CN218254473U - 一种可翻转的硅片用抛光装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种可翻转的硅片用抛光装置，包括底座，所述底座的上方两端均固定连接有固定板，且底座的后侧上方固定连接有支撑板；固定环，设置在所述支撑板的底部中心处，所述固定环为伸缩结构，所述固定环的底部设置有有抛光轮；所述固定板的外侧壁安装有驱动电机，且固定板的内侧壁轴承连接有电动推杆，所述驱动电机输出端的驱动轴与电动推杆固定连接；加工台，设置在所述底座的顶部中心处，且加工台的两侧壁均安装有吸尘风扇。该可翻转的硅片用抛光装置能够在加工的过程中对抛光好的硅片进行翻面，从而进行另一面的抛光，操作简单，方便快捷，提高了抛光的效率，同时还能够对抛光产生的粉尘进行集中收集，避免粉尘四溢飞散。

Description

一种可翻转的硅片用抛光装置

技术领域

本实用新型涉及抛光装置技术领域，具体为一种可翻转的硅片用抛光装置。

背景技术

硅片，使硅单质材料的片状结构，厚度比较薄，主要有圆形和方形两种结构，有单晶和多晶之分。单晶是具有固定晶向的结晶体材料，一般用作半导体集成电路的衬底，也用于制作太阳能电池片等，在硅片的加工过程中，需要用到抛光装置来对硅片表面进行抛光，来使得硅片外表面光滑；

例如公开号为CN215281481U的一种高质量硅片抛光设备，其通过围挡、梯形孔、固定杆、侧板、水箱、限位孔、限位块、托板、把手和第二驱动电机之间的相互配合，达到将抛光过程中的碎屑粉尘进行聚集和收集，避免碎屑和粉尘飞散，解决了现有的高质量硅片抛光设备在抛光工作中不易进行碎屑粉尘收集，从而飞散的碎屑和灰尘容易被工人吸入体内造成伤害的问题；该高质量硅片抛光设备，通过固定托、弹簧、拉把、移动杆、活动孔和活动托的配合，达到可以对于不同大小的硅片进行定位，通过滑块、撑板和滑槽的配合，达到活动托在移动过程中更加平稳；

然而该硅片抛光设备在实际的使用过程中还存在以下缺陷；

该硅片抛光设备只能够对硅片的单面进行抛光，当需要对硅片的另一面抛光时，需要重新取下抛光好的硅片进行翻面，从而来对硅片的另一面进行抛光，该操作繁琐，影响加工效率。

因此我们便提出了可翻转的硅片用抛光装置能够很好的解决以上问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可翻转的硅片用抛光装置，以解决上述背景技术提出该硅片抛光设备只能够对硅片的单面进行抛光，当需要对硅片的另一面抛光时，需要重新取下抛光好的硅片进行翻面，从而来对硅片的另一面进行抛光，该操作繁琐，影响加工效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种可翻转的硅片用抛光装置，包括底座，所述底座的上方两端均固定连接有固定板，且底座的后侧上方固定连接有支撑板，所述支撑板的侧视为“7”字形结构；

还包括：

固定环，设置在所述支撑板的底部中心处，所述固定环为伸缩结构，且固定环的内侧壁啮合连接有副齿轮，所述固定环的内侧中心处通过第二电机连接有主齿轮，所述主齿轮与副齿轮啮合连接，且副齿轮的底部固定连接有抛光轮；

所述固定板的外侧壁安装有驱动电机，且固定板的内侧壁轴承连接有电动推杆，所述驱动电机输出端的驱动轴与电动推杆固定连接；

加工台，设置在所述底座的顶部中心处，且加工台的两侧壁均安装有吸尘风扇。

优选的，所述电动推杆的内端设置有套筒，所述套筒的外侧壁与电动推杆的外侧壁固定连接，且套筒的内部设置有安装块，所述安装块的前后两侧壁均通过固定杆与固定板的内侧壁固定连接。

通过采用以上技术方案，使得启动电动推杆可以带动套筒的左右移动调节。

优选的，所述安装块的上下两侧壁均开设有滑槽，所述套筒的内侧壁固定连接有滑块，所述滑块和滑槽构成滑动结构。

通过采用以上技术方案，使得电动推杆带动套筒左右移动的过程中，滑块能够在滑槽内部滑动，从而提高了套筒移动过程中的稳定性。

优选的，所述安装块的内侧活动轴连接有夹持板，所述夹持板为折弯结构，且夹持板的内侧壁套设有夹持垫，所述夹持垫为橡胶材质。

通过采用以上技术方案，使得套筒移动过后能够对夹持板的活动轴连接处进行挤压，从而使得夹持板收缩，来对硅片进行稳定的夹持。

优选的，所述加工台的上表面开设有通孔，所述通孔均匀分布在加工台上，且加工台对应设置在所述抛光轮的正下方。

通过采用以上技术方案，使得抛光过程中产生的粉尘和碎屑能够掉落在加工台上，进一步的掉落进通孔内部。

优选的，所述加工台的内部安装有过滤网，所述过滤网为弧形结构，所述吸尘风扇对应设置在过滤网的下方，且吸尘风扇的进风口处也安装有过滤网。

通过采用以上技术方案，过滤网能够对碎屑和粉尘进行阻挡，同时，吸尘风扇的吸力，带动加工台顶部的空气进入加工台内部，使得粉尘和碎屑稳定的进入加工台内部收集，避免粉尘四散。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该可翻转的硅片用抛光装置，能够在加工的过程中对抛光好的硅片进行翻面，从而进行另一面的抛光，操作简单，方便快捷，提高了抛光的效率，同时还能够对抛光产生的粉尘进行集中收集，避免粉尘四溢飞散，其具体内容如下：

1、该可翻转的硅片用抛光装置，设置有驱动电机，通过驱动电机转动可以带动电动推杆的旋转，进而来带动夹持板的转动，夹持板转动可以带动硅片的翻转，实现硅片的翻面，从而能够对硅片的两面进行抛光，操作简单，提高了抛光的效率，并且通过电动推杆可以带动套筒的移动，从而使得夹持板收缩，来对抛光的硅片进行稳定的夹持，提高了加工过程中的稳定性；

2、该可翻转的硅片用抛光装置，设置有加工台，硅片在抛光过程中产生的碎屑和粉尘会掉落在加工台表面，配合吸尘风扇的设置和通孔的开设，使得碎屑和粉尘掉落在加工台内部的过滤网上，从而能够对硅片抛光产生的碎屑和粉尘进行集中收集，避免粉尘的四散。

附图说明

图1为本实用新型主视结构示意图；

图2为本实用新型图1中A处放大结构示意图；

图3为本实用新型固定环俯剖结构示意图；

图4为本实用新型加工台主剖结构示意图；

图5为本实用新型夹持板侧视结构示意图。

图中：1、底座；2、固定板；3、支撑板；4、固定环；401、主齿轮；402、副齿轮；5、驱动电机；6、加工台；7、电动推杆；8、套筒；9、夹持板；10、抛光轮；11、吸尘风扇；12、安装块；13、滑槽；14、滑块；15、过滤网；16、通孔；17、夹持垫。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种可翻转的硅片用抛光装置，包括底座1，底座1的上方两端均固定连接有固定板2，且底座1的后侧上方固定连接有支撑板3，支撑板3的侧视为“7”字形结构；

如图1和3，还包括：固定环4，设置在支撑板3的底部中心处，固定环4为伸缩结构，且固定环4的内侧壁啮合连接有副齿轮402，固定环4的内侧中心处通过第二电机连接有主齿轮401，主齿轮401与副齿轮402啮合连接，且副齿轮402的底部固定连接有抛光轮10，通过启动固定环4内部的第二电机可以带动主齿轮401旋转，进一步来带动副齿轮402旋转，因固定环4、主齿轮401和副齿轮402之间构成行星齿轮结构，使得副齿轮402在自转的同时以主齿轮401为圆心进行公转，从而带动抛光轮10对硅片的表面进行抛光；

如图1和2，固定板2的外侧壁安装有驱动电机5，且固定板2的内侧壁轴承连接有电动推杆7，驱动电机5输出端的驱动轴与电动推杆7固定连接，通过驱动电机5可以带动电动推杆7的旋转，进而能够带动被夹持板9夹持的硅片翻转，从而便于对硅片的两面进行抛光，操作简单，提高了抛光的效率；

如图1、2和5，电动推杆7的内端设置有套筒8，套筒8的外侧壁与电动推杆7的外侧壁固定连接，且套筒8的内部设置有安装块12，安装块12的前后两侧壁均通过固定杆与固定板2的内侧壁固定连接。安装块12的上下两侧壁均开设有滑槽13，套筒8的内侧壁固定连接有滑块14，滑块14和滑槽13构成滑动结构。安装块12的内侧活动轴连接有夹持板9，夹持板9为折弯结构，且夹持板9的内侧壁套设有夹持垫17，夹持垫17为橡胶材质，启动电动推杆7可以带动套筒8的左右移动，当套筒8与夹持板9的活动轴连接处相接触时，套筒8的继续移动则会对夹持板9进行挤压，使得夹持板9转动，从而使得夹持板9收缩，来对抛光的硅片进行稳定的夹持，提高了加工过程中的稳定性。

如图1和4，加工台6，设置在底座1的顶部中心处，且加工台6的两侧壁均安装有吸尘风扇11。加工台6的上表面开设有通孔16，通孔16均匀分布在加工台6上，且加工台6对应设置在抛光轮10的正下方。加工台6的内部安装有过滤网15，过滤网15为弧形结构，吸尘风扇11对应设置在过滤网15的下方，且吸尘风扇11的进风口处也安装有过滤网15，通过加工台6内部的过滤网15能够对硅片抛光产生的碎屑和粉尘进行阻挡，从而进行碎屑和粉尘的集中收集，同时，通过吸尘风扇11的吸力，能够带动加工台6顶部的空气从通孔16处进入加工台6内部，从而使得粉尘和碎屑稳定的进入加工台6内部收集，避免粉尘四散。

工作原理：在使用该可翻转的硅片用抛光装置时，首先为了解决硅片抛光设备只能够对硅片的单面进行抛光的问题，通过启动驱动电机5，可以带动电动推杆7和夹持板9的转动，从而来带动夹持板9夹持的硅片进行翻转，方便对硅片的另一面进行抛光，操作简单快捷；

启动电动推杆7可以带动套筒8的左右移动，使得夹持板9收缩，从而对抛光的硅片进行稳定的夹持，来提高加工过程中的稳定性，启动吸尘风扇11能够将加工台6顶部的空气从通孔16处吸入加工台6内部，从而使得粉尘和碎屑稳定的进入加工台6内部收集，避免粉尘四散。

本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种可翻转的硅片用抛光装置，包括底座（1），所述底座（1）的上方两端均固定连接有固定板（2），且底座（1）的后侧上方固定连接有支撑板（3），所述支撑板（3）的侧视为“7”字形结构；

其特征在于，还包括：

固定环（4），设置在所述支撑板（3）的底部中心处，所述固定环（4）为伸缩结构，且固定环（4）的内侧壁啮合连接有副齿轮（402），所述固定环（4）的内侧中心处通过第二电机连接有主齿轮（401），所述主齿轮（401）与副齿轮（402）啮合连接，且副齿轮（402）的底部固定连接有抛光轮（10）；

所述固定板（2）的外侧壁安装有驱动电机（5），且固定板（2）的内侧壁轴承连接有电动推杆（7），所述驱动电机（5）输出端的驱动轴与电动推杆（7）固定连接；

加工台（6），设置在所述底座（1）的顶部中心处，且加工台（6）的两侧壁均安装有吸尘风扇（11）。

2.根据权利要求1所述的一种可翻转的硅片用抛光装置，其特征在于：所述电动推杆（7）的内端设置有套筒（8），所述套筒（8）的外侧壁与电动推杆（7）的外侧壁固定连接，且套筒（8）的内部设置有安装块（12），所述安装块（12）的前后两侧壁均通过固定杆与固定板（2）的内侧壁固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种可翻转的硅片用抛光装置，其特征在于：所述安装块（12）的上下两侧壁均开设有滑槽（13），所述套筒（8）的内侧壁固定连接有滑块（14），所述滑块（14）和滑槽（13）构成滑动结构。

4.根据权利要求3所述的一种可翻转的硅片用抛光装置，其特征在于：所述安装块（12）的内侧活动轴连接有夹持板（9），所述夹持板（9）为折弯结构，且夹持板（9）的内侧壁套设有夹持垫（17），所述夹持垫（17）为橡胶材质。

5.根据权利要求1所述的一种可翻转的硅片用抛光装置，其特征在于：所述加工台（6）的上表面开设有通孔（16），所述通孔（16）均匀分布在加工台（6）上，且加工台（6）对应设置在所述抛光轮（10）的正下方。

6.根据权利要求1所述的一种可翻转的硅片用抛光装置，其特征在于：所述加工台（6）的内部安装有过滤网（15），所述过滤网（15）为弧形结构，所述吸尘风扇（11）对应设置在过滤网（15）的下方，且吸尘风扇（11）的进风口处也安装有过滤网（15）。

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