CN221314748U - 一种单晶硅棒切割机构及返切机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及硅棒切割设备领域,尤其涉及一种单晶硅棒切割机构及返切机,包括安装架、第一切割线、第二切割线、第一滚轮、第二滚轮、第一张紧组件、第二张紧组件和导向滚轮;第一张紧组件设于第一滚轮一侧,第二张紧组件设于第二滚轮一侧,第一张紧组件和第二张紧组件之间设有导向滚轮,第一切割线依次经过第一滚轮、第一张紧组件、导向滚轮和第二滚轮,第二切割线依次经过第一滚轮、导向滚轮、第二张紧组件和第二滚轮。上述设计减少轮系的复杂度且共同导轮两侧受力均衡,能够避免因单侧受力而损坏的情况发生;简化轮系的设计也能减少切割线传动时的磨损,减少机构重量来减弱对移动机构推动其朝向加工物料切割时的精度干扰。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅棒切割设备领域,尤其涉及一种单晶硅棒切割机构及返切机。
背景技术
在单晶硅棒切割机构的设计中,通常采用环绕轮系的切割线布置来实现,由轮系转动带动切割线移动,同时使加工物料靠近高速移动的切割线进而实现切割。现有设计中有一种采用双线切割的高效切割方式,通过布置轮系同时使两条切割线环绕。以公开号为CN202021635886.4的中国实用新型专利为例,其公开了一种硅棒切割机构,包括第一滚轮、第二滚轮、第一从动轮、第二从动轮、第一张紧轮和第二张紧轮。其布置的轮系于同侧竖直方向依次设置第二张紧轮、第一从动轮和第一滚轮以及第一张紧轮、第二从动轮和第二滚轮,两组切割线分别沿第一滚轮、第一从动轮、第一张紧轮和第二滚轮以及沿第一滚轮、第二张紧轮、第二从动轮和第二滚轮依次缠绕,形成两组重叠的梯形绕线结构。其中设计的第一从动轮和第二从轮使得对应切割线能够远离安装板的用于让位的凹槽部分。上述的轮系及切割线布置虽然能够实现高效的双线切割,但轮系设计复杂,加剧切割线的损耗,且安装维护存在一定难度。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是:提供一种简化轮系设计,满足双线切割且使用寿命长的单晶硅棒切割机构及返切机。
为了解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案为:一种单晶硅棒切割机构,包括安装架、第一切割线、第二切割线、设于安装架上的第一滚轮、第二滚轮、第一张紧组件、第二张紧组件和导向滚轮;所述第一滚轮和第二滚轮上下相对并靠近加工物料,所述第一张紧组件设于第一滚轮远离加工物料一侧,所述第二张紧组件设于第二滚轮远离加工物料一侧,所述第一张紧组件和第二张紧组件之间设有导向滚轮,所述第一切割线依次经过第一滚轮、第一张紧组件、导向滚轮和第二滚轮,所述第二切割线依次经过第一滚轮、导向滚轮、第二张紧组件和第二滚轮。
进一步地,所述第一张紧组件包括第一张紧轮、第一摆臂、第二摆臂和第一重锤,所述第一切割线经过第一张紧轮,所述第一摆臂一端与第一张紧轮连接,另一端与第二摆臂连接,所述第二摆臂与第一重锤连接;所述第二张紧组件包括第二张紧轮、第三摆臂、第四摆臂和第二重锤,所述第二切割线经过第二张紧轮,所述第三摆臂一端与第二张紧轮连接,另一端与第四摆臂连接,所述第四摆臂与第二重锤连接。
进一步地,所述第一张紧组件包括第一张紧轮,所述第二张紧组件包括第二张紧轮;所述第一滚轮、第一张紧轮与第二滚轮、第二张紧轮均以导向滚轮的圆心所在的虚拟直线对称分布;所述导向滚轮和第二滚轮之间的第一切割线部分的延长线与第二滚轮和第一滚轮之间的第一切割线部分的延长线之间形成夹角,所述夹角角度为55-60度。
进一步地,所述夹角角度为57度。
进一步地,所述第一滚轮、第二滚轮、第一张紧轮和第二张紧轮直径相同且均为220-250mm。
进一步地,所述第一滚轮、第二滚轮、第一张紧轮和第二张紧轮的直径为230mm。
进一步地,所述第一张紧组件设于第二张紧组件下侧,所述第一摆臂与第二摆臂的延伸方向相同,所述第三摆臂和第四摆臂的延伸方向相反。
进一步地,所述第一滚轮与第二滚轮之间的第一切割线部分和第二切割线部分均垂直于加工物料;所述第一张紧轮与第一滚轮之间的第一切割线部分的延长线与所述第一滚轮与第二滚轮之间的第一切割线部分的延长线相交且夹角为锐角。
进一步地,所述第二摆臂一侧与第一重锤相对,所述第二摆臂上对应第一重锤设有让位缺口;所述第四摆臂一侧与第二重锤相对,所述第四摆臂上对应第二重锤设有让位缺口。
一种返切机,包括上述的单晶硅棒切割机构、机台、滑座、上料台和驱动机构,所述机台内设有滑座,所述单晶硅棒切割机构和上料台沿滑座长度方向依次布置;所述单晶硅棒切割机构与滑座移动配合,所述驱动机构驱使单晶硅棒切割机构朝向上料台移动;所述机台周围设有铰接的挡板。
本实用新型的有益效果在于:通过第一滚轮、第二滚轮、第一张紧组件、第二张紧组件和导向滚轮的布置,使得两组切割线能够沿梯形的布置方式来实现双线切割,相比背景技术提供的双线布置方案,且通过采用一个共用的导向滚轮的设计代替两个从动轮,减少轮系的复杂度且共同导轮两侧受力均衡,能够避免因单侧受力而损坏的情况发生;简化轮系的设计也能减少切割线传动时的磨损,减少机构重量来减弱对移动机构推动其朝向加工物料切割时的精度干扰;整体返切机由单晶硅棒切割机构、机台、滑座、上料台和驱动机构组成,通过驱动机构驱使滑座上的单晶硅棒切割机构朝向上料台的加工物料移动进而实现切割,而机台周围铰接设计的挡板能够避免切割时废料飞溅。
附图说明
图1为本实用新型具体实施方式的单晶硅棒切割机构的结构示意图;
图2为本实用新型具体实施方式的返切机的结构示意图;
图3为本实用新型具体实施方式的单晶硅棒切割机构、上料台和滑座配合后的的结构示意图;
图4为本实用新型具体实施方式的单晶硅棒切割机构的安装架去除一侧安装壳体后的结构示意图。
标号说明:
1、安装架;11、安装板;12、安装壳体;13、第一调整窗;14、第二调整窗;2、第一切割线;3、第二切割线;4、第一滚轮;5、第二滚轮;6、第一张紧组件;61、第一张紧轮;62、第一摆臂;63、第二摆臂;64、第一重锤;7、第二张紧组件;71、第二张紧轮;72、第三摆臂;73、第四摆臂;74、第二重锤;8、配重支架;9、配重块;10、限位块;101、让位缺口;102、机台;103、滑座;104、上料台;105、挡板;106、导向滚轮。
具体实施方式
为详细说明本实用新型的技术内容、所实现目的及效果,以下结合实施方式并配合附图予以说明。
请参照图1至图4,一种单晶硅棒切割机构,包括安装架1、第一切割线2、第二切割线3、设于安装架1上的第一滚轮4、第二滚轮5、第一张紧组件6、第二张紧组件7和导向滚轮106;所述第一滚轮4和第二滚轮5上下相对并靠近加工物料,所述第一张紧组件6设于第一滚轮4远离加工物料一侧,所述第二张紧组件7设于第二滚轮5远离加工物料一侧,所述第一张紧组件6和第二张紧组件7之间设有导向滚轮106,所述第一切割线2依次经过第一滚轮4、第一张紧组件6、导向滚轮106和第二滚轮5,所述第二切割线3依次经过第一滚轮4、导向滚轮106、第二张紧组件7和第二滚轮5。。
从上述描述可知,本实用新型的有益效果在于:通过第一滚轮4、第二滚轮5、第一张紧组件6、第二张紧组件7和导向滚轮106的布置,使得两组切割线能够沿梯形的布置方式来实现双线切割,相比背景技术提供的双线布置方案,且通过采用一个共用的导向滚轮106的设计代替两个从动轮,减少轮系的复杂度且共同导轮两侧受力均衡,能够避免因单侧受力而损坏的情况发生;简化轮系的设计也能减少切割线传动时的磨损,减少机构重量来减弱对移动机构推动其朝向加工物料切割时的精度干扰。
进一步地,所述第一张紧组件6包括第一张紧轮61、第一摆臂62、第二摆臂63和第一重锤64,所述第一切割线2经过第一张紧轮61,所述第一摆臂62一端与第一张紧轮61连接,另一端与第二摆臂63连接,所述第二摆臂63与第一重锤64连接;所述第二张紧组件7包括第二张紧轮71、第三摆臂72、第四摆臂73和第二重锤74,所述第二切割线3经过第二张紧轮71,所述第三摆臂72一端与第二张紧轮71连接,另一端与第四摆臂73连接,所述第四摆臂73与第二重锤74连接。
由上述描述可知,第一张紧组件6由第一张紧轮61、第一摆臂62、第二摆臂63和第一重锤64组成,通过调整第一重锤64的质量,使得第二摆臂63及第一摆臂62对应转动,继而使得第一张紧轮61移动,调整对应切割线的张紧程度。第二张紧组件7由第二张紧轮71、第三摆臂72、第四摆臂73和第二重锤74组成,通过调整第二重锤74的质量,使得第四摆臂73及第三摆臂72对应转动,继而使得第二张紧轮71移动,调整对应切割线的张紧程度。
进一步地,所述第一张紧组件6包括第一张紧轮61,所述第二张紧组件7包括第二张紧轮71;所述第一滚轮4、第一张紧轮61与第二滚轮5、第二张紧轮71均以导向滚轮106的圆心所在的虚拟直线对称分布;所述导向滚轮106和第二滚轮5之间的第一切割线2部分的延长线与第二滚轮5和第一滚轮4之间的第一切割线2部分的延长线之间形成夹角,所述夹角角度为55-60度。
由上述可知,第一滚轮4与第一张紧轮61设于导向滚轮106下侧,第二滚轮5与第二张紧轮71设于导向滚轮106上侧;采用55-60度的角度设计能够确保形成第一滚轮4、第二滚轮5及导向滚轮106及切割线之间围绕形成的让位口,同时还能保证切割线的牵引良好。
进一步地,所述夹角角度为57度。
由上述可知,夹角角度优先为57度。
进一步地,所述第一滚轮4、第二滚轮5、第一张紧轮61和第二张紧轮71直径相同且均为220-250mm。
由上述可知,通过对所述第一滚轮4、第二滚轮5、第一张紧轮61和第二张紧轮71直径范围设计,该范围内的直径在转动时与相对应的切割线配合更优。
进一步地,所述第一滚轮4、第二滚轮5、第一张紧轮61和第二张紧轮71的直径为230mm。
由上述可知,上述各轮的直径优选为230mm。
进一步地,所述第一张紧组件6设于第二张紧组件7下侧,所述第一摆臂62与第二摆臂63的延伸方向相同,所述第三摆臂72和第四摆臂73的延伸方向相反。
由上述描述可知,针对侧向推动的切割方式,存在第一张紧组件6和第二张紧组件7上下布置的情况,而对应地重锤及摆臂设计需要根据上下布置的情况进行调整才得以实现张紧轮对切割线的张紧调整。具体地,在第一张紧轮61需要朝向安装架1下侧移动以实现张紧调整,而第二张紧轮71需要朝向安装架1上侧移动以实现张紧调整,由此第一张紧轮61对应第一摆臂62和第二摆臂63延伸方向相同,当第一重锤64质量增加,第二摆臂63和第一摆臂62向下转动,实现张紧调整;而第二张紧轮71对应的第三摆臂72和第四摆臂73延伸方向相反,当第二重锤74质量增加,第四摆臂73向下转动,第三摆臂72向上转动,实现张紧调整。
进一步地,所述第一滚轮4与第二滚轮5之间的第一切割线2部分和第二切割线3部分均垂直于加工物料;所述第一张紧轮61与第一滚轮4之间的第一切割线2部分的延长线与所述第一滚轮4与第二滚轮5之间的第一切割线2部分的延长线相交且夹角为锐角。
由上述可知,上述形成的锐角使得在整体高度方向上,第一张紧轮61高于第一滚轮4,第二张紧轮71矮于第二滚轮5,进一步提高切割位置的张紧力。
进一步地,所述第二摆臂63一侧与第一重锤64相对,所述第二摆臂63上对应第一重锤64设有让位缺口101;所述第四摆臂73一侧与第二重锤74相对,所述第四摆臂73上对应第二重锤74设有让位缺口101。
由上述描述可知,通过让位缺口101的设计,避免配重调整后第二摆臂63及第四摆臂73分别与对应的第一重锤64和第二重锤74部分相抵而卡住,使得第一张紧轮61和第二张紧轮71无法继续移动调整切割线的张紧程度。让位缺口101的设计提高了张紧轮的张紧程度调节范围。
一种返切机,包括上述的单晶硅棒切割机构、机台102、滑座103、上料台104和驱动机构,所述机台102内设有滑座103,所述单晶硅棒切割机构和上料台104沿滑座103长度方向依次布置;所述单晶硅棒切割机构与滑座103移动配合,所述驱动机构驱使单晶硅棒切割机构朝向上料台104移动;所述机台102周围设有铰接的挡板105。
由上述描述可知,整体返切机由单晶硅棒切割机构、机台102、滑座103、上料台104和驱动机构组成,通过驱动机构驱使滑座103上的单晶硅棒切割机构朝向上料台104的加工物料移动进而实现切割,而机台102周围铰接设计的挡板105能够避免切割时废料飞溅。
实施例一:
应用场景:现有单晶硅棒切割机构的设计中有一种采用双线切割的高效切割方式,通过布置轮系同时使两条切割线环绕。以背景技术为例的双线切割方向,其轮系及切割线布置虽然能够实现高效的双线切割,但轮系设计复杂,加剧切割线的损耗,且安装维护存在一定难度。
如图1至图4所示,本实施例的单晶硅棒切割机构,包括安装架1、第一切割线2、第二切割线3、设于安装架1上的第一滚轮4、第二滚轮5、第一张紧组件6、第二张紧组件7和导向滚轮106。
如图1所示,所述第一张紧组件6包括第一张紧轮61、第一摆臂62、第二摆臂63和第一重锤64,所述第一摆臂62一端与第一张紧轮61连接,另一端与第二摆臂63连接,所述第二摆臂63与第一重锤64连接。所述第二张紧组件7包括第二张紧轮71、第三摆臂72、第四摆臂73和第二重锤74,所述第三摆臂72一端与第二张紧轮71连接,另一端与第四摆臂73连接,所述第四摆臂73与第二重锤74连接。
如图1和图4所示,所述第一滚轮4和第二滚轮5上下相对并靠近加工物料,所述第一张紧组件6设于第一滚轮4远离加工物料一侧,所述第二张紧组件7设于第二滚轮5远离加工物料一侧,所述第一张紧组件6和第二张紧组件7之间设有导向滚轮106,所述第一切割线2依次经过第一滚轮4、第一张紧组件6的第一张紧轮61、导向滚轮106和第二滚轮5,所述第二切割线3依次经过第一滚轮4、导向滚轮106、第二张紧组件7的第二张紧轮71和第二滚轮5。
如图1所示,所述第一张紧组件6设于第二张紧组件7下侧。所述第一滚轮4、第一张紧组件6与第二滚轮5、第二张紧组件7均以导向滚轮106的圆心所在的虚拟直线对称分布;所述导向滚轮106和第二滚轮5之间的第一切割线2部分的延长线与第二滚轮5和第一滚轮4之间的第一切割线2部分的延长线之间形成夹角,所述夹角角度为57度。所述第一滚轮4、第二滚轮5、第一张紧轮61和第二张紧轮71直径相同且均为230mm。
所述第一摆臂62与第二摆臂63的延伸方向相同,所述第三摆臂72和第四摆臂73的延伸方向相反。所述第二摆臂63一侧与第一重锤64相对,所述第二摆臂63上对应第一重锤64设有让位缺口101;所述第四摆臂73一侧与第二重锤74相对,所述第四摆臂73上对应第二重锤74设有让位缺口101。
所述第一重锤64和第二重锤74均包括配重支架8、多个配重块9和限位块10,所述配重支架8呈倒T形,所述配重块9呈U形,所述配重块9的U形开口与配重支架8的倒T形结构的竖直部分相对接并叠放于配重支架8的倒T形结构的水平部分上。第一重锤64和第二重锤74均采用配重支架8和配重块9的组合设计,利用配重支架8的倒T形设计,由其水平部分作为底部支撑,通过其竖直部分与U形配重块9的卡接,使多个配重块9能够叠放于配重支架8上,配重调整方便快捷。
所述限位块10插设于配重支架8的T形结构的竖直部分并与多个配重块9形成的叠放结构的上端面相抵。通过限位块10的设计来与配重支架8的水平部分配合夹紧固定叠放的配重块9。
如图4所示,所述安装架1呈U形,所述安装架1的U形开口朝向加工物料;所述安装架1包括安装板11和安装板11两侧的安装壳体12。对应所述安装板11设有第一重锤64和第二重锤74的位置的安装壳体12上分别铰接有第一调整窗13和第二调整窗14。通过第一调整窗13和第二调整窗14来方便操作人员对第一重锤64和第二重锤74的配重调整。所述第一滚轮4、第二滚轮5、第一张紧轮61、第二张紧轮71、第一摆臂62、第三摆臂72和导向滚轮106设于安装板11一侧,所述第二摆臂63、第一重锤64、第四摆臂73和第二重锤74设于安装板11的另一侧。U形安装架1的设计能够在切割加工物料时形成一定的避让。采用于安装架1上的第一重锤64和第二重锤74同侧的设计,能够方便操作人员后期对第一张紧轮61和第二张紧轮71的调整。
本实用新型的工作原理:第一滚轮4、第二滚轮5、第一张紧轮61和第二张紧轮71组成于安装板11上的虚拟矩形结构的四个边角部分,其中于第一张紧轮61和第二张紧轮71之间设计导向滚轮106,由此形成的简化的轮系设计。该轮系设计在同时针对安装架1所需的U形避让设计,将导向滚轮106设于远离加工物料的第一张紧轮61和第二张紧轮71之间,同时由第一切割线2和第二切割线3共用的导向滚轮106设计避免了以背景技术为例的双线轮系的复杂从动轮设计,共用的导向滚轮106受力均匀,使用寿命能够有效提高。
实施例二
本实施例二与实施例一的区别在于:所述导向滚轮106和第二滚轮5之间的第一切割线2部分的延长线与第二滚轮5和第一滚轮4之间的第一切割线2部分的延长线之间形成55度的夹角。所述第一滚轮4、第二滚轮5、第一张紧轮61和第二张紧轮71直径均为220mm。
实施例三
本实施例三与实施例一的区别在于:所述导向滚轮106和第二滚轮5之间的第一切割线2部分的延长线与第二滚轮5和第一滚轮4之间的第一切割线2部分的延长线之间形成60度的夹角。所述第一滚轮4、第二滚轮5、第一张紧轮61和第二张紧轮71直径均为250mm。
实施例四:
如图2和图3所示,一种返切机,包括实施例一至实施例三任一所述的单晶硅棒切割机构、机台102、滑座103、上料台104和驱动机构,所述机台102内设有滑座103,所述单晶硅棒切割机构和上料台104沿滑座103长度方向依次布置;所述单晶硅棒切割机构与滑座103移动配合,所述驱动机构驱使单晶硅棒切割机构朝向上料台104移动;所述机台102周围设有铰接的挡板105。具体地,上料台104靠近单晶硅棒切割机构一侧设有限位挡板105以避免加工棒料滚落,上料台104上对应切割线位置还设有让位槽。加工时将加工棒料固定于上料台104上,而后将挡板105掀起以阻挡废料飞溅,之后通过机台102一侧的控制器即可控制驱动机构移动,使单晶硅棒切割机构运转切割棒料。
综上所述,本实用新型提供的单晶硅棒切割机构及返切机,通过第一滚轮、第二滚轮、第一张紧组件、第二张紧组件和导向滚轮的布置,使得两组切割线能够沿梯形的布置方式来实现双线切割,相比背景技术提供的双线布置方案,且通过采用一个共用的导向滚轮的设计代替两个从动轮,减少轮系的复杂度且共同导轮两侧受力均衡,能够避免因单侧受力而损坏的情况发生;简化轮系的设计也能减少切割线传动时的磨损,减少机构重量来减弱对移动机构推动其朝向加工物料切割时的精度干扰;整体返切机由单晶硅棒切割机构、机台、滑座、上料台和驱动机构组成,通过驱动机构驱使滑座上的单晶硅棒切割机构朝向上料台的加工物料移动进而实现切割,而机台周围铰接设计的挡板能够避免切割时废料飞溅。
以上所述仅为本实用新型的实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等同变换,或直接或间接运用在相关的技术领域,均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (10)
1.一种单晶硅棒切割机构,其特征在于,包括安装架、第一切割线、第二切割线、设于安装架上的第一滚轮、第二滚轮、第一张紧组件、第二张紧组件和导向滚轮;所述第一滚轮和第二滚轮上下相对并靠近加工物料,所述第一张紧组件设于第一滚轮远离加工物料一侧,所述第二张紧组件设于第二滚轮远离加工物料一侧,所述第一张紧组件和第二张紧组件之间设有导向滚轮,所述第一切割线依次经过第一滚轮、第一张紧组件、导向滚轮和第二滚轮,所述第二切割线依次经过第一滚轮、导向滚轮、第二张紧组件和第二滚轮。
2.根据权利要求1所述的单晶硅棒切割机构,其特征在于,所述第一张紧组件包括第一张紧轮、第一摆臂、第二摆臂和第一重锤,所述第一切割线经过第一张紧轮,所述第一摆臂一端与第一张紧轮连接,另一端与第二摆臂连接,所述第二摆臂与第一重锤连接;所述第二张紧组件包括第二张紧轮、第三摆臂、第四摆臂和第二重锤,所述第二切割线经过第二张紧轮,所述第三摆臂一端与第二张紧轮连接,另一端与第四摆臂连接,所述第四摆臂与第二重锤连接。
3.根据权利要求1所述的单晶硅棒切割机构,其特征在于,所述第一张紧组件包括第一张紧轮,所述第二张紧组件包括第二张紧轮;所述第一滚轮、第一张紧轮与第二滚轮、第二张紧轮均以导向滚轮的圆心所在的虚拟直线对称分布;所述导向滚轮和第二滚轮之间的第一切割线部分的延长线与第二滚轮和第一滚轮之间的第一切割线部分的延长线之间形成夹角,所述夹角角度为55-60度。
4.根据权利要求3所述的单晶硅棒切割机构,其特征在于,所述夹角角度为57度。
5.根据权利要求3所述的单晶硅棒切割机构,其特征在于,所述第一滚轮、第二滚轮、第一张紧轮和第二张紧轮直径相同且均为220-250mm。
6.根据权利要求3所述的单晶硅棒切割机构,其特征在于,所述第一滚轮、第二滚轮、第一张紧轮和第二张紧轮的直径为230mm。
7.根据权利要求2所述的单晶硅棒切割机构,其特征在于,所述第一张紧组件设于第二张紧组件下侧,所述第一摆臂与第二摆臂的延伸方向相同,所述第三摆臂和第四摆臂的延伸方向相反。
8.根据权利要求2所述的单晶硅棒切割机构,其特征在于,所述第一滚轮与第二滚轮之间的第一切割线部分和第二切割线部分均垂直于加工物料;所述第一张紧轮与第一滚轮之间的第一切割线部分的延长线与所述第一滚轮与第二滚轮之间的第一切割线部分的延长线相交且夹角为锐角。
9.根据权利要求2所述的单晶硅棒切割机构,其特征在于,所述第二摆臂一侧与第一重锤相对,所述第二摆臂上对应第一重锤设有让位缺口;所述第四摆臂一侧与第二重锤相对,所述第四摆臂上对应第二重锤设有让位缺口。
10.一种返切机,其特征在于,包括上述权利要求1至9任一所述的单晶硅棒切割机构、机台、滑座、上料台和驱动机构,所述机台内设有滑座,所述单晶硅棒切割机构和上料台沿滑座长度方向依次布置;所述单晶硅棒切割机构与滑座移动配合,所述驱动机构驱使单晶硅棒切割机构朝向上料台移动;所述机台周围设有铰接的挡板。
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CN202322957756.2U CN221314748U (zh) | 2023-11-02 | 2023-11-02 | 一种单晶硅棒切割机构及返切机 |
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