CN220856120U - 一种存储芯片测试用的测试载具 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种存储芯片测试用的测试载具，包括：基座；测试板，安装在所述基座的一平面，所述测试板上具有若干用于放置且连接待测试芯片的测试夹具，以及将若干所述测试夹具连接的测试电路；连接件，安装在所述基座上与所述测试板相对的一侧，所述连接件一侧与所述测试电路连接，另一侧则用于连接外部电源的正负两极。本实用新型通过将若干测试夹具均安装在同一测试板上，经过测试板上的测试电路连接，在测试夹具上均放置有待测试芯片后，放入高温测试设备，同时通过将连接件连接电源，对测试板进行供电，达到可同时对多个芯片进行高温测试的目的，提高对于芯片高温测试的测试效率，以及有效的降低了其测试的成本。

Description

一种存储芯片测试用的测试载具

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体涉及一种存储芯片测试用的测试载具。

背景技术

在存储芯片制造的过程中，采用晶圆经过曝光、蚀刻、切割、封装后形成存储芯片，但存储芯片的性能还需经过产品可靠性测试来判断其性能的好坏，在芯片被制造后，往往需要在老化测试装置中完成老化测试工艺。老化测试就是在高温下，一般来说为85℃及以上，长时间用高于操作电源电压的高电压加到芯片的信号引脚上，使芯片内部每个单元承受过度的负荷，加速芯片运行过程，迫使故障在更短的时间内出现。为了避免芯片测试时的反复焊接，需要根据芯片的封装类型专门设计测试插座和专用的老化测试基板，并将测试座安装在测试基板上进行生产测试。

目前，半导体厂商大部分所使用的老化测试基板一般设置有单个用于连接芯片的插座，与对应的芯片电性连接，进而对插座上的芯片进行测试。但是，该测试基板结构，只能对单个芯片进行高温老化，测试效率低下。

有鉴于此，确有必要提供一种解决上述问题的技术方案。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：提供一种存储芯片测试用的测试载具，来解决上述测试基板存在测试效率较低的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种存储芯片测试用的测试载具，包括：

基座；

测试板，安装在所述基座的一平面，所述测试板上具有若干用于放置且连接待测试芯片的测试夹具，以及将若干所述测试夹具连接的测试电路；

连接件，安装在所述基座上与所述测试板相对的一侧，所述连接件一侧与所述测试电路连接，另一侧则用于连接外部电源的正负两极。

作为所述存储芯片测试用的测试载具的一种改进，所述连接件包括导电柱，所述导电柱具有至少两个，分别作为正极端和负极端，所述导电柱均连接有金属条，所述金属条上均具有多个连接部，所述连接部均穿过所述基座与所述测试板上的相应位置电性连接，用于对所述测试板供电。

作为所述存储芯片测试用的测试载具的一种改进，所述导电柱和所述金属条的材质均为铜。

作为所述存储芯片测试用的测试载具的一种改进，若干所述测试夹具间隔均匀设置形成为多组，且每组的所述测试夹具均呈直线分布，所述测试电路将多组所述测试夹具串联。

作为所述存储芯片测试用的测试载具的一种改进，其中一个所述测试夹具包括：

测试座，具有一用于放置待测试芯片的容置槽；

盖板，可转动的安装在所述测试座上，可通过拨动所述盖板朝不同方向转动将所述容置槽关闭以及打开；

转接探针，具有若干个，均设置在测试座上，一端凸出所述容置槽内与所述待测试芯片的相应脚位连接，另一端与所述测试板的所述测试电路连接。

作为所述存储芯片测试用的测试载具的一种改进，所述基座与所述测试板为可拆卸连接。

作为所述存储芯片测试用的测试载具的一种改进，所述基座一平面的相对两侧均设置有用于支撑的滑轮，所述滑轮均位于所述测试板相对的一侧。

作为所述存储芯片测试用的测试载具的一种改进，所述基座平面中一侧的所述滑轮设置有至少两个，且间隔设置。

作为所述存储芯片测试用的测试载具的一种改进，所述滑轮的材质为金属。

相比于现有技术，本实用新型的有益效果在于：

1)本实用新型通过将若干测试夹具均安装在同一测试板上，经过测试板上的测试电路连接，在测试夹具上均放置有待测试芯片后，放入高温测试设备，同时通过将连接件连接电源，对测试板进行供电，达到可同时对多个芯片进行高温测试的目的，提高对于芯片高温测试的测试效率，以及有效的降低了其测试的成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型提供的一种存储芯片测试用的测试载具的立体结构示意图之一。

图2为本实用新型提供的一种存储芯片测试用的测试载具的立体结构示意图之二。

图3为本实用新型提供的一种存储芯片测试用的测试载具的仰视图。

图4为本实用新型提供的一种存储芯片测试用的测试载具的剖视图。

图5为本实用新型提供的一种存储芯片测试用的测试载具的测试夹具打开状态的立体结构示意图。

图6为高温测试设备的结构示意图。

图中：1-基座，2-测试板，3-测试夹具，31-测试座，32-容置槽，33-盖板，34-转接探针，4-连接件，41-导电柱，42-金属条，43-连接部，5-滑轮，6-高温测试设备，61-高温炉，62-测试腔，63-正极通电部，64-负极通电部，65-支撑条。

具体实施方式

为使本实用新型的技术方案和优点更加清楚，下面将结合具体实施方式和说明书附图，对本实用新型及其有益效果作进一步详细的描述，但本实用新型的实施方式不限于此。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。

如图1至图5所示，一种存储芯片测试用的测试载具，包括基座1、测试板2和连接件4，测试板2安装在基座1的一平面，测试板2上具有若干用于放置且连接待测试芯片的测试夹具3，以及将若干测试夹具3连接的测试电路；连接件4安装在基座1上与测试板2相对的一侧，连接件4一侧与测试电路连接，另一侧则用于连接外部电源的正负两极。具体的，基座1为绝缘材质，上端面为正面，下端面为背面，测试板2嵌入式的安装在基座1的正面，连接件4安装在基座1的背面，测试板2通过自身的测试电路连接若干测试夹具3，测试板2通过连接件4与外部电源连通。需要对芯片进行测试时，首先将待测试芯片放置在测试夹具3上的连接位置，使得通过测试夹具3的转接将待测试芯片的脚位与测试板2的相应位置连接，测试板2上所有测试夹具3上均放置待测试芯片之后，将本测试载具放入高温测试设备6中，高温测试设备6可以为高温炉61，随后启动高温测试设备6，高温测试设备6通过连接件4与测试板2电性连接，完成供电，然后高温测试设备6内部开始加热升温，测试板2开始通过测试电路检测待测试芯片在高温下运行状态的数据变化，该测试数据结果则记录在芯片中，测试完，将本测试载具从高温测试设备6中取出后，再获取芯片中的测试数据结果，通过计算机设备软件根据该测试数据结果进行分选。本实用新型通过将若干测试夹具3均安装在同一测试板2上，经过测试板2上的测试电路连接，在测试夹具3上均放置有待测试芯片后，放入高温测试设备6，同时通过将连接件4连接电源，对测试板2进行供电，达到可同时对多个芯片进行高温测试的目的，提高对于芯片高温测试的测试效率，以及有效的降低了其测试的成本。

在一些实施例中，连接件4包括导电柱41，导电柱41具有至少两个，分别作为正极端和负极端，导电柱41均连接有金属条42，金属条42上均具有多个连接部43，连接部43均穿过基座1与测试板2上的相应位置电性连接，用于对测试板2供电。具体的，两个导电柱41分别为正极导电柱41和负极导电柱41，导电柱41均凸出于基座1的后侧边缘，用于连接外部电源的正负两极，导电柱41均通过金属条42以及金属条42上的连接部43，与测试板2相应极性的连接端连接，以此完成对测试板2的供电，使得测试电路运作同时对高温下的若干芯片进行测试。

在一些实施例中，导电柱41和金属条42的材质均为铜。具体的，基座1为木质材料，对测试板2进行绝缘，避免在高温测试过程中，测试板2上的电流向外传递；使用高导电性能的铜制作导电柱41以及金属条42，将测试板2和外部电源连接，保证高温测试过程中，测试板2供电的稳定性。

在一些实施例中，若干测试夹具3间隔均匀设置形成为多组，且每组的测试夹具3均呈直线分布，测试电路将多组测试夹具3串联。具体的，测试夹具3共有64个，且8个测试夹具3为一组，间隔均匀呈横向直线分布，分为8组，8组测试夹具3呈八条直线纵向间隔设置，每组测试夹具3均通过测试电路连接，金属条42上的连接部43具有8个，分布与八组测试夹具3的测试电路连接。在提高芯片高温测试效率的同时，保证若干测试夹具3的模块化整齐分布，便于测试电路与测试夹具3之间的连接。

在一些实施例中，其中一个测试夹具3包括测试座31、盖板33和转接探针34，测试座31具有一用于放置待测试芯片的容置槽32；盖板33可转动的安装在测试座31上，可通过拨动盖板33朝不同方向转动将容置槽32关闭以及打开；转接探针34具有若干个，均设置在测试座31上，一端凸出容置槽32内与待测试芯片的相应脚位连接，另一端与测试板2的测试电路连接。具体的，测试座31安装在测试板2上，盖板33转动式安装在测试座31顶部，通过旋转盖板33将容置槽32打开或者关闭；在测试过程中，先将待测试芯片放置在测试座31的容置槽32内，并使待测试芯片的脚位与相应的转接探针34连接，完成待测试芯片与测试板2上测试电路的连通，然后转动盖板33将容置槽32关闭，且盖板33与容置槽32内的芯片抵接，进行限位，防止芯片在高温测试的过程中发生偏移，进而影响测试效果。

在一些实施例中，基座1与测试板2为可拆卸连接。具体的，将基座1和测试板2之间采用螺钉固定连接的方式可拆卸连接，在需要对测试板2上的电路进行维修或者对测试板2进行更换时，将测试板2拆卸即可，更便于维修以及更换工作。

在一些实施例中，基座1一平面的相对两侧均设置有用于支撑的滑轮5，滑轮5均位于测试板2相对的一侧。具体的，通过滑轮5移动或者移出至高温测试设备6内部，减少移动摩擦力，更便于本测试载具在高温测试过程中的取放操作，达到省力的目的。

在一些实施例中，基座1平面中一侧的滑轮5设置有至少两个，且间隔设置。具体的，滑轮5的数量为8个，分别间隔均匀的设置在基座1背面的左右两侧，一侧的滑轮5数量为4个。

在一些实施例中，滑轮5的材质为金属。具体的，将滑轮5设置为金属材质，提高耐用性，不易损坏，同时也提高本测试载具的使用寿命以及质量。

如图6所示，在一些实施例中，一种高温测试设备6，用于配合本测试载具使用，包括高温炉61，高温炉61具有测试腔62，测试腔62左右两侧均自上而下，间隔均匀的设置有支撑条65，两侧支撑条65对称设置，形成多层用于放置本测试载具的存放层，形成单个存放层的两侧支撑条65位于同一水平高度，本测试载具通过两侧的滑轮5与两侧的支撑条65接触进行支撑，进而放置在测试腔62内，测试腔62后壁与多层存放层相应的高度位置均设置有正极通电部63和负极通电部64，用于与相应存放层上的连接件4抵接配合，进而对测试板2进行供电。需要对芯片进行高温测试时，首先在每个存放层均放置有装满待测试芯片的测试载具，虽然高温测试设备6启动，对测试腔62进行加温，以及对测试载具进行供电，测试载具通电后对高温下的芯片进行测试，该测试数据结果则记录在芯片中，测试完，将本测试载具从高温测试设备6中取出后，再获取芯片中的测试数据结果，通过计算机设备软件根据该测试数据结果进行分选。通过该高温测试设备6，实现单次可放置多个测试载具同时进行高温测试，进一步的提高芯片的测试效率。具体的，高温炉61上转动式设置有旋转门，旋转门位于测试腔62开口一侧，通过转动旋转门将测试腔62关闭或者开启，且旋转门将测试腔62关闭后，与各个存放层的测试载具抵接挤压，使得测试载具上的连接件4均与相应的正负极通电部64紧密连接，同时也起到一定的限位作用。

根据上述说明书的揭示和教导，本实用新型所属领域的技术人员还能够对上述实施方式进行变更和修改。因此，本实用新型并不局限于上述的具体实施方式，凡是本领域技术人员在本实用新型的基础上所作出的任何显而易见的改进、替换或变型均属于本实用新型的保护范围。此外，尽管本说明书中使用了一些特定的术语，但这些术语只是为了方便说明，并不对本实用新型构成任何限制。

Claims (8)

1.一种存储芯片测试用的测试载具，其特征在于，包括：

基座；

测试板，安装在所述基座的一平面，所述测试板上具有若干用于放置且连接待测试芯片的测试夹具，以及将若干所述测试夹具连接的测试电路；

连接件，安装在所述基座上与所述测试板相对的一侧，所述连接件一侧与所述测试电路连接，另一侧则用于连接外部电源的正负两极；

基座为木质材料；

其中一个所述测试夹具包括：

测试座，具有一用于放置待测试芯片的容置槽；

盖板，可转动的安装在所述测试座上，可通过拨动所述盖板朝不同方向转动将所述容置槽关闭以及打开；

转接探针，具有若干个，均设置在测试座上，一端凸出所述容置槽内与所述待测试芯片的相应脚位连接，另一端与所述测试板的所述测试电路连接。

2.根据权利要求1所述的一种存储芯片测试用的测试载具，其特征在于，所述连接件包括导电柱，所述导电柱具有至少两个，分别作为正极端和负极端，所述导电柱均连接有金属条，所述金属条上均具有多个连接部，所述连接部均穿过所述基座与所述测试板上的相应位置电性连接，用于对所述测试板供电。

3.根据权利要求2所述的一种存储芯片测试用的测试载具，其特征在于，所述导电柱和所述金属条的材质均为铜。

4.根据权利要求1所述的一种存储芯片测试用的测试载具，其特征在于，若干所述测试夹具间隔均匀设置形成为多组，且每组的所述测试夹具均呈直线分布，所述测试电路将多组所述测试夹具串联。

5.根据权利要求1所述的一种存储芯片测试用的测试载具，其特征在于，所述基座与所述测试板为可拆卸连接。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的一种存储芯片测试用的测试载具，其特征在于，所述基座一平面的相对两侧均设置有用于支撑的滑轮，所述滑轮均位于所述测试板相对的一侧。

7.根据权利要求6所述的一种存储芯片测试用的测试载具，其特征在于，所述基座平面中一侧的所述滑轮设置有至少两个，且间隔设置。

8.根据权利要求6所述的一种存储芯片测试用的测试载具，其特征在于，所述滑轮的材质为金属。