CN221625072U - 一种适用多尺寸掩膜板的承运装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种适用多尺寸掩膜板的承运装置，包括取料单元和承载单元，所述承载单元用于一次承载不同面积与不同厚度的掩膜板，取料单元通过夹取动作夹取承载单元上不同尺寸的掩膜板。本实用新型可以满足不同面积掩膜板，同一面积不同厚度掩膜板的夹持与承载，兼容多尺寸，适用性广，使用效果好。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种适用多尺寸掩膜板的承运装置。
背景技术
MASK工艺过程中（例如清洗、检测等）夹持需要支持多种MASK产品 ，而现有的夹持工装以及用于承载MASK的承载工装均是只针对一种尺寸的掩膜板（同一面积或者同一厚度），不能兼容多种MASK，使用存在一定的局限性。
发明内容
本实用新型是为了解决上述现有技术存在的问题而提供一种适用多尺寸掩膜板的承运装置。
本实用新型所采用的技术方案有：
一种适用多尺寸掩膜板的承运装置，包括取料单元和承载单元，所述承载单元用于一次承载不同面积与不同厚度的掩膜板，取料单元通过夹取动作夹取承载单元上不同尺寸的掩膜板。
进一步地，所述承载单元包括卡座，卡座上设有用于插接掩膜板的U形槽，四个卡座形成一组承载单元，承载单元设有若干组，且每组承载单元适用于一种尺寸的掩膜板，每组承载单元中的两个卡座用于支撑掩膜板。
进一步地，所述承载单元还包括承载座和限位座，两个限位座间隔布置，在每个限位座的下方布置一个承载座，在承载座和限位座均间隔布置同等数量的卡座，掩膜板插接在限位座上的卡座，底部支撑在承载座上的卡座。
进一步地，所述限位座上固定若干并列布置的直角板，直角板的竖直边与限位座固定，水平边的末端固定一个卡座。
进一步地，所述取料单元包括定臂、动臂、限位块、支撑座、第一安装臂和多轴机械手，第一安装臂与多轴机械手相连，两动臂可在第一安装臂同时相向或者背向滑动，两个定臂对称置于两动臂之间，且定臂与第一安装臂固定，两个限位块和两个支撑座共同形成一组定位支撑单元，若干组定位支撑单元平行布置并用于支撑夹持多种尺寸的掩膜板，每组定位支撑单元中的两个限位块固定在两个动臂上用于夹持掩膜板，两个支撑座固定在两定臂上用于用于支撑掩膜板。
进一步地，在每个动臂上设有若干第二安装臂，每个第二安装臂上固定一个限位块，所有具有第二安装臂的定位支撑单元中两个限位座之间的间隙逐渐靠近或者远离。
进一步地，所述第二安装臂为直角臂，其水平边与动臂固定，每个第二安装臂竖直边的末端固定一限位块。
进一步地，所述动臂在第一安装臂上的滑动通过气缸单元驱动，或者通过电动双向正反牙滑台驱动。
进一步地，所述限位块与支撑座上均设有U形槽，限位块上U形槽的宽度大于或者等于支撑座上U形槽宽度。
本实用新型具有如下有益效果：
本实用新型可以满足不同面积掩膜板，同一面积不同厚度掩膜板的夹持与承载，兼容多尺寸，适用性广，使用效果好。
附图说明
图1为本实用新型结构图。
图2为本实用新型结构图。
图3为承载单元的结构图。
图4为取料单元的结构图。
图5为定位支撑单元在定臂和动臂上的装配图。
图6为定位支撑单元夹持掩膜板的示意图。
图7为气缸单元的结构图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。
如图1和图2，本实用新型一种适用多尺寸掩膜板的承运装置，包括取料单元和承载单元，承载单元用于一次承载不同面积与不同厚度的掩膜板，取料单元通过夹取动作夹取承载单元上不同尺寸的掩膜板。
结合图3，承载单元包括承载座71、限位座72和卡座73，两个限位座72间隔布置，在每个限位座72的下方布置一个承载座71，在承载座71和限位座72均间隔布置同等数量的卡座73，四个卡座73形成一组承载单元，承载单元中四个卡座73上的U形槽置于同一平面内，承载单元设有若干组，沿着Z轴方向并列布置，每组承载单元适用于一种尺寸的掩膜板，掩膜板插接在限位座72上的卡座，底部支撑在承载座71上的卡座。
上述不同尺寸的掩膜板，是指不同面积的掩膜板，以及同一面积不同厚度的掩膜板。由于面积不同的掩膜板所在的圆心高度是不一样的，为适用于多种不同面积的掩膜板，需要承载单元中卡座73的X向距离不同，以此适用不同面积的掩膜板，为此，本实用新型在限位座72上固定若干沿着Z向并列布置的直角板74（为制图方便，图3限位座72上就给出一个直角板74），直角板74的竖直边与限位座72固定，水平边的末端固定一个卡座73。通过不同长度水平边的直角板74实现不同面积掩膜版的使用。不同厚度的掩膜板只需选择不同槽宽的卡座73即可。
如图4至图7，取料单元包括定臂1、动臂2、限位块3、支撑座4、第一安装臂5和多轴机械手，第一安装臂5与多轴机械手相连，两动臂2可在第一安装臂5同时相向或者背向滑动（相向运动实现夹取动作），两个定臂1对称置于两动臂2之间，且定臂1与第一安装臂5固定，两个限位块3和两个支撑座4共同形成一组定位支撑单元，若干组定位支撑单元平行布置并用于支撑夹持多种尺寸的掩膜板，每组定位支撑单元中的两个限位座3固定在两个动臂2上用于夹持掩膜板，两个支撑座4固定在两定臂1上用于支撑掩膜板，在限位座3与支撑座4上均设有U形槽30。本实用新型中的限位座3在动臂的带动下起到夹持掩膜板的作用，支撑座4起到支撑掩膜板的作用。
以图5所示的结构为例，该图中设置两组定位支撑单元，即两个第一限位块31和两个第一支撑座41形成一组，两个第二第一限位块32和两个第二支撑座42形成一组。两组定位支撑单元沿着Z轴方向平行布置，设置多组定位支撑单元是为了适用于不同尺寸的掩膜板，如图4所示的夹持状态，编号400与410为两个不同面积大小的掩膜板，两个定位支撑单元实现不用面积掩膜板的夹持。
为适用于多种面积尺寸掩膜板的夹持，本实用新型是设置若干个定位支撑单元，并且设置限位座3之间不同的安装间隙，具体为：
在每个动臂2上设有若干第二安装臂21，第二安装臂21为直角臂，其水平边与动臂2固定，所有第二安装臂21沿着Z向并列布置（为绘图方便，图2只给出一个第二安装臂21），每个第二安装臂21水平边长度不同（实现上述不同的安装间隙），每个第二安装臂21的竖直边末端固定一限位块3。通过不同安装间隙的限位块3布置，可以适用于不用面积掩膜板的夹持。
由于同一面积的掩膜板，也会存在不用厚度的产品，而本实用新型每组的定位支撑单元也可以同样适用于同一面积不同厚度的掩膜板。由于支撑座4是起支撑作用，而限位座3是进行夹持，在限位座3与支撑座4上均设有U形槽30，限位座3上U形槽的宽度大于或者等于支撑座4上U形槽宽度。使用时，只要掩膜板能放入支撑座4上的U形槽30即可满足被限位座3夹持。
使用时，承载单元置于清洗槽内，多轴机械手将定臂1和动臂2移动至承载单元上掩膜板的一侧，承载单元上相邻掩膜板之间的间隙要足够定臂1和动臂2进入，然后顶壁上的支撑座4置于对应厚度掩膜板的底部，动臂相向运动完成夹持动作。
本实用新型中所有的U形槽30的槽口为V形槽口，其是为了避免损伤掩膜板。同样，为更好保护掩膜板，限位座3与支撑座4可选用PEEK材质（聚醚醚酮）制成。
结合图6和图7，本实用新型中的动臂2在第一安装臂5上的滑动通过气缸单元6驱动。气缸单元6包括气缸61、滑座62和安装座63，气缸61固定在第一安装臂5上，气缸61与滑座62集成一起，滑座62为直角块结构，滑座62的竖直边与气缸轴固定连接，在气缸61的外壁上固定导杆611，导杆611固定在气缸61的外壁上并远离气缸轴，滑座62的水平边朝着导杆611的方向布置，且与导杆611相互插接，安装座63与滑座62固定连接，动臂2与安装座63固定连接。
本实用新型中的气缸单元6中设置直角状的滑座62，使得整体安装结构更加紧凑。滑座62的运动行程可以直接通过气缸侧行程进行限位，还可以在气缸61和滑座62设有行程限位块612，在其中一个行程限位块612上设有接近开关。
本实用新型中的动臂2在第一安装臂5上的滑动还可以通过电动丝杠滑台驱动，电动丝杠滑台为电动双向正反牙滑台，两个动臂分别固定在电动丝杠滑台的两个滑台上，由此实现两个动臂的同步相向或者背向运动。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下还可以作出若干改进，这些改进也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (9)
1.一种适用多尺寸掩膜板的承运装置，其特征在于：包括取料单元和承载单元，所述承载单元用于一次承载不同面积与不同厚度的掩膜板，取料单元通过夹取动作夹取承载单元上不同尺寸的掩膜板。
2.如权利要求1所述的适用多尺寸掩膜板的承运装置，其特征在于：所述承载单元包括卡座（73），卡座（73）上设有用于插接掩膜板的U形槽，四个卡座（73）形成一组承载单元，承载单元设有若干组，且每组承载单元适用于一种尺寸的掩膜板，每组承载单元中的两个卡座（73）用于支撑掩膜板。
3.如权利要求2所述的适用多尺寸掩膜板的承运装置，其特征在于：所述承载单元还包括承载座（71）和限位座（72），两个限位座（72）间隔布置，在每个限位座（72）的下方布置一个承载座（71），在承载座（71）和限位座（72）均间隔布置同等数量的卡座（73），掩膜板插接在限位座（72）上的卡座，底部支撑在承载座（71）上的卡座。
4.如权利要求3所述的适用多尺寸掩膜板的承运装置，其特征在于：所述限位座（72）上固定若干并列布置的直角板（74），直角板（74）的竖直边与限位座（72）固定，水平边的末端固定一个卡座（73）。
5.如权利要求1所述的适用多尺寸掩膜板的承运装置，其特征在于：所述取料单元包括定臂（1）、动臂（2）、限位块（3）、支撑座（4）、第一安装臂（5）和多轴机械手，第一安装臂（5）与多轴机械手相连，两动臂（2）可在第一安装臂（5）同时相向或者背向滑动，两个定臂（1）对称置于两动臂（2）之间，且定臂（1）与第一安装臂（5）固定，两个限位块（3）和两个支撑座（4）共同形成一组定位支撑单元，若干组定位支撑单元平行布置并用于支撑夹持多种尺寸的掩膜板，每组定位支撑单元中的两个限位块（3）固定在两个动臂（2）上用于夹持掩膜板，两个支撑座（4）固定在两定臂（1）上用于支撑掩膜板。
6.如权利要求5所述的适用多尺寸掩膜板的承运装置，其特征在于：在每个动臂（2）上设有若干第二安装臂（21），每个第二安装臂（21）上固定一个限位块（3），所有具有第二安装臂（21）的定位支撑单元中两个限位座（3）之间的间隙逐渐靠近或者远离。
7.如权利要求6所述的适用多尺寸掩膜板的承运装置，其特征在于：所述第二安装臂（21）为直角臂，其水平边与动臂（2）固定，每个第二安装臂（21）竖直边的末端固定一限位块（3）。
8.如权利要求5所述的适用多尺寸掩膜板的承运装置，其特征在于：所述动臂（2）在第一安装臂（5）上的滑动通过气缸单元（6）驱动，或者通过电动双向正反牙滑台驱动。
9.如权利要求5所述的适用多尺寸掩膜板的承运装置，其特征在于：所述限位块（3）与支撑座（4）上均设有U形槽（30），限位块（3）上U形槽的宽度大于或者等于支撑座（4）上U形槽宽度。
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