CN113638039A - 一种硅料加料器 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种硅料加料器，该硅料加料器包括加料筒、直接套在所述加料筒的上端的上法兰、直接套在所述加料筒的下端的下法兰以及与所述上法兰、所述下法兰和所述加料筒连接并使所述上法兰和所述下法兰固定组装于所述加料筒上的连接组件，这样不用采用焊接方式将上法兰、下法兰分别与加料筒焊接，组装方式简单，减少时间和成本，对环境影响小。

Description

一种硅料加料器

技术领域

本发明涉及单晶硅制备技术领域，特别是涉及一种硅料加料器。

背景技术

在直拉法单晶炉热场结构中，由于受到石墨加热器高度和石墨坩埚下限位432的限制，若要石英坩埚单次装硅料量超过容量，是不容易实现的，导致产量较低，生产成本较高，因此，多次重复加料技术应运而生。多次重复加料技术中需要一种加工效率高，使用寿命长，结构相对简单的加料器，以向单晶炉体中重复多次加料。

现有加料器包括石英加料筒、焊接于石英加料筒的外壁的上法兰和下法兰、组装于上法兰和下法兰之间的连接组件。但是，采用焊接的方式将上法兰和下法兰分别与石英加料筒装配，焊接装配生产周期长，并且生产成本高。

发明内容

本发明提供一种硅料加料器，上法兰和下法兰与加料筒组装为一起，装配周期短，生产成本低，克服现有技术中焊接装配生产周期长，生产成本高的问题，具体方案如下：

一种硅料加料器，包括加料筒、直接套在所述加料筒的上端的上法兰、直接套在所述加料筒的下端的下法兰以及与所述上法兰、所述下法兰和所述加料筒连接并使所述上法兰和所述下法兰固定组装于所述加料筒上的连接组件。

在一些实施例中，所述连接组件包括直接套在所述加料筒的外壁的支撑件，连接所述支撑件和所述上法兰的第一连接件，连接所述支撑件和所述下法兰的第二连接件。

在一些实施例中，所述第一连接件包括第一连接杆以及与所述第一连接杆可拆卸连接的至少两个第一紧固件，至少一个所述第一紧固件使所述第一连接杆与所述上法兰固定连接，以及，至少一个所述第一紧固件使所述第一连接杆与所述支撑件固定连接；

所述第二连接件包括第二连接杆以及与所述第二连接杆可拆卸连接的至少两个第二紧固件，至少一个所述第二紧固件使所述第二连接杆与所述下法兰固定连接，以及，至少一个所述第二紧固件使所述第二连接杆与所述支撑件固定连接。

在一些实施例中，所述上法兰为四氟法兰，和/或所述下法兰为碳碳法兰。

在一些实施例中，所述上法兰与所述加料筒同轴，且所述上法兰的内径与所述加料筒的内径相等；和/或

所述下法兰与所述加料筒同轴，且所述下法兰的内径大于所述加料筒的内径并小于所述加料筒的外径。

在一些实施例中，所述加料筒的外径的大小由上至下保持不变。

在一些实施例中，所述硅料加料器还包括用于投放硅料的提拉组件；

所述提拉组件包括位于所述上法兰上方的拉柄、连接所述拉柄下端并伸入所述加料筒内的拉杆、连接所述拉杆下端且靠近所述下法兰的封口件；

所述硅料加料器还包括设在所述上法兰的上方并且两个端部均和所述上法兰相抵的限位板；

所述限位板的中心处设有供所述拉杆穿过的导向孔。

在一些实施例中，所述硅料加料器还包括用于对所述加料筒的轴向定位的定位组件；

所述定位组件包括套在所述加料筒的外壁且位于所述上法兰和所述支撑件之间的中间法兰以及连接所述中间法兰和所述上法兰的第三连接件，所述第三连接件穿过所述中间法兰，所述中间法兰可调节在所述第三连接件上的位置。

在一些实施例中，所述第三连接件包括第三连接杆以及与所述第三连接杆可拆卸连接的至少两个第三紧固件，至少一个所述第三紧固件使所述第三连接杆与所述上法兰固定连接，以及，至少一个所述第三紧固件使所述第三连接杆与所述中间法兰固定连接。

在一些实施例中，所述第一连接杆穿过所述中间法兰与所述上法兰连接；

所述第一连接杆和所述第三连接杆在所述中间法兰的圆周方向间隔排布。

在一些实施例中，所述定位组件还包括设置在所述中间法兰的上表面的垫片；

所述第一连接杆还穿过所述垫片；

所述第三连接杆的下端与所述垫片连接。

在一些实施例中，所述中间法兰为四氟法兰；和/或所述垫片为不锈钢垫圈；

所述中间法兰的内径与所述加料筒的外径相同；和/或

所述垫片的内径大于所述加料筒的外径。

本发明提供的硅料加料器，基于上法兰直接套在加料筒的上端，下法兰直接套在加料筒的下端，通过连接组件使上法兰、下法兰和加料筒连接，并使上法兰和下法兰固定组装在加料筒上，这样不用采用焊接方式将上法兰、下法兰分别与加料筒焊接，组装方式简单，减少时间和成本，对环境影响小。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明一实施例提供的硅料加料器的主视图；

图2为本发明图1中硅料加料器的立体图；

图3为现有技术的加料筒和本发明图1中加料筒的对比图；

图4为图1中硅料加料筒的局部结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳实施方式。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本发明的公开内容理解的更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

本发明中附图中的虚线表示从附图中的角度，硅料加料器不可见的部分。本发明实施例中所涉及的“上”“下”均以图1和图2中所示的方位为基准。

如图1和2所示为本发明中的硅料加料器，包括加料筒1、直接套在加料筒1的上端的上法兰2、直接套在加料筒1的下端的下法兰3以及与上法兰1、下法兰2和加料筒1连接并使上法兰2和下法兰3固定组装于加料筒1上的连接组件4。

为了更好地将加料筒1、上法兰2以及下法兰3连接为一个整体，在上法兰2朝向加料筒1的表面设置凹槽以及下法兰3朝向加料筒1的表面设置凹槽，加料筒1的两端边缘处放置在凹槽内，这样利于确保上法兰2、下法兰3和加料筒1之间的相对固定。

本发明实施例提供的硅料加料器，基于上法兰2直接套在加料筒1的上端，下法兰3直接套在加料筒1的下端，通过连接组件4使上法兰2、下法兰3和加料筒1连接，并使上法兰2和下法兰3固定组装在加料筒1上，这样不用采用焊接方式将上法兰2、下法兰3分别与加料筒1焊接，组装方式简单，减少时间和成本，对环境影响小。一方面，通过连接组件4将上法兰2、下法兰3以及加料筒1组装到一起，避免使用焊接的方式，生产过程中减除了焊接过程中对环境影响较高的氢氧焊作业和抛磨车床作业，生产成本可降低约一半，在原材料充分情况下，使生产周期由2天缩短至1小时，生产周期大大降低。另一方面，现有技术中通过焊接方式装配法兰与加料筒，一旦法兰有损坏，加料筒要重新制作，而石英加料筒需下料、焊接、高温退火、二次焊接、打磨、清洗多道工序生产完成，本发明实施例通过组装的方式代替了现有技术中的焊接将上法兰、下法兰以及加料筒装配到一起，如果法兰有损坏，可以直接更换法兰，无需重新制作加料筒，提高了生产的效率。再一方面，现有技术因使用焊接的方式装配加料筒与法兰，焊接厚壁石英管对氢氧焰温度和设备要求极高，不易操作，成品率不好控制，成本非常高，因而加料筒都属于薄壁石英管，强度低，使用寿命短，而本发明中采用组装的方式将加料筒与上法兰以及下法兰装配，可以选用厚壁的石英管作为加料筒，从而提高了硅料加料器的使用寿命。

在一些实施例中，连接组件4包括直接套在加料筒1的外壁的支撑件41，连接支撑件41和上法兰2的第一连接件42，连接支撑件41和下法兰的第二连接件43。这样，通过支撑件41、第一连接件42和第二连接件43配合，以将上法兰2和下法兰3牢固地固定在加料筒1上，通过连接组件4完成加料筒1、上法兰2以及下法兰3的装配，避免使用焊接的方式。

加料筒1通常较长，如果直接将上法兰2和下法兰3连接，会导致整个结构稳定性较差，因此，为了更好地将加料筒1、上法兰2、下法兰3固定，在加料筒1的外壁设置且位于上法兰2和下法兰3中间处的支撑件41。通过第一连接件42、第二连接件41以及支撑件41将上法兰2和下法兰3连接在一起，从而将加料筒1固定在上法兰2和下法兰3之间，形成一个整体。支撑件41直接套在加料筒1的外壁，从而起到支撑作用避免了现有技术中直接将支撑件焊接在加料筒上，组装方式简单，不仅在组装的过程中减少时间和成本，对环境影响小，并且一旦任何一个部件有损坏，可直接更换，无需将整套设备全部换掉，节省了成本。

在本实施例中，支撑件41起到对第一连接件42以及第二连接件43的支撑作用，支撑件41可以为不锈钢支撑环。支撑件41处在单晶炉导流筒设置有水冷套，其温度迅速降低到400-500℃左右，因此，支撑件41可采用可耐热930℃的304不锈钢作为支撑件41的材质，可以满足在此位置对耐高温材料的需要。

支撑件41内径比加料筒外径大2-3mm，便于在装配时不发生干涉，又能够实现中间过渡联接、稳固的作用，不锈钢支撑环与加料筒不接触，从而避免污染硅液。

在一些实施例中，继续参考图1，第一连接件42包括第一连接杆421以及与第一连接杆421可拆卸连接的至少两个第一紧固件422，至少一个第一紧固件422使第一连接杆421与上法兰2固定连接，以及，至少一个第一紧固件422使第一连接杆421与支撑件41固定连接。

第二连接件42包括第二连接杆431以及与第二连接杆431可拆卸连接的至少两个第二紧固件432，至少一个第二紧固件432使第二连接杆431与下法兰3固定连接，以及，至少一个第二紧固件432使第二连接杆431与支撑件41固定连接。

进一步地，第一连接杆421可以为连接螺柱，材质可以选用不锈钢，第一连接杆421穿过支撑件41以及上法兰2，第一紧固件422设置在上法兰2的上表面以及支撑件41的下表面，第一紧固件422可以为螺母。第二连接杆431可以为连接螺柱，材质可以选用不锈钢，第二连接杆431穿过支撑件41，第二紧固件432设置在下法兰3的上表面以及支撑件41的上下表面，第二紧固件432可以为螺母，当然，第一连接杆421、第二连接杆431、第一紧固件422以及第二紧固件432可以选用其他零件或者材质，在此不进行一一列举。

在加料筒1的圆周方向上，第一连接杆421和第二连接杆431均匀交替设置，第一连接杆421和第二连接杆431的数量可以相同，也可以不同，可以根据具体情况设置，比如，可以为4个。

在本实施例中，通过第一连接杆421与第一紧固件422可拆卸连接，以及，第二连接杆431与第二紧固件432可拆卸连接，从而使得整个连接组件4便于安装以及拆卸，并且第一连接杆421、第二连接杆431，设置在加料筒1的外壁周围，上法兰2和下法兰3分别设置在加料筒1的上端和下端，支撑件41设置在上法兰2和下法兰3之间，形成了对整个加料筒1的保护结构，避免加料筒1在装配过程中受到外力损伤。

在一些实施例中，上法兰2为四氟法兰，和/或下法兰3为碳碳法兰。

通常情况下，金属容易污染硅液，从而导致单晶参数异常，因而本实施例中采用四氟法兰作为上法兰2，工作耐热温度为250℃，在此处在炉付室位置，温度较低，温度在40-80℃左右(经过导流筒水冷套、炉盖及付室水冷降温)，可以满足使用需要，且材质具有自润滑性、表面不粘性、耐大气老化性、不燃性，符合使用需要。

因在高温下向单晶炉内的硅液加料时，加料筒1下部承受的温度较高(硅液温度在1420℃)，故下部与硅液距离最近的下法兰3采用碳碳法兰，碳碳法兰耐受温度可达到2800℃(在单晶炉内高真空，惰性(氩气)气体条件下)，抗拉强度可达95MPa，抗弯强度160MPa，耐受温度高，强度大，重量轻，可以满足在单晶炉内高温加料时的所有需要。

在晶体生长过程中采用四氟法兰作为上法兰2，采用碳碳法兰作为下法兰3，不采用金属材质，保证硅液不受金属污染导致单晶参数异常，避免了对单晶硅寿命存在的影响因素。

在一些实施例中，上法兰2与加料筒1同轴，且上法兰2的内径与加料筒1的内径相等；和/或

下法兰3与加料筒1同轴，且下法兰3的内径大于加料筒1的内径并小于加料筒1的外径。

将上法兰2的内径与加料筒1的内径做到一致，利于硅料下放，使上法兰2和加料筒1的连接处不积存硅料。下法兰3的内径处在加料筒1的内、外径的中间位置，除了下法兰3支承加料筒1的重量外，下法兰3还不能影响石英锥的下放硅料运动。

在一些实施例中，加料筒1的外径的大小由上至下保持不变。

如图3所示，为现有技术的加料筒与本发明中的加料筒的对比图，图3(a)为现有技术中的加料器，存在三处焊缝，加料筒1与上法兰2之间存在焊缝201，加料筒1的下部为缩颈的，缩颈加料筒1的上下均存在焊缝202、203。而本发明中的加料筒1，由于无需采用焊接技术，而是直接装配上法兰2、下法兰3以及连接组件4，因此加料筒1无需缩颈。也即是，加料筒1的外径的大小由上至下保持不变，从而利于硅料的下方，不容易积存硅料。

在一些本实施例中，为了便于投放硅料，如图2所示和图4，硅料加料器还包括用于投放硅料的提拉组件5；提拉组件5包括位于上法兰2上方的拉柄51、连接拉柄51下端并伸入加料筒1内的拉杆52以及连接拉杆52下端且靠近下法兰3的封口件53；硅料加料器还包括设在上法兰2的上方并且两个端部均和上法兰2相抵的限位板6；限位板6的中心处设有供拉杆52穿过的导向孔61。其中，拉柄51的上端用于与外部提拉装置上的籽晶绳套连接。封口件53的外径可以大于加料筒1的内径，以将加料筒1的下端开口封堵。在向加料筒1放入硅料后，外部提拉装置向下推动拉柄51，拉柄51带动拉杆52、封口件53向下移动，当封口件53向下移动至预设位置时，封口件53与加料筒1之间有一定空隙，硅料从空隙中流出，当完成放料以后，外部提拉装置向上提拉柄51，从而将拉杆52、封口件53向上拉，完成整个放料的过程。

在本实施例中，封口件53可以为石英锥，石英锥靠近拉杆52的一端直径大于靠近下法兰3一端的直径。进一步地，硅料放置在加料筒11内部，且硅料不可避免的与加料筒1的内壁接触，与拉杆52接触，为了避免硅料被拉杆52污染，所以设置了拉杆套，以将硅料与拉杆52隔离，避免污染。

在本实施例中，如图2和4所示，为了限制拉杆52在水平方向的移动，硅料加料器还包括设在上法兰2的上方并且两个端部均和上法兰2相抵的限位板6，限位板6的中心处设有供拉杆52穿过的导向孔61，在本发明中限位板6设置在上法兰2的上表面，上法兰2起到支撑限位板6的作用。

进一步参考图4，限位板6为长方形板，两端均设置在上法兰2的上表面，长方形板沿上法兰2的直径方向设置。限位板6的中心处设置有供拉杆52穿过的导向孔61，导向孔61的直径略大于拉杆套的外径，以便于拉杆52穿过。

在一些实施例中，如图1和图2所示，硅料加料器还包括用于对加料筒1的轴向定位的定位组件7；定位组件7包括套在加料筒1的外壁且位于上法兰2和支撑件41之间的中间法兰71以及连接中间法兰71和上法兰2的第三连接件72，第三连接件72穿过中间法兰71，中间法兰71可调节在第三连接件72上的位置。

通常情况下需要将硅料加料器放置到单晶炉内，对于不同的单晶炉，硅料加料器的放置高度不同，硅料加料器的下端距离单晶炉内的硅液的高度不同，因此，本实施例中，设置了可以调节硅料加料器对加料筒的轴向定位的定位组件7。

中间法兰71用于放置在单晶炉中的承载装置上，在单晶炉中放置硅料加料器的承载装置的位置通常是确定的，在将硅料加料器放置在单晶炉之前，先计算出加料筒的下端与硅液的液面之间的距离，而后通过调节中间法兰71与上法兰2之间的距离，从而调整了加料筒的下端与硅液的液面之间的距离，在调整过程中，通过中间法兰2沿第三连接件72的轴向移动，从而调节加料筒在单晶炉内的轴向位置。在本发明中，上法兰2又一作用是为定位组件7提供支撑，为实现加料筒1的轴向定位提供支撑力。

在本实施例中，通过上法兰2以及定位组件7的装配实现了加料筒1的轴向定位，避免使用焊接的方式，不仅节约了生产成本，而且缩短了生产时间。

在一些实施例中，继续参考图1，第三连接件72包括第三连接杆721以及与第三连接杆721连接的至少两个第三紧固件722，第三连接杆721与第三紧固件722可拆卸连接，至少一个第三紧固件722使第三连接杆721与上法兰2固定连接，以及，至少一个第三紧固件722使第三连接杆721与中间法兰71固定连接，从而便于组装和拆卸。

在本实施例中，第三连接杆721选用加长螺丝，加长螺丝采取耐热930℃的304不锈钢，加长螺丝穿过上法兰1的上表面，从而实现中间法兰71在轴向的位置可调节。第三紧固件722可以选用螺母，第三紧固件722可以选用内六角螺母。为了实现较好的紧固效果，在中间法兰71以及上法兰2与第三连接杆721的连接处均设置有第三紧固件722，比如，在中间法兰71的上表面，以及在上法兰1的上表面以及下表面均设置有第三紧固件722，在中间法兰71移动到预定位置后，通过第三紧固件722将其与第三连接杆721固定，从而将中间法兰71与第三连接杆721、上法兰2连接，实现整个定位组件7的固定。

为了避免在上法兰2的上表面尽量少开设孔，在通过第三紧固件722紧固第三连接杆721的同时，第三紧固件722可以将限位板6固定，也即是，在限位板6的两端设置有定位孔，第三连接杆721穿过定位孔，第三紧固件722实现对第三连接杆以及限位板6的紧固。

在一些实施例中，如图1和图3所示，第一连接杆421可以穿过中间法兰71与上法兰2连接，中间法兰71在上下移动时，不影响第一连接杆421与上法兰2的连接。第一连接杆421和第三连接杆721在中间法兰71的圆周方向间隔排布，进一步地，可以设置为均匀间隔排布，第一连接杆421和第三连接杆721的数量相同，可以根据具体情况设置，比如，可以为4个。

在一些实施例中，定位组件7还包括设置在中间法兰71的上表面的垫片；第一连接杆421还穿过垫片；第三连接杆721的下端与垫片连接。为了进一步稳固中间法兰71，在中间法兰71的上表面设置一个垫片，第一连接杆421穿过垫片与上法兰2连接，第三连接杆721的下端与垫片连接，在垫片的上表面还可以设置螺母等紧固件。

在一些实施例中，中间法兰71可以为四氟法兰；和/或垫片为不锈钢垫圈；中间法兰71的内径与加料筒1的外径可以相同；垫片的内径大于加料筒的外径。

在单晶炉中，为了避免金属材料对于硅液的污染，与单晶炉接触的中间法兰选用四氟法兰，垫片选用不锈钢的垫圈，不锈钢选用采取耐热930℃的304不锈钢，中间法兰71的内径与加料筒1的内径相同，从而中间法兰71与加料筒1之间没有空隙，避免硅料沾染到中间法兰71上。

为了避免不锈钢垫片污染硅液，垫片不与加料筒接触，垫片的内径大于加料筒的内径，垫片的内径比加料筒外径大7-8mm，便于在装配时不发生干涉，又能够实现中间过渡联接、稳固的作用。

在本发明中一方面，通过连接组件4将上法兰2、下法兰3以及加料筒1组装到一起，避免使用焊接的方式，生产过程中减除了对环境影响较高的氢氧焊作业和抛磨车床作业，生产成本可降低约一半，在原材料充分情况下，使生产周期由2天缩短至1小时，生产周期大大降低。另一方面，现有技术中通过焊接方式装配法兰与加料筒，一旦法兰有损坏，加料筒要重新制作，而石英加料筒需下料、焊接、高温退火、二次焊接、打磨、清洗多道工序生产完成，本发明通过组装的方式代替了现有技术中的焊接将上法兰、下法兰以及加料筒装配到一起，如果法兰有损坏，可以直接更换法兰，无需重新制作加料筒，提高了生产的效率。再一方面，现有技术因使用焊接的方式装配加料筒与法兰，焊接厚壁石英管对氢氧焰温度和设备要求极高，不易操作，成品率不好控制，成本非常高，因而加料筒都属于薄壁石英管，强度低，使用寿命短，而本发明中采用组装的方式将加料筒与上法兰以及下法兰装配，可以选用厚壁的石英管作为加料筒，从而提高了硅料加料器的使用寿命。

技术方案1、一种硅料加料器，包括加料筒、直接套在所述加料筒的上端的上法兰、直接套在所述加料筒的下端的下法兰以及与所述上法兰、所述下法兰和所述加料筒连接并使所述上法兰和所述下法兰固定组装于所述加料筒上的连接组件。

技术方案2、根据技术方案1所述的硅料加料器，所述连接组件包括直接套在所述加料筒的外壁的支撑件，连接所述支撑件和所述上法兰的第一连接件，连接所述支撑件和所述下法兰的第二连接件。

技术方案3、根据技术方案2所述的硅料加料器，所述第一连接件包括第一连接杆以及与所述第一连接杆可拆卸连接的第一紧固件，至少一个所述第一紧固件使所述第一连接杆与所述上法兰固定连接，以及，至少一个所述第一紧固件使所述第一连接杆与所述支撑件固定连接；

所述第二连接件包括第二连接杆以及与所述第二连接杆可拆卸连接的第二紧固件，至少一个所述第二紧固件使所述第二连接杆与所述下法兰固定连接，以及，至少一个所述第二紧固件使所述第二连接杆与所述支撑件固定连接。

技术方案4、根据技术方案1所述的硅料加料器，所述上法兰为四氟法兰，和/或所述下法兰为碳碳法兰。

技术方案5、根据技术方案1所述的硅料加料器，所述上法兰与所述加料筒同轴，且所述上法兰的内径与所述加料筒的内径相等；和/或

所述下法兰与所述加料筒同轴，且所述下法兰的内径大于所述加料筒的内径并小于所述加料筒的外径。

技术方案6、根据技术方案1所述的硅料加料器，所述加料筒的外径的大小由上至下保持不变。

技术方案7、根据技术方案1所述的硅料加料器，所述硅料加料器还包括用于投放硅料的提拉组件；

所述提拉组件包括位于所述上法兰上方的拉柄、连接所述拉柄下端并伸入所述加料筒内的拉杆、连接所述拉杆下端且靠近所述下法兰的封口件；

所述硅料加料器还包括设在所述上法兰的上方并且两个端部均和所述上法兰相抵的限位板；

所述限位板的中心处设有供所述拉杆穿过的导向孔。

技术方案8、根据技术方案3所述的硅料加料器，所述硅料加料器还包括用于对所述加料筒的轴向定位的定位组件；

所述定位组件包括套在所述加料筒的外壁且位于所述上法兰和所述支撑件之间的中间法兰以及连接所述中间法兰和所述上法兰的第三连接件，所述第三连接件穿过所述中间法兰，所述中间法兰可调节在所述第三连接件上的位置。

技术方案9、根据技术方案8所述的硅料加料器，所述第三连接件包括第三连接杆以及与所述第三连接杆可拆卸连接的第三紧固件，至少一个所述第三紧固件使所述第三连接杆与所述上法兰固定连接，以及，至少一个所述第三紧固件使所述第三连接杆与所述中间法兰固定连接。

技术方案10、根据技术方案9所述的硅料加料器，所述第一连接杆穿过所述中间法兰与所述上法兰连接；

所述第一连接杆和所述第三连接杆在所述中间法兰的圆周方向间隔排布。

技术方案11、根据技术方案10所述的硅料加料器，所述定位组件还包括设置在所述中间法兰的上表面的垫片；

所述第一连接杆还穿过所述垫片；

所述第三连接杆的下端与所述垫片连接。

技术方案12、根据技术方案11所述的硅料加料器，所述中间法兰为四氟法兰；和/或所述垫片为不锈钢垫圈。

技术方案13、根据技术方案11所述的硅料加料器，

所述中间法兰的内径与所述加料筒的外径相同；和/或

所述垫片的内径大于所述加料筒的外径。

上述所有可选技术方案，可以采用任意结合形成本发明的可选实施例，在此不再一一赘述。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种硅料加料器，其特征在于，包括加料筒、直接套在所述加料筒的上端的上法兰、直接套在所述加料筒的下端的下法兰以及与所述上法兰、所述下法兰和所述加料筒连接并使所述上法兰和所述下法兰固定组装于所述加料筒上的连接组件。

2.根据权利要求1所述的硅料加料器，其特征在于，所述连接组件包括直接套在所述加料筒的外壁的支撑件，连接所述支撑件和所述上法兰的第一连接件，连接所述支撑件和所述下法兰的第二连接件。

3.根据权利要求2所述的硅料加料器，其特征在于，所述第一连接件包括第一连接杆以及与所述第一连接杆可拆卸连接的至少两个第一紧固件，至少一个所述第一紧固件使所述第一连接杆与所述上法兰固定连接，以及，至少一个所述第一紧固件使所述第一连接杆与所述支撑件固定连接；

所述第二连接件包括第二连接杆以及与所述第二连接杆可拆卸连接的至少两个第二紧固件，至少一个所述第二紧固件使所述第二连接杆与所述下法兰固定连接，以及，至少一个所述第二紧固件使所述第二连接杆与所述支撑件固定连接。

4.根据权利要求1所述的硅料加料器，其特征在于，所述上法兰为四氟法兰，和/或所述下法兰为碳碳法兰。

5.根据权利要求1所述的硅料加料器，其特征在于，所述上法兰与所述加料筒同轴，且所述上法兰的内径与所述加料筒的内径相等；和/或

所述下法兰与所述加料筒同轴，且所述下法兰的内径大于所述加料筒的内径并小于所述加料筒的外径。

6.根据权利要求1所述的硅料加料器，其特征在于，所述加料筒的外径的大小由上至下保持不变。

7.根据权利要求1所述的硅料加料器，其特征在于，所述硅料加料器还包括用于投放硅料的提拉组件；

所述提拉组件包括位于所述上法兰上方的拉柄、连接所述拉柄下端并伸入所述加料筒内的拉杆、连接所述拉杆下端且靠近所述下法兰的封口件；

所述硅料加料器还包括设在所述上法兰的上方并且两个端部均和所述上法兰相抵的限位板；

所述限位板的中心处设有供所述拉杆穿过的导向孔。

8.根据权利要求3所述的硅料加料器，其特征在于，所述硅料加料器还包括用于对所述加料筒的轴向定位的定位组件；

所述定位组件包括套在所述加料筒的外壁且位于所述上法兰和所述支撑件之间的中间法兰以及连接所述中间法兰和所述上法兰的第三连接件，所述第三连接件穿过所述中间法兰，所述中间法兰可调节在所述第三连接件上的位置。

9.根据权利要求8所述的硅料加料器，其特征在于，所述第三连接件包括第三连接杆以及与所述第三连接杆可拆卸连接的至少两个第三紧固件，至少一个所述第三紧固件使所述第三连接杆与所述上法兰固定连接，以及，至少一个所述第三紧固件使所述第三连接杆与所述中间法兰固定连接。

10.根据权利要求9所述的硅料加料器，其特征在于，所述第一连接杆穿过所述中间法兰与所述上法兰连接；

所述第一连接杆和所述第三连接杆在所述中间法兰的圆周方向间隔排布。

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