CN2788345Y - X方向可调节的离子源引出装置 - Google Patents
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Abstract
一种X方向可调节的离子源引出装置，通过固定法兰(4)固定于离子源三通上，丝杆螺母副(12)穿过齿轮传动副(14)中心并固定，齿轮传动副(14)与直流电机(1)转轴接触，这样直流电机(1)的转动可使齿轮传动副(14)转动，并使丝杆螺母副(12)产生水平位移。丝杆螺母副(12)可使与之接触的基座(10)产生水平位移，即而固定在基座(10)中央的连接轴(6)带动安装在连接轴(6)另一端的电极(7)运动；丝杆螺母副(12)另一端与电位器(16)通过连轴器(15)相连，丝杆螺母副(12)产生的水平位移可使电位器(16)产生电阻的变化，此电阻变化量由计算机检测处理后调节直流电机(1)的转向，来达到使电极(7)在X方向上可调节的运动，消除离子源引出装置的对中误差。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种半导体器件制造装置，特别涉及一种制造半导体器件的离子注入机中的离子源引出装置。
背景技术
在半导体器件制造所使用的离子注入机中，离子源引出装置是离子注入机的关键部件，其与离子源发生本体结合在一起构成离子注入机的核心部件-离子源系统。它的性能不仅决定了离子源系统的引出束流大小、引出能量大小、引出束流品质及束稳定性，同时其与离子注入机其他光学部件匹配结合决定了整机的离子光学系统的束流传输效率和整机的生产效率。
目前离子注入机中离子源引出装置一般采用固定不可调的三电极引出结构，此种结构在使用过程中存在以下不足：其一是引出电极由于加工和装配原因，存在X方向的对中误差；其二是离子源工作于高温环境中，引出电极在长期高温工作环境中由于热效应而变形，也会产生X方向的对中误差，这些对中误差都影响了离子源的束品质。
发明内容
本实用新型克服了现有技术的缺点，提供了一种在X方向上可调节的离子源引出装置。
本实用新型包括直流电机，固定法兰，波纹管，连接轴，电极，接线柱，基座，丝杆螺母副，齿轮传动副，联轴器，电位器。本实用新型通过固定法兰固定于离子源三通上，丝杆螺母副穿过齿轮传动副中心并固定，齿轮传动副与直流电机转轴接触，这样直流电机的转动可使齿轮传动副转动，并使丝杆螺母副产生水平位移。丝杆螺母副一端与基座接触，基座中央固定安装有连接轴，连接轴另一端安装在电极上，在连接轴外部有提供真空动密封的波纹管，丝杆螺母副的水平位移可使基座产生水平位移，进而使电极在X方向上移动；丝杆螺母副另一端与电位器通过连轴器相连，丝杆螺母副产生的水平位移可使电位器产生电阻的变化，此电阻变化量由计算机检测处理后调节直流电机的转向，来达到使电极在X方向上可调节的运动，消除离子源引出装置的对中误差。
本实用新型将原有固定的离子源引出装置改变为在X方向上可调节，并通过计算机来调节直流电机的转向，从而实现了精确控制，消除了离子源引出装置的对中误差。
附图说明
图1为本实用新型所述的离子源引出装置结构图。
图中：
1-直流电机，2-滑动导轨副，3-拖板，4-固定法兰，
5-波纹管，6-连接轴，7-电极，8-接线柱，
9-四支撑杆，10-基座，11-陀螺，12-丝杆螺母副，
13-滑块，14-齿轮传动副，15-联轴器，16-电位器。
具体实施方式
下面结合说明书附图对本实用新型的结构和工作原理作进一步说明。
如附图1所示，本实用新型通过固定法兰4固定于离子源三通上，丝杆螺母副12穿过齿轮传动副14中心并固定，齿轮传动副14与直流电机1转轴接触，这样直流电机1的转动可使齿轮传动副14转动，并使丝杆螺母副12产生水平位移。丝杆螺母副12一端与基座10接触，基座10中央固定安装有连接轴6，连接轴6另一端安装在电极7上，在连接轴6外部有提供真空动密封的波纹管5，丝杆螺母副12水平位移可使基座10产生水平位移，进而使电极7在X方向上移动；丝杆螺母副12另一端与电位器16通过连轴器15相连，丝杆螺母副12产生的水平位移可使电位器16产生电阻的变化，此电阻变化量由计算机检测处理后调节直流电机1的转向，来达到使电极7在X方向上可调节的运动，消除离子源引出装置的对中误差。
Claims (1)
1.一种X方向可调节的离子源引出装置，包括电极(7)，连接轴(6)，固定法兰(4)，基座(10)，其特征在于还包括直流电机(1)，波纹管(5)，丝杆螺母副(12)，齿轮传动副(14)，连轴器(15)，电位器(16)；所述丝杆螺母副(12)穿过齿轮传动副(14)中心并固定，齿轮传动副(14)与直流电机(1)转轴接触，丝杆螺母副(12)一端与基座(10)接触，所述基座(10)中央固定安装有连接轴(6)，连接轴(6)另一端安装在电极(7)上，在连接轴(6)外部有密封波纹管(5)；丝杆螺母副(12)另一端与电位器(16)通过连轴器(15)相连。
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| CNU2005200170827U CN2788345Y (zh) | 2005-04-22 | 2005-04-22 | X方向可调节的离子源引出装置 |
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| CN2788345Y true CN2788345Y (zh) | 2006-06-14 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2005
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