CN220999939U - 一种单晶炉用隔热降氧支撑工装及系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及单晶炉技术领域，公开了一种单晶炉用隔热降氧支撑工装及系统，其中一种单晶炉用隔热降氧支撑工装，包括设置在套设于坩埚外的环形加热板的上方的隔热降氧支撑环，隔热降氧支撑环的底面上开设有环形的隔热降氧槽，隔热降氧槽在水平面上的投影包含环形加热板在水平面上的投影，还公开了一种单晶炉用隔热降氧支撑系统，包括坩埚、环形加热板、下保温桶和上保温桶，还包括单晶炉用隔热降氧支撑工装。本实用新型能够减少坩埚受到的热辐射，达到降氧目的，进而提升晶棒有效单产和单晶硅片的品质。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体涉及一种单晶炉用隔热降氧支撑工装及系统。
背景技术
为了提升单晶硅产量，大尺寸热场应运而生，但大尺寸热场带来了单晶炉内高氧的问题，单晶炉内高氧不仅会引起晶棒氧反切比例上升、晶棒有效单产下降及拉晶成本上升，还会导致硅片电池上出现黑心和同心圆，降低电池片效率和半衰期，为了进一步提升晶棒有效单产，提高单晶硅片的品质，降氧问题迫在眉睫。单晶炉内高氧的问题主要是由于单晶炉坩埚受热引起的，因此需要一种单晶炉隔热降氧装置来减少坩埚受到的热辐射，达到降氧目的。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种单晶炉用隔热降氧支撑工装及系统，能够减少坩埚受到的热辐射，达到降氧目的，进而提升晶棒有效单产和单晶硅片的品质。
为解决上述技术问题，本实用新型采用了以下方案：
第一方面，一种单晶炉用隔热降氧支撑工装，包括设置在套设于坩埚外的环形加热板的上方的隔热降氧支撑环，所述隔热降氧支撑环的底面上开设有环形的隔热降氧槽，所述隔热降氧槽在水平面上的投影包含所述环形加热板在水平面上的投影。
进一步的，设定隔热降氧支撑环的轴线所处的平面为隔热降氧支撑环的中心面，所述隔热降氧槽在隔热降氧支撑环的中心面上的截面为三角形。
进一步的，所述隔热降氧支撑环的底面上开设有与套设在环形加热板外的下保温桶的顶部可拆卸连接的第一环形安装槽，所述第一环形安装槽环绕在隔热降氧槽的外围。
进一步的，所述隔热降氧支撑环的顶面上开设有与套设在坩埚外的上保温桶的底部可拆卸连接的第二环形安装槽。
进一步的，所述隔热降氧支撑环的材料为耐热材料。
第二方面，一种单晶炉用隔热降氧支撑系统，包括坩埚、套设在坩埚外的环形加热板、套设在环形加热板外的下保温桶和套设在坩埚外且位于下保温桶上方的上保温桶，还包括上述方案中任意一项所述的单晶炉用隔热降氧支撑工装，所述单晶炉用隔热降氧支撑工装中的隔热降氧支撑环位于环形加热板的上方，所述单晶炉用隔热降氧支撑工装中的隔热降氧槽在水平面上的投影包含所述环形加热板在水平面上的投影，所述单晶炉用隔热降氧支撑工装中的第一环形安装槽与下保温桶的顶部可拆卸连接，所述单晶炉用隔热降氧支撑工装中的第二环形安装槽与上保温桶的底部可拆卸连接。
本实用新型具有的有益效果：
1、本实用新型中，在环形加热板工作时，会向隔热降氧支撑环的底面上开设的隔热降氧槽进行热辐射，而由于隔热降氧槽在隔热降氧支撑环的中心面上的截面为三角形，可有效强制引导对流，减少坩埚受到的热辐射，达到降氧目的，进而提升晶棒有效单产和单晶硅片的品质。
2、本实用新型中，隔热降氧支撑环的底面上开设有第一环形安装槽，隔热降氧支撑环通过第一环形安装槽安装在下保温桶的顶部。
3、本实用新型中，隔热降氧支撑环的顶面上开设有第二环形安装槽，上保温桶的底部可拆卸安装在第二环形安装槽内。
附图说明
图1为本实用新型中一种单晶炉用隔热降氧支撑工装的整体结构图；
图2为图1在A-A上的剖视图；
图3为本实用新型中一种单晶炉用隔热降氧支撑系统的整体结构图；
图4为图3在B-B上的剖视图。
附图标记：1-隔热降氧支撑环；2-第二环形安装槽；3-隔热降氧槽；4-第一环形安装槽；5-上保温桶；6-下保温桶；7-环形加热板；8-坩埚。
具体实施方式
下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖向”、“纵向”、“侧向”、“水平”、“内”、“外”、“前”、“后”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“开有”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
实施例1：
如图1至图2所示，一种单晶炉用隔热降氧支撑工装，包括设置在套设于坩埚8外的环形加热板7的上方的隔热降氧支撑环1，所述隔热降氧支撑环1的底面上开设有环形的隔热降氧槽3，所述隔热降氧槽3在水平面上的投影包含所述环形加热板7在水平面上的投影。
本实施例中，设定隔热降氧支撑环1的轴线所处的平面为隔热降氧支撑环1的中心面，所述隔热降氧槽3在隔热降氧支撑环1的中心面上的截面为三角形。
本实施例中，所述隔热降氧支撑环1的底面上开设有与套设在环形加热板7外的下保温桶6的顶部可拆卸连接的第一环形安装槽4，所述第一环形安装槽4环绕在隔热降氧槽3的外围。
本实施例中，所述隔热降氧支撑环1的顶面上开设有与套设在坩埚8外的上保温桶5的底部可拆卸连接的第二环形安装槽2。
本实施例中，所述隔热降氧支撑环1的材料为耐热材料。
具体的，所述耐热材料为石英。
实施例2：
如图3至图4所示，一种单晶炉用隔热降氧支撑系统，包括坩埚8、套设在坩埚8外的环形加热板7、套设在环形加热板7外的下保温桶6和套设在坩埚8外且位于下保温桶6上方的上保温桶5，还包括实施例1中任意一项所述的单晶炉用隔热降氧支撑工装，所述单晶炉用隔热降氧支撑工装中的隔热降氧支撑环1位于环形加热板7的上方，所述单晶炉用隔热降氧支撑工装中的隔热降氧槽3在水平面上的投影包含所述环形加热板7在水平面上的投影，所述单晶炉用隔热降氧支撑工装中的第一环形安装槽4与下保温桶6的顶部可拆卸连接，所述单晶炉用隔热降氧支撑工装中的第二环形安装槽2与上保温桶5的底部可拆卸连接。
本实施例的工作原理：
目前，为了提升单晶硅产量，大尺寸热场应运而生，但大尺寸热场带来了单晶炉内高氧的问题，单晶炉内高氧不仅会引起晶棒氧反切比例上升、晶棒有效单产下降及拉晶成本上升，还会导致硅片电池上出现黑心和同心圆，降低电池片效率和半衰期。
本实施例提供了一种单晶炉用隔热降氧支撑工装及系统，先将隔热降氧支撑环1通过第一环形安装槽4安装在下保温桶6的顶部，再将上保温桶5的底部安装在隔热降氧支撑环1上的第二环形安装槽2内，此时隔热降氧支撑环1位于环形加热板7的上方，且隔热降氧槽3在水平面上的投影包含环形加热板7在水平面上的投影；在环形加热板7工作时，会向隔热降氧支撑环1的底面上开设的隔热降氧槽3进行热辐射，而由于隔热降氧槽3在隔热降氧支撑环1的中心面上的截面为三角形，可有效强制引导对流，减少坩埚8受到的热辐射，达到降氧目的，进而提升晶棒有效单产和单晶硅片的品质。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，依据本实用新型的技术实质，在本实用新型的精神和原则之内，对以上实施例所作的任何简单的修改、等同替换与改进等，均仍属于本实用新型技术方案的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种单晶炉用隔热降氧支撑工装，其特征在于，包括设置在套设于坩埚(8)外的环形加热板(7)的上方的隔热降氧支撑环(1)，所述隔热降氧支撑环(1)的底面上开设有环形的隔热降氧槽(3)，所述隔热降氧槽(3)在水平面上的投影包含所述环形加热板(7)在水平面上的投影。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用隔热降氧支撑工装，其特征在于，设定隔热降氧支撑环(1)的轴线所处的平面为隔热降氧支撑环(1)的中心面，所述隔热降氧槽(3)在隔热降氧支撑环(1)的中心面上的截面为三角形。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉用隔热降氧支撑工装，其特征在于，所述隔热降氧支撑环(1)的底面上开设有与套设在环形加热板(7)外的下保温桶(6)的顶部可拆卸连接的第一环形安装槽(4)，所述第一环形安装槽(4)环绕在隔热降氧槽(3)的外围。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉用隔热降氧支撑工装，其特征在于，所述隔热降氧支撑环(1)的顶面上开设有与套设在坩埚(8)外的上保温桶(5)的底部可拆卸连接的第二环形安装槽(2)。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉用隔热降氧支撑工装，其特征在于，所述隔热降氧支撑环(1)的材料为耐热材料。
6.一种单晶炉用隔热降氧支撑系统，包括坩埚(8)、套设在坩埚(8)外的环形加热板(7)、套设在环形加热板(7)外的下保温桶(6)和套设在坩埚(8)外且位于下保温桶(6)上方的上保温桶(5)，其特征在于，还包括权利要求1-5中任意一项所述的单晶炉用隔热降氧支撑工装，所述单晶炉用隔热降氧支撑工装中的隔热降氧支撑环(1)位于环形加热板(7)的上方，所述单晶炉用隔热降氧支撑工装中的隔热降氧槽(3)在水平面上的投影包含所述环形加热板(7)在水平面上的投影，所述单晶炉用隔热降氧支撑工装中的第一环形安装槽(4)与下保温桶(6)的顶部可拆卸连接，所述单晶炉用隔热降氧支撑工装中的第二环形安装槽(2)与上保温桶(5)的底部可拆卸连接。
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