CN221046883U - 一种用于清洗硅料的加热装置 - Google Patents

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邹俊卓
姜电华
昝将林
王志勇
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Abstract

本实用新型公开了一种用于清洗硅料的加热装置,属于硅料加工设备技术领域,包括用于硅料清洗的清洗槽和对放置硅料起防护作用的防护组件,所述清洗槽的内壁安装有用于对清洗液加热的加热盘管,且加热盘管的两端贯穿清洗槽内侧壁的顶端。该用于清洗硅料的加热装置,得益于电动伸缩杆、连接块、承载板和防护组件的设计,将硅料放置于承载板上的防护组件中,关闭电动伸缩杆,可通过连接块带动承载板向下移动,进而将硅料置于清洗槽中加热清洗,同理,打开电动伸缩杆开关,可将清洗完成的硅料从清洗槽中取出,这种方式方便自动对硅料上下料,且整个上下料过程省时省力,无需手动操作,从而提高清洗效率。

Description

一种用于清洗硅料的加热装置
技术领域
本实用新型属于硅料加工设备技术领域,尤其是一种用于清洗硅料的加热装置。
背景技术
多晶硅是单质硅的一种形态,而多晶硅可作拉制单晶硅原料,硅料广泛应用于电子工业中,在其生产加工时,通常会使用清洗装置对硅料进行清洗,而硅料表面的清洗过程针对不同工序,需要进行一定的温度控制,从而达到更好的清洗效果。现实生活中,在用于清洗硅料的加热装置集热清洗硅料时,由于大多用于清洗硅料的加热装置未设置辅助上下料机构,在放置硅料进行清洗时需要人工手动进行上下料,整个上下过程费时费力,从而降低清洗效率。
中国专利文件(申请公布号CN208712376U)一种用于清洗硅料的加热装置,其包括加热管盘,所述加热管盘安装在硅料清洗槽的内壁,通过加热管盘的高温介质对硅料清洗液进行加热。
可知,其以上所引证的专利文件也存在同样的问题,其缺乏辅助上下料机构,在向清洗槽中投放硅料和在硅料清洗完成后均需要人工手动上下料,整个上下过程费时费力,从而降低清洗效率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于清洗硅料的加热装置,以解决背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于清洗硅料的加热装置,包括用于硅料清洗的清洗槽和对放置硅料起防护作用的防护组件,所述清洗槽的内壁安装有用于对清洗液加热的加热盘管,且加热盘管的两端贯穿清洗槽内侧壁的顶端,所述清洗槽两侧的底部均安装有第一固定块,两个所述第一固定块的顶端均安装有电动伸缩杆,两个所述电动伸缩杆的伸缩端均安装有连接块,两个所述连接块的相对一侧均安装有连接板,两个所述连接板的一侧共同设有用于放置硅料的承载板,所述承载板的顶端设置有防护组件。
作为优选的实施方案,所述防护组件包括两个固定杆,两个所述固定杆的顶端均装配有加长杆,两个所述加长杆的顶端共同设有连接框,所述连接框与承载板之间共同设有防护网。
作为优选的实施方案,所述清洗槽两侧的顶部均安装有第二固定块,两个所述第二固定块的顶端均安装有滑杆,两个所述滑杆的顶端共同设有横板。
作为优选的实施方案,所述承载板的两侧均安装有滑条,两个所述滑条的顶端均安装有第一弹性块。
作为优选的实施方案,所述电动伸缩杆外壁的顶端贯穿第二固定块。
作为优选的实施方案,所述滑杆的外壁贯穿连接块。
作为优选的实施方案,所述加长杆外壁的底端安装有第二弹性块。
与现有技术相比,本实用新型的技术效果和优点:
该用于清洗硅料的加热装置,得益于电动伸缩杆、连接块、承载板和防护组件的设计,将硅料放置于承载板上的防护组件中,关闭电动伸缩杆,可通过连接块带动承载板向下移动,进而将硅料置于清洗槽中加热清洗,同理,打开电动伸缩杆开关,可将清洗完成的硅料从清洗槽中取出,这种方式方便自动对硅料上下料,且整个上下料过程省时省力,无需手动操作,从而提高清洗效率;
通过设有固定杆、第二弹性块和加长杆,向里按压第二弹性块并向下移动加长杆,加长杆带动连接框向下移动,至加长杆移动至合适位置后,使第二弹性块与对应位置的第二卡孔卡合,这种方式可以根据清洗硅料的量来调整防护组件的高度。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为本实用新型的辅助上下料组件结构示意图;
图3为本实用新型的清洗槽结构示意图;
图4为本实用新型的防护组件结构示意图;
图5为本实用新型的图4中A处的放大结构示意图。
附图标记说明:
图中:1、清洗槽;2、加热管盘;3、第一固定块;4、电动伸缩杆;5、连接块;6、连接板;7、承载板;701、滑条;702、第一弹性块;8、固定杆;9、加长杆;901、第二弹性块;10、连接框;11、防护网;12、第二固定块;13、滑杆;14、横板。
具体实施方式
在下文的描述中,给出了大量具体的细节以便提供对本实用新型更为彻底的理解。然而,对于本领域技术人员而言显而易见的是,本实用新型可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中,为了避免与本实用新型发生混淆,对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。
除非单独定义指出的方向外,本文涉及的上、下、左、右、正、背、内和外等方向均是以本实用新型所示的图中的上、下、左、右、正、背、内和外等方向为准,在此一并说明。
连接方式可以采用粘接、焊接、螺栓连接等等现有方式,以实际需要为准。
本实施例提供了如图1至图5所示的一种用于清洗硅料的加热装置,包括用于硅料清洗的清洗槽1和对放置硅料起防护作用的防护组件,清洗槽1的内壁安装有用于对清洗液加热的加热盘管2,且加热盘管2的两端贯穿清洗槽1内侧壁的顶端,加热管盘2呈螺旋状分布在清洗槽1的内侧壁和内底端,清洗槽1两侧的底部均安装有第一固定块3,两个第一固定块3的顶端均安装有电动伸缩杆4,两个电动伸缩杆4的伸缩端均安装有连接块5,两个连接块5的相对一侧均安装有连接板6,两个连接板6的一侧共同设有用于放置硅料的承载板7,承载板7的顶端设置有防护组件,承载板1顶端的中部开设有若干个通孔,且通孔的直径小于硅料的直径,通过通孔方便对防护组件底端的硅料进行加热清洗,所有辅助上料组件及防护组件均耐酸碱及耐高温,且定期维护更换,将硅料投掷于防护组件中,关闭电动伸缩杆开关,电动伸缩杆4的伸缩端收缩带动连接块5向下移动,连接块5向下移动通过承载板7将硅料置于清洗槽1中加热清洗,当硅料清洗完成后,同理,打开电动伸缩杆开关,电动伸缩杆4带动承载板7向上移动,进而将硅料从清洗槽1中取出,这样方便对硅料上下料,且整个上下料过程省时省力,提高清洗效率。
电动伸缩杆4为常规仪器,工作原理、尺寸和型号与本申请的功能无关,故不多做叙述,本实用新型的控制方式是通过控制器来控制的,控制器的控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现,电源的提供也属于本领域的公知常识,并且本实用新型主要用来保护机械装置,所以本实用新型不再详细解释控制方式和电路连接。
本实施例提供防护组件包括两个固定杆8,两个固定杆8的顶端均装配有加长杆9,固定杆8的顶端贯穿设有加长杆9,两个加长杆9的顶端共同设有连接框10,连接框10与承载板7之间共同设有防护网11,加长杆9外壁的底端安装有第二弹性块901,固定杆8的外壁开设有多干个第二卡孔,第二弹性块901通过第二卡孔与固定杆8卡合连接。
本实施例提供清洗槽1两侧的顶部均安装有第二固定块12,两个第二固定块12的顶端均安装有滑杆13,两个滑杆13的顶端共同设有横板14,电动伸缩杆4外壁的顶端贯穿第二固定块12,且与第二固定块12固定连接,滑杆13的外壁贯穿连接块5,且与连接块5滑动连接。
本实施例提供承载板7的两侧均安装有滑条701,连接板6的一侧开设有与滑条701相适配的滑槽,滑条701与滑槽滑动连接,两个滑条701的顶端均安装有第一弹性块702,滑槽顶端的相应位置贯穿设有第一卡孔,第一弹性块702通过第一卡孔与连接板6卡合连接。
工作原理
向清洗槽1中填充硅料清洗液,然后通过加热管盘2进行加热,其次根据清洗硅料的量,向里按压第二弹性块901,使第二弹性块901与固定杆8分离,然后向下移动加长杆9至合适位置后,使第二弹性块901与固定杆8上对应位置的第二卡孔卡合,然后向防护网11中放置需清洗的硅料,打开关闭电动伸缩杆开关,电动伸缩杆4的伸缩端收缩带动连接块5向下移动,连接块5向下移动通过承载板7将硅料置于清洗槽1中加热清洗,当硅料清洗完成后,同理,打开电动伸缩杆开关,电动伸缩杆4带动承载板7向上移动,进而将硅料从清洗槽1中取出,这种方式方便自动对硅料上下料,且整个上下料过程省时省力,无需手动操作,从而提高清洗效率。
需要说明的是,在本文中,诸如一和二之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下。由语句“包括一个......限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素”。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种用于清洗硅料的加热装置,包括用于硅料清洗的清洗槽(1)和对放置硅料起防护作用的防护组件,所述清洗槽(1)的内壁安装有用于对清洗液加热的加热盘管(2),且加热盘管(2)的两端贯穿清洗槽(1)内侧壁的顶端,所述清洗槽(1)两侧的底部均安装有第一固定块(3),其特征在于:两个所述第一固定块(3)的顶端均安装有电动伸缩杆(4),两个所述电动伸缩杆(4)的伸缩端均安装有连接块(5),两个所述连接块(5)的相对一侧均安装有连接板(6),两个所述连接板(6)的一侧共同设有用于放置硅料的承载板(7),所述承载板(7)的顶端设置有防护组件。
2.根据权利要求1所述的一种用于清洗硅料的加热装置,其特征在于:所述防护组件包括两个固定杆(8),两个所述固定杆(8)的顶端均装配有加长杆(9),两个所述加长杆(9)的顶端共同设有连接框(10),所述连接框(10)与承载板(7)之间共同设有防护网(11)。
3.根据权利要求1所述的一种用于清洗硅料的加热装置,其特征在于:所述清洗槽(1)两侧的顶部均安装有第二固定块(12),两个所述第二固定块(12)的顶端均安装有滑杆(13),两个所述滑杆(13)的顶端共同设有横板(14)。
4.根据权利要求1所述的一种用于清洗硅料的加热装置,其特征在于:所述承载板(7)的两侧均安装有滑条(701),两个所述滑条(701)的顶端均安装有第一弹性块(702)。
5.根据权利要求3所述的一种用于清洗硅料的加热装置,其特征在于:所述电动伸缩杆(4)外壁的顶端贯穿第二固定块(12)。
6.根据权利要求3所述的一种用于清洗硅料的加热装置,其特征在于:所述滑杆(13)的外壁贯穿连接块(5)。
7.根据权利要求2所述的一种用于清洗硅料的加热装置,其特征在于:所述加长杆(9)外壁的底端安装有第二弹性块(901)。
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