CN221041067U - 硅片位置矫正机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片位置矫正机构，包括配载模组、转嫁模组和视觉检测模组。配载模组设置有多个配载件，每个配载件用于获取固定硅片；转嫁模组包括转嫁平台、多个转嫁件和多个位置矫正件，位置矫正件可滑动设置于转嫁平台，转嫁件设置于位置矫正件，转嫁件移动至与配载件位置相对时，转嫁件能将硅片转移至转嫁件上；视觉检测模组设于转嫁平台的下游位置，视觉检测模组包括多个视觉单元，视觉单元用于检测对应的转嫁件上硅片的实际位置，位置矫正件能在视觉单元检测到硅片的实际位置偏离于预设位置时，调整硅片的实际位置，从而实现了提高硅片上下料位置的准确性和效率，并有助于提升硅片的生产质量，降低生产成本。

Description

硅片位置矫正机构

技术领域

本实用新型属于矫正机构技术领域，尤其涉及一种硅片位置矫正机构。

背景技术

硅片电镀铜工艺，是在硅片表面沉积一层均匀的铜膜，而硅片上下料在电镀铜工艺中非常重要。

当前行业内常用的将硅片进行上下料大多都是单片多次上下料来实现，其工作效率不高；且硅片在装载过程之前中无法对其位置进行准确检测，导致硅片上料位置可能不准确，而如果硅片的位置不准确，会造成产品质量不稳定、浪费时间和成本，甚至可能导致整个生产线的停滞。

基于以上所述，现亟需一种硅片位置矫正机构，来解决现有技术中存在的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片位置矫正机构，能够提高硅片上下料位置的准确性和效率，提升硅片的生产质量，并降低生产成本。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

硅片位置矫正机构，包括：

配载模组，设置有多个配载件，每个所述配载件用于获取并固定待装载的硅片；

转嫁模组，包括转嫁平台、多个转嫁件和多个位置矫正件，多个所述位置矫正件可滑动地设置于所述转嫁平台，多个所述转嫁件设置于所述位置矫正件上，所述转嫁件移动至与所述配载件位置相对时，所述转嫁件能将所述硅片转移至所述转嫁件上；

视觉检测模组，设于所述转嫁平台的下游位置，所述视觉检测模组包括多个视觉单元，所述视觉单元用于检测对应的所述转嫁件上所述硅片的实际位置，所述位置矫正件能在所述视觉单元检测到所述硅片的所述实际位置偏离于预设位置时，调整所述硅片的所述实际位置。

可选地，所述位置矫正件包括矫正基座以及设置在所述矫正基座上的第一直线矫正驱动件、第二直线矫正驱动件和旋转矫正驱动件，所述矫正基座可滑动地设置在所述转嫁平台上，所述第一直线矫正驱动件能驱动所述转嫁件沿第一方向直线运动，所述第二直线矫正驱动件能驱动所述转嫁件沿第二方向直线运动，所述旋转矫正驱动件能驱动所述转嫁件沿所述转嫁件的中心旋转运动，所述第一方向垂直于所述第二方向。

可选地，所述配载模组还包括支架、升降组件和翻转组件，所述支架竖直放置，所述升降组件沿所述竖直方向可滑动地设置于所述支架上，所述翻转组件绕自身轴线可转动地装设于所述升降组件，所述配载件固设于所述翻转组件上。

可选地，所述升降组件包括升降驱动电机和伸缩轴，所述升降驱动电机设置于所述支架上，并传动连接于所述伸缩轴的一端，所述伸缩轴的另一端连接于所述翻转组件。

可选地，所述配载模组还包括升降滑轨和滑块，所述支架的相对两端分别沿所述竖直方向设置有一个所述升降滑轨，每个所述升降滑轨上均滑动设置有所述滑块，所述滑块固连于所述翻转组件。

可选地，所述翻转组件包括安装台、翻转轴和翻转驱动电机，所述安装台固连于所述升降组件，所述翻转轴绕自身轴线可转动地设置在所述安装台上，并固连于所述配载件，所述翻转驱动电机的输出端传动连接于所述翻转轴。

可选地，所述支架的相对两侧分别设置有一个所述翻转组件，且每个所述翻转组件上均设有多个所述配载件。

可选地，所述配载件包括配载驱动电机、配载吸气泵和配载吸盘，所述配载驱动电机固连于所述升降组件，所述配载吸气泵电连接于所述配载驱动电机，且所述配载吸气泵连通于所述配载吸盘上的吸气孔。

可选地，所述转嫁件包括转嫁驱动电机、转嫁吸气泵和移取吸盘，所述转嫁驱动电机固连于所述位置矫正件，所述转嫁吸气泵电连接于所述转嫁驱动电机，所述转嫁吸气泵连通于所述移取吸盘上的吸气孔。

可选地，所述转嫁平台上设置有运输电机、传动轮和传送带，所述转嫁平台的相对两端各设有一个所述运输电机和一个所述传动轮，每个所述运输电机传动连接于所述传动轮，且两个所述运输电机能同时正转或同时反转，所述传送带的相对两端各套接于一个所述传动轮，所述位置矫正件连接于所述传送带。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提供了一种硅片位置矫正机构，在该矫正机构中，通过配载模组上的多个配载件来一次性获取多个待装载的硅片，然后通过转嫁平台上的转嫁件一次性将多个硅片进行转移后，再将多个硅片沿着转嫁平台移动至转嫁平台的下游位置，以通过视觉检测模组上的多个视觉单元检测每个转嫁件上硅片的实际位置。当硅片在转嫁件上的实际位置偏离于预设位置时，位置矫正件能调整硅片的实际位置，以使每个硅片的实际位置均与预设位置相同，从而实现了提高硅片上下料位置的准确性和效率，有助于提升硅片的生产质量，并降低生产成本。

附图说明

图1是本实施例所提供的配载模组和转嫁模组的装配图；

图2是本实施例所提供的配载模组的第一轴测图；

图3是本实施例所提供的配载模组的第二轴测图；

图4是本实施例所提供的配载模组的俯视图；

图5是本实施例所提供的转嫁模组的轴测图；

图6是图5中A处的局部放大图；

图7是图5中B处的局部放大图；

图8是本实施例所提供的转嫁模组的侧视图；

图9是本实施例所提供的转嫁模组与视觉测试模组的装配后视图；

图10是图9中C处的局部放大图。

图中：

1、配载模组；11、配载件；111、配载驱动电机；112、配载吸盘；12、支架；121、支撑腿；122、横梁；13、升降组件；131、升降驱动电机；132、轴套；14、翻转组件；141、安装台；142、翻转轴；143、翻转驱动电机；15、升降滑轨；

2、转嫁模组；21、转嫁平台；211、运输电机；212、传动轮；213、传送带；22、转嫁件；221、转嫁驱动电机；222、转嫁吸气泵；223、移取吸盘；23、位置矫正件；231、矫正基座；232、第一直线矫正驱动件；233、第二直线矫正驱动件；234、旋转矫正驱动件；

31、视觉单元。

具体实施方式

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型的保护范围之内。

下面结合图1至图10以及具体实施例来介绍本实用新型所提供的硅片位置矫正机构。

结合图1和图9所示，该硅片位置矫正机构包括配载模组1、转嫁模组2和视觉检测模组。其中，配载模组1设置有多个配载件11，每个配载件11能获取并将待装载的硅片固定在配载件11上；转嫁模组2包括转嫁平台21、多个转嫁件22和多个位置矫正件23，多个位置矫正件23可滑动地设置在转嫁平台21上，多个转嫁件22设置在位置矫正件23上，当位置矫正件23带着转嫁件22移动至与配载件11位置相对应时，转嫁件22能将硅片转移至转嫁件22上；视觉检测模组设置在转嫁平台21的下游位置，其包括多个视觉单元31，视觉单元31优选用相机，可有效提高视觉单元31的图像采集实时性和快速响应性，增强采集能力。本实施例中，硅片选用方形硅片，以便于视觉单元31对硅片位置信息的准确采集。

本实施例所提供的硅片位置矫正机构在实际使用时，首先会通过配载模组1上的多个配载件11来一次性获取多个待装载的硅片，然后通过转嫁平台21上的转嫁件22一次性将多个硅片进行转移，之后将多个硅片沿着转嫁平台21移动至转嫁平台21的下游位置，视觉检测模组上的多个视觉单元31与多个硅片对应之后，此时转嫁平台21暂停一段时间，以使视觉单元31拍取硅片的四个角(即获取硅片此时的实际位置)，并与视觉检测模组上预先输入的预设位置图像进行对比，若实际位置和预设位置图像之间存在位置偏差，则位置矫正件23调整硅片的实际位置，以使每个硅片的实际位置与预设位置相同，保证硅片位置的精确性；然后再将硅片输送至位于视觉检测模组下游处的上下料设备，进行硅片的上下料处理过程。通过上述硅片位置矫正机构，提高了硅片上下料位置的准确性和效率，有助于提升硅片的生产质量，生产成本得到有效降低。

下面将参考附图来依次对配载模组1、转嫁模组2和视觉检测模组的结构进行具体阐述说明。

首先对配载模组1进行具体介绍。结合图2、图3所示，在本实施例中，配载模组1具体还包括支架12、升降组件13和翻转组件14。其中，支架12包括两个竖直设置的支撑腿121和水平夹设在两个支撑腿121之间的横梁122；升降组件13沿竖直方向滑动设置在支架12上；翻转组件14绕其轴线可转动地装设在升降组件13上，配载件11固定设置于翻转组件14。硅片通过其他运输设备被运输至配载模组1的正下方；接着翻转组件14绕轴线转动，使得配载件11能被转动至便于抓取待装载的硅片的角度；然后升降组件13沿竖直方向进行下降，以使每个配载件11逐渐靠近并抓取待装载的硅片；接着升降组件13沿竖直方向带着多个硅片进行上升，当硅片上升到与转嫁件22处于同一高度位置后，翻转组件14再反向转动至硅片表面能与转嫁件22表面相平行的角度，以便于转嫁件22对硅片的转移。通过上述配载模组1，不仅可以一次性获取多个硅片，而且还保证了硅片在装载过程中的稳定性，减少了硅片在装载过程中的振动和碰撞，有利于保护硅片的质量和完整性。

更具体地，升降组件13包括升降驱动电机131和伸缩轴，升降驱动电机131设置在支架12上，并传动连接于伸缩轴的一端，伸缩轴的另一端连接于翻转组件14。升降驱动电机131能根据指令自动驱动伸缩轴进行升降运动，以根据待装载的硅片所处的具体高度位置自动将翻转组件14精确位移到合适的高度位置，避免配载件11与待装载的硅片之间产生碰撞或间隙，从而提高了翻转组件14升降过程的稳定性和精度，同时也实现了升降组件13的智能自动化，减轻了操作人员的压力。可选地，伸缩轴的外围还包裹套设有轴套132，以提高伸缩轴的使用安全性，减少伸缩轴受到外界因素干扰破坏的概率。

进一步地，本实施例所提供的配载模组1还包括升降滑轨15和滑块。其中，支架12的每个支撑腿121上均设有一个沿竖直方向延伸设置的升降滑轨15，且在每个升降滑轨15上均滑动设置有一个滑块，滑块固定连接于翻转组件14。这样，能够进一步增强翻转组件14在升降过程中的平稳性，从而能够在根本上消除翻转组件14升降过程中出现偏斜、晃动或者运动速度不稳定的隐患，确保了硅片在装载过程的安全可靠性，提高了硅片装载效率。

更具体地，结合图2、图3所示，在本实施例中，翻转组件14包括安装台141、翻转轴142和翻转驱动电机143。其中，安装台141固定连接于升降组件13中的伸缩轴的另一端，且在安装台141内设置有供翻转轴142插入的空腔，以保证翻转轴142能在该空腔内绕其轴线进行转动，翻转轴142还固定连接有多个配载件11；翻转驱动电机143的输出端传动连接于翻转轴142。翻转轴142和翻转驱动电机143通过安装台141集成连接于升降组件13上，以使得整个硅片位置矫正机构的集成度得到有效增强。此外，通过翻转驱动电机143带动配载件11进行转动，使得翻转驱动电机143能根据指令自动驱动翻转轴142进行转动，进而实现带动配载件11自动旋转设定的角度，从而不仅实现了翻转组件14的智能自动控制化，还显著增强了配载件11旋转角度的精准度，防止其转动角度出现偏差，从而更进一步地提高了硅片抓取效率。

进一步地，为了增强硅片电镀铜工艺生产线的生产效率，本实施例中在支架12的相对两侧分别设置有一个翻转组件14，如图4所示，且每个翻转组件14上均设置有多个配载件11，以在支架12的相对两侧分别对硅片进行抓取，从而一次性能抓取双倍数量的硅片，从而显著地提高了硅片电镀铜工艺生产线的生产效率。例如，可在每一个翻转轴142上设置有六个依次排列设置的配载件11。

具体地，继续参考图3所示，在本实施例中，配载件11包括配载驱动电机111、配载吸气泵(图中未示出)和配载吸盘112。配载驱动电机111固定连接于翻转轴142，配载吸气泵电连接于配载驱动电机111，且配载吸气泵连通于配载吸盘112上的吸气孔，当配载吸盘112正对并贴合抵接在待装载的硅片时，配载驱动电机111能自动控制配载吸气泵启动，配载吸气泵通过吸气孔进行吸气，以在配载吸盘112的表面上形成负压环境，在外界大气压的作用下，能够将待装载的硅片紧紧地贴合固定在配载吸盘112的表面，确保了硅片在装载过程中不会脱落或位移，增加了硅片装载稳定可靠性，也有助于减少硅片的实际位置与预设位置产生偏差的概率。

其次来对转嫁模组2中的各部件进行具体介绍。结合图5、图6所示，在本实施例中，转嫁模组2中的转嫁平台21上还设置有运输电机211、传动轮212和传送带213，在转嫁平台21的相对两端各设置有一个运输电机211和一个传动轮212，且每个运输电机211传动连接于传动轮212，且两个运输电机211能同时正传或同时反转。示例性地，当转嫁件22需要将新的一批硅片进行转嫁时，首先两个运输电机211的输出轴朝同一个方向进行转动，以使传送带213能带着位置矫正件23和转嫁件22朝靠近配载件11的位置在转嫁平台21上进行移动，当转嫁件22和配载件11对应设置，并将配载件11上的硅片转移成功后，此时两个运输电机211旋转方向同时进行换向，以使传送带213朝反方向转动，从而使得传送带213带着位置矫正件23和转嫁件22朝靠近视觉检测模组的位置在转嫁平台21上进行移动，以完成后续的对硅片上料、电镀铜和下料等工艺过程。通过上述转嫁平台21，一方面能实现对硅片在转嫁平台21上移动速度的灵活调整和控制，防止硅片移动速度过快无法在准确的位置停下，供视觉单元31无法准确地拍取对硅片上的四个角的位置，也防止硅片移动速度过慢导致上下料速率无法达到生产要求；另一方面，传动轮212和传送带213能确保硅片移动的过程中具有较高的稳定性。

结合图5至图7所示，在本实施例中，转嫁件22包括转嫁驱动电机221、转嫁吸气泵222和移取吸盘223，转嫁驱动电机221固定连接于位置矫正件23，转嫁吸气泵222电连接于转嫁驱动电机221，转嫁吸气泵222连通于移取吸盘223上的吸气孔。当移取吸盘223正对并贴合抵接在配载吸盘112上的硅片时，转嫁驱动电机221能自动控制转嫁吸气泵222启动，转嫁吸气泵222通过其吸气孔进行吸气，以在移取吸盘223的表面上形成负压环境，其原理与配载件11同理。移取吸盘223上的负压环境能给硅片提供一个吸收作用力，然后配载驱动电机111关闭，以使配载吸气泵停止吸气，从而消除配载吸盘112对硅片的吸力，硅片此时则能立即吸附在移取吸盘223的表面，从而实现硅片在配载吸盘112和移取吸盘223之间转嫁的同时，保证硅片在转嫁过程的及时性和可靠性，并使得硅片能在移取吸盘223上牢牢地固定设置。

具体地，结合图5、图8所示，位置矫正件23包括矫正基座231以及设置在矫正基座231上的第一直线矫正驱动件232、第二直线矫正驱动件233和旋转矫正驱动件234，矫正基座231连接于传送带213，第一直线矫正驱动件232的输出端能传动连接于转嫁件22，以使第一直线矫正驱动件232能驱动转嫁件22沿第一方向直线运动；第二直线矫正驱动件233的输出端能传动连接于转嫁件22，以使第二直线矫正驱动件233能驱动转嫁件22沿第二方向直线运动；旋转矫正驱动件234的输出端能传动连接于转嫁件22，以使旋转矫正驱动件234能驱动转嫁件沿其自身中心进行旋转。可选地，第一直线矫正驱动件232、第二直线矫正驱动件233可选用气缸、液压缸或者伺服电机，旋转矫正驱动件234可选用旋转电机。

需要说明的是，本实施例中，配载吸盘112和移取吸盘223对接时，两者均竖直设置，以满足实际工况下的姿势要求，在后续通过视觉单元31拍取移取吸盘223上的硅片的实际位置后，需要在竖直方向和水平方向上分别对偏离预设位置的硅片沿直线进行位置调整，并且还可以绕转嫁件22的中心点来对硅片的实际位置旋转调整。因此，本实施例设定第一方向为竖直方向(如图5中X轴所示)，设定第二方向为水平方向(如图5中Y轴所示)；当然，在其他实施例中，也可以设定第一方向为水平方向，第二方向为竖直方向，本实用新型对此并不限定。通过设置第一直线矫正驱动件232、第二直线矫正驱动件233和旋转矫正驱动件234，其结构简单，便于制造；另外，使得该位置矫正件23能分别在第一方向和第二方向上完成对硅片的精确矫正的过程，以使硅片能快速稳定地被调整至预设位置，从而缩短调整时间，加快产品的生产效率。

下面具体介绍该硅片位置矫正机构的使用步骤：

第一步：将待装载的硅片通过传送带213、机械臂等运输途径被运输到支架12两侧的配载吸盘112的正下方，两个配载吸盘112分别在对应的翻转驱动电机143的驱动下旋转90°，以将十二个配载吸盘112的表面旋转到正对地面的方向。

第二步：在配载驱动电机111的驱动作用下，伸缩轴能延伸带动配载吸盘112下降到待装载的硅片所在位置，启动配载驱动电机111，以使配载吸盘112吸取硅片，接着伸缩轴在配载驱动电机111的驱动作用下收缩以将配载吸盘112上升到支架12顶端，再在两个翻转驱动电机143的驱动下反向旋转90°，使配载吸盘112和硅片竖直设置。

第三步：两个运输电机211同时启动，通过传送带213带动位置矫正件23在转嫁平台21上进行移动，并最终移动至使移取吸盘223正对配载吸盘112的位置。

第四步：启动转嫁驱动电机221，以使移取吸盘223能给配载吸盘112上的硅片提供吸附作用力，接着关闭配载驱动电机111，消除配载吸盘112对硅片的吸附作用力，使得硅片能被转移至紧贴吸附在移取吸盘223的表面。

第五步：两个运输电机211同时反转，传送带213带动位置矫正件23在转嫁平台21上进行反向移动，并最终移动至位于转嫁平台21下游位置的视觉检测模组处，以使每个移取吸盘223与每个视觉单元31正对设置。

第六步：暂停两个运输电机211，以为视觉单元31提供拍取硅片的四个角的时间，从而获取硅片的实际位置，并与视觉检测模组中原输入的硅片的预设位置进行对比。检测顺序为先检测前三片硅片，再检测后三片硅片，以确保检测精度。为了控制成本，本实施例中，视觉单元31的数量优选为四个。

第七步：当视觉检测模组检测到硅片的实际位置偏离于预设位置时，第一直线矫正驱动件(232)、第二直线矫正驱动件(233)和旋转矫正驱动件(234)能根据偏差值分别在竖直方向、水平方向以及绕硅片中心来对硅片的实际位置进行调整，以使硅片的实际位置与预设位置相同，从而完成了硅片位置的矫正。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.硅片位置矫正机构，其特征在于，包括：

配载模组(1)，设置有多个配载件(11)，每个所述配载件(11)用于获取并固定待装载的硅片；

转嫁模组(2)，包括转嫁平台(21)、多个转嫁件(22)和多个位置矫正件(23)，多个所述位置矫正件(23)可滑动地设置于所述转嫁平台(21)，多个所述转嫁件(22)设置于所述位置矫正件(23)上，所述转嫁件(22)移动至与所述配载件(11)位置相对时，所述转嫁件(22)能将所述硅片转移至所述转嫁件(22)上；

视觉检测模组，设于所述转嫁平台(21)的下游位置，所述视觉检测模组包括多个视觉单元(31)，所述视觉单元(31)用于检测对应的所述转嫁件(22)上所述硅片的实际位置，所述位置矫正件(23)能在所述视觉单元(31)检测到所述硅片的所述实际位置偏离于预设位置时，调整所述硅片的所述实际位置。

2.根据权利要求1所述的硅片位置矫正机构，其特征在于，所述位置矫正件(23)包括矫正基座(231)以及设置在所述矫正基座(231)上的第一直线矫正驱动件(232)、第二直线矫正驱动件(233)和旋转矫正驱动件(234)，所述矫正基座(231)可滑动地设置在所述转嫁平台(21)上，所述第一直线矫正驱动件(232)能驱动所述转嫁件(22)沿第一方向直线运动，所述第二直线矫正驱动件(233)能驱动所述转嫁件(22)沿第二方向直线运动，所述旋转矫正驱动件(234)能驱动所述转嫁件(22)沿所述转嫁件(22)的中心旋转运动，所述第一方向垂直于所述第二方向。

3.根据权利要求1所述的硅片位置矫正机构，其特征在于，所述配载模组(1)还包括支架(12)、升降组件(13)和翻转组件(14)，所述支架(12)竖直放置，所述升降组件(13)沿所述竖直方向可滑动地设置于所述支架(12)上，所述翻转组件(14)绕自身轴线可转动地装设于所述升降组件(13)，所述配载件(11)固设于所述翻转组件(14)上。

4.根据权利要求3所述的硅片位置矫正机构，其特征在于，所述升降组件(13)包括升降驱动电机(131)和伸缩轴，所述升降驱动电机(131)设置于所述支架(12)上，并传动连接于所述伸缩轴的一端，所述伸缩轴的另一端连接于所述翻转组件(14)。

5.根据权利要求4所述的硅片位置矫正机构，其特征在于，所述配载模组(1)还包括升降滑轨(15)和滑块，所述支架(12)的相对两端分别沿所述竖直方向设置有一个所述升降滑轨(15)，每个所述升降滑轨(15)上均滑动设置有所述滑块，所述滑块固连于所述翻转组件(14)。

6.根据权利要求3所述的硅片位置矫正机构，其特征在于，所述翻转组件(14)包括安装台(141)、翻转轴(142)和翻转驱动电机(143)，所述安装台(141)固连于所述升降组件(13)，所述翻转轴(142)绕自身轴线可转动地设置在所述安装台(141)上，并固连于所述配载件(11)，所述翻转驱动电机(143)的输出端传动连接于所述翻转轴(142)。

7.根据权利要求3-6任一项所述的硅片位置矫正机构，其特征在于，所述支架(12)的相对两侧分别设置有一个所述翻转组件(14)，且每个所述翻转组件(14)上均设有多个所述配载件(11)。

8.根据权利要求3-6任一项所述的硅片位置矫正机构，其特征在于，所述配载件(11)包括配载驱动电机(111)、配载吸气泵和配载吸盘(112)，所述配载驱动电机(111)固连于所述升降组件(13)，所述配载吸气泵电连接于所述配载驱动电机(111)，且所述配载吸气泵连通于所述配载吸盘(112)上的吸气孔。

9.根据权利要求1所述的硅片位置矫正机构，其特征在于，所述转嫁件(22)包括转嫁驱动电机(221)、转嫁吸气泵(222)和移取吸盘(223)，所述转嫁驱动电机(221)固连于所述位置矫正件(23)，所述转嫁吸气泵(222)电连接于所述转嫁驱动电机(221)，所述转嫁吸气泵(222)连通于所述移取吸盘(223)上的吸气孔。

10.根据权利要求1所述的硅片位置矫正机构，其特征在于，所述转嫁平台(21)上设置有运输电机(211)、传动轮(212)和传送带(213)，所述转嫁平台(21)的相对两端各设有一个所述运输电机(211)和一个所述传动轮(212)，每个所述运输电机(211)传动连接于所述传动轮(212)，且两个所述运输电机(211)能同时正转或同时反转，所述传送带(213)的相对两端各套接于一个所述传动轮(212)，所述位置矫正件(23)连接于所述传送带(213)。