CN216156011U - 一种用于单晶炉拉制硅单晶的导流筒 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提出一种用于单晶炉拉制硅单晶的导流筒,包括外导流筒和内导流筒，所述外导流筒内安装有内导流筒，且内导流筒的下端设有第一下料口，所述第一下料口的下方在外导流筒上设有第二下料口，所述第二下料口的内侧安装有导流组件，所述外导流筒包括上筒体和下筒体，所述上筒体的下方在下筒体的外侧安装有承重环，所述承重环的正上方在上筒体上安装有限位环，该种用于单晶炉拉制硅单晶的导流筒采用分体式设计，通过设置的限位环与螺纹连接环的配合，便于将下筒体与上筒体进行分离，继而便于对导流组件进行快速更换，减少操作步骤，从而通过更换不同下口直径的导流组件来满足不同直径单晶硅棒的拉制，降低运行成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶炉热场部件技术领域，尤其涉及一种用于单晶炉拉制硅单晶的导流筒。
背景技术
单晶硅，又称硅单晶，是一种半导体材料，而单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶直径在生长过程中可受到温度，提拉速度与转速，坩埚跟踪速度与转速，保护气体的流速等因素的影响，其中温度主要决定能否成晶，而速度将直接影响到晶体的内在质量，而这种影响却只能在单晶拉出后通过检测才能获知，温度分布合适的热场，不仅单晶生长顺利，而且品质较高；
而为了维持单晶的正常生产需要增加导流筒，因此，导流筒成为当前单晶炉的重要系统之一，但现有的导流筒在使用的过程中，其下口的直径不便进行调整，因而在不同直径大小单晶硅棒的拉制需求中，需要更换不同下口直径的导流筒，步骤繁杂，操作不便，还会影响到加工的效率，因此本实用新型提出一种用于单晶炉拉制硅单晶的导流筒以解决现有技术中存在的问题。
实用新型内容
针对上述问题，本实用新型的目的在于提出一种用于单晶炉拉制硅单晶的导流筒，该种用于单晶炉拉制硅单晶的导流筒采用分体式设计，通过设置的限位环与螺纹连接环的配合，便于将下筒体与上筒体进行分离，继而便于对导流组件进行快速更换，减少操作步骤，从而通过更换不同下口直径的导流组件来满足不同直径单晶硅棒的拉制，降低运行成本。
为实现本实用新型的目的，本实用新型通过以下技术方案实现：一种用于单晶炉拉制硅单晶的导流筒，包括外导流筒和内导流筒，所述外导流筒内安装有内导流筒，且内导流筒的下端设有第一下料口，所述第一下料口的下方在外导流筒上设有第二下料口，所述第二下料口的内侧安装有导流组件；
所述外导流筒包括上筒体和下筒体，所述上筒体的下方在下筒体的外侧安装有承重环，所述承重环的正上方在上筒体上安装有限位环，且限位环内设有螺纹连接槽，所述螺纹连接槽内转动连接有螺纹连接环，且螺纹连接环的下端与承重环连接，所述外导流筒的内侧设有密封组件。
进一步改进在于：所述密封组件包括第一密封环和第二密封环，所述第一密封环的外侧与下筒体连接，且第一密封环的正上方设有第二密封环，所述第二密封环的外侧与上筒体连接，所述第二密封环与第一密封环内均设有安装槽，且安装槽内设有密封环。
进一步改进在于：所述导流组件包括导流筒隔离环和导流筒支撑环，所述导流筒隔离环的外侧通过螺纹与第二下料口转动连接，所述导流筒隔离环的内侧通过螺纹转动安装有导流筒支撑环，所述导流筒支撑环的上部分延伸至内导流筒的外侧，并与导流筒接触。
进一步改进在于：所述上筒体的上端安装有连接壳体，所述连接壳体的上端安装有导流筒盖板，且连接壳体的内部填充由导流筒环毡，所述导流筒盖板的两侧均安装有吊件，所述吊件的下端贯穿导流筒盖板并与连接壳体连接。
进一步改进在于：所述安装槽内安装有弹簧，且弹簧均匀设有多组，所述弹簧与密封环连接。
本实用新型的有益效果为：该种用于单晶炉拉制硅单晶的导流筒采用分体式设计，通过设置的限位环与螺纹连接环的配合，便于将下筒体与上筒体进行分离，继而便于对导流组件进行快速更换，减少操作步骤，不会影响到整个导流筒的连接稳定性，从而通过更换不同下口直径的导流组件来满足不同直径单晶硅棒的拉制，同时安装时也更为方便，继而能在单炉体内快速改变不同直径单晶硅棒的拉晶工艺，降低运行成本。
附图说明
图1是本实用新型正视结构示意图。
图2是本实用新型下筒体正视结构示意图。
图3是本实用新型图1局部A放大示意图。
图4是本实用新型图1局部B放大示意图。
其中：1、内导流筒；2、第一下料口；3、第二下料口；4、上筒体；5、下筒体；6、承重环；7、限位环；8、螺纹连接槽；9、螺纹连接环；10、第一密封环；11、第二密封环；12、安装槽；13、密封圈；14、导流筒隔离环；15、导流筒支撑环；16、连接壳体；17、导流筒盖板；18、导流筒环毡；19、吊件；20、弹簧；21、安全环。
具体实施方式
为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例对本实用新型做进一步详述，本实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。
根据图1-图4所示，本实施例提出了一种用于单晶炉拉制硅单晶的导流筒，包括外导流筒和内导流筒1，所述外导流筒内安装有内导流筒1，且内导流筒1的下端设有第一下料口2，所述第一下料口2的下方在外导流筒上设有第二下料口3，所述第二下料口3的内侧安装有导流组件，导流组件用于改变第二下料口3的大小，物料经过第一下料口2下落，再由导流组件进行限制引导；
所述外导流筒包括上筒体4和下筒体5，所述上筒体4的下方在下筒体5的外侧安装有承重环6，所述承重环6的正上方在上筒体4上安装有限位环7，且限位环7内设有螺纹连接槽8，所述螺纹连接槽8内转动连接有螺纹连接环9，且螺纹连接环9的下端与承重环6连接，所述外导流筒的内侧设有密封组件，通过上筒体4和下筒体5的设置，使得外导流筒采用分体式设计，使得在对其进行拆卸时，无需将其整体进行拆卸，只需转动下筒体5即可，利用螺纹连接环9和限位环7转动连接的特性，使得更换导流组件更为方便，而无需将整个导流筒进行拆卸，大大减少了更换的时间，同时，在拆卸及安装方便的前提下，能够更方便的对导流筒进行维护。
所述密封组件包括第一密封环10和第二密封环11，所述第一密封环10的外侧与下筒体5连接，且第一密封环10的正上方设有第二密封环11，所述第二密封环11的外侧与上筒体4连接，所述第二密封环11与第一密封环10内均设有安装槽12，且安装槽12内设有密封环13，密封环13分为上下两组，且两组密封环13上均设有凸起部和凹进部，即上侧的密封环13上的凸起部与下侧密封环13上的凹进部进行连接，下侧的密封环13上的凸起部与上侧密封环13上的凹进部进行连接，继而使得上下两组密封环13之间连接的密封性更好。
所述导流组件包括导流筒隔离环14和导流筒支撑环15，所述导流筒隔离环14的外侧通过螺纹与第二下料口3转动连接，所述导流筒隔离环14的内侧通过螺纹转动安装有导流筒支撑环15，所述导流筒支撑环15的上部分延伸至内导流筒1的外侧，并与导流筒1接触，导流筒隔离环14和导流筒支撑环15的内侧均设有下料口，而导流筒支撑环15的下料口作为一个变量，即是多组导流筒支撑环15，且多组导流筒支撑环15的下料口直径大小不一，在使用时，只需更换不同的导流筒支撑环15，即可满足不同直径单晶硅棒的拉制，同时在更换的过程中，操作方便快捷，有效降低了运行成本。
所述上筒体4的上端安装有连接壳体16，所述连接壳体16的上端安装有导流筒盖板17，且连接壳体16的内部填充由导流筒环毡18，所述导流筒盖板17的两侧均安装有吊件19，所述吊件19的下端贯穿导流筒盖板17并与连接壳体16连接，导流筒盖板17的中间是为空心设置，其目的是对外导流筒和内导流筒1之间的间隙进行遮盖，同时，通过设置的导流筒环毡18来增强其连接的密封性能，而吊件19，是用于与外部设备进行连接的。
所述安装槽12内安装有弹簧20，且弹簧20均匀设有多组，所述弹簧20与密封环13连接，在上筒体4和下筒体5进行连接后，上下两组密封环13也会进行连接，同时，弹簧20会受力收缩并提供一定的反抗力，从而使得上下两组密封环13之间连接的更加紧密。
本申请中，在螺纹连接环9的上端还安装有安全环21，安全环21也是通过螺纹与螺纹连接环9转动连接的，在上筒体4和下筒体5进行连接后，螺纹连接环9的上部分会突出一部分，此时由安全环21与其进行连接，连接后安全环21是位于限位环7上方的，通过设置的安全环21，避免上筒体4与下筒体5突然分离，通过安全环21与限位环7进行接触，从而提供额外的保险，提升安全性。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (5)
1.一种用于单晶炉拉制硅单晶的导流筒，包括外导流筒和内导流筒(1)，其特征在于：所述外导流筒内安装有内导流筒(1)，且内导流筒(1)的下端设有第一下料口(2)，所述第一下料口(2)的下方在外导流筒上设有第二下料口(3)，所述第二下料口(3)的内侧安装有导流组件；
所述外导流筒包括上筒体(4)和下筒体(5)，所述上筒体(4)的下方在下筒体(5)的外侧安装有承重环(6)，所述承重环(6)的正上方在上筒体(4)上安装有限位环(7)，且限位环(7)内设有螺纹连接槽(8)，所述螺纹连接槽(8)内转动连接有螺纹连接环(9)，且螺纹连接环(9)的下端与承重环(6)连接，所述外导流筒的内侧设有密封组件。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉拉制硅单晶的导流筒，其特征在于：所述密封组件包括第一密封环(10)和第二密封环(11)，所述第一密封环(10)的外侧与下筒体(5)连接，且第一密封环(10)的正上方设有第二密封环(11)，所述第二密封环(11)的外侧与上筒体(4)连接，所述第二密封环(11)与第一密封环(10)内均设有安装槽(12)，且安装槽(12)内设有密封圈(13)。
3.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉拉制硅单晶的导流筒，其特征在于：所述导流组件包括导流筒隔离环(14)和导流筒支撑环(15)，所述导流筒隔离环(14)的外侧通过螺纹与第二下料口(3)转动连接，所述导流筒隔离环(14)的内侧通过螺纹转动安装有导流筒支撑环(15)，所述导流筒支撑环(15)的上部分延伸至内导流筒(1)的外侧，并与内导流筒(1)接触。
4.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉拉制硅单晶的导流筒，其特征在于：所述上筒体(4)的上端安装有连接壳体(16)，所述连接壳体(16)的上端安装有导流筒盖板(17)，且连接壳体(16)的内部填充由导流筒环毡(18)，所述导流筒盖板(17)的两侧均安装有吊件(19)，所述吊件(19)的下端贯穿导流筒盖板(17)并与连接壳体(16)连接。
5.根据权利要求2所述的一种用于单晶炉拉制硅单晶的导流筒，其特征在于：所述安装槽(12)内安装有弹簧(20)，且弹簧(20)均匀设有多组，所述弹簧(20)与密封圈(13)连接。
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN116497434A (zh) * | 2023-06-20 | 2023-07-28 | 苏州晨晖智能设备有限公司 | 一种降氧导流筒、单晶炉及降氧工艺方法 |
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2021
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| CN116497434A (zh) * | 2023-06-20 | 2023-07-28 | 苏州晨晖智能设备有限公司 | 一种降氧导流筒、单晶炉及降氧工艺方法 |
| CN116497434B (zh) * | 2023-06-20 | 2023-09-05 | 苏州晨晖智能设备有限公司 | 一种降氧导流筒、单晶炉及降氧工艺方法 |
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