CS245719B1 - Způsob výroby polovodičových zařízení s odpory - Google Patents

Abstract

ŘeSení se týká mikroelektroniky a může být použito při výrobě polovodičových zařízení různě použitelných, obsahujících pasivní prvky. Cílem řeěení je zvýšení procenta výstupu použitelných přístrojů. Způsob výroby polovodičových zařízení s odpory zahrnuje operace tvarování dielektrické vrstvy na polovodičové podložce e elektrickými složkami maskování, výrobu odporu iontovým legováním, otevření kontaktních okének v dielektriku a vytváření spojů. Novost řešení spočívá v tom, že operace výroby odporu se provádí povotevření kontaktových okének, záxsoven s vytvářením mezispojů.

Description

-2- Ι:300ρβΤεΗΙίβ OTHOCHTCH Κ OpJiaCTH MHKpOSJíeKTpOHHKH ΗMOJK6T 0ΗΤί> Ι10Π0ΛΒ3 0Ε3Η0 ΠρίΙ Κ3Γ0Τ0ΕΛβΗΗΗ ΠΟΛγΠρΟΒΟΕΗΗΚΟ-βηχ πρκόοροΒ ρθ3Ληηηογο πρΗΜβΗβΗΗΗ, co^ep-Kamnx naccHEHHeΘΛβΜβΗΤΗ. ΜβΒβοτβΗ cnocod H3roTOBJieHiw nojiynpoBOjoiHKOEHx πρπ-όοροΒ, co^ep''’auii<x pe3HCTopti, c nowomiio ηοηηογο HernpoBa-HHH /1/. E 3TOM cnocoóe pe3HCT0p (TiOpMHpyeTCH c noMomtionpma hohoe óopa e nojiynpoBOiTHHKOEOi" nojyiosKe. HejipcTa-tok cnocotía coctoht b tom, hto OH no3EOJineT nojiyqaTL·pe3HCTHEHHe CJIOH CO CTatíHJttHHM ΠΟΒββΧΗΟΟΤΗΗΜ ΟΟΠρΟΤΗΒΛβ-ΗΗβΜ ΛΗΠΙΒ JJ.O 10^ Ομ/ζΖ .

Ife ΙΙ3ΒθΟΤΗΗΧ ΟΠΟΟΟόΟΒ Η3Η00Λθθ ÓJIH3XHM K HaCTOWMyTexHiraecKOjfly peiiieHmo ηβληθτοη cnocod η3γοτοελβηηη nojiy-npoEO,nHHKOEnx npntíopoB c pe3HCTopai,ui, EiOTnairaui}“ onepa-HHH φΟρΜΗρΟΒΘΗΗΗ HHQJieKTpHHCCKOrO CJIOH H3 nOJiynpOEOUHHKO-BOH nOjyiOXKe C 3JieKTpHH6CKHMH ΚΟΜΠΟΗβΗΤΘΜΗ, Μ30ΧΗρ0Β3ΗΗΗ,nojiyneHHH pe3HCTopa nyTeM ηοηηογο λθγηροεθηηη, eckputhhΚΟΗΤΘΚΤΗΗΧ ΟΚΟΗ /2/.

B 3tom cnocode Ha nojiynpoEO.nHHKOByio nojyio:w c3JieKTpHHeCKHMH ΚΟΜΠΟΗβΗΤΘΜΗθΗΘΗΟΟΗΤΟΗ .WJieKTpHHeCKHfiCJlOlfi TOJHIHHOÍ; ΙΟϋΟ - 10000 A. 3βΤβΜ npOEOJIHTCH MaCKHpO-B3HH8 Η ΜβΤΟΑΟΜ ΗΟΗΗΟΓΟ ΛβΓΗρΟΒΟΗΗΗ HOH3MH npOEOJVHUHXMaTepnaHOE co3,n;aiOTCH pe3HCTHEHHe yqacTKH ps3HCTopoB bTejie jiH3Ji8KTpHKa. IlocJie SToro b EHSJíeKTpireecKOM cJtoe$opMnpyK)TCH OKHa. 3aEepuieHae φορΜίιροΒθΗΗΗ pe3iicTopoE 245719 -3- ocymecTBJUieTCH ι^τβΜ co3^aHHH Mexcoe,nnHeHitíí nepe3 θτηOKHa Me-KJiy pe3HCTHBHHMÍI ynaCTKaMH,H ΒΛβΚΤρίΓίβΟΚΗΜΗ KOM-Π0ΗβΗΤ3ΜΗ H3 nanynpOBOJMHKOBO# nOjyiOSKe C nOMOIUBK) M6TO—JT.OB ΗΘΠΝΛβΗΗΗ Η φ0Τ0ΛΗΤ0Γρ3φΐίΗ.

Cnocoó Π03Ε0ΛΗΘΤ nOSJTBaTL· nOJiynpOBOOTHKOBUe npitóo-pu, c ose plamné ρθ3ηοτηβηηθ csoh b susseKTpHKe c A>s. = 107 - IO9 om/π , rroEtnuaeT οτθπθηβ HHTerpaipmnojiynpoEo.sHimoEiix cxeM 3a οπβτ pačnosojseHaa ηθοτη naccHB-HHX ΒΛβΜβΗΤΟΒ B ΛΗΘΛβΚΤρΗΚβ.

OsHaso nocsesoBaTesBHocTt onepapaB , Hcnosb3yeMaH bη3βθοτηομ cnocoóe, npnBO,snT κ yEestraeHiw KOStreecTBa npo-MeSíyTOHHHX K0HT3KT0B, HTO E CEOIO OBeneSB npHBOSHT K CHH-steHHio HasesHocTH h yMeHBineHJno npopeHTa EHxosa γοεηικ npa-óopoB. XpoMe Toro, npoMe&amp;yTOHHHe coejmHeHHH Mea-yy ne3Hc-TOpaWlH E SMSJtóKTpHKe H ΒΛβΚΤρΗΗβΟΚΗΜΗ ΚΟΜΠΟΗΘΗΤΘΜΗ Ha ΠΟ-BepXHOCTH nOJiynpOEOSHHKa 3aHHMa»T HaCTh Π0Λβ3Η0β IMOmaSH,ιρϊ3ΛβκτρΐΕί3, Ητο yweHEiiiaeT CTeneHB JíHTerpapo naccHEHwcsseweHTOB, pacnosorteHHHX b snaseií τρπκβ.

Ueshio HacToauero H3odpeTeHiw ηεληθτοη ποβηιπθηηθ προ-peHTa Euxosa γοβηηχ npnóopoB. ΠΟΟΤΘΕΛΘΗΗΘΗ pěst SOCTHraeTC.H ΤβΜ, HTO E Η3ΕΘΟΤΗΟΜcrrocoóe ηβγοτοβλθηηη nosyirpoBOSHHKOBiK πρπόοροΒ c pe3nc-TOpawH, BKSKwawineM onepapnn φορΜπροΒθΗΗΗ susseKTpireecKoroCJIOH Ha nOJlynpOEOSHHKOEOfj nOSSOJiKe C ΘΛβΚΤρΗΒβΟΚΗΜ» KOM-ποηθητθμη, MacKHpoBaHHH, nosyaeHHH pe3ncTopa nyTew hohho-ΓΟ SempOEaHHH, ECKpHTIÍfl ΚΟΗΤΘΚΤΗΗΧ OIíOH E ΛΗΘΛβΧΤρίΚβ H$opMHpOBÓHiw Me^coesHHeHHi?, onepapmo nosyaeHHH pe3HcTopanpOEO.HHT ΠΟΟΛ3 ECKpHTHH ΚΟΗΤβΚΤΗΗΧ ΟΚΟΗ ΟΕΒΙΟΕρβΜβΗΗΟ C(TopMHpOBaHHeM MeTOOeSHHeHKH.

Ha φΗΓ. 1-4 no;ta3aHH pa3JmHne 3Tanu η3ΓοτοελθηηηnOSynpOEO.SHHKOBHX npHÓOpOE C pe3HCT0paMH.

IJocSe φΟρΜΗρΟΒΘΗΗΗ θΛβΚΤρίΙΗβΟΚΗΧ ΚΟΜΠΟΗβΗΤΟΒ I E ΠΟ-jrynpoEOSHHXOBOH nojyiOOte 2 ηθηοοηλη sHOJieKTpircecKitiř csofí3 (φΗΓ.Ι) ΠΙϊρΟΛΗΤΙΙΗΘΟΚΙ’Μ CnOCOÓOM C Η0Π0ΛΕ30Β3ΗΙ1βΜ CMeCHnapoB TeTpasTOKCHcoaHa h ocJioposa npn TeMnepaiype 300°C 245719 -4- b TeneHHe 40 mhh, nojiymenHaa TOJinzHa cjioh cocTaBJíHJia 0,6 MKM. ΚΟΗΤΘΚΤΗΗΘ OKHa 1 (φΗΓ.2) (jOpMHpOBaJIH ΜβΤΟ^ΟΜ φθ-TOJIHTOrpařHH C nOMOUblO (T0T0pe3HCTa, KOTOpUÍ! HaHOCHJIH HapeHTpivTyre πρπ οκοροοτκ ee Epa>ueHHH 2000 oó/mhh, b Teme-líne 30 cen. HojiymeHHan TOjimma φοτορβ3Ηοτθ cocTasJíaJia0,8 MKM. ITocJie coBMemeHíw SoTouiatíJioHa ii θκοποηηροβθηηηe TemeHne 10 c προηβλθηηθμ e pacTBope nojiymajiH oraa bφοτορβ3Ηοτβ. IlocJie 3a^ydJiHEaHM QOTope3HCTa χημηηθοκημTpaBJíeHneM b óy$epHOM τρβΒΗΤβΛβ e TemeHiie 10 mhh nojiyma-ΛΗ ΚΟΗΤΘΚΤΗΗΘ OKHa. TaKHM OÓpa3OM ΟόθΟΠβΗΗΒΘΛΟΒ JIOCTaTOH-HHM nOffrpaB ΛΗΘΛβΚΤρΗΚΘ ΤΘΚ, ΗΤΟ όΟΚΟΕΗβ ΓρθΗΗ 5 ^ΗΘΛΘΚ-ΤρΗΚ3 Β Κ0ΗΤ3ΚΤΗΗΧ ΟΚΗ9Χ Η HaXOJTHJIHCL ΠΟ,Π γΓΛΟΜ 40° ΠΟΟΤΗΟΙΠ3ΗΗ10 Κ ΠΟΕβρΧΗΟΟΤΗ ΠΟΛγπρΟΕΟ^ΗΗΚΏ. JX/I5I H3ÓIipaTeJIiHO-ΓΟ ΛΘΓΗρΟΕΟΗΗΗ OTSJíeKTpiKa C Ι^ΛΒΚ) φΟρΜΗΌΟΒΘΗΗΗ pe3HC-ΤΗΕΗΟΓΟ CJIOH ΠρΟΕΟ,ΗΗΛΠ ΜΘΟΚΗρΟΒΘΗΗβ ΛΗΘΛβΚΤρίΊΚΘ ΟΛΟβΜ 63JII0MHHHH TOJIHHHOH 0,4 ΜΚΜ, 3aflePJSHBaWEIIHÍZ ΠΟΤΟΚ I1OHOE(φΗΓ.3). Πρίί HOHHOM ΛΘΓΗρθΒ3ΗΗΗ Η0Π0ΛΒ30Ε8ΛΗ HOHH 7 HHH-Ka c BHeprneí? 100 κβν η Η030Γ; 10.000 μκκλ. HOHHOe ΛβΓΗρΟΒΘΗΗβ npOEOJBMH ΟΗΗΟΒρθΜβΗΗΟ Η B flH3-ΛβΚΤρΗΚ Η E ΚΟΗΤΘΚΤΗΗβ OKHa T3K, ΗΤΟ HMIIJiaHTHpOEQHHHflρβ3Ηοτορ 8 (φΗΓ.4) μμθλ HenocpejiCTBeHHHii κοητθκτ cΘΛβΚΤρΗΗβΟΚΗΜΗ ΚΟΜΠΟΗβΗΤΘΜΗ, pacnOJIOJTB HHHMH Ha IlOJiynpa-ΕΟ,ϋΗΗΚΟΕΟΗ ΠΟ,ΤΡΙΟ^Κβ. ΤρθΕΛβΗΗβ MaCKHpy i<me ΓΟ CJIOH πρΟΕΟΛΗ- \jih xHMHmecKHM Μβτο,ζΟΜ (b óycJepHOM TpaEHTeJie).

JjEHHHÍÍ cnocoó H3r0T0BJieHHH nOJiynpOEOEHHKOBOrO npudo-pa c pe3HCT0paMH βηγο;πηο OTJiHmaeTCH οτ προτοτππβ, npiiHH-Toro e KamecTBe óa3OEoro otíteKTa. B npejyiaraeMOM cnocoóeHCKJiiomaiOTCH npoMesyTomHue coesHHeHHH wejsíy θκτηεηημηsJíeMeHTaMH Ha nojyiojr.e h pe3HCTopaMH, pacnojio^eHHWMH bΠΗΘΛΘΚΤρΗΚβ. IÍ3BeCTHO, ΗΤΟ Β KHTerpaJIEHHX ΜΗΚρΟΟΧΘΜΘΧHaJIOTHe K0HT3KT0B HBJIH6TCH Ο,ΤζΗΟΪί H3 Πρί-ΡίΗΗ ΗβΗΘΛθΗΗΟΟΤΗCX6M ε nponacce sKciuiyaTanKH η νΜβιΐΒΠίθΗΗΗ npopeHTa βηχο-Ηθ ΓΟ^ΗΗΧ. ΪΜβΗΒΠΙβΗΗβ HHCJia ΚΟΗΤΘΚΤΟΕ HHTerpaJIBHHX ΟΧβΜ, Β KOTOpux HCnOJIE3yiOTCH pe3HCTOpU, npHEOKHT K3K Κ ΠΟΕΗΙΗβ— 245719 -5- hhk) HafleacHOCTii npnóopoB πρπ SKcnjiyaTaujiH, Tax u x ποβη-uieHHE) BHxo.ua ΓΟΑΗΗΧ. Cnocoó TaKřKe no3BojiaeT ποβηοητβοτθπθηβ HHTerpapKH Ha 10 h óojiee npopeHTOB 3a cneT hc-XJII0H6HHH ΠΛ0ίΙ(3ΑΗ, KOTOpafí TpeÓyeTCH COrjiaCHO Óa30B0MyoótexTy Ha κοητηΧτηηθ οχηθ k pe3HCTopawi b ΑΚθΛθκτρκκβ,a Tarae αοποληκτβλβηηχ oÓJiacTeií pe3HcropoB, φορΜΗργθΜΗχB COOTB6TCTBHH C ΟΠρβΑβΛβΗΗΗΜΗ AonycxaMH Ha φΟΤΟΛΜΤΟΓρε-φΗΙΟ AJIH (ílOpMKpOBaHHH ΚΟΗΤΒΚΤΗΗΧ OKOH K pe3HCT0paM. B flaH-hom cjiynae κοητηκτηηθ οκηθ eiopMupyioTCfl tojibko κ ηχτηβηημθλθμθητθμ, a pe3MCTopu iraeioT c hhmh HenocpeflCTBeHHHiíKOHTaKT. Πρίί HCnO.71t3OBaHHH CllOCOÓa Η3Γ0Τ0ΒΛβΗΗΗ nojiynpoBos-HKXOBHX npHÓOpOB C pS311CT0paWH Π0 óa30B0My OÓteKTy npo-peHT BHXOAa roAHHX cocTaBAHeT 6,3$. Πο npejmaraeMOMy cnocoóy npopeHT bhxoas γόαηηχ co-cTaBHT 8,9$, to ecTt yBejnmiiTCH Ha 2,6$. 'V, 245719 -6-

ΦΟΡΙΓ/jíA IBOEFSTEHHH "CnOCOÓ Η3ΓΟΤΟΕΛ8ΗΗΗ ΠΟΛγπρΟΕΟ,ηΗΗΚΟΒΜΧ npHÓOpOB Cpe3HCT0paMM, EKJIKMaiOHlílíí OnepaUHH řOpMHpOEaHHH ΧΗθΛβΚΤρΠ- necKoro cjioh na nojiynpoBOTJHHKOEOií nojyiome c SJíeKTpiraec- »· KHf.UI ΚΟΜΠΟΗΘΗΤΘΜΗ, MaCKHpOEaHIW, JlOJlyqeHHH pé3HCTOpa ny-T8Í.1 ΗΟΗΗΟΓΟ Jler."pOEaHIÍ£, ECKPUTHB ΚΟΗΤΘΚΤΗϋΧ OKOH E,ηΐίθΛβΚΤρΗΚΘ B φΟρΜΗρΟΕΠΗΗΗ ΜβΧ008ΚΗΗβΗΗίί, ΟΤΛΗΗΘΙΟΙΙΙΗΗΟΗΤΘΜ, ΗΤΟ, C ΙίθΛΕΚ) ΠΟΒΗ1ΠΘΗΗΗ ΠρΟίχβΗΤΘ ΕΗΧΟΒΒ TOJUUlX ΠρΗ-dopoE, onepapffio no?iyqeHiíH pe3HCTopa προβολητ ποολθ bckphΤΗΗ ΚΟΗΤΗΚΤΗΗΧ ΟΚΟΗ ΟΛΗΟΒρβΜΘΗΗΟ C φΟρΜΗρΟΒΘΗΗΘΜ ΜΘΧ-ΟΟβ,ΚΗΗβΗΗβ". KCTOHHHKH ΗΗφΟρΜΘΧίΗΗ, ΠρΗΗΗΤΗΘ ΒΟ BHHM8HH6 ΠρΗ3Κ0ΠβρΤΗ3β: 1. ΙΙητθητ CilIA $ 3829890, ΚΛ.148-1,5, 1974. 2. Πθτθητ CÍ1ÍA $ 3922708, κλ.357-51, 1976 (προτοτΗπ) 2457,9 -7-

AHHOTAIW I'Í30ópeTeHne othochtch k odJiacra ΜΗκροΒΛθΚτροΗΗΚΗ πΜΟΧβΤ ÓHTB Η0Π0ΛΒ30Β3Η0 Πρίΐ Η3ΓΟΤΟΒΛβΗΗΗ ΠΟΛγπρΟΒΟ,ηΗΗΚΟ-BLK npHtíOpOB ρθ3ΛΙΠΗ0Γ0 ΠρΗΜβΗβΗΙΡΙ, CO®psaUJEK raCCHBHHe3Λ8ΜβΗΤΗ.

Upjit n3oópeTeHHB - noEHiiieHHe προίξβΗτθ bhxo® rojUKXnpHÓOpOB.

Cnocoó Η3Γ0Τ0ΒΛθΗΗΗ ΠΟΛγΠρΟΕΟ^ΗΗΚΟΒΗΧ npHÓOpOB Cpe3HCTopaMH BKnmaeT onepannií ΦορΜΗροΒΟΗΜ jmsJíeKTpHveο-κογο CJIOH Ha nOJiynpOBOJBlHKOBOfl HOJVIOSOCe C ΘΛβΚΤρΗΗβΟΚΗ-ΜΙΪ ΚΟΜΠΟΗΘΗΤΘΜΗ, ΜΘΟΚΗρΟΒβΗΜ, ΠΟΛγΗβΗΗΗ pe3HCT0pa ΠγΤβΜΜΟΗΗΟΓΟ JierHpOEaHIlH, ECKptITJIH K0HT9KTHUX ΟΚΟΗ Ε ;ξΗ3ΛΘΚ-τρίΐκβ Η φορΜΗρΟΕΘΗΗΗ ΜβΚΟΟΘJIíIHSHHH. HOEUK ΗΕΛΗβΤΟΗ ΤΟ, ΗΤΟ ΟΠθρβίρίΚ) ΠΟΛγΗΘΗΗΗ pe3HCT0paΠΡΟΕΟΛΗΤ nOCJie ECKpHTHH ΚΟΗΤΗΚΤΗΗΧ ΟΚΟΗ ΟΗΗΟΒρθΜβΗΗΟ CφορΜΗρΟΕΘΗίΙδΜ ΜβΧΟΟβ£ΗΗβΗΗίί. 245719

Claims (1)

1. 245719 8 pRedmEt vynálezu Způsob výroby polovodičových zařízeni s odpory, zahrnující operaci vytváření dielektrické vrstvy na polovodičové podložce s elektrickými složkami, maskování, výrobu odporůiontovým legováním, otevřením kontaktových okének v dielektriku a vytváření mezispojů,vyznačující se tím, že za účelem zvýšení procenta vystupujících použitelných zařízeníse provádí operace výroby odporů po otevření kontaktních okének zároveň s vytvářenímmezispojů. Uznáno vynálezem na základě výsledků expertizy, provedené Státním výborem pro vynálezya objevy SSSH, Moskva, SU. 1 výkres i