CN212312407U

CN212312407U - 一种硅晶体线切割装置

Info

Publication number: CN212312407U
Application number: CN202020838162.3U
Authority: CN
Inventors: 侯景成
Original assignee: Guangzhou Baichuang Electromechanical Equipment Co ltd
Current assignee: Guangzhou Baichuang Electromechanical Equipment Co ltd
Priority date: 2020-05-19
Filing date: 2020-05-19
Publication date: 2021-01-08
Anticipated expiration: 2030-05-19

Abstract

本实用新型公开了一种硅晶体线切割装置，涉及硅晶体加工用技术领域，针对硅晶体加工过程中线切割装置高度调整的问题，现提出如下方案，包括壳体，所述壳体的内部设有横板与过滤板，所述壳体的底部内壁上固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端安装有螺杆，所述螺杆的顶端安装有毛刷板，所述螺杆上螺纹套接有活动环，所述活动环的两侧外圈上铰接有第一撑杆，所述第一撑杆的底端铰接有第一滑块。本实用新型通过各种结构的组合使得装置可以自动调整线切割装置的切割线的高度，从而可以适应各种硅晶体的切割，提高工作效率，且本装置可以对切割液进行过滤从而提高切割液的利用率，节约成本，本装置方便对切割废料的收集，降低工作人员的负担。

Description

一种硅晶体线切割装置

技术领域

本实用新型涉及硅晶体加工用技术领域，尤其涉及一种硅晶体线切割装置。

背景技术

线切割技术是目前世界上比较先进的晶体硅加工技术，它的原理是通过一根高速运动的钢丝带动附着在钢丝上的切割刃料对半导体等硬脆材料进行摩擦而达到切割效果。线切割技术与传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割相比有具有效率高，产能高，精度高等优点，多线切割技术是目前采用最广泛的半导体等硬脆材料切割技术。

现有的线切割虽然可以对硅晶体进行切割，但切割间距被限定难以调整，从而对硅晶体进行线切割需要人工调整装置的切割高度，从而降低了工作效率，且对于线切割过程中不可或缺的切割液的处理不便，增加了工作人员的工作负担。

实用新型内容

本实用新型提出的一种硅晶体线切割装置，解决了硅晶体加工过程中线切割装置高度调整的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种硅晶体线切割装置，包括壳体，所述壳体的内部设有横板与过滤板，所述壳体的底部内壁上固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端安装有螺杆，所述螺杆的顶端安装有毛刷板，所述螺杆上螺纹套接有活动环，所述活动环的两侧外圈上铰接有第一撑杆，所述第一撑杆的底端铰接有第一滑块，所述第一滑块上铰接有第二撑杆，所述第二撑杆的顶端铰接有支杆，所述支杆的顶端铰接有T型架，右侧所述T型架的顶部固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端安装有第一转轴，所述第一转轴上通过螺栓连接有主动轮，所述主动轮的左侧设有从动轮，所述从动轮上通过螺栓连接有第二转轴。

优选的，所述壳体的底部内壁上通过螺栓连接有第一电机，所述横板的中部壳壁上开设有第一槽孔，所述过滤板的中部壳壁上开设有第二槽孔，所述螺杆的顶端穿过第一槽孔与第二槽孔。

优选的，所述横板上开设有两个第一滑槽，所述第一滑槽的内部滑动连接有第一滑块，所述第一滑块的顶部铰接有第一撑杆与第二撑杆，所述螺杆上套接有弹簧，所述弹簧的顶部焊接于活动环上。

优选的，所述过滤板的壳壁上开设有两个第二槽孔，所述T型架的底端穿过第三槽孔，所述过滤板的底部焊接有固定杆，所述固定杆的底端铰接有支杆，所述支杆上开设有第二滑槽，所述第二滑槽的内部滑动连接有第二滑块，所述第二滑块的顶部铰接于T型架上。

优选的，所述壳体的顶部内壁与过滤板的顶部之间设有两个竖板，所述竖板上开设有第四槽孔，所述主动轮与从动轮之间连接有切割线，所述切割线的两端穿过第四槽孔。

优选的，所述T型架的顶部焊接有固定架，两个所述固定架上分别转动连接有第一转轴与第二转轴，所述壳体的顶部壳壁的中部开设有第五槽孔，所述壳体的顶部壳壁上开设有两个第六槽孔，所述主动轮与从动轮的顶部穿过第六槽孔。

优选的，所述壳体的正面壳壁上开设有两个第三滑槽，所述第三滑槽的内部滑动连接有第三滑块，所述第三滑块远离第三滑槽的一侧焊接于T型架上，所述壳体背面壳壁的右侧设有开口，所述T型架的背面穿过开口，所述壳体的两侧壳壁上开设有第七槽孔，所述第七槽孔中安装有出料管。

与现有的技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过安装第一电机、螺杆、活动弹簧、第一撑杆、第二撑杆、支杆、T型架、第一转轴、第二转轴、主动轮、从动轮和第二电机的组合使得装置可以对线切割进行切割线的高度的自动调整，从而不仅提高工作效率且降低了工作人员的负担，而毛刷板、过滤板和横板的组合使得装置可以对线切割过程中使用的切割液进行过滤收集，从而不仅提高切割液的利用率，节约成本，且本装置对切割废料收集便捷。

综上所述，本实用新型通过各种结构的组合使得装置可以自动调整线切割装置的切割线的高度，从而可以适应各种硅晶体的切割，提高工作效率，且本装置可以对切割液进行过滤从而提高切割液的利用率，节约成本，本装置方便对切割废料的收集，降低工作人员的负担。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种硅晶体线切割装置的正面剖视结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种硅晶体线切割装置的背面结构示意图。

图中：1壳体、2横板、3过滤板、4第一电机、5螺杆、6活动环、7第一撑杆、8第二撑杆、9支杆、10T型架、11第二电机、12第一转轴、13主动轮、14从动轮、15第二转轴。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-2，一种硅晶体线切割装置，包括壳体1，壳体1的内部设有横板2与过滤板3，壳体1的底部内壁上固定连接有第一电机4，第一电机4的输出端安装有螺杆5，螺杆5的顶端安装有毛刷板，螺杆5上螺纹套接有活动环6，活动环6的两侧外圈上铰接有第一撑杆7，第一撑杆7的底端铰接有第一滑块，第一滑块上铰接有第二撑杆8，第二撑杆8的顶端铰接有支杆9，支杆9的顶端铰接有T型架10，右侧T型架10的顶部固定连接有第二电机11，第二电机11的输出端安装有第一转轴12，第一转轴12上通过螺栓连接有主动轮13，主动轮13的左侧设有从动轮14，从动轮14上通过螺栓连接有第二转轴15。

壳体1的底部内壁上通过螺栓连接有第一电机4，横板2的中部壳壁上开设有第一槽孔，过滤板3的中部壳壁上开设有第二槽孔，螺杆5的顶端穿过第一槽孔与第二槽孔，横板2上开设有两个第一滑槽，第一滑槽的内部滑动连接有第一滑块，第一滑块的顶部铰接有第一撑杆7与第二撑杆8，螺杆5上套接有弹簧，弹簧的顶部焊接于活动环6上，过滤板3的壳壁上开设有两个第二槽孔，T型架10的底端穿过第三槽孔，过滤板3的底部焊接有固定杆，固定杆的底端铰接有支杆9，支杆9上开设有第二滑槽，第二滑槽的内部滑动连接有第二滑块，第二滑块的顶部铰接于T型架10上，壳体1的顶部内壁与过滤板3的顶部之间设有两个竖板，竖板上开设有第四槽孔，主动轮13与从动轮14之间连接有切割线，切割线的两端穿过第四槽孔，T型架10的顶部焊接有固定架，两个固定架上分别转动连接有第一转轴12与第二转轴15，壳体1的顶部壳壁的中部开设有第五槽孔，壳体1的顶部壳壁上开设有两个第六槽孔，主动轮13与从动轮14的顶部穿过第六槽孔，壳体1的正面壳壁上开设有两个第三滑槽，第三滑槽的内部滑动连接有第三滑块，第三滑块远离第三滑槽的一侧焊接于T型架10上，壳体1背面壳壁的右侧设有开口，T型架10的背面穿过开口，壳体1的两侧壳壁上开设有第七槽孔，第七槽孔中安装有出料管。

本实施例中，首先，当需要调整切割线的高度时，启动第一电机4，从而带动螺杆5进行旋转，使得活动环6下移，压缩弹簧，当活动环6处于空转状态时，从而使得第一撑杆7带动第一滑块向两侧移动，带动第二撑杆8进行运动，使得支杆9的一端进行角度调整，使得T型架10向上移动，带动第一转轴12、第二转轴15、主动轮、从动轮和第二电机11进行上移，调高线切割的位置，方便对大型硅晶体进行切割，启动第二电机11带动第一转轴12进行旋转，从而使得切割线进行运动，而螺杆5带动毛刷板对过滤板3进行刷动，从而方便过滤板3的网孔堵塞，而切割液通过第五槽孔落到过滤板3上，通过过滤板3的网孔过滤后切割液落到横板2上，通过出料管对切割液进行回收利用，而对于过滤板3上的切割废渣，通过壳体1正面壳壁上的孔洞进行清理。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种硅晶体线切割装置，包括壳体（1），其特征在于，所述壳体（1）的内部设有横板（2）与过滤板（3），所述壳体（1）的底部内壁上固定连接有第一电机（4），所述第一电机（4）的输出端安装有螺杆（5），所述螺杆（5）的顶端安装有毛刷板，所述螺杆（5）上螺纹套接有活动环（6），所述活动环（6）的两侧外圈上铰接有第一撑杆（7），所述第一撑杆（7）的底端铰接有第一滑块，所述第一滑块上铰接有第二撑杆（8），所述第二撑杆（8）的顶端铰接有支杆（9），所述支杆（9）的顶端铰接有T型架（10），右侧所述T型架（10）的顶部固定连接有第二电机（11），所述第二电机（11）的输出端安装有第一转轴（12），所述第一转轴（12）上通过螺栓连接有主动轮（13），所述主动轮（13）的左侧设有从动轮（14），所述从动轮（14）上通过螺栓连接有第二转轴（15）。

2.根据权利要求1所述的一种硅晶体线切割装置，其特征在于，所述壳体（1）的底部内壁上通过螺栓连接有第一电机（4），所述横板（2）的中部壳壁上开设有第一槽孔，所述过滤板（3）的中部壳壁上开设有第二槽孔，所述螺杆（5）的顶端穿过第一槽孔与第二槽孔。

3.根据权利要求1所述的一种硅晶体线切割装置，其特征在于，所述横板（2）上开设有两个第一滑槽，所述第一滑槽的内部滑动连接有第一滑块，所述第一滑块的顶部铰接有第一撑杆（7）与第二撑杆（8），所述螺杆（5）上套接有弹簧，所述弹簧的顶部焊接于活动环（6）上。

4.根据权利要求1所述的一种硅晶体线切割装置，其特征在于，所述过滤板（3）的壳壁上开设有两个第二槽孔，所述T型架（10）的底端穿过第三槽孔，所述过滤板（3）的底部焊接有固定杆，所述固定杆的底端铰接有支杆（9），所述支杆（9）上开设有第二滑槽，所述第二滑槽的内部滑动连接有第二滑块，所述第二滑块的顶部铰接于T型架（10）上。

5.根据权利要求1所述的一种硅晶体线切割装置，其特征在于，所述壳体（1）的顶部内壁与过滤板（3）的顶部之间设有两个竖板，所述竖板上开设有第四槽孔，所述主动轮（13）与从动轮（14）之间连接有切割线，所述切割线的两端穿过第四槽孔。

6.根据权利要求1所述的一种硅晶体线切割装置，其特征在于，所述T型架（10）的顶部焊接有固定架，两个所述固定架上分别转动连接有第一转轴（12）与第二转轴（15），所述壳体（1）的顶部壳壁的中部开设有第五槽孔，所述壳体（1）的顶部壳壁上开设有两个第六槽孔，所述主动轮（13）与从动轮（14）的顶部穿过第六槽孔。

7.根据权利要求1所述的一种硅晶体线切割装置，其特征在于，所述壳体（1）的正面壳壁上开设有两个第三滑槽，所述第三滑槽的内部滑动连接有第三滑块，所述第三滑块远离第三滑槽的一侧焊接于T型架（10）上，所述壳体（1）背面壳壁的右侧设有开口，所述T型架（10）的背面穿过开口，所述壳体（1）的两侧壳壁上开设有第七槽孔，所述第七槽孔中安装有出料管。