CN207237375U - 气体分离装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型是关于一种气体分离装置，涉及液体输送设备领域，所要解决的技术问题是使其能够将液体输送过程中液体中混入的气泡分离出来。主要采用的技术方案为：气体分离装置，其包括：筒体和排气阀；筒体的底部设置有进液口，筒体的顶部设置有排气口，筒体的侧壁开设有出液口，出液口距筒体的顶部预定距离，以出液口顶端水平切面为分界将筒体分为液体容纳腔和气体容纳腔；排气阀连接在排气口上；其中，液体从进液口进入液体容纳腔从出液口排出，液体中的气体从液体中析出进入气体容纳腔，当气体容纳腔中的气体压力达到预定值排气阀打开，气体从排气口排出。气体分离装置可连接在液体输送的管道上，使输送的液体不含气体，使液体更纯净。

Description

气体分离装置

技术领域

本实用新型涉及液体输送设备领域，特别是涉及一种气体分离装置。

背景技术

目前，在电子半导体行业的生产中，会用到许多化学品，因此生产企业都会建立一个化学品供应系统，以便自动的将化学品输送到各个生产工序中。

由于现有技术中常用的化学品包括多种化学品溶液，所以在使用化学品供应系统进行化学品溶液的输送时，需要使用液体输送泵进行化学品溶液的输送，但是无论在输送的过程中，还是在输送的开始或者储液罐内的化学品溶液即将用完时，都会有少量气体混杂在液体中被输送出去，而在电子半导体产品的生产中是绝对不允许化学品溶液中存在气体的，一旦存在气体就会严重影响电子半导体产品的质量，所以需要设计一种设备将化学品溶液输送过程中的气体分离出来，以保证电子半导体产品的质量。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于，提供一种新型结构的气体分离装置，所要解决的技术问题是使其能够将液体输送过程中液体中混入的气泡分离出来。

本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本实用新型提出的一种气体分离装置，其包括：

筒体，所述筒体的底部设置有进液口，所述筒体的顶部设置有排气口，所述筒体的侧壁开设有出液口，所述出液口距所述筒体的顶部预定距离，以所述出液口顶端水平切面为分界将所述筒体分为液体容纳腔和气体容纳腔；

排气阀，所述排气阀连接在所述排气口上；

其中，所述液体从所述进液口进入所述液体容纳腔从出液口排出，所述液体中的气体从液体中析出进入所述气体容纳腔，当所述气体容纳腔中的气体压力达到预定值所述排气阀打开，所述气体从所述排气阀排出。

本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

优选的，前述的气体分离装置，其中所述筒体包括筒盖和筒壁，所述筒盖与所述筒壁密封连接，所述排气口设置在所述筒盖上。

优选的，前述的气体分离装置，其中所述出液口设置在所述筒体高度的1/2-4/5之间的位置处。

优选的，前述的气体分离装置，其中所述出液口设置在所述筒体高度的2/3位置处。

优选的，前述的气体分离装置，其中所述排气阀包括阀体、阀芯及浮力部件；

所述阀体竖直与所述排气口密封连接，所述阀体的出气端设置在所述筒体之外，所述阀体的进气端设置在所述筒体的内部，所述阀芯与所述阀体滑动连接，所述浮力部件与所述阀芯的第一端相顶持，使所述阀芯的第二端穿设在所述阀体中；

其中，当所述筒体内部的液体液面位于所述水平切面的高度或在此高度以上时，所述浮力部件在浮力作用下将所述阀芯顶持到第一位置，所述阀芯将所述阀体密封，当所述筒体内部的气体气压达到预定值时，所述筒体内部的液体液面低于所述水平切面的高度时，所述浮力部件对所述阀芯的顶持力减小，所述阀芯解除对所述阀体的密封，所述筒体内的气体通过阀体排出所述筒体。

优选的，前述的气体分离装置，其中所述浮力部件包括第一连杆、第二连杆以及浮球，所述第一连杆的一端与所述筒体顶部的内表面固定连接，所述第一连杆的另一端与所述第二连杆的一端转动连接，所述第二连杆的另一端与所述浮球连接，所述第二连杆的中部与所述阀芯的第一端顶持，所述浮球用于与液体接触产生顶持所述阀芯的顶持力。

优选的，前述的气体分离装置，其中所述排气阀还包括弹簧，所述弹簧套设在所述阀芯上，所述弹簧的两端分别与所述阀芯的第一端以及所述筒体顶部的内表面抵触。

优选的，前述的气体分离装置，其中所述阀芯为圆柱状，所述阀芯的侧壁上设置有多个通气槽，所述阀芯的第二端为圆锥形头；

所述阀体的内部设置有阀芯容纳腔和出气道，所述阀芯容纳腔第一端与所述阀体进气端连通，所述阀芯容纳腔第二端与所述出气道的第一端连通，所述出气道的另一端与所述阀体出气端连通，所述阀芯容纳腔的第二端设置有与所述阀芯第二端相适配的锥形弧面。

优选的，前述的气体分离装置，其中所述出液口处连接有单向阀，用于防止液体倒流。

优选的，前述的气体分离装置，其中所述进液口设置有快速接头，所述出液口设置有快速接头；

或，所述进液口设置有连接螺纹，所述出液口设置有连接螺纹。

借由上述技术方案，本实用新型气体分离装置至少具有下列优点：

本实用新型技术方案中，气体分离装置主要由筒体和排气阀这两部分构成，气体分离装置能够连接在液体输送的管道上，包括连接在液体输送的起始端或者液体输送的终止端，含有气体的液体从筒体的进液口进入液体容纳腔从出液口排出的过程中，液体中的气体能够从液体中析出，当气体达到一定压力时能够开启排气阀，进而气体从筒体中排出实现气液分离的功能。相比于现有技术中，使用化学品供应系统进行化学品溶液的输送时，需要使用液体输送泵进行化学品溶液的输送，但是无论在输送的过程中，还是在输送的开始或者储液罐内的化学品溶液即将用完时，都会有少量气体混杂在液体中，而在电子半导体产品的生产中是不允许化学品溶液中存在气体的，一旦存在气体就会严重影响电子半导体产品的质量，然而现有技术中没有能够有效分离气体和液体的装置来解决上述问题。而本实用新型提供的气体分离装置，其能够连接在液体输送泵的进液端或者出液端，使通过输送泵输送的液体不含有气体；同时本实用新型提供的气体分离装置，能够通过进液口和出液口快速的连接在输送管道或者输送泵的两端，使用起来方便快捷；此外本实用新型提供的气体分离装置，其不仅能够用于化学品溶液的输送过程中的气液分离，还可以用于其他液体输送过程中的气液分离，不受液体类型的限制。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1是本实用新型的实施例提供的一种气体分离装置的结构示意图；

图2是本实用新型的实施例提供的一种气体分离装置的排气阀与筒盖配合的结构示意图；

图3是本实用新型的实施例提供的一种气体分离装置的排气阀的阀体结构示意图；

图4是本实用新型的实施例提供的一种气体分离装置的排气阀的阀芯结构示意图。

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的气体分离装置其具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。在下述说明中，不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外，一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。

如图1所示，本实用新型的一个实施例提出的一种气体分离装置，其包括：筒体1和排气阀2；筒体1的底部设置有进液口12，筒体1的顶部设置有排气口14，筒体1的侧壁开设有出液口13，出液口13距筒体1的顶部预定距离，以出液口13顶端水平切面3为分界将筒体1分为液体容纳腔和气体容纳腔；排气阀2连接在排气口14上；其中，液体从进液口12进入液体容纳腔从出液口13排出，液体中的气体从液体中析出进入气体容纳腔，当气体容纳腔中的气体压力达到预定值排气阀2打开，气体从排气阀2排出。

具体的，筒体在使用的过程中必须竖直放置，保证液体从筒体的底部进液口进入从出液口排出，筒体的形状可以是任意形状，例如可以是圆柱形、立方体或者长方体形，也可以根据具体的使用位置的空间进行外形的设定，筒体的进液口和出液口最好采用圆形的接口，这样方便筒体与输送液体的管道连接，筒体可以是一体的结构也可以是分体式的，例如可以是筒盖和筒壁分体式的，或者筒壁由几段连接而成的，制造筒体的材料可以根据其使用的环境而定，例如当用于对高腐蚀性的液体进行气体分离时，筒体需要采用耐腐蚀的材料制造，筒体的容积也可以根据具体的使用环境进行选择，例如可以根据液体的流量需要进行筒体容积的设计；用于连接排气阀的排气口可以设置在筒体顶部的中间位置，也可以是筒体顶部的任意位置，排气阀可以是具有感应功能的电磁排气阀，也可以是通过浮力限制排气通断的排气阀，只要能够实气体在筒体内聚集一定量时进行排气即可。

本实用新型技术方案中，气体分离装置主要由筒体和排气阀这两部分构成，气体分离装置能够连接在液体输送的管道上，包括连接在液体输送的起始端或者液体输送的终止端，含有气体的液体从筒体的进液口进入液体容纳腔从出液口排出的过程中，液体中的气体能够从液体中析出，当气体达到一定压力时能够开启排气阀，进而气体从筒体中排出实现气液分离的功能。相比于现有技术中，使用化学品供应系统进行化学品溶液的输送时，需要使用液体输送泵进行化学品溶液的输送，但是无论在输送的过程中，还是在输送的开始或者储液罐内的化学品溶液即将用完时，都会有少量气体混杂在液体中，而在电子半导体产品的生产中是不允许化学品溶液中存在气体的，一旦存在气体就会严重影响电子半导体产品的质量，然而现有技术中没有能够有效分离气体和液体的装置来解决上述问题。而本实用新型提供的气体分离装置，其能够连接在液体输送泵的进液端或者出液端，使通过输送泵输送的液体不含有气体；同时本实用新型提供的气体分离装置，能够通过进液口和出液口快速的连接在输送管道或者输送泵的两端，使用起来方便快捷；此外本实用新型提供的气体分离装置，其不仅能够用于化学品溶液的输送过程中的气液分离，还可以用于其他液体输送过程中的气液分离，不受液体类型的限制。

如图1和图2所示，在具体实施当中，其中筒体1包括筒盖11和筒壁15，筒盖11与筒壁15密封连接，排气口14设置在筒盖上。

具体的，由于排气阀设置在筒体的顶部，同时筒体的顶部还需要开设排气口，所以为了便于排气口加工以及排气阀的安装将筒体设置成分体的结构，此外分体的结构还可以便于维护，当筒体内出现杂质或者污染物堆积时，可以打开筒盖进行清理；筒盖和筒壁可以通过螺纹连接，也可以直接参考如茶杯和杯盖的配合形式进行连接，但是必须保证连接后的密封性。

如图1和图2所示，在具体实施当中，为了保证筒体1中能够具有足够的空间储存液体，使液体能够具有一定的时间进行气体的析出，需要使筒体1中的液体容纳空间较气体容纳空间大，且液体储存空间要与液体输送的速度相匹配，所以出液口13可以设置在筒体1高度的1/2-4/5之间的位置处；其中最佳的出液口13设置在筒体1高度的2/3位置处。

如图1和图2所示，在具体实施当中，其中排气阀2包括阀体21、阀芯22及浮力部件；阀体21竖直与排气口14密封连接，阀体21的出气端设置在筒体1之外，阀体21的进气端设置在筒体1的内部，阀芯22与阀体21滑动连接，浮力部件与阀芯22的第一端相顶持，使阀芯22的第二端穿设在阀体21中；其中，当筒体1内部的液体液面位于水平切面3的高度或在此高度以上时，浮力部件在浮力作用下将阀芯22顶持到第一位置，阀芯22将阀体21密封，当筒体1内部的气体气压达到预定值时，筒体1内部的液体液面低于水平切面的高度时，浮力部件对阀芯22的顶持力减小，阀芯22解除对阀体21的密封，筒体1内的气体通过阀体21排出筒体1。

具体的，排气阀的主要作用是在筒体内部的气体达到一定量时，能够将气体排出筒体，另外为了使本实用新型提供的气体分离装置适应复杂的工作环境，并对比于电动排气阀的使用要求，使用浮力形式的排气阀工作更稳定，不必考虑供电、断电以及漏电等问题，同时浮力形式的排气阀也是现有技术中技术较成熟的一种。其中，排气阀的阀体与排气口的连接时，可以将阀体穿设在排气口中，并且密封处理连接处；浮力部件可以是一个浮力球，浮力球可以直接连在阀芯的第一端，利用浮球的浮力顶持阀芯；阀芯可以是截面为圆形的柱状体，也可以是截面为其他形状的柱状体。

进一步的，如图1和图2所示，其中浮力部件包括第一连杆23、第二连杆24以及浮球25，第一连杆23的一端与筒体1顶部的内表面固定连接，第一连杆23的另一端与第二连杆24的一端转动连接，第二连杆24的另一端与浮球25连接，第二连杆24的中部与阀芯22的第一端顶持，浮球25用于与液体接触产生顶持阀芯22的顶持力。

具体的，如图3和图4所示，可以将阀芯22设置为圆柱状，阀芯22的侧壁上设置有多个通气槽221，阀芯22的第二端为圆锥形头222；阀体21的内部设置有阀芯容纳腔211和出气道212，阀芯容纳腔211第一端与阀体21进气端连通，阀芯容纳腔211第二端与出气道212的第一端连通，出气道212的另一端与阀体21出气端连通，阀芯容纳腔211的第二端设置有与阀芯第二端相适配的锥形弧面。这样在工作时，筒体连接在液体输送的管道上，液体从筒体的进液口进入，当液体体积攒到一定量时液体从出液口排出，在液体进入筒体的过程中，液体中的气体不断析出，气体进入筒体的气体容纳腔中，此时需要保证进液速度大于出液速度，使筒体中的液面位于出液口顶端水平切面的高度或在此高度以上，此时浮球在浮力的作用下带动第二连杆，使第二连杆顶持阀芯的第一端，阀芯的第二端的圆锥形头顶在阀体的阀芯容纳腔的第二端，将阀体密封，此时气体不能排出；当筒体中的液体以及流经筒体的液体析出的气体达到一定量时，筒体内气体的压力会升高，进而在气体压力的作用下，筒体内部的液面为下降，当液面下降到出液口顶端水平切面的高度以下时，此时浮球跟随液体的液面向下运动减少了对阀芯的顶持力，阀芯也向下运动，阀芯解除对阀体的出气道的封堵，筒体中的气体可以通过阀芯的通气槽进入阀体的出气道，进而气体排出筒体之外，之后筒体内的气压下降，液面随之上升，此时的排气阀再次封堵；在本实用新型提供的气体分离装置不断的重复上述动作下，液体中的气体被排出，保证了液体的纯净。

如图1和图2所示，在具体实施当中，其中为了使排气阀2的阀芯22能够具有往复的复位功能，可以在阀芯22上套设一个弹簧26，弹簧26的两端分别与阀芯22的第一端以及筒体1顶部的内表面抵触。

在具体实施当中，其中可以在出液口处连接单向阀，用于在气体分离装置排气阶段防止液体倒流。

进一步的，为了便于筒体连接在输液的管线中，可以在筒体的进液口设置快速接头，以及在出液口设置快速接头；或可以在进液口设置连接螺纹，以及在出液口设置连接螺纹；这样输液管道就可以快速的连接在筒体的进液口和出液口上。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (10)

1.一种气体分离装置，其特征在于，其包括：

筒体，所述筒体的底部设置有进液口，所述筒体的顶部设置有排气口，所述筒体的侧壁开设有出液口，所述出液口距所述筒体的顶部预定距离，以所述出液口顶端水平切面为分界将所述筒体分为液体容纳腔和气体容纳腔；

排气阀，所述排气阀连接在所述排气口上；

其中，所述液体从所述进液口进入所述液体容纳腔从出液口排出，所述液体中的气体从液体中析出进入所述气体容纳腔，当所述气体容纳腔中的气体压力达到预定值所述排气阀打开，所述气体从所述排气阀排出。

2.根据权利要求1所述的气体分离装置，其特征在于,

所述筒体包括筒盖和筒壁，所述筒盖与所述筒壁密封连接，所述排气口设置在所述筒盖上。

3.根据权利要求1所述的气体分离装置，其特征在于,

所述出液口设置在所述筒体高度的1/2-4/5之间的位置处。

4.根据权利要求3所述的气体分离装置，其特征在于,

所述出液口设置在所述筒体高度的2/3位置处。

5.根据权利要求1所述的气体分离装置，其特征在于,

所述排气阀包括阀体、阀芯及浮力部件；

所述阀体竖直与所述排气口密封连接，所述阀体的出气端设置在所述筒体之外，所述阀体的进气端设置在所述筒体的内部，所述阀芯与所述阀体滑动连接，所述浮力部件与所述阀芯的第一端相顶持，使所述阀芯的第二端穿设在所述阀体中；

其中，当所述筒体内部的液体液面位于所述水平切面的高度或在此高度以上时，所述浮力部件在浮力作用下将所述阀芯顶持到第一位置，所述阀芯将所述阀体密封，当所述筒体内部的气体气压达到预定值时，所述筒体内部的液体液面低于所述水平切面的高度时，所述浮力部件对所述阀芯的顶持力减小，所述阀芯解除对所述阀体的密封，所述筒体内的气体通过阀体排出所述筒体。

6.根据权利要求5所述的气体分离装置，其特征在于,

所述浮力部件包括第一连杆、第二连杆以及浮球，所述第一连杆的一端与所述筒体顶部的内表面固定连接，所述第一连杆的另一端与所述第二连杆的一端转动连接，所述第二连杆的另一端与所述浮球连接，所述第二连杆的中部与所述阀芯的第一端顶持，所述浮球用于与液体接触产生顶持所述阀芯的顶持力。

7.根据权利要求6所述的气体分离装置，其特征在于,

所述排气阀还包括弹簧，所述弹簧套设在所述阀芯上，所述弹簧的两端分别与所述阀芯的第一端以及所述筒体顶部的内表面抵触。

8.根据权利要求5所述的气体分离装置，其特征在于,

所述阀芯为圆柱状，所述阀芯的侧壁上设置有多个通气槽，所述阀芯的第二端为圆锥形头；

所述阀体的内部设置有阀芯容纳腔和出气道，所述阀芯容纳腔第一端与所述阀体进气端连通，所述阀芯容纳腔第二端与所述出气道的第一端连通，所述出气道的另一端与所述阀体出气端连通，所述阀芯容纳腔的第二端设置有与所述阀芯第二端相适配的锥形弧面。

9.根据权利要求1所述的气体分离装置，其特征在于,

所述出液口处连接有单向阀，用于防止液体倒流。

10.根据权利要求1所述的气体分离装置，其特征在于,

所述进液口设置有快速接头，所述出液口设置有快速接头；

或，所述进液口设置有连接螺纹，所述出液口设置有连接螺纹。