CN216585317U - 一种多晶硅铸锭炉冷却装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉冷却装置，包括冷却底座，多晶硅铸锭炉底部设置冷却底座，冷却底座包括上座体、下座体和冷却组件，上座体设置于下座体上方，且上座体与下座体之间安装多根支撑柱，冷却组件安装于上座体和下座体，本实用新型结构简单，能够提高多晶硅铸锭炉的冷却效果，且冷却均匀性好，进而提高了多晶硅铸锭的制备质量。

Description

一种多晶硅铸锭炉冷却装置

技术领域

本实用新型涉及多晶硅铸锭炉技术领域，具体为一种多晶硅铸锭炉冷却装置。

背景技术

多晶硅铸锭炉是用于制造多晶硅锭的设备，利用定向凝固法生产多晶硅锭，首先将已装好硅料的坩埚装入炉腔中，然后进行抽空、加热、熔化、长晶、退火、冷却等工艺步骤。

随着硅锭规格的不断扩大，靠炉体自行冷却，影响长晶效果，而且长晶时间也会比较长，现有的冷却装置结构单一，冷却均匀性差，因此，有必要进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种多晶硅铸锭炉冷却装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多晶硅铸锭炉冷却装置，包括冷却底座，多晶硅铸锭炉底部设置冷却底座，所述冷却底座包括上座体、下座体和冷却组件，所述上座体设置于下座体上方，且所述上座体与所述下座体之间安装多根支撑柱，所述冷却组件安装于上座体和下座体。

优选的，本申请提供的一种多晶硅铸锭炉冷却装置，其中，所述冷却组件包括第一冷却管道和第二冷却管道，所述第一冷却管道呈S型安装于上座体内，所述第二冷却管道呈S型安装于下座体内。

优选的，本申请提供的一种多晶硅铸锭炉冷却装置，其中，所述第一冷却管道一端设置进液口，所述第一冷却管道另一端与第二冷却管道一端连通，所述第二冷却管道另一端设置出液口。

优选的，本申请提供的一种多晶硅铸锭炉冷却装置，其中，所述上座体上端面还安装导热板，所述导热板包括金属板体，所述金属板体表面均布若干散热孔。

优选的，本申请提供的一种多晶硅铸锭炉冷却装置，其中，所述下座体下端面安装减震板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，能够提高多晶硅铸锭炉的冷却效果，且冷却均匀性好，进而提高了多晶硅铸锭的制备质量；其中，采用的冷却组件能够均匀带走炉体底部的热量，不会产生热量堆积现象。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型导热板俯视图；

图中：冷却底座1、上座体2、下座体3、支撑柱4、第一冷却管道5、第二冷却管道6、进液口7、出液口8、导热板9、金属板体10、散热孔11、减震板12。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种多晶硅铸锭炉冷却装置，包括冷却底座1，多晶硅铸锭炉底部设置冷却底座1，所述冷却底座1包括上座体2、下座体3和冷却组件，所述上座体2设置于下座体3上方，且所述上座体2与所述下座体3之间安装多根支撑柱4，所述冷却组件安装于上座体2和下座体3。

本实用新型中，冷却组件包括第一冷却管道5和第二冷却管道6，所述第一冷却管道5呈S型安装于上座体2内，所述第二冷却管道6呈S型安装于下座体3内；第一冷却管道5一端设置进液口7，所述第一冷却管道5另一端与第二冷却管道6一端连通，所述第二冷却管道6另一端设置出液口8。

此外，本实用新型中，上座体2上端面还安装导热板9，所述导热板9包括金属板体10，所述金属板体10表面均布若干散热孔11。下座体3下端面安装减震板12。

综上所述，本实用新型结构简单，能够提高多晶硅铸锭炉的冷却效果，且冷却均匀性好，进而提高了多晶硅铸锭的制备质量；其中，采用的冷却组件能够均匀带走炉体底部的热量，不会产生热量堆积现象。

需要说明的是，在本文中，诸如术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (5)

1.一种多晶硅铸锭炉冷却装置，包括冷却底座(1)，其特征在于：多晶硅铸锭炉底部设置冷却底座(1)，所述冷却底座(1)包括上座体(2)、下座体(3)和冷却组件，所述上座体(2)设置于下座体(3)上方，且所述上座体(2)与所述下座体(3)之间安装多根支撑柱(4)，所述冷却组件安装于上座体(2)和下座体(3)。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉冷却装置，其特征在于：所述冷却组件包括第一冷却管道(5)和第二冷却管道(6)，所述第一冷却管道(5)呈S型安装于上座体(2)内，所述第二冷却管道(6)呈S型安装于下座体(3)内。

3.根据权利要求2所述的一种多晶硅铸锭炉冷却装置，其特征在于：所述第一冷却管道(5)一端设置进液口(7)，所述第一冷却管道(5)另一端与第二冷却管道(6)一端连通，所述第二冷却管道(6)另一端设置出液口(8)。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉冷却装置，其特征在于：所述上座体(2)上端面还安装导热板(9)，所述导热板(9)包括金属板体(10)，所述金属板体(10)表面均布若干散热孔(11)。

5.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉冷却装置，其特征在于：所述下座体(3)下端面安装减震板(12)。

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