CN2667435Y - 立式炉的净化装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种立式炉的净化装置，是在集成电路制造的前道工序中，用于立式扩散氧化炉上净化硅片的装置。它包括炉体机箱、可调速离心风机、进气箱、过滤器，回气箱。风机将高纯氮气鼓入进气箱，经高效过滤器过滤微小杂质后对需要净化的设备进行净化，再通过回气箱回收氮气送入风机循环使用。它利用高纯氮气对立式炉储片台及石英舟上的硅片进行净化，可保证炉子内部净区的净化等级达到1级，并使高纯氮气能够循环利用。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种立式炉的净化装置，特别是在集成电路制造的前道工序中，用于立式扩散氧化炉上净化硅片的装置。
背景技术
立式炉是用于对硅片进行加热、扩散、氧化处理的炉子，在加热前，硅片放置在立式炉储片台及石英舟上，需要对硅片进行净化处理，以保证炉子内部净区的净化等级达到1级。
现有的国外的净化装置，有些是采用风机鼓入空气经过滤器过滤后对立式炉中的储片台、硅片、机械手及石英舟进行净化的，但是空气中的氧气容易使硅片氧化，在硅片表面生成一层自然氧化层，这层氧化层的厚度是不可控的，对硅片的加工处理非常不利。
目前国内还没有立式炉，大都是卧式炉，其净化装置也是根据卧式炉的特点设计的，一般采用水平层流的方式，其净化等级为10级，达不到1级水平。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种立式炉的净化装置，利用高纯氮气对立式炉储片台及石英舟上的硅片进行净化，可保证炉子内部净区的净化等级达到1级，并使高纯氮气能够循环利用。
为解决上述技术问题，本实用新型的基本构思是：由风机鼓入高纯氮气经高效过滤器过滤微小杂质后对需要净化的设备进行净化，再通过回气箱回收氮气送入风机循环使用。因为高纯氮气价格昂贵，所以回收后再循环利用。
本实用新型包括炉体机箱、可调速离心风机、过滤器，炉体机箱内安装进气箱，其通过进气软管与风机相连，进气箱上下封闭，过滤器装在进气箱外围，使进气箱中的气体只能从过滤器向外吹出，过滤器外炉体机箱内装有储片台，贴着炉体机箱壁安装有回气箱，回气箱连接有回气软管，回气软管的另一端与风机的进风口相连。
本实用新型所述的立式炉的净化装置，储片台为圆形，上下两层，进气箱及过滤器为圆柱形，位于储片台的中心。
本实用新型所述的立式炉的净化装置，回气箱有两个，对应安装在炉体机箱壁内对侧，相应的回气软管也有两根，两根回气软管通过一个法兰三通相连，法兰三通的另一出口再接出一根回气软管给风机。
本实用新型所述的立式炉的净化装置，圆柱形过滤器为高效过滤器，效率可达99.95％，能过滤掉直径为0.2um的颗粒。
本实用新型所述的立式炉的净化装置，进气箱可紧贴炉体机箱一侧壁安装，进气箱另一侧安装平板式过滤器，其他面封闭。
本实用新型所述的立式炉的净化装置，以石英舟作储片台，石英舟固定安装在舟升降机构上。
本实用新型所述的立式炉的净化装置，回气箱安装在炉体机箱内进气箱对侧，回气箱连接有回气软管，回气软管的另一端与风机的进风口相连。
本实用新型所述的立式炉的净化装置，进气软管接入进气箱的位置在进气箱的中部。
本实用新型所述的立式炉的净化装置，平板式过滤器为超高效过滤器，效率为99.999％，能过滤掉直径为0.1um的颗粒。
高纯氮气被风机鼓入进气箱，再通过进气箱外侧的过滤器以缓慢速度向外吹出，经过四周储片台上的硅片盒或安装在机械手升降机构的石英舟，从两侧或对侧的回气箱循环回离心风机。
本实用新型利用风机鼓入高纯氮气经高效过滤器循环来达到净化要求，可使净化空间的净化等级达到一级，同时也避免了硅片在空气中的氧化。而且，高纯氮气可循环利用，节约了成本。
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明。
附图说明
图1为本实用新型的第一种实施方式的主视剖视图。
图2为本实用新型的第一种实施方式的俯视剖视图。
图3为本实用新型的第二种实施方式的主视剖视图。
图4为本实用新型的第二种实施方式的俯视剖视图。
具体实施方式
立式炉是专用于集成电路的制造过程中对硅片进行加工处理的炉子。在将硅片送入加热炉体前及移出加热炉体后，都需要对硅片进行净化处理。
图1为本实用新型的第一种实施方式的主视剖视图，这种结构主要是用来对立式炉的储片台进行净化。在炉体机箱11底部角落固定安装可调速离心风机3，风机3上有一高纯氮气入口12，将高纯氮气注入后密闭。风机3通过与之相连的进气软管6将高纯氮气鼓入进气箱1a。进气箱1a为圆柱形，上下封闭，柱面部分装有圆柱形高效过滤器4a。吹入进气箱1a的氮气只能从过滤器4a中以缓慢的速度向外吹出。过滤器4a将氮气中的微小杂质除去，使非常洁净的氮气吹向储片台5上的硅片9。然后氮气被炉体机箱11两侧安装的回气箱2a回收。回气箱2a底部接有回气软管10a，因为有两个回气箱，所以有两根回气软管10a。这两根回气软管10a都接到一个法兰三通13上，法兰三通13另一出口再接出一根回气软管10a，将回收箱2a中的氮气送回到风机3中。
储片台为上下两层，台上摆放着待处理的硅片。
储片台为圆形，如图2所示。进气箱1a安装在圆心位置，氮气从中心吹向四周，为圆周散射层流净化方式。
图3为本实用新型的第二种实施方式的主视剖视图。这种结构主要是用来对立式炉的石英舟7和舟升降机构14进行净化。在炉体机箱11底部角落固定安装可调速离心风机3，风机3上有一高纯氮气入口12，将高纯氮气注入后密闭。风机3通过与之相连的进气软管6将高纯氮气鼓入进气箱1b。进气软管2b接入进气箱1b的位置在进气箱1b的中部。进气箱1b为长方体，靠近炉体机箱11中央的一面装有平板式过滤器4b，其他面封闭，使进气箱1b中的气体只能从过滤器4b向外缓慢水平吹出。过滤器4b将氮气中的微小杂质除去，使非常洁净的氮气吹向石英舟7上的硅片9及舟升降机构14。然后氮气被炉体机箱11对侧安装的回气箱2b回收。回气箱2b底部接有回气软管10b，将回收箱2b中的氮气送回到风机3中。
石英舟7上摆放着待处理或处理后的硅片，石英舟固定安装在舟升降机构14上。
图4为本实用新型的第二种实施方式的俯视剖视图。这种方式为水平层流净化方式。
Claims (9)
1.一种立式炉的净化装置，包括炉体机箱(11)、可调速离心风机(3)、过滤器(4)，其特征在于：炉体机箱(11)内安装进气箱(1)，其通过进气软管(6)与风机(3)相连，进气箱(1)上下封闭，过滤器(4)装在进气箱(1)外围，使进气箱(1)中的气体只能从过滤器(4)向外吹出，过滤器(4)外炉体机箱(11)内装有储片台(5)，贴着炉体机箱(11)壁安装有回气箱(2)，回气箱(2)连接有回气软管(10)，回气软管(10)的另一端与风机(3)的进风口相连。
2.按照权利要求1所述的一种立式炉的净化装置，其特征在于：储片台(5)为圆形，上下两层，进气箱(1a)及过滤器(4a)为圆柱形，位于储片台(5)的中心。
3.按照权利要求1所述的一种立式炉的净化装置，其特征在于：进气箱(1b)紧贴炉体机箱(11)一侧壁安装，进气箱(1b)另一侧安装平板式过滤器(4b)，其他面封闭。
4.按照权利要求1或3所述的一种立式炉的净化装置，其特征在于：以石英舟(7)作储片台，石英舟(7)固定安装在舟升降机构(14)上。
5.按照权利要求1或2所述的一种立式炉的净化装置，其特征在于：所述回气箱(2a)有两个，对应安装在炉体机箱(11)壁内对侧，相应的回气软管(10a)也有两根，两根回气软管(10a)通过一个法兰三通(13)相连，法兰三通(13)的另一出口再接出一根回气软管(10a)给风机(3)。
6.按照权利要求1或3所述的一种立式炉的净化装置，其特征在于：回气箱(2b)安装在炉体机箱(11)内进气箱(1b)对侧，回气箱(2b)连接有回气软管(10b)，回气软管(10b)的另一端与风机(3)的进风口相连。
7.按照权利要求1或3所述的一种立式炉的净化装置，其特征在于：所述进气软管(6)接入进气箱(1b)的位置在进气箱(1b)的中部。
8.按照权利要求1或2所述的一种立式炉的净化装置，其特征在于：所述过滤器(4a)为高效过滤器(4a)，效率可达99.95％，能过滤掉直径为0.2um的颗粒。
9.按照权利要求1或3所述的一种立式炉的净化装置，其特征在于：所述平板式过滤器(4b)为超高效过滤器(4b)，效率为99.999％，能过滤掉直径为0.1um的颗粒。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN 03272534 CN2667435Y (zh) | 2003-06-17 | 2003-06-17 | 立式炉的净化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN 03272534 CN2667435Y (zh) | 2003-06-17 | 2003-06-17 | 立式炉的净化装置 |
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| CN2667435Y true CN2667435Y (zh) | 2004-12-29 |
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| CN 03272534 Expired - Lifetime CN2667435Y (zh) | 2003-06-17 | 2003-06-17 | 立式炉的净化装置 |
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| CN (1) | CN2667435Y (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101813410B (zh) * | 2008-12-17 | 2012-11-14 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 用于300mm硅片氧化处理的立式氧化炉石英舟旋转装置 |
| CN106498501A (zh) * | 2016-11-11 | 2017-03-15 | 桂林电子科技大学 | 一种立式扩散炉专用叠加型石英舟 |
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2003
- 2003-06-17 CN CN 03272534 patent/CN2667435Y/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101813410B (zh) * | 2008-12-17 | 2012-11-14 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 用于300mm硅片氧化处理的立式氧化炉石英舟旋转装置 |
| CN106498501A (zh) * | 2016-11-11 | 2017-03-15 | 桂林电子科技大学 | 一种立式扩散炉专用叠加型石英舟 |
| CN106498501B (zh) * | 2016-11-11 | 2019-03-12 | 桂林电子科技大学 | 一种立式扩散炉专用叠加型石英舟 |
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