CS252985B1 - Čerpadlo na transport velmi čistých kvapalín - Google Patents

Abstract

Čerpadlo na transport velmi čistých kva ­ palín vyrobené zo skla, pozostávajúce z ko ­ mory opatrenej trubicou na nasadenie ba- lónika, nasávacím a výtlačným potrubím so zabrúseným sedlom a kuželkou, u ktorého trubica na nasadenie balónika je v hornej časti komory, pričom v dolnej časti -komo ­ ry usporiadané sacie a výtlačné potrubie je vytvořené tak, že sacie potrubie je pod vý tlačným potrubím.

Description

3 4 25 2983

Vynález sa týká čerpadla na transportvelmi čistých kvapalín za specifických pod-mienok.

Doteraz vyrábal chemický priemysel naj-čistejšie chemikálie pod označením p. a. —pre analýzu. Rozvoj polovodičové] technikysi vynutil vačšie nároky na čistotu chemiká-lií. Vznikla nová skupina vysoko čistýchchemikálií vyššieho stupňa čistoty označo-vaná ako reagencie pre polovodiče. Rozvojmikroelektroniky, osobitne obvodov velkeja velmi velkej integrácie [LSI a VLSI) vy-žaduje ešte vyššiu kvalitu, a to najmá v níz-kom obsahu alkalických kovov a čo najniž-ší obsah heterogenných častíc, ktoré můžupri zmenšovaní dimenzií svojimi rozmermispůsobiť poruchy pri litografických a dal-ších technologických operáciách. Táto sku-pina chemikálií je váčšinou označovaná a-ko MOS chemikálie.

Zaistenie výroby chemikálií tohto typunie je jednoduchý problém, predovšetkýmpreto, že stúpajú nároky na čistotu. Čistotachemikálií typu MOS sa zaručuje testom,dnes v rozsahu 30—40 nečistot v rozmedzí10-4 až 10-6 % (1—0,01 ppmj.

Problém obsahu heterogénnych častíc vovelmi čistých chemikáliách pre mikroelek-troniku je velmi závažným technickým pro-blémom. Původ heterogénnych, teda neroz-pustných častíc vo vysoko čistých kvapali-nách je třeba hladať predovšetkým v atmo-sferickom prachu, otere a korózii používa-ných zariadení, v pracovných odevoch a vnedokonalosti vymytia používaných čerpa-diel, potrubí a obalov. Z hladiska transportu velmi čistých che-mikálií pre mikroe'ektroniku majú klučovépostavenie čerpadlá, ktoré sa používajú čiuž v prevádzkovom alebo laboratórnom me-radle. V súčasnosti sú dostupné čerpadlárůzných typov a konštrukcií: odstředivé,piestové, rotačně, monžíky a mamutky. Privýbere vhodného čerpadla nemáme možnostsa oprieť o pravidlá, ktoré by jednoznačnéurčovali kedy aké čerpadlo třeba použit,najma keď sa jedná o velmi cenná kvapali-nu. Bežne sa pri výbere prihliada na množ-stvo kvapaliny transportované v jednotkečasu, pracovnú výšku, pohon, kontinuálnosťresp. diskontinuálnosť prevádzky, cenu, me-chanická áčinnosť čerpadla a chemické afyzikálně vlastnosti prečerpávanej kvapali-ny. Právě posledně menované kritérium, kto-ré zohladňuje chemické a fyzikálně vlast-nosti prečerpávanej kvapaliny značné zužu-je výběr čerpadiel vhodných pre transportvelmi čistých kvapalín.

Uvedené nedostatky sá v podstatné miereodstránené čerpadlom na transport velmičistých kvapalín, ktoré je vyrobené z neko-vového materiálu, například zo skla, pozo-stávajáce z komory opatrenej trubicou prenasadenie balónika, nasávacím a výtlačnýmpotrubím so zabráseným sedlom a kuželkoupodlá vynálezu, ktorého podstata spočíváv tom, že trubica na nasadenie balónika jev hornej časti komory, pričom v dolnej čas-ti je sacie a výtlačné potrubie usporiadanétak, že sacie potrubie je pod výtlačným po-trubím.

Vynálezom sa dosahuje pokrok v tom, žepri transporte velmi čistých kvapalín sa mi-nimalizuje obsah heterogénnych častíc po-chádzajácich z otěru a korózie kovovýchčastí čerpacieho zariadenia. Ďalší přínos vy-nálezu je v tom, že umožňuje pracovat v i-nertnej atmosféře. Ručná manipulácia za-bezpečuje prevádzku aj vo výbušnom pro-středí. Skleněný materiál je odolný vočibežne používaným kyselinám a luhom. Popoužití sa dá čerpadlo dokonale vymyt a vy-čistit.

Na výkrese je schematicky znázorněnéčerpadlo v axonometrickom pohlade. Podlávynálezu sá jednotlivé časti čerpadla: ko-mora 1, trubica 2 pre nasadenie balónika 7,nasávacie a výtlačné potrubie 3, 4 a kužel-ka 6 vyrobené zo skla, keramiky, aleboumelej hmoty. Ukončenie otvorov pre baló-nik, nasávacie a výtlačné potrubie je opat-řené olivkami 8. Balónik 7 má spátný ven-tilok 9. Komora 1 má niektorý z tvarov u-vedených na obrázku. Popis funkcie čerpad-la pri práci v inertnej atmosféře:

Na olivku nasávacieho potrubia 3 sa na-sadí hadička z umelej hmoty, ktorou sa dočerpadla privedie inertný plyn. Na olivkutrubice 2 sa nasadí hadička, na ktorá je na-pojený balónik 7. Pri prefukovaní čerpadlainertným plynom je z balónika vybraný spát-ný ventilok 9. Na olivku výtlačného potrubia4 sa nasadí hadička z umelej hmoty, pri-čom jej druhý koniec sa zasunie do otvoruprečerpávacej nádoby. Takto připravenéčerpadlo sa prefukuje inertným plynom do-vtedy, dokial' nie je zbavené vzduchu a vlh-kosti. Potom sa do balónika naspat vložíspatný ventilok, hadička z nasávacieho po-trubia sa odpojí od zdroja inertného plynua zasunie do zásobníka, z ktorého sa mápožadovaná kvapalina čerpat. Stláčaním apovolováním balónika sa cez nasávacie po-trubie 3 dostává kvapalina do komory 1 aodtial' cez výtlačné potrubie 4 do prečerpá-vacej nádoby.

Claims (1)

1. 5 25298S PREDMET Čerpadlo na transport velmi čistých kva-palín vyrobené z nekovového materiálu, vý-hodné zo skla, pozostávajúce z komory o-patrenej trubicou pre nasadenie balónika,nasávacím a výtlačným potrubím so zabrú-seným sedlom a kuželkou vyznačujúce sa VYNÁLEZU tým, že trubica (2) na nasadenie balónika (7) je v hornéj časti komory (1), pričom vdolnej časti je sacie a výtlačné potrubie u-sporiadané tak, že sacie potrubie (3) je podvýtlačným potrubím (4j. 1 list výkresov