CS206490B1 - Posuvné vypařovadlo ve vakuotěsném nemagnetickém obalu pro vypařování látek ve vakuu nebo atmosféře plynu - Google Patents
Posuvné vypařovadlo ve vakuotěsném nemagnetickém obalu pro vypařování látek ve vakuu nebo atmosféře plynu Download PDFInfo
- Publication number
- CS206490B1 CS206490B1 CS916979A CS916979A CS206490B1 CS 206490 B1 CS206490 B1 CS 206490B1 CS 916979 A CS916979 A CS 916979A CS 916979 A CS916979 A CS 916979A CS 206490 B1 CS206490 B1 CS 206490B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- vacuum
- sliding
- contact
- substances
- collector
- Prior art date
Links
- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 title claims 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 title 1
- 239000006200 vaporizer Substances 0.000 claims description 11
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 239000007779 soft material Substances 0.000 claims description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- 239000011364 vaporized material Substances 0.000 description 1
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
Vynález se týká posuvného vypařovadla umístěného ve vakuotěsném nemagnetickém obalu, určeného pro vypařování látek ve vakuunebo atmosféře plynu.
Důležitou součástí čerpacích systémů, n& nichž jsou zhotovovány výrobky vyžadující
...Γ' .
napařdvání, je posuvné vypařovadlo. To umožňuje napařovat žádané materiály na určené místo v evakuovaném prostoru, např. v elektronce, přičemž tato část s napařeným materiálem se nakonec oddělí od čerpacího systému tím způsobem, že vypařovací zdroj zůstává součástí čerpací aparatury. Pro zřejmé výhody tohoto uspořádání je posuvné vypařovadlo běžnou součástí čerpacích aparatur při výrobě optických elektronek, ale i v jiných oblastech vakuové elektroniky. Posuvná vypařovadla mají v současné době některé závažné nedostatky. U vypařovadel, u nichž je proud přiváděn z vnějšího zdroje přes průchodky, se projevuje nedokonalý kontakt mezi pevnou a posuvnou částí vypařovadla změnami elektrického odporu v širokém rozmezí. U vypařovadel, v nichž je proud buzen indukcí z vysokofrekvenčního zdroje, se projevuje nežádoucí ohřev okolních předmětů a obtížnost plynulé a dostatečně jemné rěgulaoe indukované elektromotorické síly.
Tyto nedostatky jsou odstraněny u posuvného vypařovadla podle vynálezu, jehož podstata spočívá v tom, že sestává ze dvou posuvných kontaktních sběračů z magneticky měkkého' materiálu, umístěných uvnitř vakuotěsného obalu a jsoucích v kontaktu s dvěma protilehlými pevnými kontakty, které jsou upevněny na průchozích přívodech elektrického
206 490 proudu, přičemž první sběrač je připojen pomocí vodivého nosiče přes izolační průchodku ke žhavícímu vléknu a druhý sběrač je pomocí vodivého nosiče připojen přes tutéž průchodku ke stínící lodičce a obal je z vnějšku opatřen v místě obou sběračů permanentním magnetem nebo' elektromagnetem.
Výhody i vyšší účinek posuvného vypařovadla podle vynálezu spočívá v tom, že zaručuje spolehlivý elektrický kontakt, dobrou pohyblivost, možnost plynulé a jemné regulaoe elektrického příkonu a tím přispívá ke zvýšení reprodukovatelnosti technologie, přičemž výmět z důvodů nesprávné funkce vypařovadla je prakticky nulový.
Na přiloženém výkresu je sehematioky znázorněno posuvné vypařovadlo podle vynálezu. Ve vakuotěsném nemagnetiekénr obalu 1 jsou v jeho zakončení umístěny dva průchozí přívody 2 elektrického proudu,na kterých jsou připevněny dva protilehlé pevné kontakty 2, Mezi nimi jsou vsuvně uloženy první kontaktní sběrač £ a druhý kontaktní sběrač 11, od kterých vede první vodivý nosič 6 jedním otvorem izolátoru 2 k vláknu 8 a druhý vodivý nosič 10 jiným otvorem izolátoru 2 ke stínící lodičce 2* Vně obalu £ je v místě obou sběračů 4, 11 umístěn permanentní magnet 2» jehož působením jsou.oba sběrače £, 11 přitlačovány k pevným kontaktům 2.
Popis funkces
Intenzita magnetického pole 3 násuvného permanentního magnetu nebo elektromagnetu je v místech prvního i druhého kontaktního sběrače shodná ( s hlediska popisu funkoe ) co do směru i smyslu. Jsou tedy i vektory magnetické polarizace prvního sběrače a druhého sběrače rovnoběžné a mají stejný smysl. Na kontaktní sběrač působí tedy síla tak, že jej přitlačuje k pevnému kontaktu tvořenému pásem z nemagnetiokého materiálu. Tato síla spolu s dostatečnou velikostí styčnýoh ploch a kvalitou jejich opracování zajišťuje dobrý alektrioký kontakt. Velikost magnetického pole 3 je vhodné volit tak, aby jedním magnetem byl zajišťován posuv i kontakt. V případě elektromagnetu je možná volit velikost proudu jinou pro posuv a jinou pro pracovní polohu.
Posuvné vypařovadlo podle vynálezu lze konstruovat i s více než dvěma kontaktními sběrači, tedy několika nezávislými vypařovacími zdroji, případně lze vypařovadlo uzpůsob bit pro automatizovaný provoz pro potřeby vakuové techniky a různých průmyslových odvětví.
Claims (1)
- PŘEDMĚTVY NÁLEZUPosuvné vypařovadlo ve vakuotěsném nemagnetiokém obalu pro vypařování látek ve vakuu nebo atmosféře plynu,vyznačená tím, že sestává ze dvou posuvných kontaktních sběračů (4,11) z magneticky měkkého materiálu, umístěných uvnitř vakuotěsnáho obalu (1) a jsoucích v kontaktu s dvěma protilehlými pevnými kontakty (2), které jsou upevněny na průchozích přívodech (5) elektrického proudu, přičemž první sběrač (4)-je připojen pomocí vodivého nosiče (6) přes izolační průchodku (7) ke žhavícímu vláknu (8) a druhý sběrač ()1) je pomocí vodivého nosiče (10) připojen přes tutéž průchodku (7) ke stínící lodičce (9) a obal (1) jez vnějšku opatřen v místě obou sběraěů (4,11) permanentním magnetem (3) nebo elektromagnetem.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS916979A CS206490B1 (cs) | 1979-12-21 | 1979-12-21 | Posuvné vypařovadlo ve vakuotěsném nemagnetickém obalu pro vypařování látek ve vakuu nebo atmosféře plynu |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS916979A CS206490B1 (cs) | 1979-12-21 | 1979-12-21 | Posuvné vypařovadlo ve vakuotěsném nemagnetickém obalu pro vypařování látek ve vakuu nebo atmosféře plynu |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS206490B1 true CS206490B1 (cs) | 1981-06-30 |
Family
ID=5442944
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS916979A CS206490B1 (cs) | 1979-12-21 | 1979-12-21 | Posuvné vypařovadlo ve vakuotěsném nemagnetickém obalu pro vypařování látek ve vakuu nebo atmosféře plynu |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS206490B1 (cs) |
-
1979
- 1979-12-21 CS CS916979A patent/CS206490B1/cs unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3377576A (en) | Gallium-wetted movable electrode switch | |
| US5523652A (en) | Microwave energized ion source for ion implantation | |
| US4163151A (en) | Separated ion source | |
| EP0269446A3 (en) | System and method for vacuum deposition of thin films | |
| KR890013820A (ko) | 막막 형성 장치 및 이온원 | |
| US2597817A (en) | X-ray tube | |
| US4608513A (en) | Dual filament ion source with improved beam characteristics | |
| EP0622621A3 (en) | Ionization gauge with magnets mounted in opposition. | |
| DE69431129D1 (de) | Ionisator für Zykloiden-Massenspektrometer | |
| TW385477B (en) | Filament for ion implanter plasma shower | |
| US5418348A (en) | Electron beam source assembly | |
| CS206490B1 (cs) | Posuvné vypařovadlo ve vakuotěsném nemagnetickém obalu pro vypařování látek ve vakuu nebo atmosféře plynu | |
| US3202794A (en) | Permanent magnet transverse electron beam evaporation source | |
| EP0463829A2 (en) | Electron beam evaporation source | |
| KR920011295A (ko) | 저전압 아크방전 및 가변자석에 의한 기판가열방법 및 장치 | |
| US4126811A (en) | Electron gun with linear thermionic cathode for electron-beam heating | |
| EP1972701A1 (en) | Sheet plasma film forming apparatus | |
| CN114242549B (zh) | 一种采用物质溅射形成等离子体的离子源装置 | |
| CA1141812A (en) | Glow discharge lamp for qualitative and quantitative spectrum analysis | |
| USRE26392E (en) | Mass spectrometer sample insertion devices | |
| EP1065696A2 (en) | Ion implantation apparatus and ion source and ion source subassembly for use in ion implantation apparatus | |
| GB2278952A (en) | Improvements in or relating to surface ionisation ion sources | |
| US3472999A (en) | Electron beam generating device | |
| US3226542A (en) | Mass spectrometer arc-type ion source having electrode cooling means | |
| US4846953A (en) | Metal ion source |