CN221642963U - 一种真空镀膜机周转架 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种真空镀膜机周转架，涉及真空镀膜技术领域。本实用新型用于解决现有专利两边的活动支架与支撑架的转动连接为固定间距，无法对物件进行夹持，容易使转运物晃动甚至掉落的技术问题。该一种真空镀膜机周转架包括有周转架、移动轮和推杆，周转架底部两侧为滑动部，周转架的滑动部上安装有移动轮，周转架后侧安装有推杆，还包括有安装架、第一导向杆和夹持板等，周转架上安装有两个安装架，安装架上滑动式设置有两根第一导向杆，两根第一导向杆上共同固定连接有夹持板。通过弹性件两块夹持板向互相靠近的一侧滑动，以使两块夹持板将真空镀膜机夹紧，达到夹紧固定真空镀膜机的效果，避免转运时真空镀膜机滑动。

Description

一种真空镀膜机周转架

技术领域

本实用新型提供一种真空镀膜机周转架，涉及真空镀膜技术领域。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，真空镀膜机是一种非常常见的镀膜工艺设备，在半导体器件、金属以及其他功能性材料的薄膜制备当中得到了广泛的应用，由于真空镀膜机一般较重，所以在搬运时需要用到周转架进行搬运。

专利授权公告号为CN217576047U的专利，公开了一种周转架，该专利包括支撑架和活动支架，活动支架与支撑架的转动连接，支撑架上有支撑主体，活动支架具有展开位、收纳位和堆叠位，活动支架能够翻转至支撑主体外侧，以形成支撑面积更大的展开位，活动支架也能够通过翻转，扣设在支撑架内侧的支撑主体上，减小周转架的体积，形成方便收纳的收纳位，活动支架还可以翻转，竖立在支撑主体上，形成堆叠位，增加周转架的收纳高度。但该专利在实际使用过程中仍存在不足，该专利活动支架与支撑架的转动连接，两边的活动支架与支撑架的转动连接为固定间距，当转运的物件较大或较小时，无法对物件进行夹持，在转运时物件时容易晃动甚至掉落，使物件损坏。

因此，需要提供一种能够夹持真空镀膜机的真空镀膜机周转架。

实用新型内容

为了克服现有专利两边的活动支架与支撑架的转动连接为固定间距，无法对物件进行夹持，容易使转运物晃动甚至掉落的缺点，本实用新型提供一种能够夹持真空镀膜机的真空镀膜机周转架。

为了实现上述目的，本实用新型实施例提供如下技术方案：一种真空镀膜机周转架，包括有周转架、移动轮和推杆，周转架底部两侧为滑动部，周转架的滑动部上安装有移动轮，当铺设有转运轨道时可直接通过滑动部在转运轨道上滑动进行转运，当没有转运轨道时可直接通过移动轮进行滑动，周转架后侧安装有推杆，还包括有安装架、第一导向杆、夹持板和弹性件，周转架上安装有两个安装架，安装架上滑动式设置有两根第一导向杆，两根第一导向杆上共同固定连接有夹持板，安装架上开设有两道滑槽，通过两根第一导向杆在安装架上滑动带动夹持板在滑槽内移动，夹持板与安装架之间固定连接有两个弹性件，弹性件用于推动两侧夹持板将真空镀膜机夹紧固定。

可选地，周转架底部中间设有支撑部。

可选地，还包括有合页、第一挡板、把手、第一卡板、固定杆和第一卡块，两个安装架上均安装有两个合页，同一个安装架上的两个合页共同固定连接有第一挡板，第一挡板通过合页与安装架转动式连接，两个第一挡板上均安装有把手，把手上安装有第一卡板，一个第一挡板上固定连接有固定杆，固定杆上转动式设置有第一卡块，通过第一卡块与两个第一卡板同时卡接，以使两个第一挡板无法转动。

可选地，还包括有连接架、滑动架和第二卡板，周转架上安装有连接架，连接架上滑动式设置有滑动架，连接架与滑动架上均开设有多个第一卡槽，第二卡板在第一卡槽内滑动，以使滑动架固定在连接架上。

可选地，滑动架侧视为倒L型。

可选地，还包括有升降架、安装板、第二卡块、滑轨和滑块，夹持板上滑动式设置有升降架，夹持板上安装有安装板，安装板上开设有多个第二卡槽，升降架上开设有一个第二卡槽，安装板与升降架上的第二卡槽内共同卡接有第二卡块，升降架上安装有滑轨，滑轨内滑动式设置有两个滑块。

可选地，还包括有第二推板、固接架、第二导向杆和连接板，连接架上安装有多个固接架，固接架上滑动式设置有第二导向杆，各第二导向杆一端共同固定连接有连接板，各第二导向杆另一端共同固定连接有第二推板，通过推拉连接板以使各第二导向杆在对应固接架上滑动，以带动第二推板移动。

可选地，第二导向杆的数量为四个。

可选地，夹持板与安装架中间固定连接有两个伸缩套，两个伸缩套套设在弹性件外部。

可选地，安装架的转角处安装有防撞垫。

与现有技术相比，本实用新型实施例提供的周转架具有如下优点：

1、通过弹性件两块夹持板向互相靠近的一侧滑动，以使两块夹持板将真空镀膜机夹紧，达到夹紧固定真空镀膜机的效果，避免转运时真空镀膜机滑动。

2、通过两个第一挡板利用合页转动闭合，并通过将第一卡块沿固定杆转动，以使第一卡块与两个第一卡板卡接，使两个第一挡板不再转动，达到利用两个第一挡板对装载的真空镀膜机进行防护的效果。

3、通过时滑动架沿连接架向上拉动，并将第二卡板插入到对应的第一卡槽内，使滑动架不再滑动，滑动架和连接架对真空镀膜机上部和后部的限位，达到防止真空镀膜机被震动抛起的效果。

4、通过拉动两侧的升降架在夹持板上滑动，并将第二卡块插入到升降架和安装板对准的卡槽内，使升降架不再上下滑动，通过推动真空镀膜机，以使滑块带动真空镀膜机在滑轨上滑动，使真空镀膜机转运到较高处时更加方便。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图。

图2为本实用新型滑槽、第一导向杆和弹性件的立体结构示意图。

图3为本实用新型合页、第一挡板和把手的立体结构示意图。

图4为本实用新型连接架、滑动架和第二卡板的立体剖视结构示意图。

图5为本实用新型安装板、第二卡块和滑轨的立体剖视结构示意图。

以上附图中：1：周转架，101：滑动部，102：移动轮，2：安装架，3：滑槽，4：第一导向杆，401：夹持板，5：弹性件，6：推杆，7：合页，8：第一挡板，9：把手，901：第一卡板，10：固定杆，11：第一卡块，12：连接架，13：滑动架，1301：第一卡槽，14：第二卡板，15：升降架，16：安装板，1601：第二卡槽，17：第二卡块，18：滑轨，19：滑块，20：第二推板，21：固接架，22：第二导向杆，23：连接板，24：伸缩套，25：防撞垫。

具体实施方式

在本文中提及实施例意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本实用新型的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。

实施例1：一种真空镀膜机周转架，参阅图1和图2所示，包括有周转架1、移动轮102和推杆6，周转架1底部两侧为滑动部101，周转架1的滑动部101底部通过螺栓连接的方式安装有移动轮102，当铺设有转运轨道时可直接通过滑动部101在转运轨道上滑动进行转运，当没有转运轨道时可直接通过移动轮102进行滑动，周转架1底部中间设有支撑部，以免真空镀膜机过重而使周转架1被压凹变形，周转架1后侧通过螺栓连接的方式安装有推杆6，还包括有安装架2、第一导向杆4、夹持板401和弹性件5，周转架1顶部两侧通过螺栓连接的方式安装有两个安装架2，安装架2上滑动式设置有两根第一导向杆4，第一导向杆4在安装架2上横向滑动，两边两根第一导向杆4相互靠近的一端通过螺栓连接的方式共同固定连接有夹持板401，安装架2上部两侧开设有两道滑槽3，通过两根第一导向杆4在安装架2上滑动带动夹持板401在滑槽3内移动，夹持板401与安装架2之间通过焊接的方式固定连接有两个弹性件5，两个弹性件5分别绕设在两根第一导向杆4上，弹性件5用于推动两侧夹持板401将真空镀膜机夹紧固定。

当要对真空镀膜机进行转运时，先将两侧的夹持板401向相互远离的一侧推动，以使夹持板401带动两根第一导向杆4在安装架2上横向滑动，此时弹性件5被压缩变形，随后将真空镀膜机放置在周转架1上的两块夹持板401之间，随后松开两侧的夹持板401，此时弹性件5失去受力恢复原状，进而推动两块夹持板401向互相靠近的一侧滑动，以使两块夹持板401将真空镀膜机夹紧固定，随后通过握持推杆6推动周转架1，使周转架1通过滑动部101在转运轨道上滑动，或通过移动轮102在地面进行移动。

实施例2：在实施例1的基础之上，参阅图3所示，还包括有合页7、第一挡板8、把手9、第一卡板901、固定杆10和第一卡块11，两个安装架2前侧均通过螺栓连接的方式安装有上下两个合页7，同一个安装架2上的两个合页7通过螺栓连接的方式共同固定连接有第一挡板8，第一挡板8通过合页7与安装架2转动式连接，两个第一挡板8前侧相互靠近的一侧通过螺栓连接的方式均安装有把手9，把手9上通过螺栓连接的方式安装有第一卡板901，一个第一挡板8前侧通过螺栓连接的方式固定连接有固定杆10，固定杆10上转动式设置有第一卡块11，通过第一卡块11与两个第一卡板901同时卡接，以使两个第一挡板8无法转动。

当要进行装载真空镀膜机时，通过将第一卡块11沿固定杆10转动，以使固定杆10脱离两个第一卡板901，随后通过拉动两侧的把手9，使第一挡板8通过合页7转动打开，以方便将真空镀膜机放置到周转架1上，当将真空镀膜机装载在周转架1上后，通过将两个第一挡板8通过合页7反转，并通过将第一卡块11沿固定杆10反转，以使第一卡块11与两个第一卡板901卡接，使两个第一挡板8不再转动。

参阅图4所示，还包括有连接架12、滑动架13和第二卡板14，周转架1上通过螺栓连接的方式安装有连接架12，连接架12上滑动式设置有滑动架13，滑动架13沿连接架12上下滑动，滑动架13侧视为倒L型，便于对真空镀膜机上部进行限位，连接架12与滑动架13两侧均开设有多个第一卡槽1301，第一卡槽1301呈上下分布，第二卡板14在第一卡槽1301内滑动，以使滑动架13固定在连接架12上。

当真空镀膜机高度较高时，通过将第二卡板14从第一卡槽1301内拉出，并使滑动架13沿连接架12向上拉动，使真空镀膜机能够放置到周转架1上，随后将连接架12上的第一卡槽1301对准滑动架13上的第一卡槽1301，并将第二卡板14插入到对应的第一卡槽1301内，以使滑动架13固定在连接架12上，使滑动架13不再滑动，当移动时发生震动，滑动架13将对真空镀膜机进行上下的限位，避免真空镀膜机被震动抛起。

参阅图5所示，还包括有升降架15、安装板16、第二卡块17、滑轨18和滑块19，两块夹持板401相互靠近的一侧滑动式设置有升降架15，夹持板401顶部通过螺栓连接的方式安装有安装板16，安装板16上开设有多个第二卡槽1601，升降架15上开设有一个第二卡槽1601，安装板16与升降架15上的第二卡槽1601内共同卡接有第二卡块17，升降架15下部通过螺栓连接的方式安装有滑轨18，滑轨18内滑动式设置有两个滑块19，滑块19在滑轨18内横向滑动。

当需要将真空镀膜机转运到较高的平台时，先将两侧的第二卡块17从对应的第二卡槽1601内抽出，并拉动两侧的升降架15在夹持板401上滑动，以使升降架15带动滑轨18和滑块19向上移动，随后将第二卡块17插入到升降架15和安装板16对准的卡槽内，使升降架15不再上下滑动，随后将真空镀膜机放置在两侧升降架15上滑轨18的滑块19上，通过周转架1将真空镀膜机转运到指定位置后，通过推动真空镀膜机，以使滑块19带动真空镀膜机在滑轨18上滑动，使卸下真空镀膜机时更加方便。

参阅图4所示，还包括有第二推板20、固接架21、第二导向杆22和连接板23，连接架12后侧通过螺栓连接的方式安装有多个固接架21，固接架21上滑动式设置有第二导向杆22，第二导向杆22的数量为四个，各第二导向杆22一端通过螺栓连接的方式共同固定连接有连接板23，各第二导向杆22另一端通过螺栓连接的方式共同固定连接有第二推板20，通过推拉连接板23以使各第二导向杆22在对应固接架21上滑动，以带动第二推板20移动。

当要将真空镀膜机从周转架1上卸下时，通过将推动连接板23以使第二导向杆22在固接架21上滑动，使第二导向杆22推动第二推板20将真空镀膜机从周转架1上推下。

参阅图1所示，夹持板401与安装架2中间通过粘接的方式固定连接有两个伸缩套24，两个伸缩套24套设在弹性件5外部，安装架2的转角处通过螺栓连接的方式安装有防撞垫25。伸缩套24用于对弹性件5进行防护，以免弹性件5生锈失去弹性，防撞垫25用于缓冲撞击时的受击力度，防止周转架1移动时安装架2与其他物体产生的碰撞产生的震动幅度过大。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种真空镀膜机周转架，包括有周转架(1)、移动轮(102)和推杆(6)，周转架(1)底部两侧为滑动部(101)，周转架(1)的滑动部(101)上安装有移动轮(102)，当铺设有转运轨道时可直接通过滑动部(101)在转运轨道上滑动进行转运，当没有转运轨道时可直接通过移动轮(102)进行滑动，周转架(1)后侧安装有推杆(6)，其特征是：还包括有安装架(2)、第一导向杆(4)、夹持板(401)和弹性件(5)，周转架(1)上安装有两个安装架(2)，安装架(2)上滑动式设置有两根第一导向杆(4)，两根第一导向杆(4)上共同固定连接有夹持板(401)，安装架(2)上开设有两道滑槽(3)，通过两根第一导向杆(4)在安装架(2)上滑动带动夹持板(401)在滑槽(3)内移动，夹持板(401)与安装架(2)之间固定连接有两个弹性件(5)，弹性件(5)用于推动两侧夹持板(401)将真空镀膜机夹紧固定。

2.按照权利要求1所述的一种真空镀膜机周转架，其特征是：周转架(1)底部中间设有支撑部。

3.按照权利要求1所述的一种真空镀膜机周转架，其特征是：还包括有合页(7)、第一挡板(8)、把手(9)、第一卡板(901)、固定杆(10)和第一卡块(11)，两个安装架(2)上均安装有两个合页(7)，同一个安装架(2)上的两个合页(7)共同固定连接有第一挡板(8)，第一挡板(8)通过合页(7)与安装架(2)转动式连接，两个第一挡板(8)上均安装有把手(9)，把手(9)上安装有第一卡板(901)，一个第一挡板(8)上固定连接有固定杆(10)，固定杆(10)上转动式设置有第一卡块(11)，通过第一卡块(11)与两个第一卡板(901)同时卡接，以使两个第一挡板(8)无法转动。

4.按照权利要求1所述的一种真空镀膜机周转架，其特征是：还包括有连接架(12)、滑动架(13)和第二卡板(14)，周转架(1)上安装有连接架(12)，连接架(12)上滑动式设置有滑动架(13)，连接架(12)与滑动架(13)上均开设有多个第一卡槽(1301)，第二卡板(14)在第一卡槽(1301)内滑动，以使滑动架(13)固定在连接架(12)上。

5.按照权利要求4所述的一种真空镀膜机周转架，其特征是：滑动架(13)侧视为倒L型。

6.按照权利要求1所述的一种真空镀膜机周转架，其特征是：还包括有升降架(15)、安装板(16)、第二卡块(17)、滑轨(18)和滑块(19)，夹持板(401)上滑动式设置有升降架(15)，夹持板(401)上安装有安装板(16)，安装板(16)上开设有多个第二卡槽(1601)，升降架(15)上开设有一个第二卡槽(1601)，安装板(16)与升降架(15)上的第二卡槽(1601)内共同卡接有第二卡块(17)，升降架(15)上安装有滑轨(18)，滑轨(18)内滑动式设置有两个滑块(19)。

7.按照权利要求4所述的一种真空镀膜机周转架，其特征是：还包括有第二推板(20)、固接架(21)、第二导向杆(22)和连接板(23)，连接架(12)上安装有多个固接架(21)，固接架(21)上滑动式设置有第二导向杆(22)，各第二导向杆(22)一端共同固定连接有连接板(23)，各第二导向杆(22)另一端共同固定连接有第二推板(20)，通过推拉连接板(23)以使各第二导向杆(22)在对应固接架(21)上滑动，以带动第二推板(20)移动。

8.按照权利要求7所述的一种真空镀膜机周转架，其特征是：第二导向杆(22)的数量为四个。

9.按照权利要求1所述的一种真空镀膜机周转架，其特征是：夹持板(401)与安装架(2)中间固定连接有两个伸缩套(24)，两个伸缩套(24)套设在弹性件(5)外部。

10.按照权利要求1所述的一种真空镀膜机周转架，其特征是：安装架(2)的转角处安装有防撞垫(25)。