CN221047558U - 一种新型8寸晶圆用切割设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种新型8寸晶圆用切割设备，涉及8寸晶圆加工用技术领域，包括切割装置底座和激光切割装置，所述切割装置底座的外表面上方固定连接有支撑杆。该新型8寸晶圆用切割设备，与现有的普通切割设备相比，当需要进行使用时，通过打开红外线激光灯，使得红外线激光灯位置固定在晶圆上，通过启动激光切割装置进行切割，当切割完成后，红外线激光灯感应到晶圆进行掉落，通过控制第一横杆内部的电动伸缩杆一使得第二横杆进行移动，当移动到顶边时，通过第二横杆内部的电动伸缩杆二带动滑动块进行移动，使得在一块大的晶圆上切割处需要大小的晶圆，避免了材料的浪费，且进行多角度进行切割，体现了装置的实用性。
Description
技术领域
本实用新型涉及8寸晶圆加工用技术领域，具体为一种新型8寸晶圆用切割设备。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。晶圆切割要用到切割设备。
如申请号为CN201922068092.8，公开了一种8英寸晶圆金凸块生产用切割装置，本实用新型通过电机带动丝杠转动，使螺纹块带动激光切割头进行前后移动，可对晶圆进行前后切割，通过控制台和显示屏对装置进行监测和控制，该切割装置，可夹持大小不同的晶圆，对晶圆进行前后和深浅不同的切割，但是该装置只能进行切割一个，要调整角度进行切割，增大工作人员的劳动强度，同时切割时没有降温，晶圆在高温的作用下，容易损坏，增加生产成本。
于是，有鉴于此，针对现有的结构不足予以研究改良，提出一种新型8寸晶圆用切割设备。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种新型8寸晶圆用切割设备，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型寸晶圆用切割设备，包括切割装置底座和激光切割装置，所述切割装置底座的外表面上方固定连接有支撑杆，所述支撑杆的上方设置有第一横杆，所述第一横杆的左侧设置有第二横杆，所述第一横杆的内部前方设置有电动伸缩杆一，所述第二横杆的内部设置有电动伸缩杆二，所述电动伸缩杆二的伸缩端固定连接有滑动块，所述滑动块的前方下方设置有红外线激光灯，所述激光切割装置安装于滑动块的正前方。
优选的，所述滑动块的左侧固定连接有水箱，且水箱的下方设置有导流管。
优选的，所述导流管的下方设置有水泵，且水泵左侧设置有洒水喷头。
优选的，所述切割装置底座的上表面中部设置有漏网，且漏网的下方设置有收集箱，并且收集箱与切割装置底座滑动连接。
优选的，所述漏网的上方设置有橡胶垫，且橡胶垫的左侧固定连接有夹块。
优选的，所述夹块的后方设置有三个电动伸缩杆三，且电动伸缩杆三的左侧固定连接有固定块，并且固定块与切割装置底座固定连接。
优选的，所述夹块通过电动伸缩杆三与切割装置底座滑动连接，且夹块沿切割装置底座的中轴线对称设置有两个。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1.本实用新型通过切割装置底座、支撑杆、第一横杆、第二横杆、电动伸缩杆一、电动伸缩杆二、滑动块、红外线激光灯和激光切割装置的设置，当需要进行使用时，通过打开红外线激光灯，使得红外线激光灯位置固定在晶圆上，通过启动激光切割装置进行切割，当切割完成后，红外线激光灯感应到晶圆进行掉落，通过控制第一横杆内部的电动伸缩杆一使得第二横杆进行移动，当移动到顶边时，通过第二横杆内部的电动伸缩杆二带动滑动块进行移动，使得在一块大的晶圆上切割处需要大小的晶圆，避免了材料的浪费，且进行多角度进行切割，体现了装置的实用性；
2.本实用新型通过水箱、导流管、水泵、洒水喷头、漏网和收集箱的设置，当切割时，通过启动水泵，使得水泵把导流管中水箱中的水从进行抽出，来通过洒水喷头喷出，来对晶圆表面进行降温，防止进行晶圆高温进行损坏，同时水通过漏网流进收集箱中，可进行二次利用，降低了晶圆在切割时，容易高温损坏的现象，降低了生产成本；
3.本实用新型通过橡胶垫、夹块、电动伸缩杆三和固定块的设置，当需要进行对晶圆切割出，需要的大小，先根据晶圆的大小，来使固定块上电动伸缩杆三带动夹块移动到合适的距离，再通过把晶圆防止在橡胶垫的凹陷处，再进行进一步夹紧，使得晶圆悬浮在切割装置底座上方，便于进行固定切割，同时橡胶垫起到缓冲的作用，防止挤压力度过大进行损坏，适用于不同尺寸的晶圆，体现了装置的实用性。
附图说明
图1为本实用新型整体立体结构示意图；
图2为本实用新型第一横杆与第二横杆剖视结构示意图；
图3为本实用新型水箱剖视结构示意图；
图4为本实用新型图1中A处放大结构示意图。
图中：1、切割装置底座；2、支撑杆；3、第一横杆；4、第二横杆；5、电动伸缩杆一；6、电动伸缩杆二；7、滑动块；8、红外线激光灯；9、激光切割装置；10、水箱；11、导流管；12、水泵；13、洒水喷头；14、漏网；15、收集箱；16、橡胶垫；17、夹块；18、电动伸缩杆三；19、固定块。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1-图3所示，一种新型8寸晶圆用切割设备，包括切割装置底座1和激光切割装置9，切割装置底座1的外表面上方固定连接有支撑杆2，支撑杆2的上方设置有第一横杆3，第一横杆3的左侧设置有第二横杆4，第一横杆3的内部前方设置有电动伸缩杆一5，第二横杆4的内部设置有电动伸缩杆二6，电动伸缩杆二6的伸缩端固定连接有滑动块7，滑动块7的前方下方设置有红外线激光灯8，激光切割装置9安装于滑动块7的正前方。
进一步的，支撑杆2沿切割装置底座1中心对称设置有四个，便于对第一横杆3进行支撑。
进一步的，第一横杆3沿第二横杆4中心对称设置有两个，便于对第二横杆4进行移动和固定。
如图1、图3和图4所示，滑动块7的左侧固定连接有水箱10，且水箱10的下方设置有导流管11，导流管11的下方设置有水泵12，且水泵12左侧设置有洒水喷头13，切割装置底座1的上表面中部设置有漏网14，且漏网14的下方设置有收集箱15，并且收集箱15与切割装置底座1滑动连接，漏网14的上方设置有橡胶垫16，且橡胶垫16的左侧固定连接有夹块17，夹块17的后方设置有三个电动伸缩杆三18，且电动伸缩杆三18的左侧固定连接有固定块19，并且固定块19与切割装置底座1固定连接。
进一步的，橡胶垫16内侧为半圆形，便于进行固定使用。
进一步的，夹块17通过电动伸缩杆三18与切割装置底座1滑动连接，且夹块17沿切割装置底座1的中轴线对称设置有两个，便于对晶圆进行固定。
工作原理：在使用该新型8寸晶圆用切割设备时，首先，当需要进行对晶圆切割出，需要的大小，先根据晶圆的大小，来使固定块19上电动伸缩杆三18带动夹块17移动到合适的距离，再通过把晶圆防止在橡胶垫16的凹陷处，再进行进一步夹紧，使得晶圆悬浮在切割装置底座1上方，便于进行固定切割，同时橡胶垫16起到缓冲的作用，防止挤压力度过大进行损坏，适用于不同尺寸的晶圆，体现了装置的实用性，当需要进行使用时，通过打开红外线激光灯8，使得红外线激光灯8位置固定在晶圆上，通过启动激光切割装置9进行切割，当切割完成后，红外线激光灯8感应到晶圆进行掉落，通过控制第一横杆3内部的电动伸缩杆一5使得第二横杆4进行移动，当移动到顶边时，通过第二横杆4内部的电动伸缩杆二6带动滑动块7进行移动，使得在一块大的晶圆上切割处需要大小的晶圆，避免了材料的浪费，且进行多角度进行切割，体现了装置的实用性，当切割时，通过启动水泵12，使得水泵12把导流管11中水箱10中的水从进行抽出，来通过洒水喷头13喷出，来对晶圆表面进行降温，防止进行晶圆高温进行损坏，同时水通过漏网14流进收集箱15中，可进行二次利用，降低了晶圆在切割时，容易高温损坏的现象，降低了生产成本，这就是该新型8寸晶圆用切割设备的工作原理。
Claims (7)
1.一种新型8寸晶圆用切割设备，包括切割装置底座(1)和激光切割装置(9)，其特征在于，所述切割装置底座(1)的外表面上方固定连接有支撑杆(2)，所述支撑杆(2)的上方设置有第一横杆(3)，所述第一横杆(3)的左侧设置有第二横杆(4)，所述第一横杆(3)的内部前方设置有电动伸缩杆一(5)，所述第二横杆(4)的内部设置有电动伸缩杆二(6)，所述电动伸缩杆二(6)的伸缩端固定连接有滑动块(7)，所述滑动块(7)的前方下方设置有红外线激光灯(8)，所述激光切割装置(9)安装于滑动块(7)的正前方。
2.根据权利要求1所述的一种新型8寸晶圆用切割设备，其特征在于，所述滑动块(7)的左侧固定连接有水箱(10)，且水箱(10)的下方设置有导流管(11)。
3.根据权利要求2所述的一种新型8寸晶圆用切割设备，其特征在于，所述导流管(11)的下方设置有水泵(12)，且水泵(12)左侧设置有洒水喷头(13)。
4.根据权利要求1所述的一种新型8寸晶圆用切割设备，其特征在于，所述切割装置底座(1)的上表面中部设置有漏网(14)，且漏网(14)的下方设置有收集箱(15)，并且收集箱(15)与切割装置底座(1)滑动连接。
5.根据权利要求4所述的一种新型8寸晶圆用切割设备，其特征在于，所述漏网(14)的上方设置有橡胶垫(16)，且橡胶垫(16)的左侧固定连接有夹块(17)。
6.根据权利要求5所述的一种新型8寸晶圆用切割设备，其特征在于，所述夹块(17)的后方设置有三个电动伸缩杆三(18)，且电动伸缩杆三(18)的左侧固定连接有固定块(19)，并且固定块(19)与切割装置底座(1)固定连接。
7.根据权利要求5所述的一种新型8寸晶圆用切割设备，其特征在于，所述夹块(17)通过电动伸缩杆三(18)与切割装置底座(1)滑动连接，且夹块(17)沿切割装置底座(1)的中轴线对称设置有两个。
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