníží elektrolýzou na požadovanou hodnotu, vyznačený tím, že se roztok po elektrolýze okyselí na hodnotu pH nižší než 5,5 a poté se zalkalizuje na hodnotu pH vhodnou pro leptání,Method for the regeneration of depleted copper etching baths, in which the copper is contained in a complex form, in which the copper content is reduced by electrolysis to a desired value, characterized in that the solution is acidified to pH lower than 5.5 after electrolysis and basify to a pH suitable for etching, 2. Způsob podle bodu 1, vyznačený tím, že se roztok okyselí a poté zalkalizuje přídavkem kyseliny a zásady s ionty tvořícími základ leptací lázně.2. A process according to claim 1, characterized in that the solution is acidified and then rendered alkaline by addition of an acid and a base with the ions forming the base of the etching bath.
CS861546A 1986-03-06 1986-03-06 A method of regenerating spent copper etching baths CS257673B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS861546A CS257673B1 (en) 1986-03-06 1986-03-06 A method of regenerating spent copper etching baths

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS861546A CS257673B1 (en) 1986-03-06 1986-03-06 A method of regenerating spent copper etching baths

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CS154686A1 CS154686A1 (en) 1987-10-15
CS257673B1 true CS257673B1 (en) 1988-05-16

Family

ID=5350090

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS861546A CS257673B1 (en) 1986-03-06 1986-03-06 A method of regenerating spent copper etching baths

Country Status (1)

Country Link
CS (1) CS257673B1 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
CS154686A1 (en) 1987-10-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101560704B1 (en) A method for etching copper and recovery of the spent etching solution
US4545877A (en) Method and apparatus for etching copper
US4269678A (en) Method for regenerating a cupric chloride and/or ferric chloride containing etching solution in an electrolysis cell
JPH0130916B2 (en)
RU2119973C1 (en) Method of treatment of etching agent (variants)
EP0349600B1 (en) Improved copper etchant compositions
WO2013176111A1 (en) Processing method and apparatus for copper chloride-containing acidic waste liquids
JPS6220279B2 (en)
KR830009264A (en) Membrane Electrolyzer Brine Feed Solution
CN106637215B (en) Method for recycling electrolytic oxidant of circuit board acidic etching waste liquid resource
US4107011A (en) Method of regeneration of spent etching solutions
JPH0733595B2 (en) Conversion of manganate to permanganate
US2845330A (en) Method of recovering cyanides from waste aqueous solutions containing metal cyanides
RU2715836C1 (en) Reagent-electrolysis method for regeneration of hydrochloric copper-chloride solutions of copper etching
CS257673B1 (en) A method of regenerating spent copper etching baths
JPS5620173A (en) Preparation of chlorine water
JP2004299974A (en) Method of producing high purity easily dissolvable copper oxide, high purity easily dissolvable copper oxide, copper plating material and copper plating method
JPS6254850B2 (en)
RU2765894C1 (en) Method for processing the solution for etching printed circuit boards
CN109652805B (en) Deplating liquid for removing copper-nickel coating and using method thereof
JP2777955B2 (en) Desilvering or silver recovery method
JP4580085B2 (en) Method for etching metal tin or tin alloy and metal tin or tin alloy etchant
JP2698253B2 (en) Treatment method of ferric chloride etching solution containing copper
RU2132408C1 (en) Process of recovery of iron-copper-chloride pickling solution
CS263985B1 (en) A method of treating spent copper etching baths