CN2245619Y - 金属膜、氧化膜电阻高速高质镀膜机 - Google Patents
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Abstract
一种金属膜、氧化膜电阻高速高质镀膜机，其主要技术特征是在真空室内的靶体上装着引燃装置，靶体上装着表面积小、厚度大的靶材，靶体和靶材中间装着电磁线圈，从而实现了低电压、大电流镀膜。镀出的电阻膜膜层均匀、附着力强、阻段范围宽、电阻性能稳定，效率高、能耗小、成本低。
Description
本实用新型属于一种真空镀膜机，特别涉及一种金属膜、氧化膜电阻高速高质镀膜机。
目前国内外金属膜、氧化膜电阻镀膜设备主要有磁控溅射电阻镀膜机和真空蒸发电阻镀膜机。磁控式镀膜机没有靶体的引燃装置，只有溅射现象。蒸发式镀膜机是用钨丝上涂合金粉，只有蒸发现象。因此，磁控溅射电阻镀膜机的不足之处是：①电阻成膜时间长、效率低、能耗大、靶材利用率低(利用率30％)；②阻段范围窄，尤其是低阻段目前还须由化学沉积镍膜电阻进行补充；③电阻膜热处理温度低，不超过400℃。因此电阻稳定性差。真空蒸发电阻镀膜机的不足之处是：①被蒸发的电阻材料分馏现象严重，从而导致电阻温度系数大，高阻、低阻阻值分散性大，性能差，不适于大批量生产，产量低、能耗大、成本高；②电阻膜膜层附着力差。
本实用新型的目的在于克服现有技术中的不足之处而提供一种金属膜、氧化膜电阻高速高质镀膜机。
本实用新型的目的可以通过以下措施来实现：
金属膜、氧化膜电阻高速高质镀膜机的结构是：真空室(1)固装在带有输气针阀(2)的底座(3)上，针阀通过管路与真空室连接，真空室通过装有放气阀(4)的管道(5)和高真空阀(6)与真空扩散泵(7)连接，真空机械泵(8)通过压差阀(9)和上、下管道阀(10)和(11)分别与真空扩散泵(7)和管道(5)连接，电器控制柜(12)通过导线分别与真空室、真空扩散泵和真空机械泵连接，管道(5)上和上、下管道阀之间装着真空规管(13)、(14)，真空室筒体(15)内垂直于法兰(16)固装着其上有靶材(17)的靶体(18)，靶体的端部装着冷却水进水口(19)、出水口(20)和电源接线柱(21)。靶体上装着引燃装置和直流电源，靶体与靶材中间装着电磁线圈(22)，以实现靶表面磁场可控，靶材表面积小、厚度大(长250～280mm、宽80～100mm、厚10～30mm)。
该镀膜机引燃装置的结构是：在靶体上通过引燃针座(24)、绝缘板(25)固装着引燃针(23)，引燃针头与靶材表面垂直，引燃针的另一端部装着引燃线圈(26)和复位弹簧(27)，电源接线柱(21)输入的直流电源与电磁线圈(22)的输出端A、B连接，引燃线圈(26)的C端与靶法兰连接，D端接地，引燃针通过导线与地连接。
该镀膜机靶直流电源的连接方法是：靶直流电源(28)的正极接地，负极与靶端法兰连接。
本实用新型与现有技术相比有以下优点：
本实用新型集中了磁控式和蒸发式两钟镀膜机的优点，采用了靶体引燃装置和可控磁场，实现了低电压大电流镀膜，同时将靶材表面积缩小厚度加大，从而使溅射角加大，覆盖面加宽。使其镀出的电阻膜膜层均匀，附着力强；电阻初阻对号率高，阻段范围宽；成膜温度高，电阻性能稳定。使用该机镀电阻膜时间短，效率高(是磁控溅射的5～10倍)，靶材利用率高(高达70％)，能耗小，成本低。
附图的图面说明如下：
图1是本实用新型镀膜机的结构示意图；
图2是本实用新型真空室内部结构图。
下面结合附图对本实用新型实施例作进一步详述：
金属膜、氧化膜电阻高速高质镀膜机的结构是：真空室(1)固装在带有输气针阀(2)的底座(3)上，针阀通过管路与真空室连接，真空室通过装有放气阀(4)的管道(5)和高真空阀(6)与真空扩散泵(7)连接，真空机械泵(8)通过压差阀(9)和上、下管道阀(10)和(11)分别与真空扩散泵(7)和管道(5)连接，电器控制柜(12)通过导线分别与真空室、真空扩散泵和真空机械泵连接，管道(5)上和上、下管道阀之间装着真空规管(13)、(14)，真空室筒体(15)内垂直于法兰(16)固装着其上有靶材(17)的靶体(18)，靶体的端部装着冷却水进水口(19)、出水口(20)和电源接线柱(21)。靶体上装着引燃装置和直流电源，靶体与靶材中间装着电磁线圈(22)，以实现靶表面磁场可控，靶材表面积小、厚度大(264mm×96mm×10mm)。
该镀膜机引燃装置的结构是：在靶体上通过引燃针座(24)、绝缘板(25)固装着引燃针(23)，引燃针头与靶材表面垂直，引燃针的另一端部装着引燃线圈(26)和复位弹簧(27)，电源接线柱(21)输入的直流电源与电磁线圈(22)的输出端A、B连接，引燃线圈(26)的C端与靶法兰连接，D端接地，引燃针通过导线与地连接。
该镀膜机靶直流电源的连接方法是：靶直流电源(28)的正极接地，负极与靶端法兰连接。
使用时，接通电源，将真空室抽真空达到5×10-3Pa后，充氩气，当气压达到9×10-2Pa时，即可开启靶电源，开始工作。此时靶体带电，引燃针吸合，使引燃针头与靶材表面接触，从而使其表面放电，将靶对地电压降至18～22伏，电流达到80～140安，此时在复位弹簧的作用下，引燃针复位，针头离开靶表面，靶面保持稳定放电，按要求电阻段所需的时间进行镀膜。镀完后，关断靶电源和高真空阀，打开放气阀向真空室放气，而后取出镀好的电阻，完成一炉镀膜周期。
本实用新型电阻镀膜机与国内外通用磁控溅射电阻镀膜机性能比较如下表
| 机型性能指标 | 锦州JPG-5 | USA(美国)TRC-2020 | 本专利DZM-600 | 备注 |
| 成膜设定时间 | 5～8Ω/9h1～2Ω/19h20～30Ω/h | 同左 | 5～9Ω/15min1～2Ω/30min20～Ω30/5min | |
| 初阻(Ro)对号率(％) | Ro±20％ | Ro±20％ | Ro±15％ | |
| 热处理温度(℃) | ＜320～400℃ | ＜320～400℃ | 380～520℃ | |
| 镀膜室尺寸(mm) | Φ500×625 | Φ600×450 | Φ600×450 | |
| 极限真空度(Pa) | 6.7×10-4Pa清洁、空载 | 5×10-4Pa清洁、空载 | 5×10-4Pa清洁、空载 | |
| 恢复真空时间(min) | 从大气压抽到5×10-3Pa≤20 | 从大气压抽到5×10-3Pa≤20 | 从大气压抽到5×10-3Pa≤20 | |
| 滚筒尺寸(mm) | Φ432×380 | Φ430×390 | Φ480×380 | |
| 装炉量(lw电阻为例) | 4万支/炉 | 4万支/炉 | 4万支/炉 | |
| 靶材尺寸(mm) | 380×127×13 | 380×127×13 | 268×98×10～30 | |
| 靶源形式 | 磁控源 | 磁控源 | 靶直流源 | |
| 靶功率(Kw) | 5 | 5 | 3 | |
| 耗水量(T)(15L/Min) | 1T／h | 1T/h | 1T／h | 用水循环水箱 |
| 总重量(T) | 1 | 1.7 | 1 | |
| 设备形式 | 卧式 | 卧式 | 卧式 |
本实用新型电阻镀膜机与国内外电阻镀膜机经济技术指标比较：
| 机型项目 | JPG-5锦州 | TRC-2020美国 | DZM-600本专利 |
| 成膜时间(h)/炉 | 4 | 4 | 0.5 |
| 产量(万支/年)(按每天两班、每月23天计算) | 2208 | 2208 | 15456 |
| 耗电(度/年) | 88320 | 88320 | 13137.6 |
| 耗水(吨/年) | 4416 | 4416 | 4250.4 |
| 产值(按0.09元/支)(万元/年) | 198.72 | 198.72 | 1391.04 |
Claims (3)
1、一种金属膜、氧化膜电阻高速高质镀膜机，其结构是：真空室(1)固装在带有输气针阀(2)的底座(3)上，针阀通过管路与真空室连接，真空室通过装有放气阀(4)的管道(5)和高真空阀(6)与真空扩散泵(7)连接，真空机械泵(8)通过压差阀(9)和上、下管道阀(10)和(11)分别与真空扩散泵(7)和管道(5)连接，电器控制柜(12)通过导线分别与真空室、真空扩散泵和真空机械泵连接，管道(5)上和上、下管道阀之间装有真空规管(13)、(14)，真空室筒体(15)内垂直于法兰(16)固装着其上有靶材(17)的靶体(18)，靶体的端部装着冷却水进水口(19)、出水口(20)和电源接线柱(21)，其特征在于：靶体上装着引燃装置，并连接在直流电源(28)上，靶体与靶材中间装着电磁线圈(22)，以实现靶表面磁场可控，靶材表面积小、厚度大(长250～280mm、宽80～100mm、厚10～30mm)。
2、按照权利要求1所说的镀膜机，其特征在于；引燃装置的结构是：在靶体上通过引燃针座(24)、绝缘板(25)固装着引燃针(23)，引燃针头与靶材表面垂直，引燃针的另一端部装着引燃线圈(26)和复位弹簧(27)，电源接线柱(21)输入的直流电源与电磁线圈(22)的输出端A、B连接，引燃线圈(26)的C端与靶法兰连接，D端接地，引燃针通过导线与地连接。
3、按照权利要求1所说的镀膜机，其特征在于：靶直流电源是可调、低电压、大电流的直流电源，靶直流电源(28)的正极接地，负极与靶端法兰连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 95221640 CN2245619Y (zh) | 1995-09-15 | 1995-09-15 | 金属膜、氧化膜电阻高速高质镀膜机 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN 95221640 CN2245619Y (zh) | 1995-09-15 | 1995-09-15 | 金属膜、氧化膜电阻高速高质镀膜机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN2245619Y true CN2245619Y (zh) | 1997-01-22 |
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| CN 95221640 Expired - Fee Related CN2245619Y (zh) | 1995-09-15 | 1995-09-15 | 金属膜、氧化膜电阻高速高质镀膜机 |
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| CN (1) | CN2245619Y (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102051590A (zh) * | 2010-12-29 | 2011-05-11 | 衡阳市真空机电设备有限公司 | 发电用太阳能高温集热管镀膜方法及卧式镀膜机 |
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1995
- 1995-09-15 CN CN 95221640 patent/CN2245619Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN102051590A (zh) * | 2010-12-29 | 2011-05-11 | 衡阳市真空机电设备有限公司 | 发电用太阳能高温集热管镀膜方法及卧式镀膜机 |
| CN102051590B (zh) * | 2010-12-29 | 2014-11-26 | 湖南菲尔姆真空设备有限公司 | 发电用太阳能高温集热管镀膜方法及卧式镀膜机 |
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