CN220926926U - 一种沉积炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型适用于沉积炉技术领域，提供了一种沉积炉，包括上炉体，上炉体底部滑动配合有下炉体；上炉体外周侧面固定有若干梯形柱，若干梯形柱之间固定有定位环，其中两梯形柱底部均固定有U形滑框，定位环底部固定有支撑杆，支撑杆底部固定有底座，其中两底座相对两侧面均固定有L形挡板，L形挡板一侧固定有气缸；下炉体周侧面固定有对称的两滑块，滑块相对两侧面均固定有第一销轴，第一销轴周侧面转动配合有提拉臂，两提拉臂一侧靠近底部均转动配合有第二销轴，两第二销轴之间固定有推板，该沉积炉简化了下炉体与上炉体之间的传动过程，使得化学气体与待化学沉积物充分接触，提高了下炉体与上炉体闭合分离时的稳定性，增加了化学沉积效果。

Description

一种沉积炉

技术领域

本实用新型涉及沉积炉技术领域，更具体地说，它涉及一种沉积炉。

背景技术

在碳碳复合材料正常生产中，沉积炉是必不可少的设备，通过对铸锭炉自主改造创新、创造出碳碳复合材料专用的化学气相沉积炉,具有节能降耗、降低生产成本、提高沉积密度等优势。

目前，市场上的沉积炉在其使用的过程中多存在以下技术问题：

现有的沉积炉的下炉体与上炉体之间的传动过程过于繁琐，且多是通过体滚珠丝杠升降，或者电机及减速机构工作升降的方式进行，导致下炉体与上炉体闭合分离时的稳定性较差，且现有的沉积炉在通入的化学气体时，难以均匀且持续的与待化学沉积物充分接触，降低了化学沉积的效果。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种能够代替原有的下炉体滚珠丝杠升降，或者电机及减速机构工作升降，且该过程中简化了下炉体与上炉体之间的传动过程，提高了下炉体与上炉体闭合分离时的稳定性，且能够使得通入的化学气体均匀且持续的与置物板顶部的待化学沉积物充分接触，以此增加化学沉积效果的一种沉积炉。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种沉积炉,包括上炉体，所述上炉体底部滑动配合有下炉体；所述上炉体外周侧面固定有若干梯形柱，若干所述梯形柱之间固定有定位环，其中两所述梯形柱底部均固定有U形滑框，所述定位环底部固定有支撑杆，所述支撑杆底部固定有底座，其中两所述底座相对两侧面均固定有L形挡板，所述L形挡板一侧固定有气缸。

所述下炉体周侧面固定有对称的两滑块，所述滑块相对两侧面均固定有第一销轴，所述第一销轴周侧面转动配合有提拉臂，两所述提拉臂一侧靠近底部均转动配合有第二销轴，两所述第二销轴之间固定有推板，所述推板一侧固定有安装筒，所述安装筒与气缸伸缩端固定安装。

本实用新型进一步设置为：所述上炉体底部固定有第一贴合环，所述第一贴合环底部开设有密封槽。

所述下炉体顶部固定有第二贴合环，所述第二贴合环顶部固定有密封垫，所述密封垫与密封槽卡接配合。

本实用新型进一步设置为：所述上炉体外顶部贯穿连通有L形进气管，所述L形进气管一端位于上炉体内部连通有流通管，所述流通管一端连通有螺纹盘管，所述螺纹盘管周侧面连通有若干出气管。

本实用新型进一步设置为：所述下炉体内部固定有置物板，所述置物板顶部开设有若干透气孔。

本实用新型进一步设置为：所述下炉体外周侧面连通有若干出气管道，所述出气管道周侧面设置有泄气阀。

本实用新型进一步设置为：所述L形进气管另一端连通有储气箱，所述储气箱一侧连通有导气管。

本实用新型的优点是：

1、本实用新型通过提拉臂的相互收缩或扩张，可分别为两滑块提供一个向上或向下滑动的作用力，带动两滑块分别在两U形滑框内部向上或向下滑动，使得下炉体逐渐地与上炉体靠近或远离，以此代替原有的下炉体滚珠丝杠升降，或者电机及减速机构工作升降，且该过程中简化了下炉体与上炉体之间的传动过程，提高了下炉体与上炉体闭合分离时的稳定性。

2、本实用新型通过螺纹盘管及其周侧面所连通的若干出气管，可使得通入的化学气体能够均匀且持续的与置物板顶部的待化学沉积物充分接触，以此增加化学沉积效果。

附图说明

图1为本实用新型一种沉积炉的结构示意图。

图2为本实用新型上炉体的结构示意图。

图3为本实用新型上炉体的仰视图。

图4为本实用新型下炉体的结构示意图。

图中：1、上炉体；2、下炉体；3、梯形柱；4、定位环；5、U形滑框；6、支撑杆；7、底座；8、L形挡板；9、气缸；10、滑块；11、第一销轴；12、提拉臂；13、第二销轴；14、推板；15、安装筒；16、第一贴合环；17、密封槽；18、第二贴合环；19、密封垫；20、L形进气管；21、流通管；22、螺纹盘管；23、出气管；24、置物板；25、透气孔；26、出气管道；27、储气箱；28、导气管。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互结合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

需要指出的是，除非另有指明，本申请使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。

本实用新型中，在未作相反说明的情况下，使用的方位如“上、下”通常是针对附图所示的方向而言，或者是针对竖直、垂直或重力方向上而言的；同样地，为便于理解和描述，“左、右”通常是针对附图所示的左、右；“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内、外，但上述方位词并不用于限制本实用新型。

实施例一

请参阅图1-4，本实用新型提供以下技术方案：

具体地是指一种沉积炉,包括上炉体1，上炉体1底部滑动配合有下炉体2；上炉体1外周侧面固定有若干梯形柱3，若干梯形柱3之间固定有定位环4，其中两梯形柱3底部均固定有U形滑框5，定位环4底部固定有支撑杆6，支撑杆6底部固定有底座7，其中两底座7相对两侧面均固定有L形挡板8，L形挡板8一侧固定有气缸9；下炉体2周侧面固定有对称的两滑块10，滑块10相对两侧面均固定有第一销轴11，第一销轴11周侧面转动配合有提拉臂12，两提拉臂12一侧靠近底部均转动配合有第二销轴13，两第二销轴13之间固定有推板14，推板14一侧固定有安装筒15，安装筒15与气缸9伸缩端固定安装。

本实施列的具体应用为：化学沉积前可正向启动气缸9，带动气缸9伸缩端固定安装的安装筒15进行伸长，伸长的过程中，两推板14相互远离，以此带动转动配合在第一销轴11与第二销轴13之间的两组提拉臂12以一种相互扩张的状态进行移动，相互扩张的过程中，可分别为两滑块10提供一个向下滑动的作用力，以此带动两滑块10分别在两U形滑框5内部向下滑动，使得下炉体2逐渐地与上炉体1分离，随后，可将多个待化学沉积物放入上炉体1与下炉体2之间时，然后反向启动气缸9，带动气缸9伸缩端固定安装的安装筒15进行收缩，收缩的过程中，两推板14相互靠近，以此带动转动配合在第一销轴11与第二销轴13之间的两组提拉臂12以一种相互收缩的状态进行移动，相互收缩的过程中，可分别为两滑块10提供一个向上滑动的作用力，以此带动两滑块10分别在两U形滑框5内部向上滑动，使得下炉体2逐渐地与上炉体1靠近，以此代替原有的下炉体2滚珠丝杠升降，或者电机及减速机构工作升降，且该过程中简化了下炉体2与上炉体1之间的传动过程，提高了下炉体2与上炉体1闭合分离时的稳定性。

实施例二

请参阅图1-4，本实施例二在实施例一的基础上作如下改进，具体地,上炉体1底部固定有第一贴合环16，第一贴合环16底部开设有密封槽17；下炉体2顶部固定有第二贴合环18，第二贴合环18顶部固定有密封垫19，密封垫19与密封槽17卡接配合；上炉体1外顶部贯穿连通有L形进气管20，L形进气管20一端位于上炉体1内部连通有流通管21，流通管21一端连通有螺纹盘管22，螺纹盘管22周侧面连通有若干出气管23；下炉体2内部固定有置物板24，置物板24顶部开设有若干透气孔25；下炉体2外周侧面连通有若干出气管道26，出气管道26周侧面设置有泄气阀；L形进气管20另一端连通有储气箱27，储气箱27一侧连通有导气管28。

本实施例的一个具体应用为：上炉体1与下炉体2之间的靠近过程中，其第二贴合环18顶部所固定的密封垫19会最终与第一贴合环16底部所开设的密封槽17相互卡接配合，保证上炉体1与下炉体2之间的密封性，沉积炉使用的过程中，可通过储气箱27一侧所连通的导气管28通入化学气体，使得通入的化学气体依次经储气箱27、L形进气管20、流通管21、螺纹盘管22和出气管23进入上炉体1与下炉体2之间，以此对放置在置物板24顶部的待化学沉积物充分接触，通过螺纹盘管22及其周侧面所连通的若干出气管23，可使得通入的化学气体能够均匀且持续的与置物板24顶部的待化学沉积物充分接触，以此增加化学沉积效果。

显然，上述所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、工作、器件、组件和/或它们的组合。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施方式能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种沉积炉，包括上炉体(1)，所述上炉体(1)底部滑动配合有下炉体(2)；其特征在于：所述上炉体(1)外周侧面固定有若干梯形柱(3)，若干所述梯形柱(3)之间固定有定位环(4)，其中两所述梯形柱(3)底部均固定有U形滑框(5)，所述定位环(4)底部固定有支撑杆(6)，所述支撑杆(6)底部固定有底座(7)，其中两所述底座(7)相对两侧面均固定有L形挡板(8)，所述L形挡板(8)一侧固定有气缸(9)；

所述下炉体(2)周侧面固定有对称的两滑块(10)，所述滑块(10)相对两侧面均固定有第一销轴(11)，所述第一销轴(11)周侧面转动配合有提拉臂(12)，两所述提拉臂(12)一侧靠近底部均转动配合有第二销轴(13)，两所述第二销轴(13)之间固定有推板(14)，所述推板(14)一侧固定有安装筒(15)，所述安装筒(15)与气缸(9)伸缩端固定安装。

2.根据权利要求1所述的一种沉积炉，其特征在于：所述上炉体(1)底部固定有第一贴合环(16)，所述第一贴合环(16)底部开设有密封槽(17)；

所述下炉体(2)顶部固定有第二贴合环(18)，所述第二贴合环(18)顶部固定有密封垫(19)，所述密封垫(19)与密封槽(17)卡接配合。

3.根据权利要求1所述的一种沉积炉，其特征在于：所述上炉体(1)外顶部贯穿连通有L形进气管(20)，所述L形进气管(20)一端位于上炉体(1)内部连通有流通管(21)，所述流通管(21)一端连通有螺纹盘管(22)，所述螺纹盘管(22)周侧面连通有若干出气管(23)。

4.根据权利要求3所述的一种沉积炉，其特征在于：所述下炉体(2)内部固定有置物板(24)，所述置物板(24)顶部开设有若干透气孔(25)。

5.根据权利要求1所述的一种沉积炉，其特征在于：所述下炉体(2)外周侧面连通有若干出气管道(26)，所述出气管道(26)周侧面设置有泄气阀。

6.根据权利要求3所述的一种沉积炉，其特征在于：所述L形进气管(20)另一端连通有储气箱(27)，所述储气箱(27)一侧连通有导气管(28)。