CN220914177U - 一种晶圆贴盖板夹具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆贴盖板夹具，包括：底座安装有支臂；下吸盘安装于所述底座上；上吸盘通过竖向导向组件定位放置于所述下吸盘顶部时，上吸盘底部的吸附面与所述下吸盘顶部的吸附面上下保持间隙且相互平行；压紧组件设于所述上吸盘上方并与所述支臂连接，用于驱使所述上吸盘进行向下压紧动作；采用上述技术方案，由于上吸盘底部的吸附面与下吸盘顶部的吸附面上下平行设置，当盖板贴合到晶圆上可以确保盖板与晶圆相对平行，确保两者之间的胶层厚度均匀，提升良品率，简化操作步骤，操作更简单，并能提升生产效率，实用性较好。
Description
技术领域
本实用新型涉及光通芯片制造用夹具相关技术领域，特别涉及一种晶圆贴盖板夹具。
背景技术
现有的晶圆(芯片)贴盖板(玻璃板)工艺是：在晶圆上点胶(刷胶)，之后将盖板贴合到晶圆上并进行第一次加压，之后旋转22.5°进行第二次加压，最后回转角度后继续加压来保证胶水厚度分布的均匀性，之后避光静置，然后固化，操作繁琐，耗时长且同一晶圆Bar条的胶层厚度也无法保证相对均匀，导致良品率低、生产效率低。
实用新型内容
为了克服现有的技术缺陷，解决现有晶圆贴盖板工艺存在操作繁琐、容易发生胶层分布不均匀、良品率低、生产效率低的技术问题，本实用新型的目的在于提供一种晶圆贴盖板夹具以解决上述技术问题。
本实用新型解决技术问题所采用的技术方案如下：
根据本实用新型的一个方面，设计出一种晶圆贴盖板夹具，包括：
底座，安装有支臂；
下吸盘，安装于所述底座上；
上吸盘，通过竖向导向组件定位放置于所述下吸盘顶部时，上吸盘底部的吸附面与所述下吸盘顶部的吸附面上下保持间隙且相互平行；
压紧组件，设于所述上吸盘上方并与所述支臂连接，用于驱使所述上吸盘进行向下压紧动作。
采用上述技术方案，通过下吸盘顶部的吸附面用于吸附固定晶圆，通过上吸盘底部的吸附面用于吸附固定盖板，当吸附固定的晶圆上点胶后，将上吸盘通过竖向导向组件定位放置于下吸盘顶部，由于上吸盘底部的吸附面与下吸盘顶部的吸附面上下平行设置，当盖板贴合到晶圆上可以确保盖板与晶圆相对平行，确保两者之间的胶层厚度均匀，通过压紧组件驱使上吸盘下压进行压紧动作，实现对盖板与晶圆之间胶层有效控制，之后进行避光静置、固化，相对与现有晶圆贴盖板而言，通过本夹具可以确保盖板与晶圆之间的胶层厚度均匀，提升良品率，简化操作步骤，操作更简单，并能提升生产效率，实用性较好。
为了更好的解决上述技术缺陷，本实用新型还具有更佳的技术方案：
在一些实施方式中，还包括压块，所述压块用于放置于所述上吸盘上方中部，所述压紧组件用于驱使压块下压联动上吸盘进行压紧动作。由此，通过压块可以使上吸盘均匀受力进行下压盖板，有效确保盖板与晶圆相对平行以及之间的胶层厚度均匀。
在一些实施方式中，所述上吸盘左右端分别固接有拉手。由此方便手动取下上吸盘。
在一些实施方式中，所述竖向导向组件设有至少两个，竖向导向组件包括直线轴承和定位销，所述直线轴承与定位销之一固接于下吸盘上，另一固接于上吸盘上。
在一些实施方式中，所述支臂包括固定臂、活动臂、插销，所述固定臂与所述底座固接，所述活动臂与所述固定臂铰接，活动臂上设有插孔，固定臂上设有可插入所述插孔的插块，所述插销穿过活动臂的通孔与插块上通孔配合可锁止活动臂翻转。当需要将上吸盘放置于下吸盘上时或者将其从下吸盘上取下时，转动压紧组件上的旋钮使压头松开抵压后拔出插销后，然后将活动臂连接压紧组件的一端翻转到固定臂后侧，方便上吸盘的取放，若固定臂与活动臂一体固定结构，需要花费较多时间转动压紧组件上的旋钮使压头上升一定高度后才能取下上吸盘，比较麻烦、费时；当插销穿过活动臂的通孔与插块上通孔配合可锁止活动臂翻转，然后通过压紧组件可以下压上吸盘。
在一些实施方式中，所述压紧组件包括：螺杆、旋钮、压头、弹簧，所述螺杆与所述活动臂上螺纹孔螺纹配合，所述旋钮固接于所述螺杆上端，所述压头顶部具有连接杆，所述连接杆与所述螺杆上的通孔上下活动配合，所述弹簧套设于所述连接杆上，且弹簧上端与螺杆底部弹性抵接，下端与压头弹性抵接。当上吸盘置于下吸盘顶部后，顺时针转动旋钮可带动螺杆旋转下移，并带动压头下移，压头下移与压块接触后，继续转动旋钮带动螺杆旋转下移可使弹簧压缩，弹簧压缩从而增大压头对压块的抵压力度，通过抵压力度控制可实现对胶层有效控制。
在一些实施方式中，所述螺杆下端设有上圆台，所述压头上端设有下圆台，所述上圆台底部与下圆台顶部分别设有弹簧槽，所述弹簧上下端对应插入两个所述弹簧槽内。
在一些实施方式中，所述压块顶部中部设有半球形的凹槽，所述压紧组件的压头下端呈半球形结构，并用于与所述凹槽配合。
在一些实施方式中，所述下吸盘上设有第一吸孔、以第一吸孔为中心分布的多个不同直径的环形吸槽、连接第一吸孔与多个环形吸槽的多个连接吸槽，所述第一吸孔另一端延伸到下吸盘的右端并连接有真空接头。
在一些实施方式中，所述上吸盘上设有第二吸孔、以第二吸孔为中心呈辐射状分布并与第二吸孔连通的条状吸槽，所述第二吸孔另一端延伸到上吸盘的右端并连接有真空接头。
附图说明
图1为本实用新型提供的一种实施方式的晶圆贴盖板夹具的结构示意图；
图2为晶圆贴盖板夹具上活动臂翻转90°的状态结构示意图；
图3为晶圆贴盖板夹具上隐藏上吸盘后的状态结构示意图；
图4为晶圆贴盖板夹具的上吸盘结构示意图；
图5为晶圆贴盖板夹具的压紧组件剖面结构示意图；
附图标记：
1、底座；2、下吸盘；21、第一吸孔；22、环形吸槽；23、连接吸槽；3、上吸盘；31、第二吸孔；32、条状吸槽；33、拉手；4、压紧组件；41、螺杆；411、上圆台；42、旋钮；43、压头；431、连接杆；432、下圆台；44、弹簧；5、压块；50、凹槽；6、支臂；61、固定臂；610、插块；62、活动臂；620、插孔；63、插销；7、真空接头；81、直线轴承；82、定位销。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。
参考图1至图5所示，本实用新型提供的一种晶圆贴盖板夹具，包括：底座1、下吸盘2、上吸盘3、压紧组件4、压块5。
底座1上安装有支臂6，支臂6包括固定臂61、活动臂62、插销63，固定臂61与底座1固接，活动臂62后端与固定臂61顶部通过常规的铰接轴铰接或者通过阻尼转轴铰接，活动臂62能够以铰接位置进行前后翻转，活动臂62上设有插孔620，固定臂61上设有插块610，翻转活动臂62使插孔620与插块610配合后，插销63穿过活动臂62的通孔与插块610上通孔配合可锁止活动臂62翻转。
下吸盘2安装于底座1上，下吸盘2顶部具有吸附面，用于吸附固定晶圆，下吸盘2的吸附面上设有第一吸孔21、以第一吸孔21为中心分布的多个不同直径的环形吸槽22、连接第一吸孔21与多个环形吸槽22的多个连接吸槽23，第一吸孔21另一端延伸到下吸盘2的右端并连接有真空接头7，其中，下吸盘2的吸附面中部设有的第一凹槽，第一吸孔21位于第一凹槽内，连接吸槽23与第一凹槽连通，并通过第一凹槽与第一吸孔21连通。
上吸盘3通过两个或三个或四个或更多个竖向导向组件定位放置于下吸盘2顶部，本实施例优选上吸盘3通过四个竖向导向组件定位放置于下吸盘2顶部；竖向导向组件包括直线轴承81和定位销82，直线轴承81与定位销82之一固接于下吸盘2上，另一固接于上吸盘3上，本实施例优选直线轴承81固接于上吸盘3上的安装通孔内，定位销82固接于下吸盘2上。
上吸盘3底部具有吸附面，用于吸附固定盖板，上吸盘3的吸附面上设有第二吸孔31、以第二吸孔31为中心呈辐射状分布并与第二吸孔31连通的条状吸槽32，第二吸孔31另一端延伸到上吸盘3的右端并连接有真空接头7，其中，上吸盘3的吸附面中部设有的第二凹槽，第二吸孔31位于第二凹槽内，条状吸槽32与第二凹槽连通，并通过第二凹槽与第二吸孔31连通。
上吸盘3左右端分别固接有拉手33。
上吸盘3通过四个竖向导向组件定位放置于下吸盘2顶部时，上吸盘3底部的吸附面与下吸盘2顶部的吸附面上下对应设置，并且两吸附面之间保持间隙并相互平行，其中，间隙大小为晶圆厚度、盖板厚度与设定的晶圆与盖板之间胶层厚度之和。
压块5用于放置于上吸盘3上方中部。
压紧组件4设于上吸盘3上方并与支臂6连接，压紧组件4用于驱使压块5下压联动上吸盘3进行压紧动作。压紧组件4包括：螺杆41、旋钮42、压头43、弹簧44，螺杆41与活动臂62上螺纹孔螺纹配合，旋钮42固接于螺杆41上端，压头43顶部具有连接杆431，连接杆431与螺杆41上的通孔上下活动配合，连接杆431上端穿设到螺杆41上方并连接有卡环，弹簧44套设于连接杆431上，且弹簧44上端与螺杆41底部弹性抵接，下端与压头43弹性抵接，进一步，螺杆41下端设有上圆台411，压头43上端设有下圆台432，上圆台411底部与下圆台432顶部分别设有弹簧槽，弹簧44上下端对应插入两个弹簧槽内。
压块5顶部中部设有半球形的凹槽50，压头43下端呈半球形结构，当压头43下移可与凹槽50配合进行向下压紧动作。
以上所述的仅是本实用新型的一些实施方式，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。
Claims (10)
1.一种晶圆贴盖板夹具，其特征在于，包括：
底座，安装有支臂；
下吸盘，安装于所述底座上；
上吸盘，通过竖向导向组件定位放置于所述下吸盘顶部时，上吸盘底部的吸附面与所述下吸盘顶部的吸附面上下保持间隙且相互平行；
压紧组件，设于所述上吸盘上方并与所述支臂连接，用于驱使所述上吸盘进行向下压紧动作。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆贴盖板夹具，其特征在于，还包括压块，所述压块用于放置于所述上吸盘上方中部，所述压紧组件用于驱使压块下压联动上吸盘进行压紧动作。
3.根据权利要求1或2所述的一种晶圆贴盖板夹具，其特征在于，所述上吸盘左右端分别固接有拉手。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆贴盖板夹具，其特征在于，所述竖向导向组件设有至少两个，竖向导向组件包括直线轴承和定位销，所述直线轴承与定位销之一固接于下吸盘上，另一固接于上吸盘上。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆贴盖板夹具，其特征在于，所述支臂包括固定臂、活动臂、插销，所述固定臂与所述底座固接，所述活动臂与所述固定臂铰接，活动臂上设有插孔，固定臂上设有可插入所述插孔的插块，所述插销穿过活动臂的通孔与插块上通孔配合可锁止活动臂翻转。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆贴盖板夹具，其特征在于，所述压紧组件包括：螺杆、旋钮、压头、弹簧，所述螺杆与所述活动臂上螺纹孔螺纹配合，所述旋钮固接于所述螺杆上端，所述压头顶部具有连接杆，所述连接杆与所述螺杆上的通孔上下活动配合，所述弹簧套设于所述连接杆上，且弹簧上端与螺杆底部弹性抵接，下端与压头弹性抵接。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆贴盖板夹具，其特征在于，所述螺杆下端设有上圆台，所述压头上端设有下圆台，所述上圆台底部与下圆台顶部分别设有弹簧槽，所述弹簧上下端对应插入两个所述弹簧槽内。
8.根据权利要求2所述的一种晶圆贴盖板夹具，其特征在于，所述压块顶部中部设有半球形的凹槽，所述压紧组件的压头下端呈半球形结构，并用于与所述凹槽配合。
9.根据权利要求1所述的一种晶圆贴盖板夹具，其特征在于，所述下吸盘上设有第一吸孔、以第一吸孔为中心分布的多个不同直径的环形吸槽、连接第一吸孔与多个环形吸槽的多个连接吸槽，所述第一吸孔另一端延伸到下吸盘的右端并连接有真空接头。
10.根据权利要求1所述的一种晶圆贴盖板夹具，其特征在于，所述上吸盘上设有第二吸孔、以第二吸孔为中心呈辐射状分布并与第二吸孔连通的条状吸槽，所述第二吸孔另一端延伸到上吸盘的右端并连接有真空接头。
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