CN221048308U - 一种牙盘扳手及真空镀膜结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种牙盘扳手及真空镀膜结构，涉及牙盘技术领域。用于拆解或安装真空泵的轴系结构，所述轴系结构包括轴承和具有锯齿结构的牙盘，所述牙盘扳手包括：牙盘扳手本体和牙盘手柄；所述牙盘扳手本体包括半圆弧形结构，所述牙盘扳手本体下端连接所述牙盘手柄，所述牙盘扳手本体上端至少一侧为牙盘锯齿结构，所述牙盘锯齿结构用于与所述牙盘相嵌；所述牙盘的盘肩和所述轴承的外圈相抵接，通过转动所述牙盘手柄带动所述牙盘扳手本体以使得所述牙盘旋转，完成所述轴系结构的拆解或安装。

Description

一种牙盘扳手及真空镀膜结构

技术领域

本实用新型涉及牙盘技术领域，尤其涉及一种牙盘扳手及真空镀膜结构。

背景技术

在半导体或者光伏行业中，真空镀膜工序会大量使用到真空泵，由于制程中会产生一定的粉尘，致使真空泵使用寿命缩短，因此经常需要专业维修技术人员拆解维修。

在拆解维修真空泵的过程中，没有专用的维修治具，经常会将一些精密的零部件损坏，尤其是在拆解轴系结构中，会将牙盘损坏，导致轴系结构无法进行拆解，最后只能使用破坏拆解方法。

现有的拆解和安装方法是用通力型一字螺丝批嵌在牙盘的齿形槽中，用手锤进行敲击，其要点是在敲击过程中通力型一字螺丝批要严格和牙盘的齿形槽进行贴合，否则就会出现跳齿的情况，损坏其他牙盘齿形，同时要把通力型一字螺丝批的受力方向尽量朝向牙盘齿根的切线方向，使牙盘在切线方向获得最大的受力，减少牙盘所受的径向力，将牙盘振松，但是这个操作过程经常会出现通力型一字螺丝批从牙盘齿根位置将齿牙切断，导致牙盘崩坏。

也即是，在破坏拆解切割的过程中极容易造成其他零部件的二次损坏，且对拆解人员的技能要求极高，实施过程比较困难，并且，在安装真空泵轴系结构时，需要反复多次调整牙盘，才可以调整出轴系结构中转子与腔体端面之间要求的装配间隙值，导致真空泵的维修效率较低。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种牙盘扳手及真空镀膜结构，以保证真空泵的维修效率。

第一方面，本实用新型提供一种牙盘扳手，所述轴系结构包括轴承和具有锯齿结构的牙盘，所述牙盘扳手包括：

牙盘扳手本体和牙盘手柄；所述牙盘扳手本体包括半圆弧形结构，所述牙盘扳手本体下端连接所述牙盘手柄，所述牙盘扳手本体上端至少一侧为牙盘锯齿结构，所述牙盘锯齿结构用于与所述牙盘相嵌；

所述牙盘的盘肩和所述轴承的外圈相抵接，通过转动所述牙盘手柄带动所述牙盘扳手本体以使得所述牙盘旋转，完成所述轴系结构的拆解或安装。

采用上述技术方案时，本实用新型实施例提供的用于拆解或安装真空泵的轴系结构，牙盘扳手本体和牙盘手柄；所述牙盘扳手本体包括半圆弧形结构，所述牙盘扳手本体下端连接所述牙盘手柄，所述牙盘扳手本体上端至少一侧为牙盘锯齿结构，所述牙盘锯齿结构用于与所述牙盘相嵌；所述牙盘的盘肩和所述轴承的外圈相抵接，通过转动所述牙盘手柄带动所述牙盘扳手本体以使得所述牙盘旋转，完成所述轴系结构的拆解或安装，在调整真空泵轴系结构对应的转子与端面间隙的场景下，可以将牙盘的盘肩顶在轴承上进行手动旋紧，旋紧至手动无法旋动时，将牙盘扳手本体和牙盘进行精准啮合，可以调整到真空泵轴系结构对应的转子与端面要求的间隙值，在拆解真空泵轴系结构时，可以将牙盘扳手本体与牙盘进行啮合，反向旋转，将牙盘进行轻松拆卸。

在一些实施方式中，每侧所述牙盘锯齿结构包括多个牙盘锯齿，通过在牙盘扳手本体上端两侧设置牙盘锯齿以保证牙盘扳手和牙盘的啮合效果。

在一些实施方式中，每侧所述牙盘锯齿结构的多个牙盘锯齿的个数取值大于或者等于8齿，且小于或者等于12齿。

在一些实施方式中，所述牙盘锯齿结构对应的牙盘锯齿为T型直齿。

在一些实施方式中，所述牙盘锯齿结构设置于齿牙布置在以所述牙盘的中心点为原点，以所述牙盘的中心横轴为角度起点的5°-25°和155°-175°之间，可以保证牙盘扳手本体和牙盘的啮合效果。

在一些实施方式中，所述牙盘扳手本体两端均设置有圆弧倒角，可以有效防止划伤零部件和工作人员，所述牙盘扳手本体的厚度范围为3-6毫米。

在一些实施方式中，所述牙盘扳手本体下端为凸形燕尾结构，通过所述凸形燕尾结构与所述牙盘手柄完成连接。

在一些实施方式中，所述牙盘手柄的上端为凹形燕尾结构，所述牙盘扳手本体和所述牙盘手柄通过所述凸形燕尾结构和所述凹形燕尾结构进行嵌套安装。

在一些实施方式中，所述凸形燕尾结构和所述凹形燕尾结构中均设置有锥形半圆孔，两个所述锥形半圆孔形成锥形孔，在所述锥形孔内设置有锥形销，所述锥形孔和所述锥形销实现自锁功能。

第二方面，本实用新型还提供一种真空镀膜结构，包括真空泵和第一方面任一所述的牙盘扳手，其中，所述牙盘扳手与所述真空泵的轴系结构固定连接设置或者可拆卸连接设置，通过转动所述牙盘手柄带动所述牙盘扳手本体以使得所述牙盘旋转，完成所述轴系结构的拆解或安装，在调整真空泵轴系结构对应的转子与端面间隙的场景下，可以将牙盘的盘肩顶在轴承上进行手动旋紧，旋紧至手动无法旋动时，将牙盘扳手本体和牙盘进行精准啮合，可以调整到真空泵轴系结构对应的转子与端面要求的间隙值，在拆解真空泵轴系结构时，可以将牙盘扳手本体与牙盘进行啮合，反向旋转，将牙盘进行轻松拆卸。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1示出了本实用新型提供的一种牙盘扳手的结构示意图；

图2示出了本实用新型实施例提供的另一种牙盘扳手的结构示意图；

图3示出了本实用新型实施例提供的一种牙盘扳手本体和牙盘手柄的部分结构示意图；

图4示出了本实用新型实施例提供的一种圆柱销安装的结构示意图。

附图标记：

10-轴系结构，101-轴承，102-牙盘，201-牙盘扳手本体，202-牙盘手柄，201A-牙盘锯齿结构，201B-凸形燕尾结构，202A-凹形燕尾结构，Q-锥形孔，202B-锥形销。

具体实施方式

为了便于清楚描述本实用新型实施例的技术方案，在本实用新型的实施例中，采用了“第一”、“第二”等字样对功能和作用基本相同的相同项或相似项进行区分。本领域技术人员可以理解“第一”、“第二”等字样并不对数量和执行次序进行限定，并且“第一”、“第二”等字样也并不限定一定不同。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

需要说明的是，本实用新型中，“示例性的”或者“例如”等词用于表示作例子、例证或说明。本实用新型中被描述为“示例性的”或者“例如”的任何实施例或设计方案不应被解释为比其他实施例或设计方案更优选或更具优势。确切而言，使用“示例性的”或者“例如”等词旨在以具体方式呈现相关概念。

本实用新型中，“至少一个”是指一个或者多个，“多个”是指两个或两个以上。“和/或”，描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B的情况，其中A，B可以是单数或者复数。字符“/”一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。“以下至少一项(个)”或其类似表达，是指的这些项中的任意组合，包括单项(个)或复数项(个)的任意组合。例如，a，b或c中的至少一项(个)，可以表示：a，b，c，a和b的结合，a和c的结合，b和c的结合，或a、b和c的结合，其中a，b，c可以是单个，也可以是多个。

图1示出了本实用新型提供的一种牙盘扳手的结构示意图，如图1所示，用于拆解或安装真空泵的轴系结构10，所述轴系结构10包括轴承101和牙盘102，所述牙盘扳手20包括：

牙盘扳手本体201和牙盘手柄202；所述牙盘扳手本体201为半圆弧形结构，所述牙盘扳手本体201下端连接所述牙盘手柄202，所述牙盘扳手本体201上端至少一侧为牙盘锯齿结构201A，所述牙盘锯齿结构201A用于与所述牙盘102相嵌；

所述牙盘102的盘肩和所述轴系结构10的轴承101的外圈相抵接，通过转动所述牙盘手柄202带动所述牙盘扳手本体201以使得所述牙盘102旋转，完成所述轴系结构10的拆解或安装。

其中，半圆弧形结构为圆对应的一半的圆弧，牙盘和轴承的外圈连接，牙盘的盘肩顶在轴承的外圈上，轴承外圈的受力集中在所述牙盘的盘肩上，通过转动所述牙盘手柄带动所述牙盘扳手本体以使得所述牙盘的盘肩带动所述牙盘旋转，完成所述轴系结构的拆解或安装。

综上所述，本实用新型实施例提供的用于拆解或安装真空泵的轴系结构，所述轴系结构包括轴承和具有锯齿结构的牙盘，所述牙盘扳手包括：牙盘扳手本体和牙盘手柄；所述牙盘扳手本体包括半圆弧形结构，所述牙盘扳手本体下端连接所述牙盘手柄，所述牙盘扳手本体上端至少一侧为牙盘锯齿结构，所述牙盘锯齿结构用于与所述牙盘相嵌；所述牙盘的盘肩和所述轴承的外圈相抵接，通过转动所述牙盘手柄带动所述牙盘扳手本体以使得所述牙盘旋转，完成所述轴系结构的拆解或安装。在调整真空泵轴系结构对应的转子与端面间隙的场景下，可以将牙盘的盘肩顶在轴承上进行手动旋紧，旋紧至手动无法旋动时，将牙盘扳手本体和牙盘进行精准啮合，可以调整到真空泵轴系结构对应的转子与端面要求的间隙值，在拆解真空泵轴系结构时，可以将牙盘扳手本体与牙盘进行啮合，反向旋转，将牙盘进行轻松拆卸。

可选的，图2示出了本实用新型实施例提供的另一种牙盘扳手的结构示意图，参见图2，所述牙盘扳手本体201上端至少一侧为牙盘锯齿结构201A，每侧所述牙盘锯齿结构201A包括多个牙盘锯齿。

可选的，每侧所述牙盘锯齿结构的多个牙盘锯齿的个数取值大于或者等于8齿，且小于或者等于12齿，本实用新型实施例对牙盘锯齿的具体数值不作限定，可以根据实际应用场景做具体设定，且左右两侧牙盘锯齿结构的牙盘锯齿的个数可以一致，也可以不一致，本实用新型实施例对此不作具体限定，通过在牙盘扳手本体上端两侧设置牙盘锯齿结构以保证牙盘扳手和牙盘的啮合效果。

可选的，参见图2，所述牙盘锯齿结构201A对应的牙盘锯齿为T型直齿。

可选的，参见图2，所述牙盘锯齿结构201A设置于齿牙布置在以所述牙盘的中心点o为原点，以所述牙盘的中心横轴X为角度起点的5°-25°和155°-175°之间，可以保证牙盘扳手本体和牙盘的啮合效果。

可选的，参见图2，所述牙盘扳手本体两端均设置有圆弧倒角L，可以有效防止划伤零部件和工作人员。

可选的，所述牙盘扳手本体的厚度范围为3-6毫米，本实用新型实施例对此不作具体限定，可以根据实际应用场景做具体设置。

可选的，图3示出了本实用新型实施例提供的一种牙盘扳手本体和牙盘手柄的部分结构示意图，如图3所示，所述牙盘扳手本体201下端为凸形燕尾结构201B，通过所述凸形燕尾结构201B与所述牙盘手柄202完成连接。

可选的，参见图3，所述牙盘手柄202的上端为凹形燕尾结构202A，所述牙盘扳手本体201和所述牙盘手柄202通过所述凸形燕尾结构201B和所述凹形燕尾结构202A进行嵌套安装，其中，凸形燕尾结构201B和凹形燕尾结构202A构成燕尾榫卯结构。

可选的，参见图3，所述凸形燕尾结构201B和所述凹形燕尾结构202A中均设置有锥形半圆孔，两个所述锥形半圆孔形成锥形孔Q，图4示出了本实用新型实施例提供的一种圆柱销安装的结构示意图，如图4所示，在所述锥形孔Q内设置有锥形销202B，所述锥形孔和所述锥形销实现自锁功能，可以快速安装牙盘手柄的燕尾榫卯结构和锥形销自锁结构，在制作治具时可以用同一个牙盘手柄，更换不同的牙盘即可，该结构具有安装便捷、使用可靠等特点。

需要说明的是，牙盘手柄各个棱角均做圆弧处理，可有效防止划伤零部件及工作人员。

综上所述，在调整真空泵轴系结构的转子与端面间隙时，将牙盘扳手本体、牙盘手柄和锥形销安装好，牙盘的盘肩顶在轴承上进行手动旋紧，旋紧至手动无法旋动时，将牙盘扳手两侧的牙盘锯齿与牙盘上的齿形进行精准啮合，此时沿牙盘圆弧的切线方向按压牙盘手柄，可轻松调整到真空泵转子与端面要求的间隙值；拆解真空泵轴系结构时，同样将牙盘扳手两侧的牙盘锯齿与牙盘上的齿形进行精准啮合，只需反向旋转，即可将牙盘轻松拆卸，可以在安装和拆解真空泵轴系结构时，避免了损坏零部件，同时提高了工作效率，可以精准调节转子与端面间隙，不用反复调节。

本实用新型还提供一种真空镀膜结构，包括真空泵和图1-4任一所述的牙盘扳手，其中，所述牙盘扳手与所述真空泵的轴系结构固定连接设置或者可拆卸连接设置。所述轴系结构包括轴承和具有锯齿结构的牙盘，所述牙盘扳手和所述牙盘固定连接设置或者可拆卸连接设置。通过转动所述牙盘手柄带动所述牙盘扳手本体以使得所述牙盘旋转，完成所述轴系结构的拆解或安装，在调整真空泵轴系结构对应的转子与端面间隙的场景下，可以将牙盘的盘肩顶在轴承上进行手动旋紧，旋紧至手动无法旋动时，将牙盘扳手本体和牙盘进行精准啮合，可以调整到真空泵轴系结构对应的转子与端面要求的间隙值，在拆解真空泵轴系结构时，可以将牙盘扳手本体与牙盘进行啮合，反向旋转，将牙盘进行轻松拆卸。

尽管在此结合各实施例对本实用新型进行了描述，然而，在实施所要求保护的本实用新型过程中，本领域技术人员通过查看附图、公开内容、以及所附权利要求书，可理解并实现公开实施例的其他变化。在权利要求中，“包括”(comprising)一词不排除其他组成部分或步骤，“一”或“一个”不排除多个的情况。相互不同的从属权利要求中记载了某些措施，但这并不表示这些措施不能组合起来产生良好的效果。

尽管结合具体特征及其实施例对本实用新型进行了描述，显而易见的，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，可对其进行各种修改和组合。相应地，本说明书和附图仅仅是所附权利要求所界定的本实用新型的示例性说明，且视为已覆盖本实用新型范围内的任意和所有修改、变化、组合或等同物。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包括这些改动和变型在内。

Claims (11)

1.一种牙盘扳手，其特征在于，用于拆解或安装真空泵的轴系结构，所述轴系结构包括轴承和具有锯齿结构的牙盘，所述牙盘扳手包括：

牙盘扳手本体和牙盘手柄；所述牙盘扳手本体包括半圆弧形结构，所述牙盘扳手本体下端连接所述牙盘手柄，所述牙盘扳手本体上端至少一侧为牙盘锯齿结构，所述牙盘锯齿结构用于与所述牙盘相嵌；

所述牙盘的盘肩和所述轴承的外圈相抵接，通过转动所述牙盘手柄带动所述牙盘扳手本体以使得所述牙盘旋转，完成所述轴系结构的拆解或安装。

2.根据权利要求1所述的牙盘扳手，其特征在于，每侧所述牙盘锯齿结构包括多个牙盘锯齿。

3.根据权利要求2所述的牙盘扳手，其特征在于，每侧所述牙盘锯齿结构的多个牙盘锯齿的个数取值大于或者等于8齿，且小于或者等于12齿。

4.根据权利要求1所述的牙盘扳手，其特征在于，所述牙盘锯齿结构对应的牙盘锯齿为T型直齿。

5.根据权利要求2所述的牙盘扳手，其特征在于，所述牙盘锯齿结构设置于齿牙布置在以所述牙盘的中心点为原点，以所述牙盘的中心横轴为角度起点的5°-25°和155°-175°之间。

6.根据权利要求1所述的牙盘扳手，其特征在于，所述牙盘扳手本体两端均设置有圆弧倒角；所述牙盘扳手本体的厚度范围为3-6毫米。

7.根据权利要求1所述的牙盘扳手，其特征在于，所述牙盘扳手本体下端为凸形燕尾结构，通过所述凸形燕尾结构与所述牙盘手柄完成连接。

8.根据权利要求7所述的牙盘扳手，其特征在于，所述牙盘手柄的上端为凹形燕尾结构，所述牙盘扳手本体和所述牙盘手柄通过所述凸形燕尾结构和所述凹形燕尾结构进行嵌套安装。

9.根据权利要求8所述的牙盘扳手，其特征在于，所述凸形燕尾结构和所述凹形燕尾结构中均设置有锥形半圆孔，两个所述锥形半圆孔形成锥形孔，在所述锥形孔内设置有锥形销，所述锥形孔和所述锥形销实现自锁功能。

10.一种真空镀膜结构，其特征在于，包括真空泵和权利要求1-9任一所述的牙盘扳手，其中，所述牙盘扳手与所述真空泵的轴系结构固定连接设置或者可拆卸连接设置。

11.根据权利要求10所述的真空镀膜结构，其特征在于，所述轴系结构包括轴承和具有锯齿结构的牙盘，所述牙盘扳手和所述牙盘固定连接设置或者可拆卸连接设置。