CN2679166Y - 一种适应不同样品的镀膜机工件架 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及镀膜技术，具体地说是一种适应不同样品的镀膜机工件架。包括：公转磁力转轴、工件架升降机构、自转磁力转轴、工件架升降平台，其中带有样品的样品工件架插装键连在工件架升降平台的中轴支架上，由电动机驱动的自转磁力转轴穿过工件架升降平台通过自转齿轮与平面样品工件架安装在一起，所述工件架升降机构由电动机驱动，通过支架杆依次经螺纹连接的轴套、波纹管、导向器接至工件架升降平台底部。本实用新型工件架采用双轴两侧引入，平面样品和柱面样品工件架可快速更换，适应范围广。
Description
技术领域
本实用新型涉及镀膜技术，具体地说是一种适应不同样品的镀膜机工件架。
背景技术
在现有技术中，工件架引入轴设在中心，这种工件架在真空环境下，其引入轴将需要很大的力矩才能带动工件架，而轴密封通常有以下几种方式：胶圈密封、磁力转轴密封、磁流体密封，前两种传到真空中的力矩有限，所以不能带动较大载荷的工件，后一种尽管力矩没有损失，但是只能用在10-7Pa以下的真空环境中，再有就是一般的工件架只能镀单一的平面样品，要镀圆柱型的样品比较困难。
实用新型内容
实用新型目的在于提供一种能在超高真空中使用的较大载荷、适用于平面及柱面样品的镀膜机工件架。
为了实现上述目的，本实用新型的技术方案包括公转磁力转轴、工件架升降机构、自转磁力转轴、工件架升降平台，其中带有样品的样品工件架插装键连在工件架升降平台的中轴支架上，由电动机驱动的自转磁力转轴穿过工件架升降平台通过自转齿轮与样品工件架安装在一起，所述工件架升降机构由电动机驱动，通过支架杆依次经螺纹连接的轴套、波纹管、导向器接至工件架升降平台底部；
所述样品工件架为平面样品工件架时，样品工件架为三层齿轮叠置结构，分别为上齿、中齿、下齿，其中：下齿与自转齿轮啮合，并与中齿连为一体，中齿与和样品安装在一起的齿轮啮合，由电动机驱动的公转磁力转轴穿过工件架升降平台通过公转齿轮与上齿安装在一起；
所述样品工件架为柱形样品工件架时，为圆柱齿轮与圆锥齿轮组合结构，分别为下齿、样品支座、大锥齿、小锥齿，其中：下齿为圆柱齿轮，与自转齿轮啮合，并和样品支座固为一体，大锥齿安装在支撑轴上，并与小锥齿啮合，小锥齿作为样品支架并安装在样品支座上。
本实用新型具有如下优点：
本实用新型工件架采用双轴两侧引入，使驱动工件架的力矩增加，平面样品和柱面样品工件架可快速更换。在10-8Pa超高真空中可装较大重量的样品，可镀平面和柱面不同样品，并可快速更换样品架；工件架可升降调节，整个工件架与壳体绝缘可加偏压，平面样品即可公转也能自转，也可以公转时带自转，公转转速0.05～5转/分可控可调，自转的转速大约为10～70转/分，可放平面样品1-8块；柱形样品可放8个或16个，需要镀柱形样品时，只需将平面样品架从工件架升降平台上取下，换放柱形样品架即可，此时自转齿轮与其啮合，柱形样品在公转同时也在自转，此时可镀多层膜也可镀合金膜。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
图2为本实用新型样品工件架另一实施例结构示意图(柱形)。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。
如图1所示，样品工件架安装在真空室9中，包括：公转磁力转轴4、工件架升降机构5、自转磁力转轴6、工件架升降平台7，其中带有样品的样品工件架2插装键连在工件架升降平台7的中轴支架上，由电动机驱动的自转磁力转轴6穿过工件架升降平台7通过自转齿轮8与样品工件架2安装在一起，所述工件架升降机构5由电动机驱动，通过支架杆依次经螺纹连接的轴套51、波纹管52、导向器53接至工件架升降平台7底部。
本实施例所述样品工件架2为平面样品工件架，是三层齿轮叠置结构，分别为上齿21、中齿22、下齿23，其中：下齿23与自转齿轮8啮合，并与中齿22连为一体，中齿22与和样品1安装在一起的齿轮24啮合，由电动机驱动的公转磁力转轴4穿过工件架升降平台7通过公转齿轮3与上齿21安装在一起；本实施例所述样品1为平面样品(本实施例为8块)。
实施例2
与实施例1不同之处在于：
如图2所示，本实施例所述样品工件架2为柱形样品工件架，是圆柱齿轮与圆锥齿轮组合结构，分别为下齿23、样品支座25、大锥齿26、小锥齿27，其中：下齿23为圆柱齿轮，与自转齿轮8啮合，并和样品支座25固为一体，大锥齿26安装在支撑轴28上，并与小锥齿27啮合，小锥齿27作为样品支架并安装在样品支座25上；小锥齿27上放置有柱形样品，其个数可以根据生产需要设定，本实施例柱形样品为8个。
Claims (3)
1.一种适应不同样品的镀膜机工件架，样品工件架安装在真空室(9)中，其特征在于包括：公转磁力转轴(4)、工件架升降机构(5)、自转磁力转轴(6)、工件架升降平台(7)，其中带有样品的样品工件架(2)插装键连在工件架升降平台(7)的中轴支架上，由电动机驱动的自转磁力转轴(6)穿过工件架升降平台(7)通过自转齿轮(8)与样品工件架(2)安装在一起，所述工件架升降机构(5)由电动机驱动，通过支架杆依次经螺纹连接的轴套(51)、波纹管(52)、导向器(53)接至工件架升降平台(7)底部。
2.按照权利要求1所述适应不同样品的镀膜机工件架，其特征在于：所述样品工件架(2)为平面样品工件架时，样品工件架(2)为三层齿轮叠置结构，分别为上齿(21)、中齿(22)、下齿(23)，其中：下齿(23)与自转齿轮(8)啮合，并与中齿(22)连为一体，中齿(22)与和样品(1)安装在一起的齿轮(24)啮合，由电动机驱动的公转磁力转轴(4)穿过工件架升降平台(7)通过公转齿轮(3)与上齿(21)安装在一起。
3.按照权利要求1所述适应不同样品的镀膜机工件架，其特征在于：所述样品工件架(2)为柱形样品工件架时，为圆柱齿轮与圆锥齿轮组合结构，分别为下齿(23)、样品支座(25)、大锥齿(26)、小锥齿(27)，其中：下齿(23)为圆柱齿轮，与自转齿轮(8)啮合，并和样品支座(25)固为一体，大锥齿(26)安装在支撑轴(28)上，并与小锥齿(27)啮合，小锥齿(27)作为样品支架并安装在样品支座(25)上。
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2004
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