CN220926924U - 一种硬碳膜沉积装置 - Google Patents
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- 230000008021 deposition Effects 0.000 title claims abstract description 103
- 229910021385 hard carbon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 53
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 49
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 13
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonia chloride Chemical compound [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 claims description 4
- AXCZMVOFGPJBDE-UHFFFAOYSA-L calcium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Ca+2] AXCZMVOFGPJBDE-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 4
- 239000000920 calcium hydroxide Substances 0.000 claims description 4
- 229910001861 calcium hydroxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 abstract description 16
- 241000883990 Flabellum Species 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种硬碳膜沉积装置，包括沉积反应罐，所述沉积反应罐上设置有进料口，所述进料口上设置有密封盖，所述进料口一侧设置有进料腔，所述沉积反应罐内部设置有第一温度传感器，所述第一温度传感器一侧设置有第二温度传感器，所述第二温度传感器一侧设置有第一控制器，所述第一控制器下方设置有加热板，所述加热板下方设置有沉积台，所述沉积台下方设置有转轴杆，所述沉积反应罐上设置有控制室，通过设置转轴杆与第二电机，沉积台通过转轴杆转动连接在第二电机，第二电机工作通过转轴杆带动沉积台以及沉积台上的硬碳膜原料进行转动，使得硬碳膜原料能够均匀加热或降温，保证硬碳膜沉积反应的正常进行。
Description
技术领域
本实用新型属于硬碳膜技术领域，具体涉及一种硬碳膜沉积装置。
背景技术
硬碳膜具有良好的红外透过性能，同时硬碳膜具有硬度高，抗摩擦磨损和抗腐蚀能力强的特点，特别适合用作部分硅和锗表面增透防护膜。
目前的硬碳膜一般通过沉积装置来进行制备，但是用于硬碳膜的沉积装置实用性一般，不能满足硬碳膜沉积时所需的各种不同条件，不方便进行使用。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种硬碳膜沉积装置，以解决上述背景技术中提出的目前的硬碳膜一般通过沉积装置来进行制备，但是用于硬碳膜的沉积装置实用性一般，不能满足硬碳膜沉积时所需的各种不同条件，不方便进行使用的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硬碳膜沉积装置，包括沉积反应罐，所述沉积反应罐上设置有进料口，所述进料口上设置有密封盖，所述进料口一侧设置有进料腔，所述沉积反应罐内部设置有第一温度传感器，所述第一温度传感器一侧设置有第二温度传感器，所述第二温度传感器一侧设置有第一控制器，所述第一控制器下方设置有加热板，所述加热板下方设置有沉积台，所述沉积台下方设置有转轴杆，所述沉积反应罐上设置有控制室，所述控制室内部设置有第一电机，所述第一电机上设置有扇叶，所述扇叶下方设置有蓄水盒，所述蓄水盒下方设置有出风口，所述第一电机一侧设置有第二控制器，所述沉积反应罐下方设置有底座，所述底座内部设置有第二电机。
本实用新型中，优选的，所述密封盖上设置有密封垫。
本实用新型中，优选的，所述进料腔呈倾斜状设置。
本实用新型中，优选的，所述第一温度传感器输出端连接有第一控制器，所述第一控制器输出端连接有加热板。
本实用新型中，优选的，所述第二温度传感器输出端连接有第二控制器，所述第二控制器输出端连接有第一电机。
本实用新型中，优选的，所述第一电机上设置有转轴，所述扇叶通过转轴转动连接在第一电机上。
本实用新型中，优选的，所述蓄水盒内部设置有水与氯化铵、氢氧化钙。
本实用新型中，优选的，所述沉积台通过转轴杆转动连接在第二电机。
与现有技术相比，本实用新型提供了一种硬碳膜沉积装置，具备以下有益效果：
1、本实用新型通过设置转轴杆与第二电机，沉积台通过转轴杆转动连接在第二电机，第二电机工作通过转轴杆能够带动沉积台进行转动，进而能够带动沉积台上的硬碳膜原料进行转动，使得硬碳膜原料能够均匀加热或降温，从而保证硬碳膜沉积反应的正常进行；
2、本实用新型通过设置第一温度传感器、第二温度传感器，第一温度传感器输出端连接有第一控制器，第一控制器输出端连接有加热板，第二温度传感器输出端连接有第二控制器，第二控制器输出端连接有第一电机，先对第一温度传感器、第二温度传感器设置硬碳膜沉积反应所需要的温度，第一温度传感器、第二温度传感器分别对沉积反应罐内部的温度检测输送至第一控制器、第二控制器，当温度低于第一温度传感器设定的温度，第一控制器控制加热板启动，使得加热板能够对沉积反应罐内部进行加热，当温度高于第二温度传感器设定的温度，第二控制器控制第一电机启动通过转轴带动扇叶转动对沉积反应罐内部进行降温处理，从而保证硬碳膜沉积反应的正常进行；
3、本实用新型通过设置进料腔，进料腔呈倾斜状设置，将硬碳膜原料通过进料口通过进料腔进入到沉积反应罐内部的沉积台上，倾斜状设置的进料腔能够保证下料速度，避免硬碳膜原料堆积在进料腔上，同时在密封盖上设置密封垫，通过密封垫使得密封盖能够对进料口进行密封，保证硬碳膜沉积反应的正常进行。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制，在附图中：
图1为本实用新型提出的一种硬碳膜沉积装置的结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种硬碳膜沉积装置中沉积反应罐与底座内部的结构示意图；
图3为本实用新型提出的一种硬碳膜沉积装置中沉积反应罐与进料腔、沉积台的结构示意图；
图4为本实用新型提出的一种硬碳膜沉积装置中控制室内部的结构示意图；
图中：1、沉积反应罐；2、进料口；3、密封盖；4、进料腔；5、第一温度传感器；6、第二温度传感器；7、第一控制器；8、加热板；9、沉积台；10、转轴杆；11、控制室；12、第一电机；13、扇叶；14、蓄水盒；15、出风口；16、第二控制器；17、底座；18、第二电机。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种硬碳膜沉积装置，包括沉积反应罐1，沉积反应罐1上设置有进料口2，进料口2上设置有密封盖3，进料口2一侧设置有进料腔4，沉积反应罐1内部设置有第一温度传感器5，第一温度传感器5一侧设置有第二温度传感器6，第二温度传感器6一侧设置有第一控制器7，第一控制器7下方设置有加热板8，加热板8下方设置有沉积台9，沉积台9下方设置有转轴杆10，沉积反应罐1上设置有控制室11，控制室11内部设置有第一电机12，第一电机12上设置有扇叶13，扇叶13下方设置有蓄水盒14，蓄水盒14下方设置有出风口15，第一电机12一侧设置有第二控制器16，沉积反应罐1下方设置有底座17，底座17内部设置有第二电机18，通过设置转轴杆10与第二电机18，沉积台9通过转轴杆10转动连接在第二电机18，第二电机18工作通过转轴杆10能够带动沉积台9进行转动，进而能够带动沉积台9上的硬碳膜原料进行转动，使得硬碳膜原料能够加热或降温均匀。
本实用新型中，优选的，密封盖3上设置有密封垫，通过密封垫使得密封盖3能够对进料口2进行密封，保证硬碳膜沉积反应的正常进行。
本实用新型中，优选的，进料腔4呈倾斜状设置，将硬碳膜原料通过进料口2通过进料腔4进入到沉积反应罐1内部的沉积台9上，倾斜状设置的进料腔4能够保证下料速度，避免硬碳膜原料堆积在进料腔4上。
本实用新型中，优选的，第一温度传感器5输出端连接有第一控制器7，第一控制器7输出端连接有加热板8，先对第一温度传感器5设置硬碳膜沉积反应所需要的温度，第一温度传感器5对沉积反应罐1内部的温度检测输送至第一控制器7，当温度低于第一温度传感器5设定的温度，第一控制器7控制加热板8启动，使得加热板8能够对沉积反应罐1内部进行加热，保证硬碳膜沉积反应的正常进行。
本实用新型中，优选的，第二温度传感器6输出端连接有第二控制器16，第二控制器16输出端连接有第一电机12，先对第二温度传感器6设置硬碳膜沉积反应所需要的温度，第二温度传感器6将沉积反应罐1内部的温度检测输送至第二控制器16，当温度高于第二温度传感器6设定的温度，第二控制器16控制第一电机12启动通过转轴带动扇叶13转动对沉积反应罐1内部进行降温处理，从而保证硬碳膜沉积反应的正常进行。
本实用新型中，优选的，第一电机12上设置有转轴，扇叶13通过转轴转动连接在第一电机12上，第一电机12启动通过转轴能够带动扇叶13转动对沉积反应罐1内部进行降温操作。
本实用新型中，优选的，蓄水盒14内部设置有水与氯化铵、氢氧化钙，水与氯化铵、氢氧化钙混合后能够吸收大量热量，能够对扇叶13转动产生的风进行降温，能够快速对沉积反应罐1内部进行降温操作。
本实用新型中，优选的，沉积台9通过转轴杆10转动连接在第二电机18，第二电机18工作通过转轴杆10能够带动沉积台9进行转动，进而能够带动沉积台9上的硬碳膜原料进行转动，使得硬碳膜原料能够加热或降温均匀。
本实用新型的工作原理及使用流程：使用时，先将硬碳膜原料通过进料口2通过进料腔4进入到沉积反应罐1内部的沉积台9上，对第一温度传感器5、第二温度传感器6设置硬碳膜沉积反应所需要的温度，第一温度传感器5、第二温度传感器6分别对沉积反应罐1内部的温度检测输送至第一控制器7、第二控制器16，当温度低于第一温度传感器5设定的温度，第一控制器7控制加热板8启动，使得加热板8能够对沉积反应罐1内部进行加热，当温度高于第二温度传感器6设定的温度，第二控制器16控制第一电机12启动通过转轴带动扇叶13转动对沉积反应罐1内部进行降温处理，同时启动第二电机18工作通过转轴杆10能够带动沉积台9进行转动，进而能够带动沉积台9上的硬碳膜原料进行转动，使得硬碳膜原料能够加热或降温均匀，从而保证硬碳膜沉积反应的正常进行。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (8)
1.一种硬碳膜沉积装置，包括沉积反应罐(1)，其特征在于：所述沉积反应罐(1)上设置有进料口(2)，所述进料口(2)上设置有密封盖(3)，所述进料口(2)一侧设置有进料腔(4)，所述沉积反应罐(1)内部设置有第一温度传感器(5)，所述第一温度传感器(5)一侧设置有第二温度传感器(6)，所述第二温度传感器(6)一侧设置有第一控制器(7)，所述第一控制器(7)下方设置有加热板(8)，所述加热板(8)下方设置有沉积台(9)，所述沉积台(9)下方设置有转轴杆(10)，所述沉积反应罐(1)上设置有控制室(11)，所述控制室(11)内部设置有第一电机(12)，所述第一电机(12)上设置有扇叶(13)，所述扇叶(13)下方设置有蓄水盒(14)，所述蓄水盒(14)下方设置有出风口(15)，所述第一电机(12)一侧设置有第二控制器(16)，所述沉积反应罐(1)下方设置有底座(17)，所述底座(17)内部设置有第二电机(18)。
2.根据权利要求1所述的一种硬碳膜沉积装置，其特征在于：所述密封盖(3)上设置有密封垫。
3.根据权利要求1所述的一种硬碳膜沉积装置，其特征在于：所述进料腔(4)呈倾斜状设置。
4.根据权利要求1所述的一种硬碳膜沉积装置，其特征在于：所述第一温度传感器(5)输出端连接有第一控制器(7)，所述第一控制器(7)输出端连接有加热板(8)。
5.根据权利要求1所述的一种硬碳膜沉积装置，其特征在于：所述第二温度传感器(6)输出端连接有第二控制器(16)，所述第二控制器(16)输出端连接有第一电机(12)。
6.根据权利要求1所述的一种硬碳膜沉积装置，其特征在于：所述第一电机(12)上设置有转轴，所述扇叶(13)通过转轴转动连接在第一电机(12)上。
7.根据权利要求1所述的一种硬碳膜沉积装置，其特征在于：所述蓄水盒(14)内部设置有水与氯化铵、氢氧化钙。
8.根据权利要求1所述的一种硬碳膜沉积装置，其特征在于：所述沉积台(9)通过转轴杆(10)转动连接在第二电机(18)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322967448.8U CN220926924U (zh) | 2023-11-03 | 2023-11-03 | 一种硬碳膜沉积装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322967448.8U CN220926924U (zh) | 2023-11-03 | 2023-11-03 | 一种硬碳膜沉积装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN220926924U true CN220926924U (zh) | 2024-05-10 |
Family
ID=90969293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202322967448.8U Active CN220926924U (zh) | 2023-11-03 | 2023-11-03 | 一种硬碳膜沉积装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN220926924U (zh) |
-
2023
- 2023-11-03 CN CN202322967448.8U patent/CN220926924U/zh active Active
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| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |