CN220553425U - 一种载体玻璃承载模组 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于半导体加工设备技术领域，具体涉及一种载体玻璃承载模组，包括底座(1)，还包括设于底座上表面的Y向活动组件(2)，设于Y向活动组件上表面的X向活动组件(3)，设于X向活动组件上表面的用于放置载体玻璃(9)的玻璃框架(4)；载体玻璃放置玻璃框架的上表面；与现有的承载玻璃倒吊吸附结构相比，可有效克服现有结构存在的载体玻璃中心下垂、玻璃变形的问题；与此同时，因采用扁平化结构取代悬臂结构，可有效减少因晃动导致电机增加的整定时间，从而有利于本实用新型高速运动，进而提高工作效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，具体是指一种加工半导体的自动化设备上采用的承载放置巨量芯片的大尺寸载体玻璃的模组。
背景技术
在半导体加工过程中，需要将巨量芯片转移并焊接到PCB板上，而需要转移的芯片数量越多，则意味着载体玻璃越大，对于承载载体玻璃的模组整体体积也会增大；如图5所示，目前，此类承载模组采用悬臂模式，载体玻璃通过吸附的方式倒吸附于承载模组的玻璃框架上，排列晶片的方式是由下向上排列，采用该结构，如根据需要而增大载体玻璃的尺寸，容易使载体玻璃因自身重量而导致玻璃中心下垂，同时，在高速运动时载体玻璃及其承载结构产生晃动，为此增加了电机的整定时间。
实用新型内容
为了克服现有技术的不足之处，本实用新型目的在于提供一种载体玻璃承载模组，其采用扁平化设计，克服了现有结构的缺陷。
为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：一种载体玻璃承载模组，包括底座，还包括设于底座上表面的Y向活动组件，设于Y向活动组件上表面的X向活动组件，设于X向活动组件上表面的用于放置载体玻璃的玻璃框架；载体玻璃放置玻璃框架的上表面。
具体地，所述Y向活动组件包括两组分别位于底座上表面且相互平行的Y向直线电机定子，两根均与Y向直线电机定子平行且固设于底座上表面的Y向直线导轨，活动设于每根Y向直线导轨上的Y向滑块，底面与全部Y向滑块固定连接的X向底座，两个分别设于X向底座两侧边缘并与分别与两组Y向直线电机定子相配合的Y向直线电机动子。
具体地，所述两根Y向直线导轨位于Y向直线电机定子之间；所述每根Y向直线导轨外侧均设有两个固定在底座上表面用于对Y向滑块限位的止挡块；底座两侧面上各设有一个位于Y向直线电机定子外侧的光栅尺。
具体地，所述X向活动组件包括设于X向底座上表面的两个相互平行的X向直线电机定子，两根均与X向直线电机定子平行且固设于X向底座上表面的X向直线导轨，活动设于每根X向直线导轨上的若干X向滑块，X向活动座，两个分别设于X向活动座两侧边缘下表面并分别与两个X向直线电机定子相配合的X向直线电机动子；玻璃框架嵌设于X向活动座上表面内；所述X向活动座的底面与X向滑块固定连接。
所述玻璃框架的上表面设有四块分别位于其内框四侧边缘的载体玻璃限位片；玻璃框架上表面内设有放置载体玻璃的石英玻璃。
所述玻璃框架下表面的两侧各设有一块X电机固定板，两个X向直线电机动子分别设于两块X电机固定板的内表面上；所述X向直线电机定子位于两个X向直线电机动子之间。
设于每根Y向直线导轨上的Y向滑块为两个；设于每根X向直线导轨上的X向滑块为两个。
技术效果在于，直接将Y向活动组件、X向活动组件叠放在底座上，然后将用于放置玻璃的玻璃框架设于X向活动组件上表面，三者在底座上形成一个扁平化的结构且在玻璃框架上表面内设有放置载体玻璃的结构，本结构的排晶方式是由上往下排，采用该结构，当承载芯片的载体玻璃尺寸增大，也就是远大于目前的芯片载体玻璃时，并在增加石英玻璃承载载体玻璃的情况下；与现有的承载玻璃倒吊吸附结构相比，可有效改善载体玻璃中心下垂、玻璃变形的问题；与此同时，因采用扁平化结构取代悬臂结构，可有效减少因晃动导致电机增加的整定时间，从而有利于本实用新型高速运动，进而提高工作效率。
附图说明
图1为本实用新型实施例的俯视图；
图2为本实用新型实施例的立体图；
图3为本实用新型实施例的另一视角立体图；
图4为本实用新型实施例的爆炸图；
图5为现有同类结构的立体图。
附图标记：底座-1，Y向活动组件-2，Y向直线电机定子-201，Y向直线导轨-202，Y向滑块-203，X向底座-204，Y向直线电机动子-205，X向活动组件-3，X向直线电机定子-301，X向直线导轨-302，X向滑块-303，X向直线电机动子-304，X向活动座-305，玻璃框架-4，内框-401，止挡块-5，光栅尺-6，载体玻璃限位片-7，X电机固定板-8，载体玻璃-9，石英玻璃-10。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。
如图2-3所示，本实用新型实施例提供一种载体玻璃承载模组，其用于半导体加工设备上，放置并移送承载芯片的芯片载体玻璃，包括底座1，还包括设于底座上表面的Y向活动组件2，设于Y向活动组件上表面的X向活动组件3，设于X向活动组件上表面的用于放置载体玻璃9的玻璃框架4；载体玻璃放置玻璃框架的上表面，具体地，在玻璃框架4上表面内设有放置载体玻璃9的石英玻璃10。
如图4所示，在本实施例，所述Y向活动组件2采用以下结构，其包括两组分别位于底座1上表面且相互平行的Y向直线电机定子201，两根均与Y向直线电机定子平行且固设于底座1上表面的Y向直线导轨202，活动设于每根Y向直线导轨上的Y向滑块203，底面与全部Y向滑块固定连接的X向底座204，两个分别设于X向底座两侧边缘并与分别与两组Y向直线电机定子相配合的Y向直线电机动子205。采用该结构，直线电机启动时，两组Y向直线电机动子205分别相对并沿着两组Y向直线电机定子201移动，带动X向底座204在Y向移动。
具体地，装配时，所述两根Y向直线导轨202位于Y向直线电机定子201之间；所述每根Y向直线导轨外侧均设有两个固定在底座1上表面用于对Y向滑块203限位的止挡块5；底座两侧面上各设有一个位于Y向直线电机定子201外侧的光栅尺6。
如图4所示，所述X向活动组件3采用以下结构，其包括设于X向底座204上表面的两个相互平行的X向直线电机定子301，两根均与X向直线电机定子平行且固设于X向底座上表面的X向直线导轨302，活动设于每根X向直线导轨上的若干X向滑块303，X向活动座305，两个分别设于X向活动座两侧边缘下表面并分别与两个X向直线电机定子301相配合的X向直线电机动子304；玻璃框架4嵌设于X向活动座305上表面内；所述X向活动座305的底面与X向滑块303固定连接。
如图1所示，X向底座204可在Y向往复移动，当X向的直线电机启动时，两组X向直线电机动子304分别相对并沿着两组X向直线电机定子301移动，带动玻璃框架4在X向移动，即玻璃框架4可在X、Y向做往复移动。
具体地，如图3-4所示，所述玻璃框架4的上表面设有四块分别位于其内框401四侧边缘的载体玻璃限位片7。
如图4所示，所述玻璃框架4下表面的两侧各设有一块X电机固定板8，两个X向直线电机动子304分别设于两块X电机固定板的内表面上；所述X向直线电机定子301位于两个X向直线电机动子之间。
如图4所示，设于每根Y向直线导轨202上的Y向滑块203为两个；设于每根X向直线导轨302上的X向滑块303为两个。
综上所述，采用本实用新型的承载模组结构，其排晶方式是由上往下排，当承载芯片的载体玻璃9尺寸增大，也就是远大于目前的芯片载体玻璃时，并在增加石英玻璃10承载载体玻璃的情况下；与现有的承载玻璃倒吊吸附结构相比，可有效改善载体玻璃中心下垂、玻璃变形的问题；与此同时，因采用扁平化结构取代悬臂结构，可有效减少因晃动导致电机增加的整定时间，从而有利于本实用新型高速运动，进而提高工作效率。
在以上描述中，需要说明的是，术语“安装”、“相连”、“连接”等相应术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接连接，亦可以是通过中间媒介间接连接，可以是两个部件内部的连通；“设于”应理解为“安装于、设置于”，包括固定安装、活动安装等安装方式。
显然，以上所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，附图中给出了本实用新型的较佳实施例，但并不限制本实用新型的专利范围。本实用新型可以以许多不同的形式来实现，相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。凡是利用本实用新型说明书及附图内容所做的等效结构，直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理在本实用新型专利保护范围之内。
Claims (7)
1.一种载体玻璃承载模组，包括底座(1)，其特征在于，还包括设于底座上表面的Y向活动组件(2)，设于Y向活动组件上表面的X向活动组件(3)，设于X向活动组件上表面的用于放置载体玻璃(9)的玻璃框架(4)；载体玻璃放置玻璃框架的上表面。
2.如权利要求1所述的一种载体玻璃承载模组，其特征在于，所述Y向活动组件(2)包括两组分别位于底座(1)上表面且相互平行的Y向直线电机定子(201)，两根均与Y向直线电机定子平行且固设于底座(1)上表面的Y向直线导轨(202)，活动设于每根Y向直线导轨上的Y向滑块(203)，底面与全部Y向滑块固定连接的X向底座(204)，两个分别设于X向底座两侧边缘并与分别与两组Y向直线电机定子相配合的Y向直线电机动子(205)。
3.如权利要求2所述的一种载体玻璃承载模组，其特征在于，所述两根Y向直线导轨(202)位于Y向直线电机定子(201)之间；所述每根Y向直线导轨外侧均设有两个固定在底座(1)上表面用于对Y向滑块(203)限位的止挡块(5)；底座两侧面上各设有一个位于Y向直线电机定子(201)外侧的光栅尺(6)。
4.如权利要求2所述的一种载体玻璃承载模组，其特征在于，所述X向活动组件(3)包括设于X向底座(204)上表面的两个相互平行的X向直线电机定子(301)，两根均与X向直线电机定子平行且固设于X向底座上表面的X向直线导轨(302)，活动设于每根X向直线导轨上的若干X向滑块(303)，X向活动座(305)，两个分别设于X向活动座两侧边缘下表面并分别与两个X向直线电机定子(301)相配合的X向直线电机动子(304)；玻璃框架(4)嵌设于X向活动座(305)上表面内；所述X向活动座的底面与X向滑块(303)固定连接。
5.如权利要求2所述的一种载体玻璃承载模组，其特征在于，所述玻璃框架(4)的上表面设有四块分别位于其内框(401)四侧边缘的载体玻璃限位片(7)；玻璃框架(4)上表面内设有放置载体玻璃(9)的石英玻璃(10)。
6.如权利要求4所述的一种载体玻璃承载模组，其特征在于，所述玻璃框架(4)下表面的两侧各设有一块X电机固定板(8)，两个X向直线电机动子(304)分别设于两块X电机固定板的内表面上；所述X向直线电机定子(301)位于两个X向直线电机动子之间。
7.如权利要求4所述的一种载体玻璃承载模组，其特征在于，设于每根Y向直线导轨(202)上的Y向滑块(203)为两个；设于每根X向直线导轨(302)上的X向滑块(303)为两个。
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