CN217266134U - 一种单晶炉石墨热场的拆炉装置 - Google Patents
一种单晶炉石墨热场的拆炉装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN217266134U CN217266134U CN202123432410.8U CN202123432410U CN217266134U CN 217266134 U CN217266134 U CN 217266134U CN 202123432410 U CN202123432410 U CN 202123432410U CN 217266134 U CN217266134 U CN 217266134U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- single crystal
- furnace
- crystal furnace
- heat insulation
- shell
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Abstract
本实用新型公开了一种单晶炉石墨热场的拆炉装置，属于单晶炉技术领域，包括：单晶炉外壳，所述单晶炉外壳的顶部安装有拆炉组件，所述单晶炉外壳的内侧安装有隔热组件；所述单晶炉外壳的内侧壁插接有石墨加热器，所述石墨加热器的内侧设置有石墨坩埚，所述拆炉组件包括安装在单晶炉外壳底部的电动推杆和安装在电动推杆输出端顶部的推板，且推板嵌套安装在石墨坩埚的底部，所述单晶炉外壳的顶部支撑有密封盖，所述密封盖的顶部一体成型有隔热筒，所述密封盖的底部外周焊接有密封圈，且密封圈通过螺纹连接在单晶炉外壳的外侧。该单晶炉石墨热场的拆炉装置，拆炉时更加稳定和安全，且装置的密封性更高使得加热更高效。
Description
技术领域
本实用新型属于单晶炉技术领域，尤其是一种单晶炉石墨热场的拆炉装置。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体环境中，通过石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化后用直拉法生长无错位单晶的设备，在直拉完成后需要拆炉对其取出，为了提高效率，就需要相应的拆炉装置。
例如中国实用新型申请号为CN201320642732.1的一种单晶炉热场的拆炉工具，包括支撑装置和拆取装置，拆取装置设置在支撑装置的下方，其特征在于：所述的支撑装置包括两个相对设置的人字形支撑架，在支撑架的顶部设有圆形的吊环且支撑架的底部设有活动孔，两支撑架的吊环通过固连起吊装置联接在一起，所述的拆取装置为四个竖弯钩形的抓取钩，抓取钩的顶端与支撑架底部的活动孔相铰接，所述的支撑装置和拆取装置整体呈爪形。本实用新型的有益效果是：由人工拆炉被机械所替代，有效降低工人劳动强度、降低事故发生的几率、延长石墨件的使用寿命，可以一次性将埚底料、石英埚和CFC坩埚一并提出，降低生产成本并提高效率。
但现有的装置存在着拆炉时不够平稳，导致拆炉过程容易烫伤工作人员的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种单晶炉石墨热场的拆炉装置，以解决背景技术中提出的问题。
技术方案：一种单晶炉石墨热场的拆炉装置，包括：
单晶炉外壳，所述单晶炉外壳的顶部安装有拆炉组件，所述单晶炉外壳的内侧安装有隔热组件；
所述单晶炉外壳的内侧壁插接有石墨加热器，所述石墨加热器的内侧设置有石墨坩埚，所述拆炉组件包括安装在单晶炉外壳底部的电动推杆和安装在电动推杆输出端顶部的推板，且推板嵌套安装在石墨坩埚的底部，所述单晶炉外壳的顶部支撑有密封盖，所述密封盖的顶部一体成型有隔热筒，所述密封盖的底部外周焊接有密封圈，且密封圈通过螺纹连接在单晶炉外壳的外侧，所述密封盖对称的两侧均连接有连接杆。
在进一步的实施例中，所述隔热组件包括连接在密封盖底部的密封环和导流筒，且密封环支撑在单晶炉外壳的内侧，所述单晶炉外壳的内侧壁下部嵌套安装有隔热壳体，且隔热壳体支撑在石墨加热器的外侧，所述石墨加热器的底部和单晶炉外壳的内侧底部之间设置有保温板。
在进一步的实施例中，所述保温板的底部呈环形阵列连接有多个插块，所述单晶炉外壳的内侧底部开设有和插块对应的插孔，且插块插接在对应的插孔内。
在进一步的实施例中，所述隔热筒的顶部固定插接有隔热塞，所述隔热筒与密封盖的连接处粘接有隔热胶层。
在进一步的实施例中，所述单晶炉外壳的底部安装有安装板，且安装板的底部呈环形阵列安装有四个支腿。
在进一步的实施例中，所述连接杆远离密封盖的一端连接有握杆，且握杆的侧壁套接有橡胶套。
本实用新型的技术效果和优点：该单晶炉石墨热场的拆炉装置，通过握住两个连接杆旋动密封盖的方式进行拆炉，密封盖在密封圈的螺纹下平稳上升，确保拆炉时更加稳定和安全；
通过密封圈与密封环对密封盖与单晶炉外壳的连接处进行密封，配合隔热壳体在侧壁的密封，隔热筒和隔热塞在顶部的密封和保温板在底部的密封，使得装置的密封性更高使得加热更高效；
该单晶炉石墨热场的拆炉装置，拆炉时更加稳定和安全，且装置的密封性更高使得加热更高效。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的剖视图；
图3为本实用新型图2中A处的放大图。
图中：1、单晶炉外壳；2、隔热壳体；3、石墨加热器；4、石墨坩埚；5、电动推杆；6、密封盖；7、隔热筒；8、密封圈；9、连接杆；10、握杆；11、密封环；12、保温板；13、隔热塞；14、导流筒；15、隔热胶层；16、铭牌； 17、安装板；18、支腿。
具体实施方式
在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本实用新型更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本实用新型可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本实用新型发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。
为了拆炉时更加稳定和安全，如图1和图2，一种单晶炉石墨热场的拆炉装置，包括：单晶炉外壳1，单晶炉外壳1的前侧外壁粘接有铭牌16，单晶炉外壳1的顶部安装有拆炉组件，单晶炉外壳1的内侧壁固定插接有石墨加热器3(其型号对本实用新型功能不产生影响，因此不做限定)，采用现有原理可以配合石墨坩埚4进行单晶的制备，石墨加热器3的内侧设置有石墨坩埚4(其型号对本实用新型功能不产生影响，因此不做限定)，单晶炉外壳1的底部通过多个螺栓安装有安装板17，且安装板17的底部通过螺钉呈环形阵列安装有四个支腿18，拆炉组件包括安装在单晶炉外壳1底部的电动推杆5，且电动推杆5固定插接在安装板17的中部，电动推杆5的输出端顶部通过螺栓安装有推板，且推板嵌套安装在石墨坩埚4的底部，使得石墨坩埚4的升降更平稳，单晶炉外壳1的顶部支撑有密封盖6，密封盖6的顶部浇铸一体成型有隔热筒7，浇铸一体成型的结构密封性更好，密封盖6的底部外周焊接有密封圈8，且密封圈8通过螺纹连接在单晶炉外壳1的外侧，密封盖6对称的两侧均通过螺栓连接有连接杆9，连接杆9远离密封盖6的一端通过螺栓连接有握杆10，且握杆10的侧壁套接有橡胶套，更方便施力转动连接杆9；
为了装置的密封性更高使得加热更高效，如图2和图3，单晶炉外壳1的内侧安装有隔热组件，隔热组件包括通过多个螺钉连接在密封盖6底部的密封环11和导流筒14，且密封环11支撑在单晶炉外壳1的内侧，单晶炉外壳 1的内侧壁下部嵌套安装有隔热壳体2，且隔热壳体2支撑在石墨加热器3的外侧，石墨加热器3的底部和单晶炉外壳1的内侧底部之间设置有保温板12，保温板12的底部呈环形阵列连接有多个插块，单晶炉外壳1的内侧底部开设有和插块对应的插孔，且插块插接在对应的插孔内，方便对保温板12拆除维护，隔热筒7的顶部固定插接有隔热塞13，隔热筒7与密封盖6的连接处粘接有隔热胶层15，进一步提升该处的隔热性能。
工作原理，该单晶炉石墨热场的拆炉装置，将装置与外部电源连接，石墨加热器3采用现有原理可以配合石墨坩埚4进行单晶的制备，制备完成后通过电动推杆5将推板顶部的石墨坩埚4推动至隔热筒7内，然后通过握杆10握住两个连接杆9旋动密封盖6的方式进行拆炉，密封盖6在密封圈8的螺纹下平稳上升，直至将密封盖6连同隔热筒7内的单晶取出，确保拆炉时更加稳定和安全；通过密封圈8与密封环11对密封盖6与单晶炉外壳1的连接处进行密封，配合隔热壳体2在侧壁的密封，隔热筒7和隔热塞13在顶部的密封和保温板12在底部的密封，使得装置的密封性更高使得加热更高效。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种单晶炉石墨热场的拆炉装置，包括：
单晶炉外壳(1)，所述单晶炉外壳(1)的顶部安装有拆炉组件，所述单晶炉外壳(1)的内侧安装有隔热组件；
其特征在于：所述单晶炉外壳(1)的内侧壁插接有石墨加热器(3)，所述石墨加热器(3)的内侧设置有石墨坩埚(4)，所述拆炉组件包括安装在单晶炉外壳(1)底部的电动推杆(5)和安装在电动推杆(5)输出端顶部的推板，且推板嵌套安装在石墨坩埚(4)的底部，所述单晶炉外壳(1)的顶部支撑有密封盖(6)，所述密封盖(6)的顶部一体成型有隔热筒(7)，所述密封盖(6)的底部外周焊接有密封圈(8)，且密封圈(8)通过螺纹连接在单晶炉外壳(1)的外侧，所述密封盖(6)对称的两侧均连接有连接杆(9)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉石墨热场的拆炉装置，其特征在于：所述隔热组件包括连接在密封盖(6)底部的密封环(11)和导流筒(14)，且密封环(11)支撑在单晶炉外壳(1)的内侧，所述单晶炉外壳(1)的内侧壁下部嵌套安装有隔热壳体(2)，且隔热壳体(2)支撑在石墨加热器(3)的外侧，所述石墨加热器(3)的底部和单晶炉外壳(1)的内侧底部之间设置有保温板(12)。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉石墨热场的拆炉装置，其特征在于：所述保温板(12)的底部呈环形阵列连接有多个插块，所述单晶炉外壳(1)的内侧底部开设有和插块对应的插孔，且插块插接在对应的插孔内。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉石墨热场的拆炉装置，其特征在于：所述隔热筒(7)的顶部固定插接有隔热塞(13)，所述隔热筒(7)与密封盖(6)的连接处粘接有隔热胶层(15)。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉石墨热场的拆炉装置，其特征在于：所述单晶炉外壳(1)的底部安装有安装板(17)，且安装板(17)的底部呈环形阵列安装有四个支腿(18)。
6.根据权利要求1所述的一种单晶炉石墨热场的拆炉装置，其特征在于：所述连接杆(9)远离密封盖(6)的一端连接有握杆(10)，且握杆(10)的侧壁套接有橡胶套。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202123432410.8U CN217266134U (zh) | 2021-12-31 | 2021-12-31 | 一种单晶炉石墨热场的拆炉装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202123432410.8U CN217266134U (zh) | 2021-12-31 | 2021-12-31 | 一种单晶炉石墨热场的拆炉装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN217266134U true CN217266134U (zh) | 2022-08-23 |
Family
ID=82893506
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202123432410.8U Active CN217266134U (zh) | 2021-12-31 | 2021-12-31 | 一种单晶炉石墨热场的拆炉装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN217266134U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115323490A (zh) * | 2022-09-01 | 2022-11-11 | 无锡鼎桥新能源科技有限公司 | 一种用于制备碳化硅晶体的石墨热场单晶生长装置 |
-
2021
- 2021-12-31 CN CN202123432410.8U patent/CN217266134U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115323490A (zh) * | 2022-09-01 | 2022-11-11 | 无锡鼎桥新能源科技有限公司 | 一种用于制备碳化硅晶体的石墨热场单晶生长装置 |
| CN115323490B (zh) * | 2022-09-01 | 2023-08-29 | 无锡鼎桥新能源科技有限公司 | 一种用于制备碳化硅晶体的石墨热场单晶生长装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN217266134U (zh) | 一种单晶炉石墨热场的拆炉装置 | |
| CN102108543A (zh) | 垂直梯度凝固晶体生长炉中多段式侧加热器 | |
| CN110453277A (zh) | 一种直拉法单晶炉热场快速冷却装置及冷却方法 | |
| CN201195762Y (zh) | 一种直拉晶体生长炉的拆装机构 | |
| CN211921742U (zh) | 一种热场悬挂装置和单晶炉 | |
| CN102630256A (zh) | 单晶制造装置 | |
| CN202730297U (zh) | 直拉法单晶炉热场结构 | |
| CN203923449U (zh) | 一种低能耗单晶炉 | |
| CN204534508U (zh) | 水泥窑窑尾及旁路放风余热锅炉 | |
| CN215713518U (zh) | 一种提拉法晶体生长炉 | |
| CN215757721U (zh) | 一种基于功率下降法的晶体生长炉 | |
| CN201545934U (zh) | 一种用于吊装石英坩埚的夹具 | |
| CN205635846U (zh) | 一种单晶炉坩埚托盘 | |
| CN113954205A (zh) | 分体式组合石英坩埚模具 | |
| CN208618005U (zh) | 一种太阳能单晶热场隔热装置 | |
| CN202359226U (zh) | 一种单晶炉投料装置 | |
| CN205965088U (zh) | 一种搅拌式结晶器 | |
| CN207091276U (zh) | 一种玻璃制品的生产加热装置 | |
| CN217399041U (zh) | 一种新型结构的晶体炉石墨热场 | |
| CN208455115U (zh) | 一种单晶炉电极装置 | |
| CN206222932U (zh) | 悬臂梁吊挂全水冷式镍铁电炉炉盖 | |
| CN220393992U (zh) | 单晶炉 | |
| CN215983923U (zh) | 一种用于有色金属的新型熔炼设备 | |
| CN217979735U (zh) | 一种易拆装炉盖的立式电阻炉 | |
| CN220246329U (zh) | 热屏和半导体工艺设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |