CN215251336U - 一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，包括：第一剩液瓶、第二剩液瓶、连接件、回收瓶以及尾气处理瓶，所述第一剩液瓶、所述第二剩液瓶、所述回收瓶和所述尾气处理瓶依次通过所述连接件进行连接，其中，剩液通过所述连接件从所述第一剩液瓶和所述第二剩液瓶移动至所述回收瓶中。本实用新型的有益效果是利用收集装置能够完整的将剩液全部回收至回收瓶中，解决现有技术中只能将瓶底剩余的磷源浪费，其中每5个瓶中的剩液的重量与1个全新的磷源液瓶中的重量一致，大大的减少了生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池片单多晶扩散三氯氧磷的再次使用装置技术领域，尤其是涉及一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置。
背景技术
太阳能电池片单多晶扩散工艺中，使用的源瓶中装载三氯氧磷，在使用的过程中，氮气经过左侧的管子进入源瓶，鼓泡随后通过右侧管子输送进入扩散炉中，完成反应；源瓶底部设计为中间高，两边低，有利于最大限度使用三氯氧磷；现有源瓶设计容量1.7L，承放磷源量1.5L。
现有技术中，因为源瓶底部的设计为中间高两侧低的设计，导致底部存在一定的高度差，三氯氧磷无法完全用完，存在浪费；且在扩散工序中，磷源中的三氯氧磷接近低液位时，鼓泡气体携带的磷源量不足，导致方阻出现不可控，不适合继续生产。
实用新型内容
本实用新型要解决的问题是提供一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，有效的解决因源瓶底部的设计为中间高两侧低的设计，导致底部存在一定的高度差，三氯氧磷无法完全用完，存在浪费；且在扩散工序中，磷源中的三氯氧磷接近低液位时，鼓泡气体携带的磷源量不足，导致方阻出现不可控，不适合继续生产的问题。
为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，包括：第一剩液瓶、第二剩液瓶、连接件、回收瓶以及尾气处理瓶，所述第一剩液瓶、所述第二剩液瓶、所述回收瓶和所述尾气处理瓶依次通过所述连接件进行连接，其中，
剩液通过所述连接件从所述第一剩液瓶和所述第二剩液瓶移动至所述回收瓶中。
优选地，所述第一剩液瓶的顶部还连接有一用于进入高纯气体的进气管，所述高纯气体进入所述第一剩液瓶后将所述剩液沿所述连接件移动至所述第二剩液瓶中，再将所述剩液沿所述连接件移动至所述回收瓶中。
优选地，所述进气管上设置有开关阀，用于控制所述高纯气体的进入。
优选地，所述尾气处理瓶的顶部还设置一用于导出高纯气体的出气管，所述高纯气体在所述尾气处理瓶中处理过后，通过所述出气管排出所述尾气处理瓶。
优选地，所述连接件包括连接所述第一剩液瓶和所述第二剩液瓶的第一连接件、连接所述第二剩液瓶和所述回收瓶的第二连接件和连接所述回收瓶和所述尾气处理瓶的所述第三连接件。
优选地，所述第一连接件和所述第三连接件均为一侧管长短于另一侧管长，其中，
所述第一连接件的长管一侧伸入所述第一剩液瓶中，短管一侧伸入所述第二剩液瓶中，连接所述第一剩液瓶和所述第二剩液瓶；
所述第三连接件的短管一侧伸入所述回收瓶中，长管一侧伸入所述尾气处理瓶中，连接所述回收瓶和所述尾气处理瓶。
优选地，所述第一连接件和所述第三连接件的短管一侧均设置有开关阀；所述第一连接件控制所述剩液的流动，所述第三连接件控制高纯气体的进出。
优选地，所述第二连接件的两侧长度一致，分别伸入所述第二剩液瓶和所述回收瓶中，将所述剩液回收至所述回收瓶中。
采用上述技术方案，第一连接件和第三连接件的的两侧长度不一致，较长一侧能够伸入第一剩液瓶的瓶底，将第一剩液瓶中的剩液全部移动至第二剩液瓶中，把以前不能回收利用而直接浪费的磷源收集起来，进行重新利用，能够相应的减少一定的生产成本。
第三连接件的较长一侧能够深入尾气处理瓶的处理液中，将高纯气体的充分的经过处理过后再通过尾气处理瓶顶部的出气管将尾气排出，保证尾气处理完成后再进行排放，减少尾气的危险排放。
第二连接件的两侧一样长，均能够伸入第二剩液瓶和回收瓶的底部，能够完整的将剩液全部回收至回收瓶中，解决现有技术中只能将瓶底剩余的磷源浪费，其中每5个瓶中的剩液的重量与1个全新的磷源液瓶中的重量一致，大大的减少了生产成本。
附图说明
图1是本实用新型实施例一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置结构示意图
图中：
1、第一剩液瓶 2、第二剩液瓶 3、回收瓶
4、尾气处理瓶 5、进气管 6、第一连接件
7、第二连接件 8、第三连接件 9、出气管
10、开关阀
具体实施方式
下面结合实施例和附图对本实用新型作进一步说明：
在本实用新型实施例的描述中，需要理解的是，术语“顶部”、“底部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
如图1一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置结构示意图所示，一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，包括：第一剩液瓶1、第二剩液瓶2、连接件、回收瓶3以及尾气处理瓶4，第一剩液瓶1、第二剩液瓶2、回收瓶3和尾气处理瓶4依次通过连接件进行连接，其中，
第一剩液瓶1和第二剩液瓶2中的剩液通过连接件从第一剩液瓶1和第二剩液瓶2移动至回收瓶3中；
第一剩液瓶1和第二剩液瓶2为原来的扩散源瓶，底部为中间高，两侧低的瓶状，回收瓶3为能够回收后能够直接使用，瓶底也为中间高，两侧低的形状，方便后续操作；尾气处理瓶4的形状为普通的圆柱形，为能够充分的处理尾气，底部为平整的直线状。
具体的，连接件包括连接第一剩液瓶1和第二剩液瓶2的第一连接件6、连接第二剩液瓶2和回收瓶3的第二连接件7和连接回收瓶3和尾气处理瓶 4的第三连接件8。
第一连接件6的一侧为短管，另一侧为长管，短管的一侧伸入第二剩液瓶2中，长管的一侧伸入第一剩液瓶1中。长管一侧的长度能够直接碰触第一剩液瓶1的底部，便于将第一剩液瓶1中的所有剩液沿第一连接件6移动至第二剩液瓶2中，秉承不浪费的原则，解决现有技术中当瓶中的剩液液位接近低液位时，鼓泡气体携带的磷源量不足，导致方阻出现不可控，不适合继续生产，只能放弃低液位中的磷源，导致浪费大量磷源的问题。
第二连接件7的两侧为均为长管，均能够触碰至第二剩液瓶2和回收瓶 3的底部，能够完全将第二剩液瓶2中的剩液全部移动至回收瓶中，第二剩液瓶2中还包括有第一剩液瓶1移动至第二剩液瓶2中的剩液，减少磷源的浪费，同样也是解决现有技术中扩散源瓶每瓶到标记线2cm处，必须更换新的磷源瓶，但是在磷源瓶中还有剩余的磷源为0.3L，无法再次使用的问题。
第三连接件8与第一连接件6一样，都是一侧为短管，另一侧为长管，且长管的一侧能够伸入尾气处理瓶4中的处理液内部，优选能够碰触到尾气处理瓶4的底部，充分对高纯气体进行处理，防止出现尾气未处理或者处理的不够充分就直接排至大气中，秉承安全排放的原则，对尾气进行排放。
一些可行的实施例中，在第一连接件6和第三连接件8的短管一侧还设置有一开关阀10，第一连接件6的开关阀10控制第一剩液瓶1中的剩液是否能够进入至第二剩液瓶2中，当开关阀10打开时，剩液顺利进入第二剩液瓶2，当开关阀10关闭时，剩液不能进入第二剩液瓶2中；
第三连接件8上的开关阀10控制高纯气体的进入，当开关阀10打开时，高纯气体顺利进入尾气处理瓶4中，当开关阀10关闭时，高纯气体不能进入尾气处理瓶4中。
第一剩液瓶1的顶部还连接有一用于进入高纯气体的进气管5，进气管 5设置在第一剩液瓶1的顶部，且在第一连接件1的旁边。进气管5的长度短于第一剩液瓶1的高度，优选第一连接件6的短管一侧一样的长度，用于通入高纯气体。其中，高纯气体可以为氦气、氖气、氮气等其他气体，高纯气体进入第一剩液瓶1后利用压缩空气压力将剩液沿第一连接件6移动至第二剩液瓶2中，再将第二剩液瓶2中的剩液沿第二连接件7移动至回收瓶3 中。
一些可行的实施例中，进气管5上设置有开关阀10，用于控制高纯气体的进入，当开关阀10打开时，高纯气体顺利从进气管10进入至第一剩液瓶1中；当开关阀10关闭时，则高纯气体不能进入第一剩液瓶1中。
尾气处理瓶4的顶部还设置一用于导出高纯气体的出气管9，出气管9 的长度在伸入尾气处理瓶时，不会接触处理液的液面即可。出气管9设置在尾气处理瓶4的顶部，且在第三连接件8的一旁。高纯气体在尾气处理瓶4 中充分处理过后，通过出气管9排出尾气处理瓶4。
本实施例的使用过程为：在准备收集剩液前，先将进气管5、第一连接件6、第三连接件8的开关阀10全部打开，保证高纯气体以及剩液能够顺利在收集装置中流动。将高纯气体通过进气管5通入第一剩液瓶1中，利用压缩空气压力将第一剩液瓶1中的剩液沿第一连接件6转移至第二剩液瓶2 中，再将第二剩液瓶2中的剩液沿着第二连接件7转移至回收瓶3中，最后高纯气体沿第三连接件8移动至尾气处理瓶4中，进入处理液中进行充分的处理，最后通过出气管9排出尾气处理瓶4。
若需停止收集，先将进气管5上的进气阀10关闭，再陆续关闭第一连接件6上的开关阀10、第三连接件8上的开关阀10，即可停止收集剩液。
以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (8)
1.一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，包括：第一剩液瓶、第二剩液瓶、连接件、回收瓶以及尾气处理瓶，所述第一剩液瓶、所述第二剩液瓶、所述回收瓶和所述尾气处理瓶依次通过所述连接件进行连接，其中，
剩液通过所述连接件从所述第一剩液瓶和所述第二剩液瓶移动至所述回收瓶中。
2.根据权利要求1所述的一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，其特征在于：所述第一剩液瓶的顶部还连接有一用于进入高纯气体的进气管，所述高纯气体进入所述第一剩液瓶后将所述剩液沿所述连接件移动至所述第二剩液瓶中，再将所述剩液沿所述连接件移动至所述回收瓶中。
3.根据权利要求2所述的一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，其特征在于：所述进气管上设置有开关阀，用于控制所述高纯气体的进入。
4.根据权利要求1所述的一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，其特征在于：所述尾气处理瓶的顶部还设置一用于导出高纯气体的出气管，所述高纯气体在所述尾气处理瓶中处理过后，通过所述出气管排出所述尾气处理瓶。
5.根据权利要求1所述的一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，其特征在于：所述连接件包括连接所述第一剩液瓶和所述第二剩液瓶的第一连接件、连接所述第二剩液瓶和所述回收瓶的第二连接件和连接所述回收瓶和所述尾气处理瓶的第三连接件。
6.根据权利要求5所述的一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，其特征在于：所述第一连接件和所述第三连接件均为一侧管长短于另一侧管长，其中，
所述第一连接件的长管一侧伸入所述第一剩液瓶中，短管一侧伸入所述第二剩液瓶中，连接所述第一剩液瓶和所述第二剩液瓶；
所述第三连接件的短管一侧伸入所述回收瓶中，长管一侧伸入所述尾气处理瓶中，连接所述回收瓶和所述尾气处理瓶。
7.根据权利要求6所述的一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，其特征在于：所述第一连接件和所述第三连接件的短管一侧均设置有开关阀；所述第一连接件控制所述剩液的流动，所述第三连接件控制高纯气体的进出。
8.根据权利要求5、6或7所述的一种适用于单多晶硅片扩散合理利用三氯氧磷的收集装置，其特征在于：所述第二连接件的两侧长度一致，分别伸入所述第二剩液瓶和所述回收瓶中，将所述剩液回收至所述回收瓶中。
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