CN210974922U - 一种实用性高的单晶炉坩埚驱动装置 - Google Patents

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陈立民
高俊伟
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Abstract

本实用新型涉及单晶炉坩埚技术领域,且公开了一种实用性高的单晶炉坩埚驱动装置,包括载板,所述载板的顶部固定安装有锅体,所述载板的底部左右两侧均开设有定位槽,所述定位槽的内部活动安装有一端贯穿并延伸到载板下方的定位块,所述定位块的底部固定安装有托板,所述托板的底部固定安装有支撑杆。该实用性高的单晶炉坩埚驱动装置,通过设置承接块、承接槽、控制螺钉、限制槽和限制钉,使用者在使用设备时,使用者需要检修锅体时,转动控制螺钉,控制螺钉带动限制钉脱离限制槽,使用者上移锅体,对接杆脱离承接槽,定位块脱离定位槽,锅体被取下,如果,使用者可以轻松检修锅体,免去了使用者的烦恼,方便了使用者的使用。

Description

一种实用性高的单晶炉坩埚驱动装置
技术领域
本实用新型涉及单晶炉坩埚技术领域,具体为一种实用性高的单晶炉坩埚驱动装置。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备,单晶直径在生长过程中可受到温度,提拉速度与转速,坩埚跟踪速度与转速,保护气体的流速等因素的影响,其中温度主要决定能否成晶,而速度将直接影响到晶体的内在质量,而这种影响却只能在单晶拉出后通过检测才能获知。
传统的单晶炉坩埚驱动装置结构简单,和坩埚的连接结构僵硬,使用者在需要取下坩埚检修或清理坩埚时,坩埚和驱动装置连接在一起难以拆卸,使用者对此颇为烦恼,故而提出一种实用性高的单晶炉坩埚驱动装置。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种实用性高的单晶炉坩埚驱动装置,具备方便拆卸等优点,解决了传统的单晶炉坩埚驱动装置结构简单,和坩埚的连接结构僵硬,使用者在需要取下坩埚检修或清理坩埚时,坩埚和驱动装置连接在一起难以拆卸的问题。
(二)技术方案
为实现上述方便拆卸的目的,本实用新型提供如下技术方案:一种实用性高的单晶炉坩埚驱动装置,包括载板,所述载板的顶部固定安装有锅体,所述载板的底部左右两侧均开设有定位槽,所述定位槽的内部活动安装有一端贯穿并延伸到载板下方的定位块,所述定位块的底部固定安装有托板,所述托板的底部固定安装有支撑杆,两个所述支撑杆的底部均与底板固定连接,两个所述支撑杆相对的一侧均与横板固定连接,所述底板的顶部且位于支撑杆之间固定安装有驱动电机,所述横板的顶部活动安装有一端贯穿并延伸到横板下方的螺纹外杆,所述驱动电机的输出端固定安装有一端贯穿并延伸到螺纹外杆内部的驱动轴,所述螺纹外杆的顶部固定安装有承接块,所述承接块的顶部开设有承接槽,所述载板的底部且位于定位槽之间固定安装有一端贯穿并延伸到承接槽内部的对接杆,所述承接槽的内壁左右两侧均安装有开设在承接块上的安装槽,所述承接块的左右两侧均活动安装有一端贯穿并延伸到安装槽内部的控制螺钉,所述对接杆的左右两侧均开设有限制槽,所述控制螺钉相对的一侧均固定安装有一端贯穿并延伸到限制槽内部的限制钉。
优选的,所述载板为不锈钢,所述载板的厚度为两厘米,所述定位块的顶部为斜面。
优选的,所述底板为不锈钢,所述底板和驱动电机的连接方式为螺纹连接。
优选的,所述横板的内部开设有承接螺纹,所述螺纹外杆的外部开设有与承接螺纹相匹配的对接螺纹。
优选的,所述驱动轴包括旋转轴和传动块,所述旋转轴的顶部固定安装有传动块,所述传动块为矩形块,所述传动块与螺纹外杆内壁相贴合。
优选的,所述承接块的内部开设有与控制螺钉相匹配的螺纹通孔,所述限制钉为不锈钢,所述相对的一侧为斜面。
(三)有益效果
与现有技术相比,本实用新型提供了一种实用性高的单晶炉坩埚驱动装置,具备以下有益效果:
该实用性高的单晶炉坩埚驱动装置,通过设置承接块、承接槽、对接杆、安装槽、控制螺钉、限制槽和限制钉,使用者在使用设备时,使用者需要检修锅体时,转动控制螺钉,控制螺钉带动限制钉脱离限制槽,使用者上移锅体,对接杆脱离承接槽,定位块脱离定位槽,锅体被取下,使用者可以轻松检修锅体,免去了使用者的烦恼,方便了使用者的使用。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图;
图2为本实用新型图1中A处放大图。
图中:1载板、2锅体、3定位槽、4定位块、5托板、6支撑杆、7底板、 8横板、9驱动电机、10螺纹外杆、11驱动轴、12承接块、13承接槽、14对接杆、15安装槽、16控制螺钉、17限制槽、18限制钉。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-2,一种实用性高的单晶炉坩埚驱动装置,包括载板1,载板 1的顶部固定安装有锅体2,载板1的底部左右两侧均开设有定位槽3,定位槽3的内部活动安装有一端贯穿并延伸到载板1下方的定位块4,载板1为不锈钢,载板1的厚度为两厘米,定位块4的顶部为斜面,定位块4的底部固定安装有托板5,托板5的底部固定安装有支撑杆6,两个支撑杆6的底部均与底板7固定连接,两个支撑杆6相对的一侧均与横板8固定连接,底板7 的顶部且位于支撑杆6之间固定安装有驱动电机9,底板7为不锈钢,底板7 和驱动电机9的连接方式为螺纹连接,横板8的顶部活动安装有一端贯穿并延伸到横板8下方的螺纹外杆10,横板8的内部开设有承接螺纹,螺纹外杆 10的外部开设有与承接螺纹相匹配的对接螺纹,驱动电机9的输出端固定安装有一端贯穿并延伸到螺纹外杆10内部的驱动轴11,驱动轴11包括旋转轴和传动块,旋转轴的顶部固定安装有传动块,传动块为矩形块,传动块与螺纹外杆10内壁相贴合,螺纹外杆10的顶部固定安装有承接块12,承接块12 的顶部开设有承接槽13,载板1的底部且位于定位槽3之间固定安装有一端贯穿并延伸到承接槽13内部的对接杆14,承接槽13的内壁左右两侧均安装有开设在承接块12上的安装槽15,承接块12的左右两侧均活动安装有一端贯穿并延伸到安装槽15内部的控制螺钉16,承接块12的内部开设有与控制螺钉16相匹配的螺纹通孔,限制钉18为不锈钢,相对的一侧为斜面,对接杆14的左右两侧均开设有限制槽17,控制螺钉16相对的一侧均固定安装有一端贯穿并延伸到限制槽17内部的限制钉18,通过设置承接块12、承接槽 13、对接杆14、安装槽15、控制螺钉16、限制槽17和限制钉18,使用者在使用设备时,使用者需要检修锅体2时,转动控制螺钉16,控制螺钉16带动限制钉18脱离限制槽17,使用者上移锅体2,对接杆14脱离承接槽13,定位块4脱离定位槽3,锅体2被取下,如果,使用者可以轻松检修锅体2,免去了使用者的烦恼,方便了使用者的使用。
综上所述,该实用性高的单晶炉坩埚驱动装置,通过设置承接块12、承接槽13、对接杆14、安装槽15、控制螺钉16、限制槽17和限制钉18,使用者在使用设备时,使用者需要检修锅体2时,转动控制螺钉16,控制螺钉16 带动限制钉18脱离限制槽17,使用者上移锅体2,对接杆14脱离承接槽13,定位块4脱离定位槽3,锅体2被取下,使用者可以轻松检修锅体2,免去了使用者的烦恼,方便了使用者的使用,解决了传统的单晶炉坩埚驱动装置结构简单,和坩埚的连接结构僵硬,使用者在需要取下坩埚检修或清理坩埚时,坩埚和驱动装置连接在一起难以拆卸的问题。
需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种实用性高的单晶炉坩埚驱动装置,包括载板(1),其特征在于:所述载板(1)的顶部固定安装有锅体(2),所述载板(1)的底部左右两侧均开设有定位槽(3),所述定位槽(3)的内部活动安装有一端贯穿并延伸到载板(1)下方的定位块(4),所述定位块(4)的底部固定安装有托板(5),所述托板(5)的底部固定安装有支撑杆(6),两个所述支撑杆(6)的底部均与底板(7)固定连接,两个所述支撑杆(6)相对的一侧均与横板(8)固定连接,所述底板(7)的顶部且位于支撑杆(6)之间固定安装有驱动电机(9),所述横板(8)的顶部活动安装有一端贯穿并延伸到横板(8)下方的螺纹外杆(10),所述驱动电机(9)的输出端固定安装有一端贯穿并延伸到螺纹外杆(10)内部的驱动轴(11),所述螺纹外杆(10)的顶部固定安装有承接块(12),所述承接块(12)的顶部开设有承接槽(13),所述载板(1)的底部且位于定位槽(3)之间固定安装有一端贯穿并延伸到承接槽(13)内部的对接杆(14),所述承接槽(13)的内壁左右两侧均安装有开设在承接块(12)上的安装槽(15),所述承接块(12)的左右两侧均活动安装有一端贯穿并延伸到安装槽(15)内部的控制螺钉(16),所述对接杆(14)的左右两侧均开设有限制槽(17),所述控制螺钉(16)相对的一侧均固定安装有一端贯穿并延伸到限制槽(17)内部的限制钉(18)。
2.根据权利要求1所述的一种实用性高的单晶炉坩埚驱动装置,其特征在于:所述载板(1)为不锈钢,所述载板(1)的厚度为两厘米,所述定位块(4)的顶部为斜面。
3.根据权利要求1所述的一种实用性高的单晶炉坩埚驱动装置,其特征在于:所述底板(7)为不锈钢,所述底板(7)和驱动电机(9)的连接方式为螺纹连接。
4.根据权利要求1所述的一种实用性高的单晶炉坩埚驱动装置,其特征在于:所述横板(8)的内部开设有承接螺纹,所述螺纹外杆(10)的外部开设有与承接螺纹相匹配的对接螺纹。
5.根据权利要求1所述的一种实用性高的单晶炉坩埚驱动装置,其特征在于:所述驱动轴(11)包括旋转轴和传动块,所述旋转轴的顶部固定安装有传动块,所述传动块为矩形块,所述传动块与螺纹外杆(10)内壁相贴合。
6.根据权利要求1所述的一种实用性高的单晶炉坩埚驱动装置,其特征在于:所述承接块(12)的内部开设有与控制螺钉(16)相匹配的螺纹通孔,所述限制钉(18)为不锈钢,所述相对的一侧为斜面。
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