CS245264B1 - Method of freely carried distance mask making for diminishing projection systems - Google Patents

Description

-2- OÓJiaCTE. ΠρΗΜβΚβΗΗΛ Η300ρ£τβΗΗΗ

HacTOňmee Η3θόρβτβΗΗβ KacaeTCB τθχηολογηη η3γοτοβλθηηϊιΜΘΟΚΗ ftJifl ΠρΟΘΚΏ,ΗΗ Ha paOCTOHHHH ΠρΟΘΚΗΗΟΗΗΟβ CHCT0MHΆΠΛ OÓXyneHHH ΊΘΟΤΗΕξ, ΗΘΠρΗΜθρ ΘΛΘΚΤρΟΗΗΟΓΟ ΜΛ0ΗΟΗΗΟΓΟ προβκτορθ, B HaCTHOCTK ftttfl 0300ρ8Τ0ΛΒΗΟΓΟ CTpyKTy-papOBaHHH b/hjIH AOTHpOBaHKfl B προίξβοοθ 03ΓΟΤΟΒΛβΗ0Η CX0MC BHCOKO2 ΟΤβΠΘΗΒΙΟ ΗΗΤΘΓρβΙξΗΗ.

XapaKTepncTHKa ηββθοτηηχ τβχΗΗ'ίθοκΗΧ pemoHHft: líOHKHg 0ΛΗ ΘΛβΚΤρΟΗΚϋβ προβκτορ COflepjKHT ΗΘΟΤΗΠΗΟ npOHH-HaBMyiD ΛΛΒ ΠΟΤΟΚΘ HaCTHU Η CBOÓOflHOHecymyiO AHCTaHHHOHKyK)

MacKy, κοτορθΗ b οοοτβθτοτβηη c MacuiTadoM H3odpaxeHHHCTpyKTypa oTodpaxaeTca Ha πο^προβοληηκοβηθ, προβοαβπιηθ,H3OXHpyiOlHH0 0ΛΗ ΛΘΚΟΒΗΘ ΠΛΘΗΚΗ, 3a0flH0 C 3T0M οόβΟΠΘΗΗΒΘΗ03ÓHpaT0JIBHyiQ ΠΟ ΟΤΛΘΛΒΗΗΜ ΚρΗΟΤΘΛΛΘΜ CeHC0d0X03aUH® 0Λ0 βΟΤΗρΟΒΘΗΗβ ΠΛΘΗΚ0. Πρ0 ΠΟΜΟίηΗ ΟΠ0ρθΠ00 ΤρθΒΛΘΗΗΛ ΠΟBC0ÍÍ ΠΟΒβρΧΗΟΟΤΗ 0Λ0 ΠρΟΗΒΛΘΗΗΗ ΛΘΚΟΒΟΓΟ ΠΟΚρΗΤΗΛΟΤ3ΗΟΒ0ΤΟΗ B03M0HHHM CTpyKTyp0pOBaH00 ΠΟΟΛΘ OCym0CTBX0H0flC6HCHÓO03yíomefi onepan,00.

H3B0CTHO, ΠΤΟ yCTOfiq0BH0 ΛΗΟΤΘΗΠΗΟΗΗΗΘ M8CK0 MOUCHO nojiy^HTB pacnpefleji0H00M Kaamofi npoeKiyiOHHofi hjiockocthc y^OTOM onpeaejieHHHX cooTHomeHHfi .ujihh 0 ωηροτ OTBepcTHfiB M3CK0 MHHHMyM Ηβ ΑΒΘ MaCKH C T3K0M ρβΟ^ΘΤΟΜ, ^TOÓH ΒM3CK0 ΗΘ OÓpa3OBa40CI> ΚΟΛΈ>ηθΟόρ83ΗΗ0 0 38MKHyTJ^p ΟΤΒθρΟΤΗΗ.Koju>n0oópa3HH0 3aMKHyTH0 cTpyKTypa β κρηοτθλλθ τθμ, ητοΠρθΛΗ83Η3ΗβΗΗΗ0 Λ-ΊΛ OflHOft ΠρΟβΚΠΗΟΗΗΟβ ΠΛΟΟΚ0ΟΤ0 MHHHMyM#Ββ μθοκη oTodpasaiOTCH nocjiesoBaTJiBHO οληθ 3 a ^pyrofiHa cooTB0TCTBy»myío wieHKy ποκρκτΗΗ. Κροκβ ΤΟΓΟ Κ3ΒΘ0ΤΗ0, BTO yCTOKHHByiO AHCTaHHKOHEyiO MacayMOKKO nOJiyBHTB ΤΘΜ, ΊΤΟ ΠΟΛ 38ΑβΛΘΗΚΗΘ Β H00 ΟΤΒθρΟΤΗΗ CΛΐοόοΗ KOH$0rypan0efl noflimaflHBaeTCB οοηοβηθη ρβιπβτκΗ cperyflflpHOÍ CípyKiypoi, ΠρΗΊβΜ yCTOft^JHBOCTB M3CKH ΟΰβΟΠβΗΗΒΘΘΤΟΗ3a ο^βτ nepeMineK b cTpyKTypax ρθπιθτκη.

x noAynaioTCB 245264 -3- ΟΟΒρθΜΘΗΗΗΪΐ ΤΘΧΗΟΛΟΓΗΒΘΟΚ0Ζ ypOBCHB 03ΓΟΤΟΒΛ8ΗΗΒ yCTOÍíB0BHX"COTOBHX” MaCOK C ΛΛΗΗΟϋ KpOMOK B npe,nejiax OT 30 ,Π,Ο 50 MMflonycKaeT ποΛΚΛβΑΗΒθΗΗβ ρθίπβτκκ c τθκημ pacneTOM, HTodaΒΟ3Η0ΚΘΛ0 ΠθρθΜΗΒΚΗ M03KSy ρβΙΠΘΤΚΘΜΜ "ΟΟΤΘΜΚ" 0 KBa,HpaT0BHH8ΟΤΒθρΟΤΗΒ ρθΙΙΙΘΤΟΚ ΙΙΙΗρΗΗΟϋ OKOJIO 5 ΜΜΚρΟΗΟΒ. ΡθΒΗΟΜβρΗΘΒC0HCMÓHJIH3aUWB 0 βΟΤΗρΟΒΘΗΗΘ 3ΟΗΗ ΚρίΊΟΤΘΛΜ, 0TH0CWŮCBΚ 3ΟΗ6 ΠΟΛΛΟΟΗ, θΰθΟΠΘΒ0Β3ΘΤΟΒ 3Θ ΟΒΘΤ ΒΘΤΗρβΧΚρθΤΗΟΓΟ3KCnOHHpOBaHHfl. JinH 9Τ0Γ0 nOCJie Kaztflofí OnepaiíHH θκοποημροβθκηβκρκοτθΛΛ 0 MacKa nepewemaioTCH c τθκκμ pacaeTOM no οτηοιμημοk jjpyr .npyry, ητοόη Ka^aa KBa/ipaTHaHaa aneprypa b MacKe3KCnOHHpOBaJia Ha ΠΛ8ΟΤ0ΚΘ KBH.UpaT K3 Β330ΜΟΟΕΒ33ΗΗΗΧ3ΛΘΜΘΗΤΟΒ.ΕθΛ0 ΙΠ0ρ0ΗΗ OTBepCTKB 0 ΠθρθΜΗΗΚΗ dy.qyT ΟΒ,ΗΗΘΚΟΒΗ,nocjie oKOHnaKMH 4-x onepapnfí sKcnoHMpoBaHHB Boa 30Ha cπολλοκθηηοη pemeTKOÉ óy^eT οκ33ηβ·8τβοβ EenpepuBHOCeHC0ÓíOK3HpOBaHHOÍl 0 flOTEpOBaHHOll.

Pa3MepHOCTB ,n0r0Ta^03an;00 npoeKTa μοκθτ b λθηηομ cjiynaeΤΟΛΒΚΟ OKa3UBaT£CB paBHOH 0Λ01 ΟΟΟΤΒΘΤΟΤΒΟΒΘΤΒ KpaTHOCT0ΛΛ0ΗΗ KpOMOK 3T0X 3JI6MSHTapHHX KBa^paTOB. ΜΚΘΗΘ ΟΤΒθρθΤ0Β BpeiueTKax óysyT nepeKpHBaTbca tojilko naciwHo CTpyKTypaMBΠΡΟΘΚΗ00 ΟΧΘΜΗ. TaK, B ΠρΟΗΘΟΟΘ ΜΗΟΓΟΚρθΤΗΟΓΟ 3KCnOH0pOBaH0BBO3H0Ka»T H6 oójiyneHEtie miomaflKE b npe.nejiaxnojt.naaannxoáflyneEHK) 3oh, ητο μοικθτ ηρκΒο^ιιτΒ κ Baxofly 03 crpoa3ΛΘΜΘΗΤΟΒ. Β HaCTOamee ΒρβΜΒ 33 ΟΒΘΤ Πρ0ΜΘΗΘΗ0Β ΟΒΘΤΟ—OHT0B6CK0X ΜΘΤΟβΟΒ flJia ρβίΠβΤΚΗ ΟΟΒΘΗΒΘΘΤΟΗ paCTp 5 ΜΚ. TaK,πρκ wacniTade 03odpaiSHZia ,προθκρποΗΗΟΓΟ annapaTa, ρ&βηομ10:1, ΟΤ8ΗΟΒ0ΤΟΒ Η03Μ0ΧΗΗΜ Μ0Η0Μ3ΛΒΗΗ2 Ρ33ΜΘΡ-£0r0TaJI03aií00I μχ. Οτο οοοοτΒβτοτΒγβτ οτθπθηπ HHTerpanHH npndopaΙ-κ-c-PAM.

ΚρΟΜβ ΤΟΓΟ Β3ΒΘ0ΤΗ3 B03M0SH0CTB 03ΓΟΤΟΒΛΘΗ0Β ΛΜΟΤΘΗΠΗΟΗΗΗΧMacoK τθχηολογ0θ8 raJi£BaH0HecKoro οοθχλθηπβ H0KejiaHa πολοηκθ. Hyanaa CTpyKTypa wiacKH BO30KaeT 3a οίθτΟρ0βΚΤ0ρθΒ3ΗΗΟ& B Hy«HOM ΟΜΗΟΛΘ CTpiíKTyp0pOBaHHOM aacM o aaxes»»»1“ Λ8Κ0“ 0 Toe"HO“ ΠΟΚρ“™ ~ “

Ha KBa.fl.paTe, 245264 -4-

TpeóyeMaa ajia ο0θοπθηθη0η ycTOííBHBOCTH MacKz τολπιηηθ Ma-TepzaAa flocTíiraeTCB τθμ, hto b cAy^ae pacinenjieHHoíi MZHHMyMHa 2 flZCTaHHWOHHHX M3C0K ΠρΟΘΚΏ,ΖΟΗΗΟίί IUIOCKOCTH raJIhB3HH—ΒΘΟΚ0Η npouecc Ηθ Πρ0ΟΟΤ3Η3ΒΛ0Β3ΘΤΟΗ ΠΟΟΛΘ Ο0ΘΟΠΘΗΘΗ0ΗHyXHOĚ TOJUflHHbl Λ3Κ0Β0Γ0 ΠΟΚρΗΤΗΗ, ΠρΗΒΘΜ Hafl ΛΘΚΟΒΗΜΠΟΚρΗΤΜΘΜ CJIO0 ΗΗΚΘΛΒ pa3paCTa0TCH ΑΘΛΒΙΙΙΘ Β ÓOKOBOM ΗΒθρΤΗΚΘΛΒΗΟΜ Η8Πρ3ΒΛΘΗ0ΗΧ. 3ΤΘ ΤΘΧΗΟΛΟΓ0Η OflHaKO ΗθοόθΟΠΘΒΗΒΘΘΤ B03MOHHOCTB peaJ103aiIHK ΟΧΘΜΗΟ0 ΤΘΧΗΗΚΗ CBHCOKO0 ΟΤΘΠΘΗΒΚ) ΗΗΤΘΓρθΠΗΗ. ΪΙρΚ ΗΘΛΚΗΗΗ COTOEOK M8CK0 ΓΘΑΒΒΘΗΗΗΘΟΚΗβ ΠρΟΠ,ΘΟΟ ΠρΖΟΟΤΘ-HaEJMBaeTCH, το-θοτβ npeitpainaeTca ποολθ πολ^ηθηηη Hy:«Hofitojiluhhu jxaKOBoro ποκρκτΗΒ, ηθηοοητοβ flpyran M3CKa caflre3H0HKHM flaKOM C TOJUUHHOH ΠΟΚρΗΤΜ = 2,5 MK 0 Beci. npoqecc noBTopaeTCH c iígjibso yctuieHHH ρθιιιθτηθτηχπβρβΜΗΉβκ. Ilocjie OTTpaEJiHBaHHfl nofljioaeK b oóozx CAyBaBXnojiynaeTca ycTOMEZBan αηοτθηπζοηκθβ MacKa. ΚρΟΜΘ ΤΟΓΟ ΘΟΤΒ ΟΒΘΑΘΗ0Η O B03M0XH0CTK 0ΟΠΟΛΒ3ΟΒ8Η0ΗΤΟΛΟΤΟΓΟ ρΐΙΟΤΟΗΟΒΟΓΟ ΠΟΚρΗΤΗΗ /ΤΟΛΠΙΗΗΘ = 10 MK/ flJIHΠΟΙΗΘΗΚΕ ΟΟΟΤΒΘΤΟΤΒΘΗΗΟ TOJICTOH 0 yCTOHBHBOH ρβΙΠΘΤΗΘΤΟδM3CKH. Ορ0ΘΗΤ0ρθΒ3ΗΗΟΘ CTpyKTyp0pOB3H0Q ρ0ΟΤΟΗΟΓΟ CJIOflΠΟλρΗΤΗΗ np0H3B0flHTCB np0 IIOMO1H0 ΒΟΠΟΜΟΓΘΤΘΑΒΗΟϋ MaCKH3a ΟΒΘΤ ΠΡ0ΜΘΗΘΗ0Β ΤΘΧΗΟΛΟΓΗ0 ρθθΚΤΗΒΗΟΓΟ 0HHHO-JiyBOBOrOΤρΗΒΛΘΗΗΗ, ΠΡ0ΒΘΜ ΒΟΠΟΜΟΓΘΤΘΛΒΗΘΗ MaCKa B GB010 OBepeflBCTpyKTypMpyeTCH np0 homoiuk λθκοπλθηοηηογο ποκρητκη. ΚρΟΜΘ ΤΟΓΟ 03ΒΘΟΤΗΟ, BTO.HanpHMep Ha ΠρΟΘΚΙξΗΟΗΗΟίί HJIOCKOCT0κοηητθτθλβηογο ynacTKa αλη ycTpoiíCTBa I κ-c-PAM pa3MemaioTCHnopaflKa 10^ ... 10^ τοβθκ. HofljiaraeMaa ο,αηθκο b cjiynaeρθ^θΤΒβτοδ /"οοτοΒοδ"/ μθοκη ρβιπθΤΒθΤθΒ · cTpyKTypa

O

OflHaKO COflQpXHT ΟΟΟΤΒΘΤΟΤΒΘΗΗΟ flJIH 3T0M ΙΧΘΛ0 IIOpflflKa 10τοΒβκ. B npopecce η3Γοτοβλθηηη peiueTflaTofi μθοκη, bHaCTHOCTB B paMKaX flaJIBH00UierO yTOH0IIHJ3 ρθίΊΙΘΤΚΗ flJIflpaax03au00 <5ολθθ bhcokoS οτθπθηη ηητθγρθηηη οβθμ ηθο0χοαημηχΑΑΒ δκοποΗ0ροΒ3Η0Η $oTope30CTa 0HpopMafl00 HapacTaaTHaCTOJIBKO, BTO ΛΚΠΙΘΗΗΘΗ ΑθφθΚΤΟΒ ΤΘΧΗΟΛΟΓ0Η 03ΓΟΤΟΒΛΘΗ0Β0ΛΗ noflBepraeTCíi Eooóiue οομηθηηιο hjiz θθ peaJizsauHHCT£HOB0TCH H0BO3MOKHOfi. 245264 -5«

Uejib H3o0peTeHHfi IÍ9JIÍ 03Otíp0T0H0JB CBOAHTCH K pa3pad0TK8 ΤΘΧΗΟΛΟΓ00 flJMΗ3ΓΟΤΟΒΛ8Η0Η CBOdOflHOH0CyiH08 ,HHCTaHH0OHHO8 M3CK0, ΠΡΗΊΘΜΕθΟΜοτρΒ Ha TpadyaMya BucoKyio οτθπθηβ HHTarpaijHEi /HanpHMappa3M0pHOCTb ΛΗΓΗΤ8ΛΜ3ΘΙϋΙ0 paBHBBTCH 0,2 MK/ 0 Ha H0OdXOfl,0MyiOΛΛΒ 3ΤΟΓΒ TOH0Hy ρθΙΙΙΘΤΗΗ ΠρΟΗΘΟΟβ Η3ΓΟΤΟΒΛ8Η0Η M3CK0 HOCJI0flH0ÍÍflOJDKeH OCymeCTBJIHTBCB npOCTHM 0 3KOHOM0B0CK0 ΠρΚβΙΛΠθΜΗΜCHOCOdOM. M3JIOK0H0e CymHOCTH 03θΰρθΤΘΗΗΗ B OCHOBy 03θΰρθΤ0Η0Β 33Λ0ΚΘΗ8 3aflasa IIOAKJiaflHBaHKfl ΟΤΚΡΗΤΗΧ30H B Η3ΓΟΤ8ΒΛ0Β8ΘΜΟ$ fl0CTaHH0OHHO2 ΜβΟΚΘ Πρ0 HOMOIH0ycTožBHBOlí ΡΘΙΠ8ΤΚ0, KOTopaa c HyatHOfí οτβπβΗΒΚ) 0HTerpau00ΟόΛβΛβθΤ flOCTaTOBHOil TOHHHOfi, flJLfl ρβθΛ038Η00 κοτοροζοαηθκο ipaóyeTCfl uiadaoH, κοτορυδ ηθ npaBHiuaeT nojyiaxameroHa^exHOii otípadoTKo odtoMa ηηΦορμθηκη ycrpofiCTBa jymΘΚΟΠΟΗΗρΟΒβΗΗΛ. B COOTB0TCTBH0 c 03οόρθΤθΗ0θΜ 3T3 3aflaBa pomaoTCfl tom, BTO B K3B0CTB0 IIiadjIOHa ftJLH CO3SaBa0MOÍÍ ρθΙΙΙΘΤΚΗ ΠρΗΜβΗΗΘΤΟΗΠΟΑΓΟΤΟΒΛΘΗΗΘΒ ΠΟ ΤΘΧΗΟΛΟΓ00 ΒΛθρΗΗΧ φΗΛΒΤρΟΒ IUiaCTMaCCOBaflφΟΛΒΓΘ. JUlfl ΘΓΟ 03ΓΟΤΟΒΛΘΗ0Η 0CnOJH>3OBHBa0TCH Jiyq HA0PHHXBaCT0H C ΟΒΘΗΒ MaJIUM ΚΟθφφ0Η00ΗΤΟΜ paCC00BaH0B HanpaBJI0HKOCT0.Οτητκοτκβθοκη pacnp0#0JiaeMoe paccTO^Hne Masay οτβθροτηλμη hΑΗΘΜΘΤρ OTB0PCT0S BHÓ0paeT.CB COOTB6TCTB0HHO B Πρθ,ΙζθΛΘΧοτ 0,5 pfl 2 mk. TaKKM odpa3OM b cbb3H c MacurradoM H3oópa-xeHHB b npesexax ot 10:1 0 b 3aBHC0MocT0 ot paspainaiomeiicnocodHocTH npo8KH0OHHoro annapaTa οτθηοβητοβ bo3mojshhmΠθρδΚρΗΒ3Η0θ ΠθρθΜΗΒΘΚ ΡΘΠ18ΤΚ0 Ha Κρ0ΟΤΘΟΘ. OT MHOrOKpaTHOrO 3ΚΟΠΟΗ0ρθΒ3Η0Β Πρ0 ΟΜΘΙ40Η00 M3GK0 0□JiaCTHHH OTHOC0T0JIBHO flpyr Apyra MOEHO 0ΤΚ338ΤΒ0Β 0 T3K0MOdpa3OM no;tp03aHHH0 OTB0PCT0B ρθΜΘΤΟΚ ΠρΗΒΟ,ΟΗΤ yjK0 T0J1BK0κ wepoxoBaTOCTB κροΜοκ Ha κρκοτβΛΛβ, pa3Mepa κοτοροδΟΠρθ£0ΛΒΚ)ΤΟΗ MaCIDTadOM 03OdpaX0H0fl 0 CyiÝiMOÍÍ, noaCB0THBa0MOfi03 AHaMGTpa OTB0pCT0fl 0 KO3$X'0H00HTa IUOTHOCT0 C0KC0d0JIH3aií000 jtoT0poB3H0H. TaK KaK· MOKHO HcxoflKTh ot cymacTByioiuero madjiona, 245264 -6- κοτορυΰ μοκθτ oTOópaxaTBca HanpHMep nyT0M θλθκτροηηο-^ηθβογο3KCnOHMpOBaHHH 0Λ0 3ΚΟΠΟΗ0ρθΒΘΗ0Η 0OHKHMH JiyHaMH ÓOJIBUlOfinJIOmaAH ΛείΚΟΒΟΓΟ ΠΟΚρΗΤΗΒ HJIH MSTepnaJia C ΗΘΓ3ΤΗΒΗΗΜ0 cboS—CTB3M0 0ΟΗΗΟΓΟ ρθ3Η0ΤΘ Ha ΠΟΑ,ηΟΧΚΘ ηοοητθλη C υθΛΒΚ) ΠΟΛ^ΊΘΗΚΒMacKa rajiBBaHHHecKHM nyTBM, otíHapyjKHBaeTCB τολβκο HecynecT-βθηηοθ yBQjiHaeHHe oóiBwia HH$opwiaií00, npaflHa3HaaeHHHXΛΛΒ ΠρΟΘΚΙίΚΟΗΗΗΧ CTpyKTyp. οόθΟΠΘΗΘΗΗΗ ΗΘΟόΧΟηΗΜΟίyCTOMHHBOCTH Η ΟΠρθΑβΛβΗΗΒ CTpyKTypH MaČKH ΒΗΓΟηΗΗΜΗoxa3ax0CB ηηκθπθρθηηολθηηηθ onepauHH τθχηολογηηθοκογοnponaóca: a/ Η3ΗΘΟΘΗ0Θ CJIOH pHCTOHa TOM10HOŽ OT 5 .no 10 MK HaajiaKTponpoBonamyio nojvioatKy; 0/ ocaaneHMe cnoa 03 nByoKHCH κρθμηηη Ha noncnoSKy pucTOHa; b/ ηθπηλθηηθ nonyHeHHoro sxeKipoHHO-nyHeBHM chocoóom cjioh03 ηθγθτηβηογο $οτορθ30οτθ Ha noncnoilKy 03 nsyoKHCHΚρβΜΗ0Η; r/oToópa:x3H0a CTpyKTypH ot noxyίθηκογο no τθχηολογηη HAflpHHX $0JIBTpOB UiatíXOHa ΠΟΟρθίξΟΤΒΟΜ ΘΛΘΚΤρΟΗΗΟ-^’ΊΘΒΟΓΟ3KCQOH0pOBaH0H Ha Λ3ΚΟΒΟ0 ποκρΗΤΗβ; Λ/ ΒΟΚρΗΒΗΗΗΘ ΠθηθηθίΐΚ0 03 nsyOK0C0 ΗρβΜΗΗΗ MSTOflOMΤΡΘΒΛΘΗΗΗ Ο ΗΟΠΟΛΒ3ΟΒ3Η0ΘΜ ΗβΓΘΤΗΒΗΟΓΟ φθΤθρθ30ΟΤΘβ κθβθοτβθ anre30OHHOit μθοκη; θ/ ynaneH0^t>CTaTKOB ηθγθτηβηογο φοτορβθΗοτβ »/ ΠθρθΗΘΟΘΗ0β OÓpa3OBaHHH-X Πρ0 ΠΟΜΟΙΙΙΗ CJIOH 03 fljíyOK0CH ΚρβΜΗΗΒCTpyKTyp Ha cnofi ρηοτοηθ 0 ynaneHne no οοηοβθηηη ποηηοκκπnpn noMomn peaKTHBHoro ynaJieHHH τρθβλθηηθμ hohhhmh jiyHawc 0cnoji£3OBaH0eM nyna KHcnoponHHX 0OHOb; 3/ ynaneHHe οοτθτκοβ ολοη nsyoKHCH κρθμηηη; 0/ ΓΘΛΒΒΘΗΗΗΘΟΚΟΘ BHpaiH0BaH08 Η0ΚΘΛΗ . Ha axeKTponpOBOnameiiποηηοχκθ no tojduhhh cjiob ρηοτοηοβογο ποκρητηη :</ Η3ΗβοβΗ0β 0 cTpyKTypHpoBaHHe cjioh $oTopa3HCTa b paMKaxΠΟΛΟΚΗΤΘΛΒΗΟΓΟ 0ΛΗ ΗΘΓ3Τ0ΒΗΟΓΟ ΠρΟΠβΟΟΘ C H6JILB OÓHaX0H0fl30H P0CTOHOBO?: ψΟΛΒΓΗ C ΗΗΚβΛΘΒΟϋ ΠρθΠ0ΤΚθ3, Ha KOTOpHXnpSnyCMaTpHBaeTCH ΗΟΚΛΒΗΘΗΗβ ΠρΟΗΚΚΗΟΒΘΗΗΛ ΘΛβΚΤρΟΗΟΒhjih 0ohob β noJiynpoBonamHtf MaTepiian; 245264 -Ί- κ/ ΠβΟΑΟΛΚΘΗΚΘ OnepaUHH raJILBaKH^eCKOrO BHpaiUHBaHHB ΗΗΚΘΛΗHa ΟΛΟΛΘΗΚΗΧ 3ΟΗ8Χ M3CK0 BILHOTHy® flO OÓpa3OBaH0H ΗΘΠρΟ-ΗΗΗΘΘΜΟΓΟ ΛΛΗ HOHOB CJlOa ΗΗΚΘΛΗ; λ/ ϊΑευιβΗΐΐθ octstkob φοτορθ30θτθ; m/ βηηημθηηθ ποαλοκκη; α/ βηη0Μ3Ηηθ octstkob pncTona; o/ 3axaTHa ňKCTaHHHOHHoa msckh b paMy B 0ΟΛΘΘ BHrOflHOá ΜΟΑΗφΗΚΘΠ,ΗΗ ΠρΟΠΘΟΟΘ, ΓΑθ H8Cymafl ρθΙΠβΤΒΘΤβΒcTpyKTypa nojiynaaTCH nyTSM τρθβκθηηβ npoxoftamero no BceftΠΟΒθρΧΗΟΟΤΗ 0 H03T0My Μ6Η0Θ HOftBepraeMOrO ΠΟΒρθΧΑΘΗΗΗΜ3ΛθΚτροΛ0ΤΗΗβοκΗ ocaamasMoro cjiob, βμθοτο BunieynoMHHyTHXτθχηολογηηθοκηχ onepaunS, nepeBHCJieHHHx πόα nyHKTaMH a/ ao 0/npeAycMaTpHBaiOTCH cjiQAyíomHe: al/ ΟΟΘΗΑθΗΗβ ΠθρΒΟΓΟ ΟΛΟΗ Η0ΚΘΛΗ Η8 ΠΟΑΛΟΧΚΘ, ΗΘΠρΗΜθρ03 ΚρθΜΗΗΒ 0ΛΗ 8ΛΚ)Μ0ΗΗΗ ; 01/ ΗΗΗθΟθΗΗβ pHcyHKa Ha cxoS 03 ηηκθλη;

βΙ/ πβρδΗθοβΗΗβ cTpyKTypH pacyHxa Ha ηηκ6λθβη3 ολοΒ μθτοαομΤρθΒΛΘΗΗΗ, np80MymeCTBQHHO ΜΘΤΟΑΟΜ ΤρβΒΛΘΗΗΗ ΗΟΗΗΗΜ0jiynaMH rl/ yAaneHHe pHcyHKa..

JpLH ΤΟΓΟ, HTOÓH Αθ^^Τ^θΛ yxyW0HKOrO ΚΟΗΤρΟΛΒ COOTHOHIQHHfi1U0P0HH ΠβρβΜΗΗΘΚ 0 BHyTpeHHHX ΑΗθΜβΤρΟΒ ΟΤΒβρδτΗΗ 0 θόβΟΠΘΗ0ΤΒΤΘΜ CSMHM 0ΟΛ80 BHCOKyiO yCTOftHHBOCTB MaSKH ΘΑΘ 0AH3 APyrBHΜΟΑ0$0ΚΘΠ0Η 03OÓp0T0H0fl np0AyCMaTp0Ba0T ΒΜΘΟΤΟ ΟΠΗΟΘΗΗΗΧb KaaajiBHoa aacTH onepanHíí a/ no 0/ cjieAyiomyio nponSAypy:a/2/ η3ηθοθη0Θ pacyHKa Ha noAJioaKy

02/ προΑΟΛΚθΗΗβ nponecca oOAyHeHM aacTHnaMH ηαθρηογο sapHAa»OoMOapA0pyeMHM0 Ha noAnosocy ao oópa3OBaHHH Ha ηθθ bnOCX0Aym0M njtOqaAOK /το-θοτβ "octpobkob"/ CO ΟρβΑΗΗΜΑ03ΜβτροΜ OT 0,2 AO 1,5 MK b2/ Γ3ΛΒΒ3Η0Η0ΟΚΟΘ ΒΗρβΑΗΒΘΗΗΘ Η0ΚΘΛΘΓΟ ΟΛΟΗ ΠΟΙφΗΤΗΗ 245264 ΠρκίΜβρ peajiH3aiinn: Ηθθ ΠρθΑΟΤβΒΛΒΘΤΟΗ ΠΟΗΟΗΘΗ0Θ ΟΜΗΟΛβ 03ΟόρβΤΘΗ0Η Ha OCHO-Β3Η00 npHMepOB p0aJIH3aHHH. CTpyKTypa niaÓjioHa /c pHcyHKOM/ c xapaKTepoM ΗΑθΡΗΟΓο φιυΐΒτρβ/“Φολβγθ Tuna "HyKJianop"/, HMeiomaa ορβΑΗββ paccTOBHtie Mosmy

BHyTpQHHHM ΑΜΗΜΘΤρΟΜ OTB8pCT0Ž B Πρθ/ξθΛβΧ OT 0,8 flO 1,2 MK,nepeHOCMTCB npa πομοιιιη θλθκτροηηο—jiyneBo® θκοποθηηηοηηο®yCT3HOBK0 Ha ΠβρΒΗΖ CaMHfi BSpXHH® ΟΛΟ® ΗΘΚΘΟΘΗΗΟΓΟ 9A8KTpOH—HO-AyH8BOIO. CJIOH φθΤθρθ30ΟΤΘ ΠΟΟΛΘΑΟΒΘΤΘΛΒΗΗΧ ΟΛΟΘΒ ΠΟΚρΗΤΗΛφοτορβ30θτοΜ, κοτορκ® ημθθτ CASAyamyio CTpyKTypy: ΠθΛΛΟ2ΕΚθ, npeKMymeCTBGHHO 03 ΚρβΜΗΗΒ 0Λ0 8ΛΚ)Μ0Η0Η , ρΗΟΤΟΗΘC ΤΟΛΠ(ΗΉΟ® OT 5 AO 10 MK, ΗΘΗΘΟΘΗΗΗ® 9ΛΘΚΤρ0ΗΚ0-Λ;νΗβΒΗΜCnOCOÓOM ΗΘΓ8Τ0ΒΗΗ® φθΤθρβ30ΟΤ. JUfl 9ΚΟΠΟΗ0ρθΒΘΗΗΗ 9ΛΘΚ-ΤρΟΗΗΟ-Jiy^eBOrO φθΤθρθ30ΟΤ8 BHÓapaaTCH CaMHŽ ÓOABfflO®ρβοτρ 03oópaaceH0H. 9AaKTpoHHQ-AyT38BoS 9Κοπο3ηιϊ0Οηηο®ycTaHOBKH / β 0ολβπι0ηοτβθ cjiy^aeB XO mk/. CTpyKTypaφθΤθρθ30ΟΤβ ΠθρβΗΟΟΗΤΟΒ ΜΘΤΟβΟΜ ΠΛΘ3ΜβΗΗ0-ΧΗΜΗΒ80Κ0Γ0ΤρθΒΛΘΗΗΗ Ηβ ΗΘΗΘΟΘΗΗΗ® ΚΘΤΟΑΗΗΜ ρθΟΠΗΛΘΗΗΘΜ ΟΛΟ® 03AByOKHCH ΚρβΜΗΗΒ, CAysaiHH® M3CK0® Ο ΤρβΒΛΗΗΗΗΜ pHCyHKOMΑΛΗ P0CTOHOBO® ΠΛβΗΚΗ. ϋβρθΗβΟΘΗΗΘ CTpyKTypH pHCTOHOBO®ΠΛβΗΚΗ npO03BOA0TCB HOHHO-Jiy^QBHM Τρ3ΒΛΘΗ0βΜ Πβ0 ΠΟΜΟΠΙΗKHCAopoAHHX 0ΟΗΟΒ. Β noxyneHHofi τθκημ chocoóom CTpyKiypeρβωβτΉθΤθΗ MaoKa BupaniKBaeTOH γθλββθηηηθοκη αο τολληηηPHCTOHOBO® ΠΛβΗΚΗ. 3βΤΘΜ Ηθ OÓA83K8HHyiQ P0CTOHOBHM 0Η0Κ8ΛΘΒΗΜ ΠΟΚβΗΤΗΘΜ CTOpOHy ΠΟΑΛΟΚΚ0 ΗβΗΟΟΗΤΟΗ ΟΛΟ® 03θΛΘΚΤρΟΗΗΟ—AyHaBOrO ΗΘΓΘΤΚΒΗΟΓΟ φθΤθρβ30ΟΤβ /ΤΟΛΒ10ΗΟ® OT I Αθ 2 ΜΚ/ 0 Ha 9Τ0® ΟΛΟ® ΠΟΚρΗΤΗΛ ΠβρθΗΟΟΗΤΟΗ Πρ0ΠΟΜΟ1Ι10 ΘΛΘΚΤρΟΗΗΟ—AVHSBHX 3ΚΟΠΟ30Α0ΟΗΗΗΧ yOTaHOBOKΠρΟΘΚΗΗΟΗΗΗΘ CTpyKTypH. Ho ΟΚΟΗΗ8Η00 Βτορο® onepauHHraABBaH03an0H oópa3OBaACH τοηκη® ολο® ηηκθλη HapainemaTo® /"οοτοΒο®" / Μβοκβ, ο0βθληκηβθκ>αβ® προβκ— Η0ΟΗΕΗΘ CTpyKTypH. 3θΤΘΜ npO03BOA0TCB τρθΒΛβΗΗβ ΠΟΑΛΟΧΚ00 yAHAaioTCfl οοτθτκε ρηοτηκοβογο ποκρητηη η ολοηφθΤθρβ30ΟΤ3· 245264 -9- 3thm cosflaeTca ycTQíHHBaa flHCTaHiíHOHHafl MacKa, no# otbqpcthhc jnoóoii KOHgjnrypaunaž kotophx noAKJiaAHEaaTCfl peaaraa o hq-pe.ryjiapHož KOH^HrypapMeň. JXjlh nepeneceHHH προβκρΗΟΗποβ cípyK—Typu b TexHOjiorjjaecKHň cjioíÍ ocymecTBJíaeTCB 0HS0BHAyaABHO8OdjLyqQHHQ npn UOMOIUK npO0KH0OHHOS yCTaHOBKH. Πρκ 9T0M Πβρβ-muhkh Mex,ny pameTKaME πβρβκρΗΒθίοτοΗ ayaaMH. IIo3HH0OH0poBaHHeπροθκΐξΜΟΗΗΗΧ crpykTyp Ha HeperyjiHpHyio KOH$0rypau0io ρβηΐθτκπκθκρ0Τ0ΐΗθ. SosHHKaromaa uiepoxoEaTocTB κροΜοκ AonycKaeT03ΓΟΤΟΒΛΘΗ0Θ CXfiM C BHCOKOÍi ΟΤβΠΘΗΒΪΟ 0HTerpaH00. Οόϊ,βΜ0HiopMapH0, κοτορυΜ c pejiE® oToppaMHHH ρθίπβτκη αολ&amp;θηΑΟΠΟΛΗΗΤΘΛΒΗΟ OÓpadaTHBaTBCH H3 yCTSHOBKe jyiH 9KCnOH0pOBaH0flΘΛβΚΤρΟΗΗΗΜΗ AyH8M0, ΗΘ Πρθ,ϋ,ΟΤΘΒΛΒΘΤ ftJIfl yCTaHOBKH Η0ΚΘΚθίcymecTBeHKOíi Harpy3K0.

OcodeHHO BHroflHHM πρθΑοτθΒΛΒδτοΒ nepeHeceHne CTpyKTypamaÓJiOHa npH uomoiuh hohehx xyne2 Ha HyBCTBMTejiBHOM κ hohhhmjiynaM ηθγ3Τ0βηομ $OTope3HCTe, τθκ κθκ θκοποηηροεθηηθ hohhhmhAynaMH AonycKaeT noBHmeHHyio no cpaBHeHHK) c θκοποηηροβθηηθμhohhhmh #ynaM0 pa3peiuaioinyio chocoóhcotb. Boje oaho yjiyHiueHHeΤβΧΗΟΛΟΓΗΗ CiaHOBHTCH BO3MOJKHHM ΠρΗ yCJIOBHH AOÓaBKHMOJIKÓfteHa ΗΛΗ flpyroro MaTep0aJia BM6CT0 HyBCTBHTejIBHHXΚ HOHHHM JiynaM ΗΘΓΘΤΗΒΗΗΧ $OTOpe30CTOB 0 τρθΒΗΛΒΗΟίί MaCKHHa OCHOBaH00 AByOK0CH ΚρβΜΗΗΗ, ΠρΗΗΘΜ MOJXHÓA8H 0JI0 flpyr06MaTepnajiu od-na^aKiT πρη doMdapsnpoBKe ηοηθμη xapaKiepHCTH-H8CK0M0 CBOĚCTBaMH Η6Γ8ΤΗΒΗΟΓΟ φθΤθρβ30ΟΤ3.

HpHMep peaji03an00 2

Ha noAxo&amp;flmyio nojyioxKy, Hanp-HMep 03 κρβΜΗΗΗ 0x0 θακμηηηβ,ocasAaeTCH nepBHíi cjioh ηηκθλβ tojhuhhom πρπΜβρκο 5 mk, a ββτβΜπρη HOMO1H0 noAxoftamero aAxe30Ba ποα βο3αθκοτβ0θμ ηθκημηογοyc0H0H 0 Tenjia ηθηοοητοη pncynoK. SaTewi TpaBJíeHHeM hohhhmjiynoM πόα ΗθπρΗκβκΗβΜ I kb 0 I mA/cm^ πβρβΗοοητοΗ cTpyKTypaKa ΕΗΚβΛβΒΗΖ CJIOÍÍ. Πρ0 3TOM IUIOTHOCTB T0K8 0 ΗΟΠρΗϋίβΚΗΘAOJIEHH BHÓHpaTECfl E paCHeTS Ha ΗΟΚΛΒΗβΗΗβ ycaAKH 0Λ0pas.".o«eH0H aAxe30OHKOH MacKH 0 οοοτκοπιβΗΗ,β ckopocthTpSEXeHHH TPaB‘HHKe£B/TPaB^Y,0Jli,ra I. B CH8U0pHHHOMCJIJHae XOCTEraiOTCH 54 Ι&amp;’ΰ/ί/.ΕΗ SAS Tpa£JI6EHH HKK8JIH, 245264 -10- ilpH nOMOlUH ΠΟΛΧΟΛΗΠΙΚΧ TpaBlUBHUX ΓΘ3ΟΒ STO ΟΟΟΤΗΟίΙ16Η0θ ΜΟΚΗΟ0ΠΤΗΜΗ3Ηρ0Ε3Τϊ> C T8K0M ρβΟΊβΤΟΜ, HTOÓU COXpaHBOCb ΤΟ.ΠΒΚΟΗΘ3Η3Η0ΤΘΛΒΗΗΘ OCT3TK0 M8CK0 H BTOÓH ΗΘ 0M0JIOCB ΜβΟΤΘ CymeCT-ΒθΗΗΟΘ ΒΗΤΡΘΒΛΗΒΘΗΚΘ ΠΟβΛΟ&amp;ΚΗ.

Hocjie y^afleHUH ocTaBiueííca a,nxe3KBHofl μθοκη μθτολομ πλ33ΜθηηογοTpaBJíeHHB 0Λ0 ΗΘΠρθρΚΒΗΟΓΟ ΗΟΗΗΟ—JiyHCBOIO ΤρΟΒΛΘΗΗΒ Ha 9TypaiueTHaTyio /"coTOByio"/ cípyKTypy κθηοοβτοβ φοτορβ30οτ 0Λ0θΛθκτροΗΗΗΐι ρβ30οτ 0 cTpyKTypa pnoyHKa nepeHocuTca na ολοκpe30CTa 0Λ0 EBTOflOM ΟΒεΤΟΟΠΤΜΗΘΟΚΟΓΟ 0JI0 HOHHO—JiyHBBOIO0ÓjiyHeHHB. Ilocjie θ(5ηηκογο προββλθηεβ 0 3aTBep,n;eBaH0flocymecTBjífleTCB γθλβββηεβθοκοθ ocaameiaae BToporo cjioh ηηκθληTOJiaiaHoS πρπΜβρΗΟ 5 μη. íIOCJIQ yaaJI9H0B ιφθΤθρβ30ΟΤΘ H ΒΗΕ0Μ3Η0Λ ΠΟΛΛΟΚΗΗ ΠρθΑΟΟΤΘΒ-jiebtcb β pacnopaseHEB Hysmafl cBoóo.nHOHecymafl ^ζοτθηηηοηι^ηMacaa. ΪΙρΗίΖβρ ρθθΛ038Ιί00 3

OnncaHřiafl πολ npEwepoM psaxE3au0H I CTpyKTypa nosBepraeTcaΠΟΟΛΘ HaJIOSeHHfl 0CXOflHOS φΟΛΒΓΗ Πρθ,1ξΗ83Η3ΗΘΗΗυΧ flJIfl T3K0Xuejieli b0,hob Φολβγη Ha cooTBeTCTByiomyio no^jioatKy TaKoS odpatíoTKoft,a το οο3Λ8ΗΗΗβ ηαθρηημ 03JiyHeH06M-"flupu" pacnjiaBJUWTCfl, a HaΠΟΛΛΟΕΚβ QCTaiOTC# HJIOma^KH φΟΛΒΓΗ C ,H03M0TpOM OKOJIO I MK, 3aT6M Γ3Λ£Β3Η0Β6CK0M nyTeM HaHOC0TCfl ΠβρΒΗΪί CJIOS H0K0JIBTOJUH0HO0 OKOJIO 5 MK, T3K, BTO 00ρ33ΟΒΗΒ3ΘΤ0Η ΓΛΘβΚΘΗnOBepXHOCTb /C8TB 03 H0K8JIA C φθΛΒΓ08ΒΗΜ0 IUlOma&amp;KaM0/. 3aTe:.l HaHOCETCfl φθΤθρβ30ΟΤ HJIK 9Λ8ΚΤρθΚΗΗβ peSHCT, npHWj!CTpyKTypa pncyEKOB nepeHocHTca no BanieyKa3SHHOM ΜβτοκΒΚβ. •flocxe rajií>BaH0H6CKoro ocaameHEa BToporo cjioe ηεκθλα no.njiosKa0 OCT3TK0 φθ3ΙΒΓ0 ynaJLAIOTCfl B COOTBSTCTB00 C np0M8pOM peajin-saií0H 2. 245264 -11-

OOPLiyjíA M30BPBTJS1IIÍH í. Cnocoó μ3Γοτοβλθη&amp;3 cBoóoflH^áabymaži ^,ηο^θκκ^ϊοηηομ. i^přKHjyia yMeHtiuaioiHHX npoeKaaoiHiai sMffiM'·’ a&amp;ny Waejj .qacvm,ΠρκηβΜ Ha 3Λ8ΚΤρθΠρθΒΡΛΗ1Ιΐ42 ΠΟ,ψΚΜΚΚβ Ι^ΛΒΒΘΗΗΤββΚΒΜnyiewi co3flaeTca cjioS ηβκθλη c λοοτθτο^ηο tohkoa CTpyKTypoa,πρίπθΜ aTa CTpyHiypa reHepapyeTCH npa πομοιπβ maójiotia aMHHHMyM ΟΑΗΟΓΟ ΒΟΠΟΜΟΓΘΤβΛΒΗΟΓΟ CJIOH, C HOCJIQ,qymi0Mκθηθοθημθμ W30Jiapyiomero noKpHBaiomero cjioh, na κοτορκ#HaHocaTCfl CTpyKTypa pacyHKa a b kotopbm npo,no®ÍtaeTCflnponecc raJIBBaHH3aUHH, T8K nTO ΠΟΟΛΘ ΟΤΛβΛβΗΗΒ C0CT8MHηηκθλθβηχ cjxosb οτ no.nnoxKa a y^ajieHHH οοτθτκοβ H30JiyiomeSπροοΛοφκΗ nojiyHeHHaB MacKa 3axHMaeTca b pawy, xapaKTepa- 3.yiomHKCH τβΜ, hto RJia oópa3OBaHafl ρβωβτκΒ πρβμθηηθτοβmaÓjioH iana BflepHHX Φηπβτροβ, κοτορυϋ odjia^aeT οτθτβ-οτβηθοκβ pacnpe,nexeHHHMH nopaMa, λβθμθτρ P κοτορυχc KOMÓBHaitBB c MacniTaóOM yMeKBmeHBH M npoeKUBOHHoaοηοτθμη c Hexy^eHaeM nacTan oóecnenaBaeT BexaaaHyb npe^ejiax οτ P/M = 0,05 ... 0,2 mk a cpoipee paccTOHHaeKOTOpHX C0CT3BJIfl8T MaKCBMyM 0,2 MK. 2. Cnocoó Β3ΓΟΤΟΒΛΘΗ0Η CBOÓOflHOH8Cym8ÍÍ AKCTaHXtaOHHOÍi M3CK0corjiacHO nymcTy I, xapaKTepa3yioinaňcfl cxejiyiomaMH tqxho-xoraHecKgMB onepananMa: - HaHOceHaa cjioh pacTOHa Ha ojxeKTponpoBOňamyK) nofljiozKy, - ocaHAeHaa cjioh as flByoKaca κρθμηηη Ha cjiok pacTOHa; - ocaxReHaa nojtyHemioro οπθκτροΗΗο-^ηβΒΗΜ chocoóomολοη HeraTBBHoro $0T0pe3BCTa na cjioíž B3 JtByoKacaΚρθΜΗΗΛ; - πβρβΗβοθΗΒβ CTpyKTypá madjioHa npa πομοπιη ycTpoScTBajyifl 3KCIIOHHpOBaH0H ΘΧβΚΤρΟΗΗΗΜΒ JiyHaMB Ha CJIOH B3ΗΘΓβΤΗΒΗΟΓΟ ČýOTOp630CTa; - ΒΟΚρΗΒΘΗΒβ CJXOB B3 flByOKHCH ΚρβΜΗΒΗ ΜβΤΟίζΟΜ ΤρβΒΛΘΗΒΗC ΗΟΠΟΛ£3ΟΒ3Η06Μ ΗβΓ3Τ0ΒΗΟΓΟ $OTOp830CTa Β ΚΘΒΘΟΤΒΘθλχθ3βοηηο2 MacKa; - yCTpaH6HH0 0CT3TK0B ΗΘΓΘΤΒΒΗΟΓΟ $>OTOpe3HCTa - ΠθρθΗΘΟβΗΒβ C03flaHHOÍÍ 3 a ΟΊΘΤ CJ10H 03 AEyOK0C0 KpeMHBflCTpyKTypa Ha cjiofl 03 pacTOHa 0 orojieHae λο ocHOEaHaa

nójyiojKKa μθτο^ομ peaKTBBHoro TpasJíSHaa hohkhmh jiyHawiaC 0ΟΠΟΛΒ3ΟΒ3Η0βΜ ΠΟΤΟΚΘ #yH6ÍÍ ΚΒΟΛΟρΟΛΗΗΧ BOHOBJ 245264 -12-

- yCTp&amp;H0H00 ΟΟΤΘΤΟΊΗΟΓΟ CJIOH 03 AByOKHCH KpeMHHflJ - rajiLBaHwqecKoe βηρθηιηβθηηθ ηηκθλβ ηθ θΛθκτροπροΒΟΛΒίΐξθίίnOftJIOJSKO AO TOJHH0HH Ρ0ΟΤΟΗΟΒΟΓΟ cjioh; - Η3ΗΘΟ0Η0Θ 0 CipjKTypBpOBaHHe ΟΛΟΗ ($OTOp03HCTa B ΠΟ30-THBHOM 0 ΚΘΓΘΤΗΒΗΟΜ ΠρΟΗβΟΟΘ} - προΑΟΛΒΰθΗΗθ npoitecca rajiBBaHH^ecKoro BupamHBaHKa ηβκθληHa ΟΓΛΟ0ΗΚΗΧ 30ΗΘΧ MaCK0; - y#a&amp;eHH3 oct3tkob $OTop030CTa; - ΒϋΗΗΜΘΗΗΘ ΠΟβΛΟ^ΘΚ; - y.najieHH0 οοτθτκοβ pHCTOHa; - 33ΚρθΠΛΘΗ0β flHCTaHUHOHHOň M3CK0 B paM0. 3. Uponecc ooraacHO nyHKTy 2, xapaKT0p03yiom0ficfl τθμ,hto CTpyKTypa uiaójioHa πθρθηοοητοη μθτολριλ ηοηηο-^ηθβογοSKCHOHHpOBaHOfl Κθ CJIOft ΗΟΗΗΟ-^ΘΒΟΓΟ Η6Γ3Τ0ΒΗΟΓΟ φΟΤΟ-pesMcra. 4. Upouecc corjiacHO nyHKTy 3, xapaKTep03ymin0fica τθμ, bto CTpyKTypa madjioHa πθρθηοοητοβ ηθ Μθτβρκβπ co οβοΚοτβθμηpe30CTa 03 0ΟΗΗΟΓΟ ΗΘΓβΤΗΒΘ, ΠρβΗΝ^ΙξθΟΤΒβΗΗΟ 03 MOJI0tífl;0Ha. 5. Cnocoó coiuiacHO nyHKTy I, xapaKTepHsymmaficH ηηχθ-cjie,nyioiuHM0 τθχηολογηβθοκημη onepamwMH: - ocaameHHe nepBoro ολοη ηηκθλη Ha nojyioacKa, npeHMymacT-ΒΘΗΗΟ 03 KpQMHHB 0JI0 ΘΛΙΩΜΗΗΠΛ; - KaH0C6H08 pncyrKa maóJiQHa Ha cjioů 03 ηηκθλθ;

- αθρ6Ηθθ6Η0β CTpyKTypa pHcyHKa uiaójioHa Ha cjioiI 03 ηβκθλημθτολομ TpaanenHB, npaííMymecTBOBKo ηοηηο-^ηθβογοTpaBJXGHHH - yAaa0H00 uiaÓjioHa - y^aJIGHHO CJIOH 03 $OTOp03HCTa 0JI0 SJIGKTpOHHOro p030CTa - πβρθΗθθθΗ00 CTpyKTypa pHcyHKa Ha cjioň φοτορθβΗοτθ 0 .npOBBJX0H00 . - γθλββθκοθοκοθ oosa^eHUS BToporo cjioh ημκθλη - y^aaaHHG &amp;oTopc30CTa 0 πο^λοηκη. 245264 -13- 6. Cnocoó corjiacHO nykKiy I, xapaKTep03y»m0iíCB cnenywMnΤΘΧΗΟΛΟΓ0ΗΘΟΚ0Μ0 OH0paU0flM0Í - ΗβΗθΟθΗκβ pncyHKa maÓjiOHa Ha nojviOHacy; - ΠρΟΑΟΛΧΘΗΠΘ npOIÍQCCa OÓJiyHeHHH /($OMÓapS0pOBK0/ Hfl0pHHM0HacTima&amp;ra, noKa Ha πολλοχκθ hq ooTatorcn Φολβγηθβηθiuioma^KH co ορβΛΗθβ rpaHyjwií06ií HacT0D[ b npenenax ot0,2 ..,1,5 mk; - rajn>BaH0^ecKoe BHpamHBaHHe πθρβογο cjiob ηηκθλβ; - HOJiyHeH00 CJIOB φθΤθρβ30ΟΤ3 0Λ0 3Λ6ΚΤΡΟΗΗΟΓΟ pe30CTa; - πθρθΗβοθΗΗθ cípyKTypH pncyHKa Ha cjiož $OTope30CTa hΠρΟΗΕΛΘΗΗβ; - raJiBBaHHHecKoa οοθκλθηηθ BToporo 'cjioh ηηκθλβ - yaajieH00 φοτορθ30οτ3, nojyiosKH a οοτθτκοβ Φολβγη. 7. Cnocoó no nyHKTaM 2,5 0 6, xapaKTep03yiom0íic.fl τθμ, HTO TOJBUHHa ΠΟΚρΗΤΗΗ ΠθρΒΟΓΟ ΟΛΟΗ Η0Κ6ΛΗ ΜΟΚΘΤCOCT3BJI3Tp.HO ΙΟ-KpaTHOiJ ΒΘΛΗΗΗΗΗ ΒΤΟρΟΓΟ CJXOflηοκρκτ0Β· 245264 -14-

AHHOTaUHH

HacTOflmee 03θΰρθτβΗ0β KacaeTca cnocoóa HaroTOBJíeHHH cboóo,hho-HBCymeli flHCTaHUUOHHOň ΜΘΟΚΗ npO3KU0OHHOS C0CT3MH PJIR H3Jiy-ΗΘΚ0Η HaCTMIÍ, KOTOpaS B HaCTHOCT0 ΠρΚΜβΗΒΘΤΟΒ £ΛΗ 03Ó0pa-Τ6ΛΒΗ0Γ0 CTpyKTypHpOBaHHB h/hjIH ΑΟΤΗρΟΒΘΗΚΒ B ΠρΟΗΘΟΟΘ03ΓΟΤΟΒΛΘΗ0Β CX3M C BHCOKOÍÍ ΟΤβΙΙβΗΒΙΟ ΗΗΤΘΓρβΗΗΗ.

Ueju> 0 3a,naBa 03θόρβτβΗ0Η cboahtch k TOMy, htoóh ocymecTBJíHTBnponecc 03Γοτοβλθη0β MacoK προοτο2 0 9KOHOM0H3CK0 flonycHaeMoSΤΘΧΗΟΛΟΓΗβΛ ΗΘΟΜΟΤΡΒ H8 TpeÓyeMylO BHCOKyíQ ΟΤΘΠβΗΒ 0HTerpau000 H8oóxoí;0Myio TOHUHy cTpyKTypu ρβωβτκΗ.

Hp0 3TOM ΠΟΛ ΟΤΚρΗΤΗΘ 3OHH M3OK0 ΠΟΛΚΛΘ,ΙξΗΒΘβΤΟΗ ρβΙΠβΤΚΘ,peajiK3aii0H κοτοροί TpedyeT pncynaK, oóbsm 0H$opMan00ΚΟΤΟρΟΓΟ Ηβ ΛΟΛΚβΗ ΠρβΒΗΙΙΙβΤΒ TOT OÓBQM 0K$OpMaií00, HOTOpUftnojuaeTca HaflesHOfi oópaóOTKe Ha ycTponcTBe ajih βκοποηηροβθηηη B ΟΟΟΤΒΘΤΟΤΒ00 C 03Ο0ρθΤ9Η0ΘΜ Ha ΠΟΑΠΟ2£Κβ ΟΟβΚβθϊΟΤΟΗ CJ1OHc pa3HWH xapaKTep0CT0H8CK0M0 οβοΒοτβθμη, κοτορΗβ CTpyKTy-pKpyQTca κ 33τθμ y^ajiaioTCB ηβοτη^ηο ηλη hojihoctbd nonojiyHeHHa nojyiojKeHHOži ycTOiiHHBOii μθτ8ΛΛ0ηθοκο8 ρβωβτκοΐίcTpyKTypu μθοκη Ha nojyiaoe, πρπιβΜ ajih oópa3OBaHHHCTpyKTypu ρθιιιητκη πρπωβΗΗβτοΗ c neiina jibhhíí pncyHOK maÓJiOHaTHna ΗβθρΗΗΧ φ0ΛΒΤρθΒ CO ΟΤ8Τ0ΟΤ0ΊβΟΚ0Μ ρθΟΠρβΛβΛβΗΗβΜπορ. 245264

Claims (7)

15 245264 PfiEDíiÉT VYNÁLEZU

1. Způsob zhotovení volně nesené dálkové masky pro zmenšující projekční soustavy s vyzařováním částic, přičemž na elektricky vodivé podložce se galvanicky vytváří vrstvaniklu s dostatečně jemnou strukturou, přičemž tato struktura se generuje pomocí šablonya minimálně jedné pomocné vrstvy, s dalším nanášením izolační krycí vrstvy, na kterouse nanáší struktura obrázku a ve které pokračuje proces galvanizace, poněvadž po oddělenísoustavy niklových vrstev od podložky a odstranění zbytků izolační mezivrstvy získanámaska se upíná do rámečků, vyznačující se tím, že k vytváření sítky se používá šablonatypu jaderných filtrů, která má staticky rozdělené póry, jejichž průměr P v kombinacis měřítkem zmenšení lil projekční soustavy s vyzařováním částic zabezpečuje hodnotu v me-zích P/íii = U,05 už 0,2 a jejichž střední vzdálenost tvoří maximum 0,2 ^Um.

2. Způsob zhotovení volně nesené dálkové masky podle bodu 1, vyznačující se tím, ženásledující technologické operace jsou: - nanesení vrstvy ristonu na elektricky vodivou podložku, - nanesení vrstvy kysličníku křemičitého na vrstvu ristonu, - nanesení získané elektronovým způsobem vrstvy negativního fotoodporu na vrstvu kysliční-ku křemíku, - přenesení struktury šablony pomocí elektronového expozičního zařízení na vrstvu z ne-gativního fotoodporu, - odkrývání vrstvy z kysličníku křemíku způsobem leptání s využitím negativního fotoodpo-ru jako adhezní masky, - odstraňování zbytků negativního fotoodporu, - přenášení vynořené, díky vrstvě kysličníku křemíku, struktury na vrstvu z ristonu aodleptání až na základ podložky způsobem reakčního leptání ionizačními paprsky s využi-tím toku paprsků kyslíkových ionů, - odstraňování zbylé vrstvy kysličníku křemíku, - galvanické pěstování niklu na elektricky vodivé podložce do tloušíky ristonové vrstvy, - nanášeni a strukturování vrstvy fotoodporu v pozitivním a negativním procesu, - pokračování procesu galvanického pěstování niklu na odleptaných místech masky, - odstraňování zbytků fotoodporu, - vyjímání podložky, - odstraňování zbytků ristonu, - uohycovéní dálkové masky do rámečků.

3. Proces podle bodu 2, vyznačující se tím, že struktura šablony se přenáší způsobemionizačního exponováni na vrstvu ionového negativního fotoodporu.

4. Proces podle bodu 3, vyznačující se tím, že struktura šablony se přenáší namateriál s vlastnostmi odporu z ionového negativu, především z molybdenu.

5. Způsob podle bodu 1, vyznačující se tím, že níže uvedená technologická operace jsou - nanesení první vrstvy niklu na podložku, především z křemíku nebo hliníku, - nanesení obrázku šablony na vrstvu niklu, - přenesení struktury obrázku šablony na vrstvu z niklu leptáním, především ionovým leptá-ním, - odstranění šablony, - odstranění vrstvy z fotoodporu nebo elektronového odporu, - přeneseni struktury obrázků na vrstvu fotoodporu a vyvolávání, - galvanické nanesení druhé vrstvy niklu, - odstraněni fotoodporu a podložky. 245264 16

6. Způsob podle bodu 1, vyznačující se tím, že následující technologická operace jsou - nanesení obrázku Šablony na podložku, - pokračování procesu ozařováni jadernými částicemi, pokud na podložce nezůstanou foliovéplochy se střední granulací částic v rozsahu od 0,2 až 1,5 mkm, - galvanické pSstovánl první vrstvy niklu, - získání vrstvy fotoodporu nebo elektronového odporu, - přenesení struktury obrázku na vrstvu fotoodporu a vyvolání, - galvanické nanesení druhé vrstvy niklu, - odstranění fotoodporu, podložky a zbytků fólie.

7. Způsob podle bodů 2, 5 a 6, vyznačující se tím, že tlouSlka povlaku první vrstvyniklu může tvořit až do desetinásobku hodnoty druhé vrstvy povlaku. Uznáno vynálezem na základě výsledků expertizy, provedené Úřadem pro vynálezectví apatentnictví, Berlín, DD, Severografia, n. p„ MOST Cena 2,40 Kčs