CN218491885U - 单晶炉异型水冷热屏 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供单晶炉异型水冷热屏，单晶炉异型水冷热屏，包括：主流进水管、异型锥筒进水管、异型锥筒、异型锥筒出水管、主流出水管和支撑卡板，所述异型锥筒的顶部端口处对称连接有异型锥筒进水管和异型锥筒出水管，通过主流进水管从外部接入水进来，进入异型锥筒进水管从而进入异型锥筒内部的水路循环，到异型锥筒出水管，最后从主流出水管流出到外部水路，不断的如此循环带走热量，使得结晶的生产速度相比原来传统型更高，生产效率也会更高，成本也在不断的下降，异型锥筒可根据单晶炉热场和CCD视线位置调整尺寸，突破了现有传统型水冷热屏，目前所能够达到最高提升拉速的瓶颈，在原有拉速的基础上更上一层楼，从而大大降低了成本。

Description

单晶炉异型水冷热屏

技术领域

本实用新型属于单晶硅生产设备技术领域，具体为单晶炉异型水冷热屏。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氩气为主)环境中，用石墨加热器等将多晶硅等多晶材料熔化，然后用直拉法向上直拉生长出晶棒的设备。晶棒可用于制作无错位单晶材料。晶棒在向上生长的过程中，需要进行冷却，使得晶棒结晶成型。

原来传统型水冷热屏提升拉速方面不佳，生产成本高，不能根据单晶炉热场和CCD视线位置调整尺寸，为此，我们提出单晶炉异型水冷热屏。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供单晶炉异型水冷热屏，以解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型结构使得结晶的生产速度相比原来传统型更上一个台阶，进一步的提高生产效率，异型锥筒可根据单晶炉热场和CCD视线位置调整尺寸。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：单晶炉异型水冷热屏，包括：主流进水管、异型锥筒进水管、异型锥筒、异型锥筒出水管、主流出水管和支撑卡板，所述异型锥筒的顶部端口处对称连接有异型锥筒进水管和异型锥筒出水管，所述异型锥筒进水管的一端连接有主流进水管，所述异型锥筒出水管的一端连接有主流出水管。

进一步地，所述异型锥筒进水管为圆台结构，所述异型锥筒进水管的内壁开设有异型豁口。

进一步地，所述异型锥筒的顶部直径大于底部直径，所述异型豁口为半螺旋状结构，所述异型豁口贴合异型锥筒的内壁设置。

进一步地，所述异型锥筒进水管的另一端与异型锥筒出水管的另一端均与异型锥筒的内腔连通。

进一步地，所述主流进水管和主流出水管上分别固定有支撑卡板。

本实用新型的有益效果：通过主流进水管从外部接入水进来，进入异型锥筒进水管从而进入异型锥筒内部的水路循环，到异型锥筒出水管，最后从主流出水管流出到外部水路，不断的如此循环带走热量，使得结晶的生产速度相比原来传统型更高，生产效率也会更高，成本也在不断的下降，异型锥筒可根据单晶炉热场和CCD视线位置调整尺寸，突破了现有传统型水冷热屏，目前所能够达到最高提升拉速的瓶颈，在原有拉速的基础上更上一层楼，从而大大降低了成本。

附图说明

为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型的整体侧视立体结构示意图；

图2是本实用新型的整体正视立体结构示意图；

图3是本实用新型的整体剖视结构图；

图4是本实用新型的整体俯视立体结构图；

图5是本实用新型的整体主视结构图；

图中：1、主流进水管；2、异型锥筒进水管；3、异型锥筒；4、异型锥筒出水管；5、主流出水管；6、支撑卡板。

具体实施方式

下面将结合实施例对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-图5所示，单晶炉异型水冷热屏，包括：主流进水管1、异型锥筒进水管2、异型锥筒3、异型锥筒出水管4、主流出水管5和支撑卡板6，异型锥筒3的顶部端口处对称连接有异型锥筒进水管2和异型锥筒出水管4，异型锥筒进水管2的一端连接有主流进水管1，异型锥筒出水管4的一端连接有主流出水管5，异型锥筒进水管2为圆台结构，异型锥筒进水管2的内壁开设有异型豁口，异型锥筒3的顶部直径大于底部直径，异型豁口为半螺旋状结构，所述异型豁口贴合异型锥筒3的内壁设置，异型锥筒进水管2的另一端与异型锥筒出水管4的另一端均与异型锥筒3的内腔连通，主流进水管1和主流出水管5上分别固定有支撑卡板6，工作时，通过主流进水管1从外部接入水进来，进入异型锥筒进水管2从而进入异型锥筒3内部的水路循环，到异型锥筒出水管4，最后从主流出水管5流出到外部水路，不断的如此循环带走热量。

本实用新型在具体进行实施时：在使用时，通过主流进水管1从外部接入水进来，进入异型锥筒进水管2从而进入异型锥筒3内部的水路循环，到异型锥筒出水管4，最后从主流出水管5流出到外部水路，不断的如此循环带走热量，使得结晶的生产速度相比原来传统型更高，生产效率也会更高，成本也在不断的下降，异型锥筒3可根据单晶炉热场和CCD视线位置调整尺寸，突破了现有传统型水冷热屏，目前所能够达到最高提升拉速的瓶颈，在原有拉速的基础上更上一层楼，从而大大降低了成本。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (5)

1.单晶炉异型水冷热屏，其特征在于，包括：主流进水管(1)、锥筒进水管(2)、锥筒(3)、锥筒出水管(4)、主流出水管(5)和支撑卡板(6)，所述锥筒(3)的顶部端口处对称连接有锥筒进水管(2)和锥筒出水管(4)，所述锥筒进水管(2)的一端连接有主流进水管(1)，所述锥筒出水管(4)的一端连接有主流出水管(5)。

2.根据权利要求1所述的单晶炉异型水冷热屏，其特征在于，所述锥筒进水管(2)为圆台结构，所述锥筒进水管(2)的内壁开设有豁口。

3.根据权利要求2所述的单晶炉异型水冷热屏，其特征在于，所述锥筒(3)的顶部直径大于底部直径，所述豁口为半螺旋状结构，即为弧状缺口，所述豁口贴合锥筒(3)的内壁设置。

4.根据权利要求1所述的单晶炉异型水冷热屏，其特征在于，所述锥筒进水管(2)的另一端与锥筒出水管(4)的另一端均与锥筒(3)的内腔连通。

5.根据权利要求1所述的单晶炉异型水冷热屏，其特征在于，所述主流进水管(1)和主流出水管(5)上分别固定有支撑卡板(6)。

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