CN219359891U - 硅锭均匀切片装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了硅锭均匀切片装置，属于硅锭加工技术领域，包括支撑台，所述支撑台的上表面固定安装有两个支撑柱，所述支撑柱的一端固定安装有固定柱，所述支撑台的上表面设置有夹持组件与冲刷组件；本实用新型中，通过设置有排水槽与冲刷组件，硅锭上的研磨桨会通过排水槽流到支撑台的外部，移动杆会在伸缩弹簧的作用下带动夹板发生移动，通过滑轮带动顶杆发生移动，顶杆会带动压板对储水囊进行挤压，储水囊内部的水会通过冲刷头对排水槽的排水端进行冲洗，将研磨浆进行收集后统一进行排出，避免在切割的过程中研磨浆从支撑台的四周流出，不便于清理，同时冲刷组件可以将排水槽的排水端内的碎屑冲刷掉，避免排水槽发生堵塞的情况。

Description

硅锭均匀切片装置

技术领域

本实用新型属于硅锭加工技术领域，尤其涉及硅锭均匀切片装置。

背景技术

硅锭主要是硅料定向凝固做成的产品，其主要的化学的成分为单晶硅，然后通过切片装置将硅锭切割成硅片，硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段可以将硅片制作成各种半导体器件。

在对硅锭进行切片的过程中需要在切片的过程中喷洒研磨浆，但是目前的切片装置在喷洒研磨浆后研磨浆会往四周流出，从而不利于后期对切片装置进行清理，并且目前大多数的切片装置采用人工固定的方式，具有一定的危险性，为此提供了硅锭均匀切片装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决上述的问题，而提出的硅锭均匀切片装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：硅锭均匀切片装置，包括支撑台，所述支撑台的上表面固定安装有两个支撑柱，所述支撑柱的一端固定安装有固定柱，所述支撑台的上表面设置有夹持组件与冲刷组件，所述固定柱的内壁上设置有切割组件；

所述夹持组件包括固定筒，所述固定筒的下表面与支撑台的上表面固定连接，所述固定筒的内侧壁上固定安装有伸缩弹簧。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述伸缩弹簧的一端固定安装有移动杆，所述移动杆的一端延伸至固定筒的侧壁外，所述移动杆的一端固定安装有夹板，所述移动杆的侧壁上固定安装有三角块，所述三角块延伸至固定筒的外部。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述支撑台的上表面设置有排水槽，所述排水槽的底面内壁上设置有放置台，所述放置台的上表面设置有切割槽。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述冲刷组件包括放置箱，所述放置箱的下表面与支撑台的上表面固定连接，所述放置箱的内侧壁上固定安装有连接弹簧，所述连接弹簧的一端固定安装有压板，所述压板的侧壁上固定安装有储水囊，所述储水囊的侧壁与放置箱的另一内侧壁固定连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述储水囊的侧壁上连通安装有冲刷头，所述冲刷头的一端延伸至放置箱的侧壁外，所述压板的另一侧壁上固定安装有顶杆，所述顶杆的一端延伸至放置箱的另一侧壁外，所述顶杆的一端固定安装有安装板，安装板的侧壁上通过转轴转动安装有滑轮。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述切割组件包括驱动电机，所述驱动电机的外表面通过支撑板与固定柱的侧壁固定连接，所述驱动电机的输出端固定安装有螺纹杆，所述螺纹杆的一端与固定柱的内壁转动连接，所述螺纹杆的外表面螺纹安装有移动板，所述移动板的下表面固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的一端固定安装有固定板，所述固定板的侧壁通过支撑块固定安装有控制电机，所述控制电机的输出端固定安装有转动杆，所述转动杆的一端固定安装有刀片。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，通过设置有排水槽与冲刷组件，在刀片对硅锭切片的过程中会通过喷头往硅锭上喷洒研磨浆，硅锭上的研磨浆会通过排水槽流到支撑台的外部，将切割好的硅锭取下后，移动杆会在伸缩弹簧的作用下带动夹板发生移动，此时三角块也会发生位移，当三角块移动到一定位置后，会通过滑轮带动顶杆发生移动，此时顶杆会带动压板对储水囊进行挤压，受到挤压后的储水囊内部的水会通过冲刷头对排水槽的排水端进行冲洗，将研磨浆进行收集后统一进行排出，避免在切割的过程中研磨浆从支撑台的四周流出，不便于清理，同时冲刷组件可以将排水槽的排水端内的碎屑冲刷掉，避免排水槽发生堵塞的情况。

2、本实用新型中，通过设置有夹持组件，将需要进行切割的硅锭放在放置台上，此时伸缩弹簧会通过移动杆带动夹板对硅锭进行夹持，从而将硅锭固定在放置台的中心位置，此时移动杆上的三角块会往支撑台的两侧进行移动，从而与滑轮失去挤压，进而使压板失去对储水囊进行挤压，避免在切割的过程中需要人工固定，进一步提高装置的安全性，同时通过夹持组件驱动冲刷组件，提高结构之间的利用率。

附图说明

图1为硅锭均匀切片装置的立体结构示意图。

图2为硅锭均匀切片装置中固定柱的内部结构示意图。

图3为硅锭均匀切片装置中固定筒与放置箱的内部结构示意图。

图例说明：

1、支撑台；2、支撑柱；3、固定柱；4、切割组件；41、驱动电机；42、螺纹杆；43、移动板；44、电动伸缩杆；45、固定板；46、控制电机；47、转动杆；48、刀片；5、放置台；6、排水槽；7、夹持组件；71、固定筒；72、伸缩弹簧；73、移动杆；74、夹板；75、三角块；8、冲刷组件；81、放置箱；82、连接弹簧；83、压板；84、储水囊；85、顶杆；86、滑轮；87、冲刷头。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：硅锭均匀切片装置，包括支撑台1，所述支撑台1的上表面固定安装有两个支撑柱2，所述支撑柱2的一端固定安装有固定柱3，所述支撑台1的上表面设置有夹持组件7与冲刷组件8，所述固定柱3的内壁上设置有切割组件4；

所述夹持组件7包括固定筒71，所述固定筒71的下表面与支撑台1的上表面固定连接，所述固定筒71的内侧壁上固定安装有伸缩弹簧72，所述伸缩弹簧72的一端固定安装有移动杆73，所述移动杆73的一端延伸至固定筒71的侧壁外，所述移动杆73的一端固定安装有夹板74，所述移动杆73的侧壁上固定安装有三角块75，所述三角块75延伸至固定筒71的外部。

其具体实施方式为：将需要进行切割的硅锭放在放置台5上，此时伸缩弹簧72会通过移动杆73带动夹板74对硅锭进行夹持，从而将硅锭固定在放置台5的中心位置，此时移动杆73上的三角块75会往支撑台1的两侧进行移动，从而与滑轮86失去挤压，进而使压板83失去对储水囊84进行挤压。

所述支撑台1的上表面设置有排水槽6，所述排水槽6的底面内壁上设置有放置台5，所述放置台5的上表面设置有切割槽，所述冲刷组件8包括放置箱81，所述放置箱81的下表面与支撑台1的上表面固定连接，所述放置箱81的内侧壁上固定安装有连接弹簧82，所述连接弹簧82的一端固定安装有压板83，所述压板83的侧壁上固定安装有储水囊84，所述储水囊84的侧壁与放置箱81的另一内侧壁固定连接，所述储水囊84的侧壁上连通安装有冲刷头87，所述冲刷头87的一端延伸至放置箱81的侧壁外，所述压板83的另一侧壁上固定安装有顶杆85，所述顶杆85的一端延伸至放置箱81的另一侧壁外，所述顶杆85的一端固定安装有安装板，安装板的侧壁上通过转轴转动安装有滑轮86。

其具体实施方式为：在刀片48对硅锭切片的过程中会通过喷头往硅锭上喷洒研磨浆，硅锭上的研磨浆会通过排水槽6流到支撑台1的外部，将切割好的硅锭取下后，移动杆73会在伸缩弹簧72的作用下带动夹板74发生移动，此时三角块75也会发生位移，当三角块75移动到一定位置后，会通过滑轮86带动顶杆85发生移动，此时顶杆85会带动压板83对储水囊84进行挤压，受到挤压后的储水囊84内部的水会通过冲刷头87对排水槽6的排水端进行冲洗。

所述切割组件4包括驱动电机41，所述驱动电机41的外表面通过支撑板与固定柱3的侧壁固定连接，所述驱动电机41的输出端固定安装有螺纹杆42，所述螺纹杆42的一端与固定柱3的内壁转动连接，所述螺纹杆42的外表面螺纹安装有移动板43，所述移动板43的下表面固定安装有电动伸缩杆44，所述电动伸缩杆44的一端固定安装有固定板45，所述固定板45的侧壁通过支撑块固定安装有控制电机46，所述控制电机46的输出端固定安装有转动杆47，所述转动杆47的一端固定安装有刀片48。

其具体实施方式为：通过电动伸缩杆44控制刀片48下降，然后控制电机46通过转动杆47带动刀片48进行旋转，从而对硅锭进行切割，通过驱动电机41带动螺纹杆42进行旋转，从而使移动板43带动电动伸缩杆44进行均匀的位移，进而通过刀片48对硅锭进行均匀的切片。

工作原理：将需要进行切割的硅锭放在放置台5上，此时伸缩弹簧72会通过移动杆73带动夹板74对硅锭进行夹持，从而将硅锭固定在放置台5的中心位置，此时移动杆73上的三角块75会往支撑台1的两侧进行移动，从而与滑轮86失去挤压，进而使压板83失去对储水囊84进行挤压，通过电动伸缩杆44控制刀片48下降，然后控制电机46通过转动杆47带动刀片48进行旋转，从而对硅锭进行切割，通过驱动电机41带动螺纹杆42进行旋转，从而使移动板43带动电动伸缩杆44进行均匀的位移，进而通过刀片48对硅锭进行均匀的切片，在刀片48对硅锭切片的过程中会通过喷头往硅锭上喷洒研磨浆，硅锭上的研磨浆会通过排水槽6流到支撑台1的外部，将切割好的硅锭取下后，移动杆73会在伸缩弹簧72的作用下带动夹板74发生移动，此时三角块75也会发生位移，当三角块75移动到一定位置后，会通过滑轮86带动顶杆85发生移动，此时顶杆85会带动压板83对储水囊84进行挤压，受到挤压后的储水囊84内部的水会通过冲刷头87对排水槽6的排水端进行冲洗。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.硅锭均匀切片装置，包括支撑台(1)，所述支撑台(1)的上表面固定安装有两个支撑柱(2)，所述支撑柱(2)的一端固定安装有固定柱(3)，其特征在于：所述支撑台(1)的上表面设置有夹持组件(7)与冲刷组件(8)，所述固定柱(3)的内壁上设置有切割组件(4)；

所述夹持组件(7)包括固定筒(71)，所述固定筒(71)的下表面与支撑台(1)的上表面固定连接，所述固定筒(71)的内侧壁上固定安装有伸缩弹簧(72)。

2.根据权利要求1所述的硅锭均匀切片装置，其特征在于，所述伸缩弹簧(72)的一端固定安装有移动杆(73)，所述移动杆(73)的一端延伸至固定筒(71)的侧壁外，所述移动杆(73)的一端固定安装有夹板(74)，所述移动杆(73)的侧壁上固定安装有三角块(75)，所述三角块(75)延伸至固定筒(71)的外部。

3.根据权利要求2所述的硅锭均匀切片装置，其特征在于，所述支撑台(1)的上表面设置有排水槽(6)，所述排水槽(6)的底面内壁上设置有放置台(5)，所述放置台(5)的上表面设置有切割槽。

4.根据权利要求3所述的硅锭均匀切片装置，其特征在于，所述冲刷组件(8)包括放置箱(81)，所述放置箱(81)的下表面与支撑台(1)的上表面固定连接，所述放置箱(81)的内侧壁上固定安装有连接弹簧(82)，所述连接弹簧(82)的一端固定安装有压板(83)，所述压板(83)的侧壁上固定安装有储水囊(84)，所述储水囊(84)的侧壁与放置箱(81)的另一内侧壁固定连接。

5.根据权利要求4所述的硅锭均匀切片装置，其特征在于，所述储水囊(84)的侧壁上连通安装有冲刷头(87)，所述冲刷头(87)的一端延伸至放置箱(81)的侧壁外，所述压板(83)的另一侧壁上固定安装有顶杆(85)，所述顶杆(85)的一端延伸至放置箱(81)的另一侧壁外，所述顶杆(85)的一端固定安装有安装板，安装板的侧壁上通过转轴转动安装有滑轮(86)。

6.根据权利要求5所述的硅锭均匀切片装置，其特征在于，所述切割组件(4)包括驱动电机(41)，所述驱动电机(41)的外表面通过支撑板与固定柱(3)的侧壁固定连接，所述驱动电机(41)的输出端固定安装有螺纹杆(42)，所述螺纹杆(42)的一端与固定柱(3)的内壁转动连接，所述螺纹杆(42)的外表面螺纹安装有移动板(43)，所述移动板(43)的下表面固定安装有电动伸缩杆(44)，所述电动伸缩杆(44)的一端固定安装有固定板(45)，所述固定板(45)的侧壁通过支撑块固定安装有控制电机(46)，所述控制电机(46)的输出端固定安装有转动杆(47)，所述转动杆(47)的一端固定安装有刀片(48)。