CN221231098U - 一种单晶硅片分选检测工作台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及分选检测工作台技术领域，具体为一种单晶硅片分选检测工作台，包括操作台和运输皮带，所述操作台的上表面对称焊接有两个支撑板，两个所述支撑板之间分别通过轴承连接有主动轴和从动轴。本实用新型通过将单晶硅片放置在运输皮带右侧，然后启动主电机带动主动轴和主动辊转动，从而将硅片运输至硅片检测仪的下方进行检测，当硅片检测仪检测到单晶硅片为合格产品时，启动微型气泵，将合格产品吸附在吸盘上，控制旋转臂，将合格产品转动至成品处，而不合格的产品随着运输皮带输送至操作台之外，从而能够快速的对硅片进行检测和分选，提高了测量效率，降低工人劳动量。

Description

一种单晶硅片分选检测工作台

技术领域

本实用新型涉及分选检测工作台技术领域，具体为一种单晶硅片分选检测工作台。

背景技术

单晶硅片，即硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，在生产的过程中，需要度单晶硅片的表面有机物、电阻率、压阻系数、表面粗糙度以及反射率能性能进行检测，并且将质量达标与质量不达标的单晶硅片分选；

目前有些行业在生产过程中，采用手持检测头的方式对单晶硅片进行检测，然后再分选处理，将不合格和合格的硅片进行分类，导致测量效率低，工人劳动量大，为此，提出一种单晶硅片分选检测工作台。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅片分选检测工作台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶硅片分选检测工作台，包括操作台和运输皮带，所述操作台的上表面对称焊接有两个支撑板，两个所述支撑板之间分别通过轴承连接有主动轴和从动轴，所述操作台的上表面右侧安装有主电机，所述主动轴的后端贯穿所述支撑板且与所述主电机的输出轴端固定连接，所述主动轴的外侧壁焊接有主动辊，所述从动轴的外侧壁焊接有从动辊，所述主动辊与所述从动辊通过所述运输皮带传动连接，所述操作台的上表面后侧焊接有支撑架，所述支撑架的上表面固定连接有支撑臂，所述支撑臂的前表面焊接有安装板，所述安装板的下表面安装有硅片检测仪，所述操作台的上表面前侧焊接有固定柱，所述固定柱的上表面安装有旋转柱，所述旋转柱的上表面焊接有旋转臂，所述旋转臂的上表面安装有微型气泵，所述微型气泵的吸气口连接有连接管，所述连接管贯穿所述旋转臂的下表面且安装有吸盘，所述操作台的上表面前侧安装有PLC控制器。

作为本技术方案的进一步优选的：所述固定柱的下表面开设有安装槽，所述安装槽的下表面安装有旋转电机，所述旋转电机的输出轴端与所述旋转柱的下表面固定连接。

作为本技术方案的进一步优选的：所述固定柱的上表面设有导向槽，所述旋转柱的下表面焊接有导向环，所述导向槽的内侧壁与所述导向环的外侧壁滑动连接。

作为本技术方案的进一步优选的：两个所述支撑板之间通过轴承均匀连接有连接轴，所述连接轴的外侧壁焊接有托辊。

作为本技术方案的进一步优选的：所述操作台的前表面固定连接有收集箱。

作为本技术方案的进一步优选的：所述收集箱的下表面粘接有橡胶垫片，所述吸盘的下表面粘接有橡胶圈。

作为本技术方案的进一步优选的：所述操作台的上表面左侧开设有废弃槽，所述废弃槽的下方设有回收桶。

作为本技术方案的进一步优选的：所述操作台的下表面均匀焊接有支腿。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过将单晶硅片放置在运输皮带右侧，然后启动主电机带动主动轴和主动辊转动，从而将硅片运输至硅片检测仪的下方进行检测，当硅片检测仪检测到单晶硅片为合格产品时，启动微型气泵，将合格产品吸附在吸盘上，控制旋转臂，将合格产品转动至成品处，而不合格的产品随着运输皮带输送至操作台之外，从而能够快速的对硅片进行检测和分选，提高了测量效率，降低工人劳动量。

附图说明

图1为本实用新型的主视结构示意图；

图2为本实用新型的仰视结构示意图；

图3为本实用新型中旋转柱和导向环的结构示意图；

图4为本实用新型中固定柱的内部结构示意图；

图5为本实用新型中旋转臂和微型气泵的结构示意图；

图6为本实用新型中安装板和硅片检测仪的结构示意图；

图7为本实用新型中连接轴和托辊的结构示意图；

图8为本实用新型中收集箱的剖视图。

图中：1、操作台；2、运输皮带；3、支撑板；4、主动轴；5、从动轴；6、主电机；7、主动辊；8、从动辊；9、支撑架；10、支撑臂；11、安装板；12、硅片检测仪；13、固定柱；14、旋转柱；15、旋转臂；16、微型气泵；17、连接管；18、吸盘；19、PLC控制器；20、安装槽；21、旋转电机；22、导向槽；23、导向环；24、连接轴；25、托辊；26、收集箱；27、橡胶垫片；28、橡胶圈；29、废弃槽；30、回收桶；31、支腿。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能理解为对本申请的限制，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

请参阅图1-8，本实用新型提供一种技术方案：一种单晶硅片分选检测工作台，包括操作台1和运输皮带2，所述操作台1的上表面对称焊接有两个支撑板3，两个所述支撑板3之间分别通过轴承连接有主动轴4和从动轴5，所述操作台1的上表面右侧安装有主电机6，所述主动轴4的后端贯穿所述支撑板3且与所述主电机6的输出轴端固定连接，所述主动轴4的外侧壁焊接有主动辊7，所述从动轴5的外侧壁焊接有从动辊8，所述主动辊7与所述从动辊8通过所述运输皮带2传动连接，所述操作台1的上表面后侧焊接有支撑架9，所述支撑架9的上表面固定连接有支撑臂10，所述支撑臂10的前表面焊接有安装板11，所述安装板11的下表面安装有硅片检测仪12，所述操作台1的上表面前侧焊接有固定柱13，所述固定柱13的上表面安装有旋转柱14，所述旋转柱14的上表面焊接有旋转臂15，所述旋转臂15的上表面安装有微型气泵16，所述微型气泵16的吸气口连接有连接管17，所述连接管17贯穿所述旋转臂15的下表面且安装有吸盘18，所述操作台1的上表面前侧安装有PLC控制器19；使用时将单晶硅片放置在运输皮带2右侧，然后启动主电机6带动主动轴4和主动辊7转动，此时从动轴5和从动辊8也随着运输皮带2转动，从而将硅片运输至硅片检测仪12的下方进行检测，当硅片检测仪12检测到单晶硅片为合格产品时，启动微型气泵16，将合格产品通过连接管17吸附在吸盘18上，控制旋转臂15，将合格产品转动至成品处，而不合格的产品随着运输皮带2输送至操作台1之外。

本实施例中，具体的：所述固定柱13的下表面开设有安装槽20，所述安装槽20的下表面安装有旋转电机21，所述旋转电机21的输出轴端与所述旋转柱14的下表面固定连接；当硅片检测仪12检测到单晶硅片为合格产品时，旋转电机21带动旋转柱14和旋转臂15转动，将单晶硅片移动至成品处。

本实施例中，具体的：所述固定柱13的上表面设有导向槽22，所述旋转柱14的下表面焊接有导向环23，所述导向槽22的内侧壁与所述导向环23的外侧壁滑动连接；使得旋转柱14和导向环23沿着导向槽22的方向转动。

本实施例中，具体的：两个所述支撑板3之间通过轴承均匀连接有连接轴24，所述连接轴24的外侧壁焊接有托辊25；用于支撑运输皮带2和单晶硅片的重量。

本实施例中，具体的：所述操作台1的前表面固定连接有收集箱26；便于收集合格的单晶硅片。

本实施例中，具体的：所述收集箱26的下表面粘接有橡胶垫片27，所述吸盘18的下表面粘接有橡胶圈28；防止单晶硅片在移动时由于碰撞而损坏。

本实施例中，具体的：所述操作台1的上表面左侧开设有废弃槽29，所述废弃槽29的下方设有回收桶30；不合格的单晶硅片随着运输皮带2落入废弃槽29下方的回收桶30中。

本实施例中，具体的：所述操作台1的下表面均匀焊接有支腿31；用于支撑操作台1。

本实用新型的工作原理是：使用时将单晶硅片放置在运输皮带2右侧，然后启动主电机6带动主动轴4和主动辊7转动，从而将硅片运输至硅片检测仪12的下方进行检测，当硅片检测仪12检测到单晶硅片为合格产品时，启动微型气泵16，将合格产品通过连接管17吸附在吸盘18上，旋转电机21带动旋转柱14和旋转臂15转动，将单晶硅片移动至成品处，而不合格的产品随着运输皮带2输送至操作台1之外，由此构成了单晶硅片分选检测工作台，本实用新型能够快速的对硅片进行检测和分选，提高了测量效率，降低工人劳动量，并且能有效避免人工检测和分选带来的误差，提高了单晶硅片的出厂合格率。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种单晶硅片分选检测工作台，包括操作台(1)和运输皮带(2)，其特征在于：所述操作台(1)的上表面对称焊接有两个支撑板(3)，两个所述支撑板(3)之间分别通过轴承连接有主动轴(4)和从动轴(5)，所述操作台(1)的上表面右侧安装有主电机(6)，所述主动轴(4)的后端贯穿所述支撑板(3)且与所述主电机(6)的输出轴端固定连接，所述主动轴(4)的外侧壁焊接有主动辊(7)，所述从动轴(5)的外侧壁焊接有从动辊(8)，所述主动辊(7)与所述从动辊(8)通过所述运输皮带(2)传动连接，所述操作台(1)的上表面后侧焊接有支撑架(9)，所述支撑架(9)的上表面固定连接有支撑臂(10)，所述支撑臂(10)的前表面焊接有安装板(11)，所述安装板(11)的下表面安装有硅片检测仪(12)，所述操作台(1)的上表面前侧焊接有固定柱(13)，所述固定柱(13)的上表面安装有旋转柱(14)，所述旋转柱(14)的上表面焊接有旋转臂(15)，所述旋转臂(15)的上表面安装有微型气泵(16)，所述微型气泵(16)的吸气口连接有连接管(17)，所述连接管(17)贯穿所述旋转臂(15)的下表面且安装有吸盘(18)，所述操作台(1)的上表面前侧安装有PLC控制器(19)。

2.根据权利要求1所述的单晶硅片分选检测工作台，其特征在于：所述固定柱(13)的下表面开设有安装槽(20)，所述安装槽(20)的下表面安装有旋转电机(21)，所述旋转电机(21)的输出轴端与所述旋转柱(14)的下表面固定连接。

3.根据权利要求2所述的单晶硅片分选检测工作台，其特征在于：所述固定柱(13)的上表面设有导向槽(22)，所述旋转柱(14)的下表面焊接有导向环(23)，所述导向槽(22)的内侧壁与所述导向环(23)的外侧壁滑动连接。

4.根据权利要求3所述的单晶硅片分选检测工作台，其特征在于：两个所述支撑板(3)之间通过轴承均匀连接有连接轴(24)，所述连接轴(24)的外侧壁焊接有托辊(25)。

5.根据权利要求3所述的单晶硅片分选检测工作台，其特征在于：所述操作台(1)的前表面固定连接有收集箱(26)。

6.根据权利要求5所述的单晶硅片分选检测工作台，其特征在于：所述收集箱(26)的下表面粘接有橡胶垫片(27)，所述吸盘(18)的下表面粘接有橡胶圈(28)。

7.根据权利要求6所述的单晶硅片分选检测工作台，其特征在于：所述操作台(1)的上表面左侧开设有废弃槽(29)，所述废弃槽(29)的下方设有回收桶(30)。

8.根据权利要求6所述的单晶硅片分选检测工作台，其特征在于：所述操作台(1)的下表面均匀焊接有支腿(31)。