CN216550816U - 一种单晶炉用加热器组件 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种单晶炉用加热器组件，包括加热器组件，所述加热器组件的下端固定连接有电极，所述加热器组件包括等间距设置的多组加热圈，所述加热圈包括第一加热片和第二加热片，所述第一加热片和第二加热片均设置为半圆环状，所述第一加热片和第二加热片之间通过第一螺栓固定连接，所述第一加热片和第二加热片的下端均连接有第一插柱，所述第一加热片和第二加热片上均开设有第一插槽，本实用新型将加热器组件设置为可拆解的多个加热圈，单个配件的体积小，便于安装，且加热器组件损坏时，只需更换损坏的那个加热圈即可，方便维修，且在一定程度上降低了维护成本。

Description

一种单晶炉用加热器组件

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体为一种单晶炉用加热器组件。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶直径在生长过程中可受到温度，提拉速度与转速，坩埚跟踪速度与转速，保护气体的流速等因素的影响。其中温度主要决定能否成晶，而速度将直接影响到晶体的内在质量，而这种影响却只能在单晶拉出后通过检测才能获知。温度分布合适的热场，不仅单晶生长顺利，而且品质较高；如果热场的温度分布不是很合理,生长单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质量，情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。

现有技术中用于单晶炉的加热器组件大多是一体式结构，体积较大，不便于安装，且加热器组件损坏时，不便于维修，或是需要更换整个加热器组件，维护成本高，因此我们需要提出一种单晶炉用加热器组件。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶炉用加热器组件，将加热器组件设置为可拆解的多个加热圈，单个配件的体积小，便于安装，且加热器组件损坏时，只需更换损坏的那个加热圈即可，方便维修，且在一定程度上降低了维护成本，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶炉用加热器组件，包括加热器组件，所述加热器组件的下端固定连接有电极，所述加热器组件包括等间距设置的多组加热圈，所述加热圈包括第一加热片和第二加热片，所述第一加热片和第二加热片均设置为半圆环状，所述第一加热片和第二加热片之间通过第一螺栓固定连接，所述第一加热片和第二加热片的下端均连接有第一插柱，所述第一加热片和第二加热片上均开设有第一插槽，一组所述加热圈上的第一插柱插接于另一组所述加热圈上的第一插槽的内部，所述第一加热片和第二加热片上均开设有第二凹槽，所述第二凹槽的内部滑动安装有第二限位杆，所述第一插柱的侧部开设有卡槽，所述第二限位杆的一端卡接于卡槽的内部。

优选的，所述第一加热片的端部开设有第二插槽，所述第二加热片的端部连接有第二插柱，所述第二插柱插接固定于第二插槽的内部。

优选的，所述第二插槽的内壁开设有通孔，所述第二插柱上开设有螺纹盲孔，所述第一螺栓的一端穿过通孔螺纹安装于螺纹盲孔的内部。

优选的，所述第一加热片和第二加热片上均开设有第一凹槽，所述第一凹槽和第二插槽连通为L形的空间，所述第一凹槽的内部滑动安装有第一限位杆，所述第一限位杆和第二限位杆的端部均设置有倾斜度相等的斜面，所述第一限位杆和第二限位杆对应设置。

优选的，所述第二凹槽的内壁安装有弹簧，所述所述弹簧通过连接片固定套设在第二限位杆上。

优选的，所述第一凹槽上安装有固定板，所述固定板上的螺孔的内部安装有第二螺栓，所述第二螺栓的端部通过轴承转动安装于第一限位杆上，所述第二螺栓设置为蝶形螺栓。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

通过第一加热片、第二加热片、第一插柱、第一插槽、第一限位杆、第二限位杆和弹簧的设计，拧动损坏的加热圈下面的一个加热圈上的第二螺栓，第一限位杆向上移动，第二限位杆在弹簧弹力的作用下向第一凹槽的内部移动，第二限位杆的端部脱离卡槽，取消对第一插柱的限位，可取出损坏的加热圈，将完好加热圈上的第二加热片上的第二插柱插进第一加热片上的第二插槽的内部，并用第一螺栓固定，两组第一插柱组成的固定块插进第一插槽的内部，并拧紧第二螺栓，带动第一限位杆向下移动，第一限位杆带动第二限位杆靠近第一插柱，并插进第一插柱上的卡槽的内部，完成加热圈的更换，本实用新型将加热器组件设置为可拆解的多个加热圈，单个配件的体积小，便于安装，且加热器组件损坏时，只需更换损坏的那个加热圈即可，方便维修，且在一定程度上降低了维护成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型加热器组件、第一插柱和第一插槽的结构示意图；

图3为本实用新型第一加热片和第二加热片的结构示意图；

图4为本实用新型的俯视结构示意图；

图5为本实用新型第一凹槽、第二凹槽、第一限位杆和第二限位杆的结构示意图。

图中：1、加热器组件；2、电极；3、第一加热片；4、第二加热片；5、第一插柱；6、第一插槽；7、第一螺栓；8、第一凹槽；9、第二插槽；10、第二插柱；11、通孔；12、螺纹盲孔；13、第二凹槽；14、第二限位杆；15、弹簧；16、卡槽；17、第一限位杆；18、固定板；19、第二螺栓。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在不同附图中以相同标号来标示相同或类似组件；另外请了解文中诸如“第一”、“第二”、“第三”、“上”、“下”、“前”、“后”、“内”、“外”、“端”、“部”、“段”、“宽度”、“厚度”、“区”等等及类似用语仅便于看图者参考图中构造以及仅用于帮助描述本实用新型而已，并非是对本实用新型的限定。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种单晶炉用加热器组件，包括加热器组件1，加热器组件1的下端固定连接有L形的电极2，加热器组件1包括等间距设置的多组加热圈，加热圈包括第一加热片3和第二加热片4，第一加热片3和第二加热片4均设置为半圆环状，第一加热片3和第二加热片4之间通过第一螺栓7固定连接；

第一加热片3的端部开设有第二插槽9，第二加热片4的端部连接有第二插柱10，第二插柱10插接固定于第二插槽9的内部，第二插槽9的内壁开设有通孔11，第二插柱10上开设有螺纹盲孔12，第一螺栓7的一端穿过通孔11螺纹安装于螺纹盲孔12的内部，便于将第一加热片3和第二加热片4固定连接；

第一加热片3和第二加热片4的下端均连接有第一插柱5，第一加热片3和第二加热片4上均开设有第一插槽6，两组第一插柱5组成的固定块的尺寸等于第一插槽6的尺寸，且第一插柱5的长度大于第一插槽6的深度，一组加热圈上的第一插柱5插接于另一组加热圈上的第一插槽6的内部；

第一加热片3和第二加热片4上均开设有第二凹槽13，第二凹槽13的内部滑动安装有第二限位杆14，第二凹槽13的内壁安装有弹簧15，弹簧15通过连接片固定套设在第二限位杆14上，第二限位杆14被挤压后，弹簧15可带动其返程复位；

第一加热片3和第二加热片4上均开设有第一凹槽8，第一凹槽8和第二插槽9连通为L形的空间，第一凹槽8的内部滑动安装有第一限位杆17，第一凹槽8上安装有固定板18，固定板18上的螺孔的内部安装有第二螺栓19，第二螺栓19的端部通过轴承转动安装于第一限位杆17上，第二螺栓19设置为蝶形螺栓，拧动第二螺栓19可带动第一限位杆17上下移动；

第一限位杆17和第二限位杆14的端部均设置有倾斜度相等的斜面，第一限位杆17和第二限位杆14对应设置，第一限位杆17向下移动后抵触在第二限位杆14上，并挤压第二限位杆14横向移动，第一插柱5的侧部开设有卡槽16，第二限位杆14的一端卡接于卡槽16的内部，起到固定第一插柱5的作用，进而可使相邻两组加热圈之间固定连接。

在使用本装置时，当加热器组件1中的某个加热圈损坏时，找到损坏的加热圈下面的一个加热圈，拧动其上的蝶形的第二螺栓19，第二螺栓19带动第一限位杆17向上移动，即第一限位杆17和第二限位杆14上的斜面之间发生相对位移，第二限位杆14在弹簧15弹力的作用下向第一凹槽8的内部移动，第二限位杆14的端部脱离卡槽16，即可取消对第一插柱5的限位，然后握住第一加热片3和第二加热片4，并向上提拉，即可取出损坏的加热圈，然后判断是第一加热片3和第二加热片4中的哪一个或是两个都损坏，并对其进行更换；

然后将完好加热圈上的第二加热片4上的第二插柱10插进第一加热片3上的第二插槽9的内部，并用第一螺栓7将第一加热片3和第二加热片4固定，再将第一加热片3和第二加热片4上两组第一插柱5组成的固定块插进第一插槽6的内部，并拧紧第二螺栓19，带动第一限位杆17向下移动，第一限位杆17带动第二限位杆14靠近第一插柱5，并插进第一插柱5上的卡槽16的内部，完成加热圈的更换。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种单晶炉用加热器组件，包括加热器组件(1)，其特征在于：所述加热器组件(1)的下端固定连接有电极(2)，所述加热器组件(1)包括等间距设置的多组加热圈，所述加热圈包括第一加热片(3)和第二加热片(4)，所述第一加热片(3)和第二加热片(4)均设置为半圆环状，所述第一加热片(3)和第二加热片(4)之间通过第一螺栓(7)固定连接，所述第一加热片(3)和第二加热片(4)的下端均连接有第一插柱(5)，所述第一加热片(3)和第二加热片(4)上均开设有第一插槽(6)，一组所述加热圈上的第一插柱(5)插接于另一组所述加热圈上的第一插槽(6)的内部，所述第一加热片(3)和第二加热片(4)上均开设有第二凹槽(13)，所述第二凹槽(13)的内部滑动安装有第二限位杆(14)，所述第一插柱(5)的侧部开设有卡槽(16)，所述第二限位杆(14)的一端卡接于卡槽(16)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用加热器组件，其特征在于：所述第一加热片(3)的端部开设有第二插槽(9)，所述第二加热片(4)的端部连接有第二插柱(10)，所述第二插柱(10)插接固定于第二插槽(9)的内部。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉用加热器组件，其特征在于：所述第二插槽(9)的内壁开设有通孔(11)，所述第二插柱(10)上开设有螺纹盲孔(12)，所述第一螺栓(7)的一端穿过通孔(11)螺纹安装于螺纹盲孔(12)的内部。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉用加热器组件，其特征在于：所述第一加热片(3)和第二加热片(4)上均开设有第一凹槽(8)，所述第一凹槽(8)和第二插槽(9)连通为L形的空间，所述第一凹槽(8)的内部滑动安装有第一限位杆(17)，所述第一限位杆(17)和第二限位杆(14)的端部均设置有倾斜度相等的斜面，所述第一限位杆(17)和第二限位杆(14)对应设置。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉用加热器组件，其特征在于：所述第二凹槽(13)的内壁安装有弹簧(15)，所述弹簧(15)通过连接片固定套设在第二限位杆(14)上。

6.根据权利要求4所述的一种单晶炉用加热器组件，其特征在于：所述第一凹槽(8)上安装有固定板(18)，所述固定板(18)上的螺孔的内部安装有第二螺栓(19)，所述第二螺栓(19)的端部通过轴承转动安装于第一限位杆(17)上，所述第二螺栓(19)设置为蝶形螺栓。

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