CN101866802B - 离子源装卸装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种离子源装卸装置，用于在电弧反应室装卸离子源，包括：半圆柱形承托架，与离子源形状匹配，以承托所述离子源；卡套，设置在所述半圆柱形承托架一端，与所述电弧反应室的钢套形状匹配，用于卡合在所述钢套上，其中所述卡套具有一开口，与所述离子源形状匹配，以供所述离子源进出；以及把手，设置在所述卡套上部。利用该离子源装卸装置，可以在装卸离子源时，实现准确定位，使离子源精确的插入钢套中。在频繁的对离子注入机周期保养中，可以保证离子源的质量，同时会提高安装效率。确保维护的成功率，避免重复劳动。

Description

离子源装卸装置
技术领域
本发明涉及半导体制造领域，特别涉及一种离子源装卸装置。
背景技术
在半导体制造工艺中，离子注入是半导体制造中的重要一步，它是把特殊材料的离子通过能量加速注入进晶圆(wafer)。被注入进晶圆的离子集中在晶圆的特定的层。
离子注入是将带有一定电荷和能量的离子束，经过电场加速和磁场选择后射入到晶片中，以改变或调整晶片内某些部分的电性。
为了保证离子注入的质量，需要定期对离子注入机台进行维护。在对离子注入机台进行定期维护的时候，重新组装离子源(SOURCE)是每一个周期保养都要进行的环节。其中产生离子的离子源内部阴极(cathode)和内部灯丝(filament)是重要的组成部分，需要格外的小心维护。
然而由于离子源的特殊金属材料，重量可以达到15公斤。每一次在进行拆卸和安装的过程中，都非常不便。
请结合参见图1及图2，当安装离子源110时，需要先将离子源110安装在钢套120中，再将钢套120插入绝缘套130中，最后装入电弧反应室中。在安装的过程中，由于离子源110的本身重量，很容易造成离子源110与钢套120相撞，那么在震动的过程中，很可能会造成离子源内部阴极和内部灯丝111的损坏。而离子源是否有损坏，很难通过肉眼判断，因此确认离子源是否好坏，需要在建立高真空的状态下，加电和高压来进行测试。这样需要大量的时间和人力。
而且在安装离子源时，需将离子源110固定在钢套120的定位削上，通过离子源上的O形密封环实现密封。在安装的过程中，由于离子源的重量，很有可能造成位置出现偏差，会导致电弧反应室中的真空泄漏，不能达到需要的真空状态。
发明内容
本发明旨在解决现有技术中，在定期维护离子注入机台需要装卸离子源时，装卸困难，容易损坏离子源，且在安装离子源时无法精确定位，安装不能密封造成离子产生箱体中的真空泄漏等技术问题。
有鉴于此，本发明一种离子源装卸装置，用于在电弧反应室装卸离子源，包括：半圆柱形承托架，与离子源形状匹配，以承托所述离子源；卡套，设置在所述半圆柱形托架一端，与所述电弧反应室的钢套形状匹配，用于卡合在所述钢套上，其中所述卡套具有一开口，与所述离子源形状匹配，以供所述离子源进出；以及把手，设置在所述卡套上部。
可选的，所述半圆柱形承托架中设置有柱型滑轮。
可选的，所述柱型滑轮为6个，均匀分布在所述半圆柱形承托架中。
可选的，所述离子源装卸装置的材质是金属硬钢材料。
本发明所提供的离子源装卸装置，可以在装卸离子源时，实现准确定位，使离子源精确的插入钢套中。在频繁的对离子注入机周期保养中，可以保证离子源的质量，同时会提高安装效率。确保维护的成功率，避免重复劳动。
为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下。
附图说明
图1所示为离子源组装示意图；
图2所示为离子源组装分解的结构示意图；
图3A、图3B所示为本发明一实施例所提供的离子源装卸装置的结构示意图；
图4所示为利用本发明一实施例所提供的离子源装卸装置装卸离子源的示意图。
具体实施方式
请结合参见图3A，图3B，其所示为本发明一实施例所提供的离子源装卸装置的结构示意图。在本实施例中，该离子源装卸装置300包括：半圆柱形承托架310，与离子源110形状匹配，以承托所述离子源110；卡套320，设置在所述半圆柱形托架310一端，与电弧反应室的钢套120形状匹配，用于卡合于所述钢套120上，其中所述卡套320具有一开口321，与所述离子源形状匹配，以供所述离子源110进出；以及把手330，设置在所述卡套320上部。
在本实施例中，半圆柱形承托架310，是根据离子源110的形状设计，确保离子源可以稳固的放在装置上，进行平滑的移动。
在半圆柱形承托架中设置有柱型滑轮340，使离子源110可以平滑的进入钢套120中，并且准确的进入定位削中，减小移动过程中的摩擦力。在本实施例中，柱型滑轮340为6个，均匀分布在所述半圆柱形承托架340中，但本发明对此柱型滑轮的数目并不做限制。
卡套320，根据钢套120的外形进行制作，可以准确的卡在钢套120的外缘上，确保安装离子源110的时候，装置的稳固性。
离子源装卸装置300采用金属硬钢材料制作而成，保证在使用过程中的安全性和耐久性。
以下详述利用本实施例提供的离子源装卸装置装卸离子源的具体操作过程，请参见图4。
当需要拆卸离子源对离子注入机进行维护时，首先，利用离子源装卸装置300的卡套320卡扣在钢套120上，将离子源装卸装置300固定在钢套120上，精确定位；其次，将离子源110通过卡套320的开口321从钢套120中拉出，通过柱型滑轮340，盛放在半圆柱形托架310上；最后，利用卡套320上的把手330将承载离子源110的离子源装卸装置300取走。
当安装离子源时，首先，利用卡套320上的把手330将承载离子源110的离子源装卸装置300拿来；其次，利用离子源装卸装置300的卡套320卡扣在钢套120上，将离子源装卸装置300固定在钢套120上，精确定位；最后，将离子源110从半圆柱形托架310上利用柱型滑轮340，通过卡套320的开口321插入钢套120。
由于离子源装卸装置的各部件都是按照所需的离子源及相关部件的规格标准制成，保证了离子源装卸的精确定位，避免了离子源在装卸过程中遭受可能的损坏，保证离子源的质量，同时会提高安装效率。
综上所述，本发明实施例所提供的离子源装卸装置，可以在装卸离子源时，实现准确定位，使离子源精确的插入钢套中。在频繁的对离子注入机周期保养中，可以保证离子源的质量，同时会提高安装效率。确保维护的成功率，避免重复劳动。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视权利要求书所界定者为准。

Claims (2)

1.一种离子源装卸装置，用于在电弧反应室装卸离子源，其特征在于，包括：
半圆柱形承托架，与离子源形状匹配，以承托所述离子源，所述半圆柱形承托架中设置有柱型滑轮；
卡套，设置在所述半圆柱形承托架一端，与所述电弧反应室的钢套形状匹配，用于卡合在所述钢套上，其中所述卡套具有一开口，与所述离子源形状匹配，以供所述离子源进出；以及
把手，设置在所述卡套上部。
2.根据权利要求1所述的离子源装卸装置，其特征在于，其中所述柱型滑轮为6个，均匀分布在所述半圆柱形承托架中。
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