CS247136B1 - Fotocitlivá dielektrická kompozice - Google Patents

Abstract

Řešeni se týká kompozic citlivých na světlo pro výrobu dielektriokých vrstev, mikroobvodů na silných vrstvách a na keramických podložkách při použiti sítotisku. Cílem řešeni je zvýšení rozlišovací schopnosti kompozice citlivé na světlo a zlepšeni jejích reologických charakteristik. Kompozice citlivá na světlo zahrnuje: olovnaté sklo 0 rozměru částic 0,2 až 2,5 um, 1,2-naftochinondiazid citlivý na světlo, fenolformaldehydóvou pryskyřici, organické rozpouštědlo a butadiennltrilovy kaučuk strukturního vzorce: I Γ-βΗ2 - CH = CH - CH2“]m “ E“ CH2 “ CN 6 střední molekulové hmotnosti 200 000 až 900 000, přičemž je jako organická , rozpouštědlo použit aioxa

Description

1 H9o6peTeH>te othochtch ΚΜΗκρο3πεκτροΗΗκβ, a ημθηηο k cBeTouyBCTBHTeJih-WUH ΚΟΜΠΟ3ΗΒΗΒΜ flJIH Η3ΓΟΤΟΒΠβΗΗΗ AHSJíekTpHMeCKHX CJIOeB TOJICTOnneHOHHblXMHKpocxeM Ha xepaMHHecKHx noAJioxxax c Hcnojib3OBaHHeM μθτοακ ceTKorpagmii.

HsBecTHa CBeTonyBCTBHTejibHaH κομπο3ΗΗηη fína HaroTOBJíeHHH gHaneicTpHBec-khx cnoeB TOJiCTonneHoqMbK MHKpocxeM, BKJHonatomaH CBHHeucoAepxaiqee CTex.no,no/iHMepHoe CBaayromee Ha ocHOBe noJiHaxpunaTOB, nonHMepHaauHoHHocnocoCHbieMOHOMepbl aKpHnaTHOrO PflAa, φΟΤΟΗΗΗΑΗβΤΟΡΜβΤΗΠΟΒΜή 3φκρ 6eH3OHHa, ΗΗΓΗ~βΗΤΟΡΗΗΤρΟΒΟΑΗΜβρΗΟβ COe^HHeHHe, OKHCHOe COeflHHeHHe XpOMa H paCTBOpHTeJIb • O).

HeflocTaTKOM Taxoň komiioshhhh ΗΒΠΗβτοΗ cpaBHHTenbHo Hnaxaa paapemaioqaacnocoCnocTb, C noMoqbio Taxoň KOMnosHiQiH ynaeTCH nonywHTb pa3Mep KaHanoB bcnoe AHSJíeKTpHKa nmpHHoň He MeHee 75 mkm,

HanCoJiee ÓJinaxoň x npe^jipxeHHoň ΗΒΠΗβτοη CBeTonyBCTBHTejibHan χομπο3ηηηηΑΠΗ nojiyqeHHfl ρβπΒβφΗΟΓΟ HsoCpaxeHHH b cnoe rjia3ypH, BKJHonawmaa cBHHeuco-Aepxantee cTexno pasMepoM nacTHii 0,43-4,0 mkm, CBeToqyBCTBHTenbHbift Ι,ζ-Ηβφ-TOXHHOHAHarHA, HOBOJianHyiO φβΗΟΠφοΡΜβΠΒΑβΓΗΑΗν» CMOJiy H OpraHHtjeCKHň pac-TBopHTenb (2),

HeflocTaTkoM H3BecTHoň κομπο3Ηβηη ηββηθτοη HeBbicoxaa paspemamkaa cnocoC-HOCTb (6onee 125 mkm). KpOMe roro, HSBecTHaa κομπο3ηαηη ΗΜββτ itnoxHe pe- - onorHnecxHe CBoňcTBa, hto He nosBOJineT HcnojtbsoBaTb ee απη HarieceHHH Me-tOflOM τρβφβρβτΗοή nettaTH.

Uejib HsoCpéTeHHH - noBbímeHHe paspemamaeň citocoChocth cBeTouyBCTBHTejib-HOft Κ0ΜΠ03ΗΑΗΗ PflU H3rOTOBJieHHH flH3JieXTpHneCXHX CJIOeB TOJICTOnJieHOHHbK MH-KpocxeM h yjiyqmeHHe ee peojiorHqecxnx xapaKTepHCTHK. IIocTaBJíeHHafl uenb AocTHraeTcn τθμ, hto CBeTonyBCTBHTejibHaH komiioshahhΑΠΗ Η3ΓΟΤΟΒΠβΗΗΗ ΑΗ3ΠβΚΤρΗΗβΟΚΗΧ CJIOeB TOJICTOIUieHOHHbK MHKpocxeM, BKJHOHa-iomaH CBHHeucoflepxamee CTex.no pa3MepoM nacTHij 0,5-2,5 mkm h noaHTHBHbift(froTopeaHCT, cocTOHnpiň H3 CBeTonyBCTBHTejibHoro KOMnoHeHTa, luieHkooSpasyio-mero ΚΟΜΠΟΗβΗΤβ HOBOnaHHOň φβΗΟΠφορΜβΗΒΑβΓΗΑΗΟΑ CMOJIbl ΜΟΠ.Μ. 700 H OpraHH"necxoro pacTBopHTejw, conepatHT b xanecTBe CBeTonyBCTBHTejibHoro κομποηθη-Τβ 1,2-Η8φΤ0ΧΗΗ0ΗΑΗΒ3ΗΑ-(2)-5-0νΠΒφ03φΗρ6ρ0ΜΗρ0ΒβΗΗ0ή HOBOJiaMHoň φβΗΟΠ-<J>opMan bfle γη qHoň CMonbi, b xanecTBe opraHHnecxoro pacTBopuTenn - p,noxcaHh AotiojiHHTejibHo CyTaflHeH-HHTpujibHbiň xaynyx CTpyKTypHoft ýopMyjibi 247136 ,2·

[-ch-ch = ch-ch -] -[-ch -ςΗ-ίκ2 7 '" CN cpeflHeň moji.m. 200000-300000, coflepxamnň 19,5-41 Mac.Z HHTpHJia axpHJioBoňKHCJioTbi, 59-80,5 Mac.Z. OyTaaneHa h apoMaTHnecKHň yrjieBOflopofl, Bbi6paHHbiňH3 pafla Tojiyoji, o-kchjioji, m.kchjioji npn cnenyromeM cooTHomeHHH κομποηθητοβ,Mac,Z: CBiiHeiíCOflepxamee CTexno 40,4-60,0 1,2-Ha$TOXHHOHflHa3Hfl(2)-5-—CyjII>4>O3<l>HP 6pOMHpOB3HHOft HOBOJiaqHoň cmojiw 4,5-r8,6

HoBOJiaqHaa φβΗοπφορΜβΛί»-

AeraAHaa cMOJia1 moji.m. 700

JlHOKcaH

ByTaflHeH-HHTpHJibHbiň xaywyKApoMaTriqecKHň yrjieBOflopoflH3 yKa3aHHoro pafla 7,5-14,4 14,2-27,8 1,0-2,5 7,8-12,2

KpoMe Toro, κ0ΜΠ03Ηΐρ«ι Tarase μοχθτ coflepxaTb 0,1-5,0 Mac.q. ot -TepnH-Heojia hjih CMecH oL -TepnuHeona c h—SyTaHOJioM b bgcobom οοοτηοιπθηηη 1:0,1 —1:1’. ' . ' BeefleHMe b κομπο3ηι]ηιο 3THX κοΜΠΟΗβΗτοΒ πο3Βοπχβτ noBbtcHTb paspemaranyiocnoeoSHocTb flo 50 mkm, B cocTaee κομπο3HflHH HCíiojibayioT 6yTaflHeH-HHTpHJibHbiňKaywyx cpeflHeň moji.m. 200000-300000 o6meň φορΜγιιω.

í-chq-ch = CH - ch2-]^-[-ch2- ch -]hCN coflepxamHň 19,5—41 Mac.Z HHTpHjia axpHjioBofi khcjiotm, 59-80,5 Mac.Z 6yTa-flHeHa. B KaqeCTBe ΠΟ3ΗΤΗΒΗΟΓΟ .φοΤΟρββΗΟΤβ KOMnO3HflHH COflepXHT φθΤθρβ3Η0Τ, ΗΜβΚ)-nraň cneayiomHH eoCTaB, Mac.Z: 1,2-Η3φτοχΗΗθΗΑΗβ3ΗΑ-(2)-5-ονιπ>φθ3φΗρ βροΜκροήBaHHaa HOBOJianHaa φβΗοιιφορΜαπΒΑβΓΗΑΗβΗ cMOJia 8,63; HOBOJianHaa φβΗοπφορΜβιΐΒ'*'flerHflHaa CMOJia moji.m. ,700 14,37; flHOKcaH 77,0. B npHMepax η φορΜνιιβ H3o6peTeHHH coflepxaHHe ^oTopeancra npHBefleHo nocyxoMy ocTaTKy, nocxojibxy KOHfleHTpaflHH φοτορββκοτβ b pacTBope He HBJíaeTcanOCTOHHHOH. B xaqecTBe apoMaTHnecKoro yrjiesoflopofla b KOMflosHqHH HcnoJibayioT ŤOJiyoJl, O—OKCHJIOJI HJIH M-KCHJIOJI.

Bbi6op cTexjia b komiioshuhh onpefleJiflteTCH TeMnepaTypoň βχηγηηηη h Tpe6ye-MbJMH 3JieKTpOTeXHmeCKHMH napaMeTpaMH ΟφορΜΗρΟΒβΗΗΗΧ flH3JieKTpHMeCKHX ΐυίβΗΟΚ.CymecTBeHHoro bjihhhhh Ha paspemaiímtyio cnocobnocTb coctsb cTeicna He oxa3biBa-βτ. IIpuMeHaeMbie CTexjia ημθιοτ cjieflywinHň cocTaB, Mac.Z: cocTaB I PbO 45,5 SÍ0é ZnO 29,5 18,5 TiO, 4,0 ai,o3 2,5 cocTaB II • PbO 62,0 b2o3 5,0 MgO 2,5 o 247136 3

SiO2 cocTae III 30,5 PbO 26,3 Si02 30,7 AI 2Oj 0,6 b4o3 5,2 MgO 1.3 BaO 24,2 CaO 5,8 SiO 3,1 ZrO2 2,8

PaaMep MacTHU HcnoJibayeMoro b -κομπο3ηηηη CBHHeucoAepMamero CTexna coc-τβΒΠΗβτ 0,5-2,5 mkm. PasAejiHTb qacTHiyd Ha oTflejibHbie φρβκμΗΗ HeeoaMoxHo. HHTerpanbHyw xpHByio pacnpenejiennH gHcnepcHocTH πρκΜβΗαβΜΟΓο CTexjia on-peflenHMT MeřoAOM ceRHMeHTauHK Ha πΗπβτοπΗοή ιχβΗτρΗφγΓβ.

KoMnosHipiio HaHocHT Ha KepaMHuecKHe ποαποχκη K3 BaKyyMHo-nJioTHoň KepaMH—kh Ha ocHOBe okhch ainoMHHHH ' qepéa KanpoHoeyw ce-rxy pasMepoM ηηθΗκη58x58 mkm. . flna HaHeceHHH μθτοαομ οβτκοΓρΠφΗΗ κομπο3Ηηηη flojEKHa oCnanaTb saaaHHMMHpeoJiorHwecKHMH CBoňcTBaMH (cBoňCTBaMH reKýqecTH) - onpeflejieHHoň 33bhchmoc—Tbk> Mexfly ΑβφορΜβιριβΰ, ee CKopocTbw η πρηποχβηημμ MexaHHwecKHM HanpnxeHHeM.IlacTa He AonxHa προτβκβΤΒ qepes «qeňKH έβτκκ τρβφβρβτβ, pacTexaTbea sa npe-Aenu OTTHcxa Ha noflnoxKe, ofipaaoBbiBaTb ηητθΗ ("τηχθΗ") πρκ οτκβηβΗΗΗ τρβ-φβρβτβ. IIpefljiaraeMaH κομπο3ηι|ηη ygOBJíeTBopMeT BceM sthm τρβδοΒβΗΗΗΜ. Πρκ-ΜβΗβΗΗβ npeffjiaraeMoň κοΜπο3ΗΐξΗΗ Ha KepaMHuecKHx noRnoxKax c HcnojibsoBaHHeMΜβτοΑβ οβτκοτρβφΗΗ nosBOJiHer nonyqHTb paspemeHHe 50-65 mkm. Π p η m e p 1. B φβρφοροΒοϋ qanme CMeniHBawT 2,64 r 11,4%-ηογο pacTBopa b Tonyojie 6yTa-AHeH-HHTpanhHoro KaynyKa cpeaHeft μοπ.μ. 300000 cTpyKTypHoň φορΜγηΜ (1),coflepxamero 41% HHTpmia axpHJioBoň khcjioTm h 59% 6yTanneHa, 15,24 r45,3%-Horo pacTBopa (b nepecqeTe Ha cyxoň οοτβτοκ)b AHOKcaHe πο3Ητηβηογοφοτορββκςτβ h floGaBjuiioT 12,-12 r CBHHeueoAepxamero cTenna, conepxamero %:

PbO 45,5; SiO2 29,5; ZnO 18,5; TíO2 4,0 h Al203 2,5 pasMepoM qacTHH 0,5 -2,5.MKM. ΦοτορββΗοτ conepxHT 2,59 r 1,2-ηβΦτοχηηοηΛη33ΗΑ (2)-5-cyjH^Q3<«ipa 6pomh-pOBaHHOft HOBOJiaqHOň (JeHOJBjjOpMaJIhflerHflHOň CMOHbl, 4,31 HOBOJiaqHOň φβΗΟ-Π-φορΜβΛΒΑβΓΗΑΗοή cmojdu moji.m. 700 h 8,34 r AHOKcaHa. CMecb TinaTejihHo neperapaioT c qenbw roMoreHHsaumi h ycpenHeHHH cocTaBaCHanajia b φβρφοροΒοϋ Haňme b TeneHtie 5 mhh, a sareM Ha nacTOTepxe c xanpo-HOBblMH BaJIKaMH B ΤβΗβΗΗβ 30 MHH. IIOJiyqaWT CBeTOqyBCTBHTeJIhHyiO ΚΟΜΠΟ3ΗΗΗΗ) c BHsKocTbio, oGecneqHBawmett xoponme peojiornqecKHe xapaKTepHCTHKH ajih HaHe-ceHHH MeToflOM τρβφβρβτΗοϋ newaTH, cneflywmero cocTaea, Mac.%: CBHHeucoAepxaniee οτβκπο 40,4 CBeTOHyBCTBHteJIbHUft ΚΟΜΠΟΗβΗΤ 8,6 HOBOJiaHHaH φβΗΟηφορΜΗΠΒΑβΓΗΑΗβΗCMOJia moji.m. 700 14,4 flHoxcaH 27,8

ByraAHeH-HHTpHJibHuň xayqyK 1,0

Tonyoji 7,8 nonyqeHHyio CBeToqyecTBHTenbHyw κομπο3ηαη» ηηηοοητ Ha xepaMHqecKHe nofl-jioxkh qepes KanpoHOByn cerKy Ha yďaHOBKe HaHeceHHH h cyniaT Ha BO3flyxenpn 80°C B TeqeHHe 20 mhh. Ónepaunn HaneceHHH h cynmH ποβτορηιοτ flBaxAbi h 247136 4 nojiynaioT BbicynienHoe ποκρωτκβ, HMeromee TOJiupiHy cjioh 35 mkm. BbicyroeHHbiň cnoňCBeToqyBCTBHTejihHoň κομπο3ηιι,ηη 3KcnoHHpyroT b τβκβΗΗβ 1,5 mhh pTyTHoň JiaM-noň MÓiuHOCTbio 375 Bt nepe3 ýoTomaĎjiOH c TonojiorHnecKHM pHcyHKOM, hjih on-pefleneHHH pa3pemaroqeň cnoco6riocTH, co«epxamnM jihhhh mupHHoft 25-200 mkm hpaccTOHHHeM Mexfly hhmh 25-300. mkm. Ilocjie 3KcnoHHpoBaHHH cjioň npoHBJlHWT0,5%-HMM paCTBOpOM ΤρΗΗβΤρΗβφΟΟφβΤβ, npOMblBaWT BHCTHJIJIHpOBaHHOň BOflOH,cymaT npn 150°C b Tewemie 60 mhh h BMHraroT b KOHBeňepHoň newn npH 750°C.ToJinpiHa ΒΟ3Χ6ΗΗΟΓ0 cjioh cocTaBJíHeT 21 mkm. B pe3yjibTaTe TaKoň o6pa6oTKHb flH3JieKTpHqecKOM cjioe o6pa3yioTCH KaHajibi. lUnpHHa khhhjiob, HSMepeHHan c no-Mombro MHKpocKona, cocTaBJíHeT 60 mkm. ΠρΗΜβρ 2. CBeTOHyBCTBHTeJibHyro κομπο3ηιρ«ο γοτοβητ aHaJiorHHHo npHMepy 1. BepyT'4,14 r 11,6%-ηογο pacTBOpa b o—Kcroiojie SyTanijieH—ηητρκπβηογο KaynyKa, ana-ιιογηηηογο npHMepy 1 jcMenwBawT c 10,86 r 45,3%-ηογο pacTišopa (b nepecneTeHa cyxoň ocTatok) b AHoxcaHe π03Ητηβηογο φοτορββκοτβ, cocTonmero H3 .1,84 r 1,2-HaφτoxHHOH-flHa3H1^-(2)-5-cyJIbφo^φHpa 6poMHpoBaHHoň HanojianHoň φεΗοπφορ-MaJIbnerHflHOH CMOJIbl, 3,08 T HOBOJiaHHOft φβΗΟηφορΜβΠΒηβΓΗηΗΟή CMOJIbl H 5,94 ΓAHOKcaHa, nocjie nero noSaBJíHWT 15,0 r CBHHenconepmamero CTeKJia pa3MepoMnacTHn 0,5-2,5 mkm.

CocTae κοΜπο3ΗΐχΗΗ cJienyromHň, Mac.Z: CBHHeitconepjKamee CTeKJio 50,0 CBeTOHyBCTBHTejIbHMň ΚΟΜΠΟΗβΗΤ 6,2

HoBOnaHHflH φθΗΟΙίφορΜΗΙΙΒΑβΓΗΗΗΗΗ CMOJia moji.m. 700 10,3 flnoKcaH ’ 19,7

ByTaflHeH-HHTpHJibHbiťi KayuyK 1,6 o-Kchjioji \ 12,2.

TojnqHHa BbicyměHHoro cjioh cocTaBJíHeT 35 mkm, TOJimHHa sosxeHHoro cjioh21,-2 mkm.

Pa3pemawntyio cnóCoóHOCTb κομπο3ηπηη onpenejinioT aHanorHHHo npHMepy 1, honpH ΒρΒΜβΗΗ 3ΚΟΠΟΗΗΡΟΒ8ΗΗη’2 ΜΗΗ. 0Η3 COCTaBJlHeT 65 MKM. ΠρΗΜβρ 3.

BepyT 4,14 r 18,1Ζ-ηογο pacTBOpa b o-KCHJioJie 6yTaflHeH-HHTpHJibHoro Kay-nyKa, aHajiorHHHoro npHMepy 1, ho co cpeflHeň moji. m. 200000, CMenwBaroTC7,86 r 45,3Ζ-ηογο pacTBOpa (b nepecneTe Ha cyxoň oct3tok) b nHOKcane no-3ΗΤΗΒΗΟΓΟ φθΤθρβ3ΗΟΤβ, ΟΟΟΤΟΗΒξβΓΟ H3 1,35 Γ Ί,2-Η3φΤΟΧΗΗΟΗηΗ33ΗΠ“(2)-5~ΟνίΙΒφΟΘφΗρβ SpOMHpOBaHHOň HOBOJiaHHOň φβΗΟΙίφορΜβΙΙΒΗΘΓΗΗΗοβ CMOJIbl, 2,25 ΓHosojianHoň φβΗοπφορΜΗΐι&amp;πθΓΗΗΗθΗ cmoji^i η 4,26 r flHOKcaHa. no6aBJiHK>T 18,0 rcBHHencoflepMamero CTexjia pa3MepoM nacTHn 0,5-2,5 mkm.

CočTaB nojiyneHHoň CBeToqyBCTBHTéJibHoň κομποβηηηη CJienyrómHň, Mac.Z: CBHHencoflepxamee cTeKJio 60,0 CBeTonyBCTBňTejibHbiň κομποηθητ 4,5 HOBOJiaHHan φβΗΟΙΐφθρΜ3ΠΒΗβΓΗΠΗ3Η CMOJia moji.m. 700 7,5 AHOKcaH '14,2

ByTaflHeH-HHTpHjibHbiň KaynyK 2,5 o-Kchjioji -11,3

TojinpiHa BbicyineHHoro cjioh 35,3 mkm, TOJinpiHa BoaaceHHoro cjioh 21,0 mkm.Pa3pemaromaH cnocoČHOCTb κομπο3ηηηη cocTaBJíHeT 65 mkm πρκ βρθμθηη skcoo-HHP0B3HHH 2,5 MHH. 247136 5 ΠρΗΜβρ 4. CBeToqyBCTBHTejibHyio κομπο3Ηαηκ> γοτοβητ βηβποτημηο npHMepy 1 hs 2,1 r7,1%-ηογο pacTBopa β Tojiyojie 6yTaAHeH-HHTpHJibHoro KayqyKa, aHajiorHHHo—·'ro npHMepy 3, 12,0 r 41,2Ζ-ηογο pacTBopa (b nepecqeTe Ha cyxoň οετβτοκ^.Β AHOKCaHe ΠΟ3ΗΤΗΒΗΟΓΟ φθΤθρβ3ΗΟΤβ, ΟΟΟΤΟΗΠξβΓΟ H3 1,85 Γ 1,2-ΗβφΤΟΧΗ-ΗΟΗΛΗβ3ΗΑ-(2)-5-θνηΒφθ3φΗρΒ CpOMHpOBaHHOň HOBOJiaMHOft φβΗΟΠφορΜΒΠΒΑβΓΗΑ-HOft CMOJIM, 3,09 Γ HOBOJIdHHOft φβΗΟΠφορΜβΛΒΑβΓΗΑΗΟή CMOJlbl H 7,06 Γ flHOKCa*Ha, 15,9 r cBHHeucoAepMaiuero cTeKJia paaMepoM uacTHy 0,5-2,5 mkm.

CocTaB κομπο3Ηαηη cJienywqHfl, Mac.Z: CBHHeucoflepxamee cTeKJio 53,0CBeTOHyBCTBHTeJIbHMft ΚΟΜΠΟΗβΗΤ 6,2HoBOJiaHHaH φβΗΟΠφορΜβηΒΑβΓΗΑΗΒΗ CMona moji.m. 700 10,3flHoiccaH 23,5ByTaflHeH-HHTpHJibHbiň KaynyK 0,5TojiyoJi 6,5

TojinpiHa BbicymeHHoro cjioh 35 mkm, TojmpiHa βο3μθηηογο cjioh 21 mkm.Paspemarontyio cnocoĎHocTh κομπο3ηαηη onpenejiHioT aHajiorHHHo npHMepy 1. OHacocTasjíneT 80 mkm h cooTBeTCTByeT paspemaraneň cnočoÓHocTH HSBecTHoňΚΟΜΠΟ3ΗΑΗΗ. ΠρΗΜβρ 5. CBeTOHyBCTBHTenbHyio κομπο3ηαηκ> γοτοβητ aHanorHHHO npHMepy 1 hs 5,1 r18,8%-ηογο pacTBopa b Tojiyojie 6yTaflHeH-HHTpHJibHoro KayqyKa, aHaJiorHq-ηογο npHMepy 1, 9,9 r 50,0%-ηογο pacTBopa (b nepecqeTe Ha cyxoft οοτβτοκ)B AHOKCaHe ΠΟ3ΗΤΗΒΗΟΓΌ φθΤθρβ3ΗΟΤβ ΟΟΟΤΟΗΠξβΓΟ H3 1,86 Γ 1,2-ΗβφΤΟΧΗΗΟΗ-ΑΗβ3ΗΑ-(2)—5“θνΠΒφθ3φΗρ3 CpOMHpOBaHHOň HOBOJiaHHOft φβΗΟΠφθρΜ3ΠΒΑβΓΗΑΗθΑCMonbi, 3,10 r HOBona^Hoft φβΗοηφορΜβηΒΑβΓΗΑΗοϋ cmojim, 4,94 r AHoxca h15,0 r CBHHeucoAepxantero CTexjia paaMepoM nacTHA 0,5-2,5 mkm.

CocTaB κομπο3Ηιι;ηη cjiegyiantHft, Mac.Z: CBHHeijcoflepjKamee cTeKJto 50,0 CBeTOHyBCTBHTeJIbHblň ΚΟΜΠΟΗβΗΤ 6,2

HOBOJiaMHaH (JieHOJHjlOpMaJIbflerHflHaH cMOJia moji.m. 700 10,3 ΠΗοκοβΗ 16,5

ByTaflHeH-HHTpHJibHbtíi KayqyK 3,2

Tojiyoji 13,8 IIoJiyHeHHaH cBeTonyBCTBHTejtbHaH κομποβηαηη ΗΜββτ ιυιοχκβ peojioruvecKuexapaxTepHCTHKH: npH HaHeceHHH Ha nofljioxxy ΜβτοβοΜ τράφβρβτΗοΰ neqaTHOHa saSHBaeT ceTKy τρβφβρβτβ, κροΜβ τογο, HaHeceHHbift cjioň ΗΜββτ nepoB-Hyw KpaTepooSpasHyio noBepxHocTb, ΠρΗΜβρ 6. ‘ CBeToqyBCTBHTejibHyn KOMnosHipno γοτοβητ aHajiomuHo npHMepy 1 hs2,64 r Γ1,4Ζ-ηογο pacTBopa b Tojiyojie 6yTaflHeH—ηητρκπβηογο xayqyxa, aHa-ηογηηηο npHMepy 1, 10,86 r 45,3Ζ-ηογο pacTBopa (b nepecqeTe Ha cyxoftocTaTOx) b AHoxcaHe πο3ητηβηογο φοτορββκοτβ, cocTóHnero H3 1,84 r1,2-HaφTOXHHOHAHa3Hfl-(2)-5-CyJIbφO^φHpa GpOMHpOBaHHOft HOBOJiaHHOft φβΗΟΠ-^opMaJibnerHAHoft cmojim, 3,08 r HOBOJiaqHoň φβΗοιιφορΜβιίΒηεΓΗΑΗοή cmojim,5,94 r AHoxcaHa h 15,0 r CBHHencoflepxamero cTeicna 1 pasMepoM qacTHix0,5-2,5 mkm. AonoJiHHTejibHO β κομπο3ηπηκ) bboaht 1,5 rd--TepnHHeojia.

KoMnosHUHH ΗΜββτ cjieflywmHň cocTaB, Mac.Z: CBHHeuconepxanieé cTéxjio 50,0

CeeToqyBCTBHTejibHMft κομποηθητ 6,2 247136 '6

HoBonaMHaa (J)enonýopMajibflerHflHaH CMona moji.m.700 10,3 flHokcaH 19,7

EyTajiněH-HHTpanbHbiň KaynyK 1,0

Tojiyoji 7,8

Ol-TepnHHeoJi 5,0

TojimHHa BMcymeHHoro cjioh cocTaBJíneT 35 mkm, TOJimHHa BosxeHHoro cjioh21 mkm. Pa3pemawmyio cnocoĎHocTb κομπο3ηιιηη onpeAeJiH»T aHaJiorjiHHO npHMe-py 1. OHa cocTaBjíaeT 50 mkm. ΠρΗΜβρ 7. CBeTOHyBCTBHTejihHyro κομπο3ηιιη» γοτοβητ aHajiorwiHo npHMepy 6, ho hc-n0JiB9y»T CMecb H3 0,75 rdl-TepnHHeoJia h 0,75 r H-CyraHOJia.

CoCTaB ΠΟΠΥΜβΗΗού ΚΟΜΠΟ3ΗΑΗΗ CJieflyKXHHň , -$Mac. %: CBHHeycoflepjKamee οτβκπο 50,0 CBeTonyBCTBHTejihHMft κομποηθητ 6,2

HoBOJiamiaft <freHoji<$opMajibAerHaHaH CMOJia moji.m. 700 10,3

JfHOKcaH 19,7

ByTaAHeH-HHTpujibHhiň KaynyK 1,0

Tojiyoji 7,8 «fc-TepnnHeoji 2,5 H-ByTaHOJi 2,5

TojHtytma BMcymeHHoro η βο3χθηηογο cJioeB aHanoruHHa npHMepy 6. Paspemaio-my» cnocoóHOCTb ΚΟΜΠΟ3Η1ΧΗΗ onpeflejiaioT βηηπογηηηο npHMepy 1. Ona cocTae-ππβτ 50 mkm. ΠρΗΜβρ 8. CBeToqyBCTBHTejibHyio AH3JieKTpHnecKyio κομπο 3Hipoo γοτοβητ aHajiornnHO πρκ-Mepy 1 H3 4,11 r 10,9%-ηογο pacTBopa β 1,3-flHMeTnn6eH3OJie (M-Kctuiojie)6yTaAneH-HHTpHJibHoro xayuyxa moji.m. 200000 c KOHqeBhiMH MeTaKpHjiaTHMMH rpyn-naMH, coAepxaqero 19,5% HHTpHna aKpnnoBOH khcjiotm, 80,5% 6yTaflHeHa h 10,86 r 45,3%-ηογο pacTBopa (b nepecneTe Ha cyxoň οοτβτοκ) b AHOKcaHe no-3HTHBHoro ^OTOpesHCTa, cocTonmero H3 1,84 r 1,2-ηβΦτοχηηοηαη33ηα-(2)-5-cyjib<t>O3$Hpa 6pOMHpoBaHHoň HOBOjiaMHoň $eHOJi<t>opMaJibflerHflHoft cmojim, 3,08 rHOBOJiauHoň 4>eHOji4>opMajibflerHflHoft cmojim, aHanornnHoň npHMepy 1, 5,94 r flH-oxcaHá h 15,0 r CBHHeucoAepxamero cTeiuia pašMepoM nacTHii 0,5-2,5 mkm.Ao-'nojiHHTenbHo β κομπο3ΗΙΙΗ» BBOflHT 0,03 rd.-TepnHHeona. ΚΟΜΠΟ3ΗΙΙΗΗ ΗΜββΤ CJieflyKHHltít COCTaB, Mac.%: CBHHeucoflepxamee οτθκιιο 50,0CBeTOMyBCTBHTejibHbift κομποηθητ 6,2HoBOJiawHafl φβΗΟΙίφορΜβΑΒΑβΓΗΑΗβΗ CMOJia moji.m. 700 10,3AHOKcaH 19,7ByTaAHeH-HHTpHJihHNň KaynyK 1,5m-Kchjioji 12,2d-TepnHHeoJi 0,1.

Tonnyma BMcymeHHoro h eosxeHHoro CJioeB aHaJiorHMHa npHMepy 6. Paapema»-myro cnocoSHocTb κομπο3ηιιηη οπρβηβηκιοτ aHajiorHHHo npHMepy 1. OHa cocTaBna- -βτ 55 mkm. ' ΠρΗΜβρ 9. CBeTowyBCTBHTeJibHyw κομπο3ηιιη» γοτοβητ aHanorHHHo npHMepy 1. 2,82 r10,6%-ηογο pacTBopa b TOJiyojie 6yTaflHeH-HHTpiuibHoro KaywyKa, aHanorHWHoronpHMepy 8, CMemneaioT c 10,86 r 45,3%-ηογο pacTBopa (b nepecweTe Ha cyxoň 247136

οετβτοκ) b ffHOKcaHe πο3Ητηβηογο φοτορβ3Ηοτβ, cocTonmero H3 1,84 r 1,2—ΗβφΤ0ΧΗΗ0ΗΑΗ33ΗΑ~(2)-5-εγΠΒφ09φΗρβ ČpOMHpOBaHHOft HOBOJiaHHOň φβΗΟΠφορΜβ^Β-flernflHoň CMOJibi, 3,08 r HOBonauHoň φβΗοιιφορΜβίΏββΓΗΑΗοΗ cmojiu, 5,94 r pu-OKCaHa h 15,0 r CBHHeuconepxamero CTexna pasMepoM nacTHU 0,5-2,5 mkm. -RononHKTenbHO b komhoshuhio ββοαλτ 1,32 r CMecHoL-TepnHHeona h H-CyTaHOJiaB BecoBOM cooTHomeHHH 1:0,1. Κομποβηπηη ΗΜββτ cnenyioniHň cocrae, Mac.X: CBHHeqco,nepKaiqee ότβκπο 50,0CBeToqyBCTBHTejibHUíi κομποηθητ 6,2HoBOJiaMHaa φεΗΟΠφορΜβΠΒ,ηβΓΗΑΗΗΗ CMona moji.m. 700 10,3AKOKcait 19,7ΒγτβΑΗβΗ-ΗΗτρΗπ&amp;ΗΜβ KaywyK 1,0Tonyon 8,4ct-Tepranieon 4,0H-ByTaHOJi 0,4.

ToxtnpiHa BucymeHHoro h BoaxeHHořó cnoeB aHanorHHHa npiíMepy 6.

Paspemaioqyio cnocodHócŤb κοΜΠθ3ΗμιΐΗ onpeflennwT aHanorcreHo npHMepy 1.

Ona cocTasnaeT 50 mkm. ΠρκΜβρ 10. · ΠρΗΓοτοΒπβΗΗβ CBeToqyBCTBHT&amp;nbHoft KOMnosHUHH, ne coflepxameň pacTBop6yTaflHeH-HHTpHjibHoro Kaynyxa b apoMaTmecKoM yrneBonopone. B φβρφοροΒΟήqaiuKe cMewHBaíoT 12,0 r CBHHenconepxamero cTexna paeMepoM nacTHu; 0,5-2,5 mkm c 18,0 r 19,50%-ηογο páCTBopa (b nepecneTe Ha cyxott οο.τβτοκ) bAHOKCaHe Π03ΗΤΗΒΗΟΓΟ φθΤθρβ3ΗΟΤβ, COCTOHMCrO H3 1,32 Γ 1,2-ΗβφΤΟΧΗΗΟΗηΗ-a3Hfl-(2)-5-Ογ,ΠΒφΟΒφΗρβ epOMHpOBaHHOň HOBOJiaHHoň φβΗΟπφορΜβΗΜβΓΗΑΗΟβ CMO-Jlbl, 2,19 Γ HOBOJiaHHOň φεΗθηφθρΜ37ΙΒηεΓΗ£Ηθή CMOJIbl H 14,49 Γ AHOKCaHa, HHMeiomero bh3koctb 60 clí. CMecb TmaTejibHo nepeTHpa»T c není.» roMoreHHsanHHh ycpeflHéHHH cocTaea b 3τοή xe φβρφοροβοή naunce, Tax κβκ Ha BaJiKosoň nac-τοτβρκβ oaHHyro CMecb HeeosMoxHo περετερβτΒ (oHa "cOeraeT" c bojikob).

Komhoshumh ΗΜββτ cneflywmHM cocŤae, Mac.Z: CBHHeucoflepxamee οτβκηο 40,0 CBeTOMyBCTBHTeJIbHblft ΚΟΜΠΟΗβΗΤ 4,40

HoBOJlaMHaH φβΗΟΠφορΜβπΒΑβΓΗΑΗβά , CMona moji.m. 700 ' 7,30 AHOKcaH. 48,30 IIpHroTOBJíeHHyn komiioshixhio ΗβΒΟΒΜΟΧΗο HaHecTH pobhum cnoeM Ha noflJioxKyΜβτοΑΟΜ ββτκοΓρβφΗΗ,. τβκ κβκ ona "οτβκββτ” c' paxenn h páCTeKaeTCH no nófl-ηοχκβ. YKasaHnyto κοΜποΒΗμκιο HaHocnT Ha ιχβΗτρΗφγτβ h oOpaCoTKy. cjioh npoBo-ρατ aHanornnHo npHMepy 1. Paapemaioqyio cnocoCHocTb κομπο3Ηηηη onpegenflioTaHajiofHHHO npHMepy 1. OHa οοοτβΒπηβτ 100 mkm. IIpennaraeMaH CBeŤonyBCTBHTenbHan κομπο3ΗΙ|ηη pna HsroTOBneHHH ηΗ3Πβκτρκ-yecKHX cnoeB ToncTonneHonHux MHKpocxeM ΗΜββτ Conee BucoKyn no cpaBHeHHWc HseecTHoň páapemanmyio cnócoCHocTb, oCecnenHBaiomyio noJiyneHHe KaHanoB bcnoe. #H3JieKŤpHKa mHpHHoft 50-65 mkm. 3to nosponneT sHanHTenbHo yBenHMHTbnnoTHocTb pacnonoxeHHH 3JieMeHTOB b ToncTonneHonHbix ΜκκροβχβΜβχ, τβΜ ohmůmnoBMCHTb βτβηβΗΒ HHTerpaiiHH MHKpocxeM po TpeTbero ypoBHH. npennaraeMaa komiioshuhh o0na#aeT χοροπζημη peonorHnecKHMH χβρβκτβρκοτκ-KaMH, mto nosBonneT HaH0CHTb.ee ΜβτοηοΜ τρβφβρβΤΗοϋ πβΗβτΗ c Hcnojibsosa-. ΗΗβΜ TpanHnHOHHOrO oCopyflOBHHHH flJIHH3 ΓΟΤΟΒΠβΗΗΗ TOJICTOIUieHOHHblX MHKpocxeM. 247136 8 ΦΟΡΜΥΛΑ Η3ΟΒΡΕΤΕΗΗΗ

CeeToqyBCTBHTeJibHaH κομποβηήηη jjjih η3γοτοβπβηηη ΑΗ3Ηεκτρπ<ιεεκΗχ cnoeBTOJICTOnjI8HOHHbIX MHKpOCXCM Ha KepaMHHeCKHX nCWIOXKaX H3 OKHCH aJIJOMHHHH cHcnojibsoBaHHeM MeTOfla εετκοτρεφκΗ, BKJitoqaiontaH CBHHeuconepxantee ctokjio paa-MepOM naCTHU 0,5-2,5 ΜΚΜ H IIO3HTHBHblň φθΤθρβ3ΗΟΤ, COCTOflmHň H3 CBeTOMyBCT-BHTejibHoro KOMnoHGHTa, nnoHKooepaayramoro κοΜποΗβΗτβ - HOBOjtauHoň φρΗοπ-4>opMajibAorHHHoň cmojiu moji.m. 700 h opraHHnocKoro pacTBopHTena, o τ η h -qaioinaHcs tom, hto, c kcjibw ποβειιπθηηη paspemaioqeň ciioco6hocth hyjiyqineHHH peonorHuecKHx xapaxTepHCTHK πρη HaHecenHH Ha nofljióxKy, κομπο3Η-apa coflepxHT b KauecTBe CBeTOHyBCTBHTejibHoro KOMnoHeHTa 1,2*η8Φτοχηηοηπη- 33ΗΠ-(2)-5-σνΐΙΒφθ3φΗρ SpOMHpOBaHHOň HOBOJiaHHoň φβΗΟΗφθρΜ3πΒΑβΓΗΑΗθϋ CMOJIblib xanecTBe opraHHHecxoro pacTBopHTenH AHoxca# h aonoJiHHTOJibHo SyTaflHOH-'HHTpHJibHbiň KayqyK CTpyKTypHoft φορΜνιιω C-CH2- CH =CH-CH2 -:M-[-CH5-CH- Jb

CN cpeflHeň moji.m. 200000-3000000, coflep«amnft 19,5-41 Mac.Z HHTpmia aKpwioBOftkhcjiotm, 59-80,5 Mac.Z 6y Ta/jne Ha η apoMaTHHOCKHň yrnesojnopofl, BbiSpaHHbrií H3pafla TOJiyon, o-kchjioji, μ-kchjioji npH cjieflyiomeM cooTHomeHHH κομποηβητοβ,

Mac.Z· CBHHeucoAepxanxee cTexjio 40,4-60,0 1,2—Η3φΤΟΧΗΗΟΗΑΗ33ΗΑ“(2)- 5-σνΠΒφθ3φΗΡ GpOMHpOBaHHOft HOBO- jiaHHoň (^eHOJiýopMajibflerHflHoň cmojim 4,5-8,6

HoBOJiaMHaa φβΗΟΛφορΜΗΠΒΑΘΓΗ/ΧΗΒΗ CMOJia moji.m. 700 > 7,5-14,4 flnoKcaH 14,2-27,8

ByŤaflHeH-HHTpHJibHbift KaytjyK 1,0-2,5

ApoMaTHHecKHň yrjioBOflopofl H3 yicáaaHHoro pana 7,8-12,2. 2. ΚθΜΠΟ3ΗφίΗ ΠΟΠ.1, OTJIHUaiOHaHCH ΤβΜ, ΗΤΟ OHa nonOJlHH-

TeJibHo coflepxHT 0,1-5,0 Mac.q. c< -τερπΗΗεοπε hjih CMecHd--TepnHHeojia c H—6yTaHOnoM πρκ MacčoBOM coothohibhhh 1:0,1 —1:1.

AHHOTAUHJI Η3θ6ρβΤβΗΗβ OTHOCHTCH K MHKpOSJíeKTpOHHKe, a ΗΜβΗΗΟ K CBeTOHyBCTBHTejIb-HblM Κ0ΜΠΟ3ΗΙΧΗΗΜ ftJIH Η3ΓΟΤΟΒΠΘΗΗΗ AH3JIOKTpHHeCKHX CJIOOB TOJICTOrUieHOHHblXMHKpocxeM Ha KepaMHwecKHX noftnoxKax c Henojib3OBaHHeM MOTofla coTKorpagnÍH.

Uejtb Η3ο6ρετβΗΗΗ - noBbnneHHe pa3pemaK>meň ciiocoGhocth CBCTOHyBCTBHTejib—Hoň ΚΟΜΠΟ3ΗΗΗΗ h ynymneHHe ee peojiorHHocKHX xapaxTopHCTHK. CBeTonyBCTBHTeJihnaH κομπο3ηηηη BKjnoqacT CBHHeijcoflepxainee ctokiio c pas-MepOM waCTHH 0,2-2,5 ΜΚΜ, CBeTOHyBCTBHTeJIbHblft 1,2-ΗβφΤΟΧΗΗΟΗΑΗε3ΗΛ, φβΗΟΛ”φορΜβιίΒΛβΓΗΗΗ^ cMOJiy, opraHHBecKuií pacTBopHTeJih, a τβκχε OyTa/iHGH—HHTpHJib-Hbrií KayqyK CTpyxTypHoit φopMyJlbI: [-ch2 -ch=ch - ch2~ ]^ -[-ch2

CHI CN cpenHeň MonaKyiiHpHoň Maccbi 200000 - 300000, ηρΗΗβΜ b KanecTBe opraHtraecKO-ΓΟ paCTBOpHTBJIH HCnOJIbSOBaH flHOKCaH. ' ΠρΗ3Η3Ηο Η3θ6ρετεΗΗβΜ no peaynbTaTaM 3KCnapTH3M,, OCyméCTBJIBHHOťí rocyaapcT-BCHHblM ΚοΜΗΤβΤΟΜ CCCP ΠΟ fleJiaM Η3θ6ρεΤεΗΗ*ή H OTKpbITHft. 247136

Claims (2)

1. pRedmEt VYNÁLEZU 247 136 1· Fotocitlivá dielektrická kompozice pro výrobu dielekt-riokých vrstev silnovrstvých mikroobvodů na keramických pod- ·ložkách z kysličníku hlinitého s využitím metody sítotisku,zahrnující olovnaté sklo o rozměrech částic 0,5 až 2,5 um apozitivní fotorezist sestávající ze složky, vrstvu tvořícísložky, to je novolakové, fenolformaldehydové pryskyřice o / molekulové hmotnosti 700 .a organického rozpouštědla, vyznaču-jící se tím, že za účelem zvýšení rozlišovací sfchopnosti a zlep-šeni reologických vlastnosti při nanášeni na podložku obsahu-je kompozice jeko světlocitlivou složku 1,2-naftochinondiazid-„/2/-5-sulfoester hromované, novolakové fenolformaldehydovépryskyřice, organické rozpouštědlo, kterým je dioxan, butadien-nitrilový kaučuk strukturního vzorce L CĚ2 - CH = CH - CH2 CH2 - <fH-J n CN o střední molekulové hmotnosti 200 000 až 300 000, obsahující19,5 až 41 % hmot* akrylonitrilu a 59 až 80,5 % hmot. butadi-enu a aromatický uhlovodík, volený ze řady zahrnující toluen,o-xylen a m-xylen, při hmotnostním procentickém obsahu : olovnaté sklo 40,4 až 60,0 1,2-naftochinondiazid -/2/-5-sulfoesterbromové novolakové fenolformaldehydovépryskyřice 4,5 až 8,6 novolaková fenolformaldehydové pryskyřicemolekulové hmoty 700 7,5 až 14,4 dioxan 14,2 až 27,8 butadien-nitrilový kaučuk 1,0 až 2,5 aromatický uhlovodík z uvedené řady 7,8 až 12,2 ,247 1^6
2. 2* Kompozice podle bodu 1, vyznačující se tím, že navícobsahuje 0,1 až 5 % hmot. °C- terpinolu s n-butanolem přihmotovém poměru 1 : 0,1 až 1 j 1.