CN221028767U - 一种用于单晶炉主加热器的脚板 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于单晶炉主加热器的脚板，包括呈圆环状的主加热器，在主加热器的底部对称连接电极脚板，所述电极脚板中开设有用于释放热应力的通孔。所述电极脚板包括连接脚和与连接脚固定连接的竖板，连接脚的中央开设第一连接孔，通孔开设于第一连接孔的周围，所述通孔围绕第一连接孔进行圆周阵列。本实用新型在电极脚板的连接脚处的第一连接孔周围设置多个通孔，通孔用于释放使用过程中产生的热应力，有效避免裂纹产生而造成电极脚板发生损坏，延长其使用时间，降低生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶炉主加热器技术领域，具体涉及一种用于单晶炉主加热器的脚板。
背景技术
目前，生产单晶硅的主要设备包括直拉法单晶炉及单晶炉热场，单晶炉热场一般包括压环、保温盖、上中下保温筒，碳碳埚帮、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓等，目前单晶炉热场中采用石墨主加热器对石英坩埚内的原料进行加热熔化，普通石墨主加热器为一个环形的石墨上进行均匀开槽，然后在电极脚板上通电加热。中国专利CN219508067U和CN218772473U公开的电极脚板中均设置了一个连接孔。
现有技术中主加热器的电极脚板与电极连接处常常在使用过程中因热应力产生裂纹从而造成损坏，导致其寿命时间短，热场成本高。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于单晶炉主加热器的脚板，通过在电极脚板的连接脚中设置多个通孔，多个通孔围绕第一连接孔做圆形阵列，解决了现有技术中电极脚板与电极连接处在使用过程中产生裂纹而造成损坏，使用寿命短以及增加成本的问题。
为解决上述技术问题，本实用新型采用了以下方案：
一种用于单晶炉主加热器的脚板，包括呈圆环状的主加热器，在主加热器的底部对称连接电极脚板，所述电极脚板中开设有用于释放热应力的通孔。
进一步地，主加热器中的电极脚板在使用持续高低温过程中会产生热应力，以及发生一定的热膨胀，目前主加热器电极脚板电极连接处只有一个连接孔，其他无圆孔设计，则导致热应力无法释放，以至于使用中易产生裂纹损坏；进而导致电极脚板的寿命减小，增加热场成本。本实用新型在电极脚板的电极连接处位置开设通孔，使其在使用的过程中用于释放热应力，避免产生裂纹而造成损坏等。
优选地，所述电极脚板包括连接脚和与连接脚固定连接的竖板，连接脚的中央开设第一连接孔，通孔开设于第一连接孔的周围，所述通孔围绕第一连接孔进行圆周阵列。
优选地，在所述竖板的顶端固设连接板，连接板的宽度小于竖板的宽度，竖板的顶端形成一个抵接台面，抵接台面用于抵接主加热器的下表面。
优选地，在主加热器的底部开设避让槽，所述连接板的上表面与避让槽的上表面相抵接。
优选地，在连接板中设置第二连接孔与主加热器的底部进行螺栓连接。
优选地，所述通孔的数量至少为四个。
优选地，所述通孔的直径为2～3mm。
本实用新型具有的有益效果：在本实用新型一种用于单晶炉主加热器的脚板中，通过将两个电极脚板固定连接于主加热器的底部，两个电极脚板分别位于主加热器的直径方向上，设置螺栓依次通过第二连接孔和螺栓孔将连接板和主加热器的底部进行固定，在电极脚板的连接脚处的第一连接孔周围设置多个通孔，通孔用于释放使用过程中产生的热应力，本实用新型有效避免裂纹产生而造成电极脚板发生损坏，延长其使用时间，降低生产成本。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的俯视图；
图3为本实用新型的电极脚板的结构示意图。
附图标记：1-主加热器，11-避让槽，2-电极脚板，21-连接脚，211-第一连接孔，212-通孔，22-竖板，221-抵接台面，23-连接板，231-第二连接孔。
具体实施方式
下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖向”、“纵向”、“侧向”、“水平”、“内”、“外”、“前”、“后”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“开有”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
实施例1
本实用新型的实施例1为一种用于单晶炉主加热器的脚板，包括呈圆环状的主加热器1，在主加热器1的底部对称连接电极脚板2，所述电极脚板2中开设有用于释放热应力的通孔212。
具体地，如图1和图2所示，主加热器1中的电极脚板2在使用持续高低温过程中会产生热应力，以及发生一定的热膨胀，目前主加热器1电极脚板2电极连接处只有一个连接孔，其他无圆孔设计，则导致热应力无法释放，以至于使用中易产生裂纹损坏；进而导致电极脚板2的寿命减小，增加热场成本。本实用新型在电极脚板2的电极连接处位置开设通孔212，使其在使用的过程中用于释放热应力，避免产生裂纹而造成损坏等。
进一步地，所述电极脚板2包括连接脚21和与连接脚21固定连接的竖板22，连接脚21的中央开设第一连接孔211，通孔212开设于第一连接孔211的周围，所述通孔212围绕第一连接孔211进行圆周阵列。
具体地，如图3所示，电极脚板2整体上呈现L型状结构，通孔212主要位于第一连接孔211的周围呈圆周阵列，可有效地对使用过程中生产的热应力进行释放，同时圆周阵列的通孔212能够全方位的进行释放热应力，有利于提高其释放效率。
进一步地，在所述竖板22的顶端固设连接板23，连接板23的宽度小于竖板22的宽度，竖板22的顶端形成一个抵接台面221，抵接台面221用于抵接主加热器1的下表面。
具体地，连接板23与竖板22的顶端采用一体焊接的方式进行连接，形成的抵接台面221在与主加热器1进行装配时，抵接台面221承接主加热器1的下表面，提高二者之间的装配紧密性。
进一步地，在主加热器1的底部开设避让槽11，所述连接板23的上表面与避让槽11的上表面相抵接。具体地，开设的避让槽11可使连接板23与避让槽11相适配地进行装配，避让槽11的槽宽和连接板23的厚度保持一致，有利于二者之间更好地嵌合装配。
进一步地，在连接板23中设置第二连接孔231与主加热器1的底部进行螺栓连接。
具体地，在主加热器1底部开设螺栓孔，连接板23首先内嵌于避让槽11中，连接板23中的第二连接孔231和主加热器1中底部的螺栓孔规格和位置进行一一对应，在使用螺栓依次穿过第二连接孔231和螺栓孔，使电极脚板2与主加热器1的底部进行连接，第二连接孔231和螺栓孔的规格根据实际情况进行选择，同时可进行拆卸便于维修检查。
本实用新型的工作原理为：将两个电极脚板2固定连接于主加热器1的底部，两个电极脚板2分别位于主加热器1的直径方向上，设置螺栓依次通过第二连接孔231和螺栓孔将连接板23和主加热器1的底部进行固定，在电极脚板2的连接脚21处的第一连接孔211周围设置多个通孔212，通孔212用于释放使用过程中产生的热应力，有效避免裂纹产生而造成电极脚板2发生损坏，延长其使用时间，降低生产成本。
实施例2
本实用新型的实施例2在实施例1的基础上进行实施，主要对通孔212的数量和规格进行说明，具体为，所述通孔212的数量至少为四个，所述通孔212的直径为2～3mm。通孔212与第一连接孔211之间的间距根据具体的实际情况进行设置，以保证通孔212的热应力释放能力最佳。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，依据本实用新型的技术实质，在本实用新型的精神和原则之内，对以上实施例所作的任何简单的修改、等同替换与改进等，均仍属于本实用新型技术方案的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种用于单晶炉主加热器的脚板，其特征在于，包括呈圆环状的主加热器(1)，在主加热器(1)的底部对称连接电极脚板(2)，所述电极脚板(2)中开设有用于释放热应力的通孔(212)。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉主加热器的脚板，其特征在于，所述电极脚板(2)包括连接脚(21)和与连接脚(21)固定连接的竖板(22)，连接脚(21)的中央开设第一连接孔(211)，通孔(212)开设于第一连接孔(211)的周围，所述通孔(212)围绕第一连接孔(211)进行圆周阵列。
3.根据权利要求2所述的一种用于单晶炉主加热器的脚板，其特征在于，在所述竖板(22)的顶端固设连接板(23)，连接板(23)的宽度小于竖板(22)的宽度，竖板(22)的顶端形成一个抵接台面(221)，抵接台面(221)用于抵接主加热器(1)的下表面。
4.根据权利要求3所述的一种用于单晶炉主加热器的脚板，其特征在于，在主加热器(1)的底部开设避让槽(11)，所述连接板(23)的上表面与避让槽(11)的上表面相抵接。
5.根据权利要求4所述的一种用于单晶炉主加热器的脚板，其特征在于，在连接板(23)中设置第二连接孔(231)与主加热器(1)的底部进行螺栓连接。
6.根据权利要求4所述的一种用于单晶炉主加热器的脚板，其特征在于，所述通孔(212)的数量至少为四个。
7.根据权利要求4所述的一种用于单晶炉主加热器的脚板，其特征在于，所述通孔(212)的直径为2～3mm。
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